一種真空適配器的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及Parylene真空鍍膜管道的鏈接設備，具體為一種真空適配器。
【背景技術】
[0002]在Parylene真空鍍膜中，高溫的列解室和低溫的蒸發(fā)室之間要用真空閥隔離，列解室在700°C高溫下會產生1mm左右的拉伸。列解室，真空閥和蒸發(fā)室自身都不能固定，而且密封方式法蘭都不相同，因此就需要一個能夠固定并且滿足列解室和真空閥接口的適配器，把列解室和真空閥連接起來。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型的目的在于提供一種真空適配器，以解決上述【背景技術】中提出的問題。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案:一種真空適配器，包括第一連接閥、缸體、第二連接閥、第三連接閥，其特征在于，所述的缸體上端設有第一連接閥，缸體右端設有第二連接閥，缸體左端設有第三連接閥，缸體下端設有連接體，連接體下端設有底座，底座上設有底座螺絲孔，連接體上還設有加固體。
[0005]優(yōu)選的，所述的第一連接閥為CF35法蘭。
[0006]優(yōu)選的，所述的第二連接閥為CF100法蘭。
[0007]優(yōu)選的，所述的第三連接閥為IS0100法蘭。
[0008]優(yōu)選的，所述的底座設有四個底座螺絲孔。
[0009]本實用新型的有益效果在于，可以有效的防止Parylene真空鍍膜中因列解室高溫產生的拉伸，影響到其他部件的位移或者變形，同時可以實現(xiàn)不同接口的配件之間的連接，成為一個完整的系統(tǒng)。
【附圖說明】
[00?0]圖1為本實用新型結構不意圖。
[0011]圖2為本實用新型右視結構不意圖。
[0012]圖3為本實用新型底部視圖結構示意圖。
[0013]圖中:1-第一連接閥、2-缸體、3-第二連接閥、4-加固體、5-連接體、6-底座、7_第三連接閥、61-底座螺絲孔。
【具體實施方式】
[0014]下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0015]請參閱圖1，本實用新型提供一種真空適配器，包括第一連接閥1、缸體2、第二連接閥3、第三連接閥7，其特征在于，所述的缸體2上端設有第一連接閥I，缸體右端設有第二連接閥3，缸體2左端設有第三連接閥7，缸體2下端設有連接體5，連接體5下端設有底座6，底座6上設有底座螺絲孔61，連接體5上還設有加固體4。
[0016]優(yōu)選的，所述的第一連接閥I為CF35法蘭。
[0017]優(yōu)選的，所述的第二連接閥3為CF100法蘭。
[0018]優(yōu)選的，所述的第三連接閥7為IS0100法蘭。
[0019]優(yōu)選的，所述的底座6設有四個底座螺絲孔61。
[0020]如圖1所示，適配器的一端第二連接閥3為CF100法蘭，與列解室連接，CF100法蘭可以承受列解室中700度的高溫，適配器的另外一端第三連接閥7為IS0100法蘭，與真空閥連接，適配器的頂部第一連接閥I為CF35法蘭，CF35法蘭與真空計連接，真空計起到測量真空的作用，底座6設有四個底座螺絲孔61，便于整個適配器安裝在基座上，達到固定支撐整個系統(tǒng)的作用。
[0021]本實用新型的有益效果在于，可以有效的防止Parylene真空鍍膜中因列解室高溫產生的拉伸，影響到其他部件的位移或者變形，同時可以實現(xiàn)不同接口的配件之間的連接，成為一個完整的系統(tǒng)。
[0022]盡管已經示出和描述了本實用新型的實施例，對于本領域的普通技術人員而言，可以理解在不脫離本實用新型的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本實用新型的范圍由所附權利要求及其等同物限定。
【主權項】
1.一種真空適配器，包括第一連接閥、缸體、第二連接閥、第三連接閥，其特征在于，所述的缸體上端設有第一連接閥，缸體右端設有第二連接閥，缸體左端設有第三連接閥，缸體下端設有連接體，連接體下端設有底座，底座上設有底座螺絲孔，連接體上還設有加固體。2.根據權利要求1所述的一種真空適配器，其特征在于:所述的第一連接閥為CF35法.~~.03.根據權利要求1所述的一種真空適配器，其特征在于:所述的第二連接閥為CFlOO法.~~.04.根據權利要求1所述的一種真空適配器，其特征在于:所述的第三連接閥為IS0100法.~~.05.根據權利要求1所述的一種真空適配器，其特征在于:所述的底座設有四個底座螺絲孔。
【專利摘要】本實用新型公開了一種真空適配器，包括第一連接閥、缸體、第二連接閥、第三連接閥，其特征在于，所述的缸體上端設有第一連接閥，缸體右端設有第二連接閥，缸體左端設有第三連接閥，缸體下端設有連接體，連接體下端設有底座，底座上設有底座螺絲孔，連接體上還設有加固體。本實用新型的有益效果在于，可以有效的防止因列解室高溫產生的拉伸，影響到其他部件的位移或者變形，同時可以實現(xiàn)不同接口的配件之間的連接，成為一個完整的系統(tǒng)。
【IPC分類】C23C14/56
【公開號】CN205188431
【申請?zhí)枴緾N201520894966
【發(fā)明人】王紅濤
【申請人】深圳市納爾遜科技有限公司
【公開日】2016年4月27日
【申請日】2015年11月11日