一種觀察窗結(jié)構的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于PVD鍍膜設備技術領域，特別涉及一種觀察窗結(jié)構。
【背景技術】
[0002]PVD鍍膜設備中都會在鍍膜腔體側(cè)壁設置觀察窗，目的是在鍍膜時觀察腔體內(nèi)部的實時狀況，觀察窗主要由三部分組成:1、觀察窗玻璃，一般為石英玻璃，作用是方便真空密封，并且透明能透過它觀察腔體內(nèi)部狀況。2、擋板，一般為不銹鋼薄板，既擋住腔體內(nèi)溫度輻射到觀察窗玻璃上，避免因為溫度輻射導致石英玻璃溫度升高而炸裂；又擋住所鍍膜的材料濺射到玻璃上進而降低玻璃的透明度，避免因玻璃被鍍上膜之后不透明，從而失去觀察的功能。3、扭動裝置，此裝置連接觀察窗的擋板，在需要觀察時開啟擋板，在不需要觀察時關閉擋板。
[0003]但是，在現(xiàn)有的觀察窗設置中，扭動裝置通常是在觀察窗管道側(cè)壁開一個孔，然后通過骨架油封來密封真空，直接扭動轉(zhuǎn)軸帶動擋板旋轉(zhuǎn)，這種設置有兩種弊端:一、由于腔體內(nèi)部和外界有通孔的存在，所以就存在真空漏氣的可能；二、真空室對觀察窗的擋板的長期熱輻射，熱量會通過轉(zhuǎn)軸傳遞到骨架油封上，加速骨架油封的老化，也可能造成真空漏氣，使鍍膜存在風險。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的目的在于:針對現(xiàn)有技術的不足，而提供一種觀察窗結(jié)構，該結(jié)構設置的扭動裝置是通過磁力間接扭動實現(xiàn)擋板的旋轉(zhuǎn)，不需在觀察窗的管道開孔，從而杜絕真空漏氣的隱患。
[0005]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術方案是:
[0006]一種觀察窗結(jié)構，它安裝于PVD鍍膜設備中，其包括觀察窗法蘭、觀察窗玻璃、擋板和扭動裝置，所述觀察窗玻璃安裝于所述觀察窗法蘭內(nèi)，所述扭動裝置轉(zhuǎn)動連接于所述擋板，所述擋板位于所述PVD鍍膜設備的鍍膜腔體內(nèi)，所述擋板對應于所述觀察窗玻璃，所述扭動裝置設置于所述PVD鍍膜設備的鍍膜腔體外，所述扭動裝置設置為磁力式扭動裝置。
[0007]作為本實用新型所述的觀察窗結(jié)構的一種改進，所述扭動裝置通過轉(zhuǎn)軸與所述擋板轉(zhuǎn)動連接。
[0008]作為本實用新型所述的觀察窗結(jié)構的一種改進，所述扭動裝置包括具有中空腔的扭動本體、開設于所述扭動本體的驅(qū)動磁鐵槽及安裝于所述驅(qū)動磁鐵槽內(nèi)的驅(qū)動磁鐵塊，所述中空腔為圓形結(jié)構，所述驅(qū)動磁鐵槽的數(shù)量設置為四個，四個所述驅(qū)動磁鐵槽均勻分布于所述中空腔的周圍。
[0009]作為本實用新型所述的觀察窗結(jié)構的一種改進，所述轉(zhuǎn)軸包括擋板連接部及與所述擋板連接部連接為一體的磁力受驅(qū)部，所述磁力受驅(qū)部具有受驅(qū)動鐵槽，所述受驅(qū)動鐵槽的數(shù)量設置為四個，每個所述受驅(qū)動鐵槽內(nèi)均安裝有受驅(qū)動塊。
[0010]作為本實用新型所述的觀察窗結(jié)構的一種改進，四個所述受驅(qū)動鐵槽分別對應于四個所述驅(qū)動磁鐵槽。
[0011]作為本實用新型所述的觀察窗結(jié)構的一種改進，所述擋板的形狀設置為圓形結(jié)構。
[0012]所述觀察窗玻璃通過密封墊圈安裝于所述觀察窗法蘭內(nèi)。
[0013]本實用新型的有益效果在于:本實用新型提供的觀察窗結(jié)構安裝于PVD鍍膜設備中，其包括觀察窗法蘭、觀察窗玻璃、擋板和扭動裝置，所述觀察窗玻璃安裝于所述觀察窗法蘭內(nèi)，所述扭動裝置轉(zhuǎn)動連接于所述擋板，所述擋板位于所述PVD鍍膜設備的鍍膜腔體內(nèi)，所述擋板對應于所述觀察窗玻璃，所述扭動裝置設置于所述PVD鍍膜設備的鍍膜腔體外，所述扭動裝置設置為磁力式扭動裝置。本實用新型的扭動裝置是通過磁力間接扭動實現(xiàn)擋板的旋轉(zhuǎn)，不需在觀察窗的管道開孔，從而杜絕真空漏氣的隱患，提高了操作的安全性。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型的結(jié)構示意圖。
[0015]圖2為本實用新型安裝在PVD鍍膜設備中的結(jié)構示意圖。
[0016]圖3為本實用新型中扭動裝置的結(jié)構示意圖。
[0017]圖4為本實用新型中驅(qū)動磁鐵塊的結(jié)構示意圖。
[0018]圖5為本實用新型中轉(zhuǎn)軸的結(jié)構示意圖。
[0019]圖6為本實用新型中磁力受驅(qū)部的結(jié)構示意圖。
[0020]圖7為本實用新型中受驅(qū)動塊的結(jié)構示意圖。
【具體實施方式】
[0021]下面結(jié)合【具體實施方式】和說明書附圖，對本實用新型作進一步詳細的描述，但本實用新型的實施方式不限于此。
[0022]如圖1~7所示，一種觀察窗結(jié)構，安裝于PVD鍍膜設備中，其包括觀察窗法蘭1、觀察窗玻璃2、擋板3和扭動裝置4，觀察窗玻璃2安裝于觀察窗法蘭I內(nèi)，具體地，觀察窗玻璃2通過密封墊圈7安裝于觀察窗法蘭I內(nèi)，密封墊圈7的材料為氟橡膠，具有優(yōu)異的耐熱性、抗氧化性、耐油性、耐腐蝕性和耐大氣老化性；扭動裝置4轉(zhuǎn)動連接于擋板3，具體地，扭動裝置4通過轉(zhuǎn)軸6與擋板3轉(zhuǎn)動連接，從而實現(xiàn)擋板3的轉(zhuǎn)動；擋板3位于PVD鍍膜設備的鍍膜腔體5內(nèi)，擋板3對應于觀察窗玻璃2，扭動裝置4設置于PVD鍍膜設備的鍍膜腔體5外，扭動裝置4設置為磁力式扭動裝置，在磁力式扭動裝置的旋轉(zhuǎn)動作下，實現(xiàn)了擋板3的開啟和關閉，解決了現(xiàn)有技術在觀察窗的管道開孔帶來的問題，從而杜絕真空漏氣的隱患，提高了操作的安全性。
[0023]優(yōu)選地，扭動裝置4包括具有中空腔41的扭動本體42、開設于扭動本體42的驅(qū)動磁鐵槽43及安裝于驅(qū)動磁鐵槽43內(nèi)的驅(qū)動磁鐵塊44，中空腔41為圓形結(jié)構，驅(qū)動磁鐵槽43的數(shù)量設置為四個，驅(qū)動磁鐵塊44數(shù)量也設置為四個，四個驅(qū)動磁鐵塊44分別安裝在四個驅(qū)動磁鐵槽43內(nèi)，且四個驅(qū)動磁鐵槽43均勻分布于中空腔41的周圍，驅(qū)動磁鐵槽43的材料為汝鐵硼。轉(zhuǎn)軸6包括擋板連接部61及與擋板連接部61連接為一體的磁力受驅(qū)部62，磁力受驅(qū)部62具有受驅(qū)動鐵槽621，受驅(qū)動鐵槽621的數(shù)量設置為四個，每個受驅(qū)動鐵槽621內(nèi)均安裝有受驅(qū)動塊622，受驅(qū)動塊622為表面鍍鉻的碳鋼，因為碳鋼不會這么容易退磁，而且碳鋼又容易生銹。四個受驅(qū)動鐵槽621分別對應于四個驅(qū)動磁鐵槽43。四個驅(qū)動磁鐵塊44設置為內(nèi)凹結(jié)構，四個受驅(qū)動塊622設置為外凸結(jié)構，四個驅(qū)動磁鐵塊44和四個受驅(qū)動塊622在相互匹配，在扭動裝置4工作時，實現(xiàn)快速開啟或關閉擋板3。
[0024]優(yōu)選地，擋板3的形狀設置為圓形結(jié)構，可根據(jù)需要對擋板3設置為其他任何形狀。
[0025]本實用新型的工作過程是:操作者旋轉(zhuǎn)扭動裝置4，使得扭動裝置4內(nèi)驅(qū)動磁鐵塊44和轉(zhuǎn)軸6中磁力受驅(qū)部62的受驅(qū)動塊622配合，在磁力的作用下帶動轉(zhuǎn)軸6運動，同時轉(zhuǎn)軸6聯(lián)動擋板3，實現(xiàn)擋板3的開啟或關閉。
[0026]根據(jù)上述說明書的揭示和教導，本實用新型所屬領域的技術人員還能夠?qū)ι鲜鰧嵤┓绞竭M行變更和修改。因此，本實用新型并不局限于上述的【具體實施方式】，凡是本領域技術人員在本實用新型的基礎上所作出的任何顯而易見的改進、替換或變型均屬于本實用新型的保護范圍。此外，盡管本說明書中使用了一些特定的術語，但這些術語只是為了方便說明，并不對本實用新型構成任何限制。
【主權項】
1.一種觀察窗結(jié)構，安裝于PVD鍍膜設備中，其特征在于:包括觀察窗法蘭、觀察窗玻璃、擋板和扭動裝置，所述觀察窗玻璃安裝于所述觀察窗法蘭內(nèi)，所述扭動裝置轉(zhuǎn)動連接于所述擋板，所述擋板位于所述PVD鍍膜設備的鍍膜腔體內(nèi)，所述擋板對應于所述觀察窗玻璃，所述扭動裝置設置于所述PVD鍍膜設備的鍍膜腔體外，所述扭動裝置設置為磁力式扭動裝置。2.根據(jù)權利要求1所述的觀察窗結(jié)構，其特征在于:所述扭動裝置通過轉(zhuǎn)軸與所述擋板轉(zhuǎn)動連接。3.根據(jù)權利要求2所述的觀察窗結(jié)構，其特征在于:所述扭動裝置包括具有中空腔的扭動本體、開設于所述扭動本體的驅(qū)動磁鐵槽及安裝于所述驅(qū)動磁鐵槽內(nèi)的驅(qū)動磁鐵塊，所述中空腔為圓形結(jié)構，所述驅(qū)動磁鐵槽的數(shù)量設置為四個，四個所述驅(qū)動磁鐵槽均勻分布于所述中空腔的周圍。4.根據(jù)權利要求3所述的觀察窗結(jié)構，其特征在于:所述轉(zhuǎn)軸包括擋板連接部及與所述擋板連接部連接為一體的磁力受驅(qū)部，所述磁力受驅(qū)部具有受驅(qū)動鐵槽，所述受驅(qū)動鐵槽的數(shù)量設置為四個，每個所述受驅(qū)動鐵槽內(nèi)均安裝有受驅(qū)動塊。5.根據(jù)權利要求4所述的觀察窗結(jié)構，其特征在于:四個所述受驅(qū)動鐵槽分別對應于四個所述驅(qū)動磁鐵槽。6.根據(jù)權利要求1所述的觀察窗結(jié)構，其特征在于:所述擋板的形狀設置為圓形結(jié)構。7.根據(jù)權利要求1所述的觀察窗結(jié)構，其特征在于:所述觀察窗玻璃通過密封墊圈安裝于所述觀察窗法蘭內(nèi)。
【專利摘要】本實用新型屬于PVD鍍膜設備技術領域，特別涉及一種觀察窗結(jié)構，它安裝于PVD鍍膜設備中，其包括觀察窗法蘭、觀察窗玻璃、擋板和扭動裝置，所述觀察窗玻璃安裝于所述觀察窗法蘭內(nèi)，所述扭動裝置轉(zhuǎn)動連接于所述擋板，所述擋板位于所述PVD鍍膜設備的鍍膜腔體內(nèi)，所述擋板對應于所述觀察窗玻璃，所述扭動裝置設置于所述PVD鍍膜設備的鍍膜腔體外，所述扭動裝置設置為磁力式扭動裝置。本實用新型的扭動裝置是通過磁力間接扭動實現(xiàn)擋板的旋轉(zhuǎn)，不需在觀察窗的管道開孔，從而杜絕真空漏氣的隱患，提高了操作的安全性。
【IPC分類】C23C14/52
【公開號】CN204661821
【申請?zhí)枴緾N201520340533
【發(fā)明人】王俊鋒, 陳凱
【申請人】東莞市瑞鼎納米科技有限公司
【公開日】2015年9月23日
【申請日】2015年5月25日