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一種觀察窗結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9009628

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PVD鍍膜設(shè)備中都會在鍍膜腔體側(cè)壁設(shè)置觀察窗,目的是在鍍膜時觀察腔體內(nèi)部的實時狀況,觀察窗主要由三部分組成1、觀察窗玻璃,一般為石英玻璃,作用是方便真空密封,并且透明能透過它觀察腔體內(nèi)部狀況。2、擋板,一般為不銹鋼薄板,既擋住腔體內(nèi)溫度輻射到觀察窗玻璃上,避免因為溫度輻射導(dǎo)致石英玻璃溫度升高而炸裂;又擋住所鍍膜的材料濺射到玻璃上進而降低玻璃的透明度,避免因玻璃被鍍上膜之后不透明,從而失去觀察的功能。3、扭動裝置,此裝置連接觀察窗的擋板,在需要觀察時開啟擋板...
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