精確定位工件臺(tái)的傳動(dòng)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空鍍膜設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及到一種精確定位工件臺(tái)的傳動(dòng)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在高真空鍍膜環(huán)境下，控制鍍膜機(jī)的工件臺(tái)得到定位以拿取工件，是通過傳動(dòng)裝置來實(shí)現(xiàn)的，所述傳動(dòng)裝置種類繁多、結(jié)構(gòu)各異(有手動(dòng)或自動(dòng)結(jié)構(gòu)形式)，但大都存在著結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不盡合理(如零件多，結(jié)構(gòu)復(fù)雜)、制造和裝配繁瑣的缺陷，以致成本較高、定位精度較差。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種精確定位工件臺(tái)的傳動(dòng)裝置，本傳動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)較為合理(如:零件較少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊等)，傳動(dòng)性能穩(wěn)定，使得工件臺(tái)的定位精度較高，有效保證鍍膜工藝的正常、持續(xù)進(jìn)行。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種精確定位工件臺(tái)的傳動(dòng)裝置，它包括工件臺(tái)、固定架、第一電機(jī)、第一齒輪、第一軸、第一齒圈、承載板、推拉件、磁性密封件、第二電機(jī)、第二軸、第三軸、第一傳動(dòng)件；
[0005]固定架、磁性密封件、第一電機(jī)、第二電機(jī)、第一軸、第二軸、第三軸均為豎直布置狀態(tài)，工件臺(tái)、第一齒圈、第一齒輪、承載板均為水平布置狀態(tài)，第一齒圈、第一齒輪均為直齒圓柱齒輪；
[0006]第一電機(jī)、第二電機(jī)設(shè)在固定架外的上側(cè)，磁性密封件設(shè)在固定架內(nèi)的下側(cè)；
[0007]第一軸為空心軸，第一軸的中部、磁性密封件內(nèi)外同軸套接，第一軸的上端高于磁性密封件且位于固定架內(nèi)，第一軸的上端有軸肩且通過軸肩同軸接有空心的第一齒圈，第一電機(jī)的電機(jī)軸伸進(jìn)固定架內(nèi)且接有第一齒輪，第一齒輪與第一齒圈相嚙合；
[0008]讓第一軸沿其軸向位移的推拉件設(shè)在軸肩和固定架內(nèi)的下側(cè)之間；
[0009]第一軸的下端超出固定架一定距離且下部與承載板的一側(cè)相接，承載板的另一側(cè)設(shè)有與其轉(zhuǎn)動(dòng)配合的第三軸，第三軸的上端高于承載板且同軸接有工件臺(tái)，第三軸的下端低于承載板；
[0010]第二軸分別與第一軸、第一齒圈內(nèi)外同軸套接，第一軸的上下端各設(shè)有一個(gè)用來安裝第二軸的平面軸承，第二軸的上端高于第一齒圈且位于固定架內(nèi)，第二電機(jī)的電機(jī)軸伸進(jìn)固定架內(nèi)且與第二軸的上端相接，第二軸的下端超出第一軸一定距離，讓工件臺(tái)繞第三軸軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的第一傳動(dòng)件設(shè)在第二軸的下部與第三軸的下部之間。
[0011]為簡(jiǎn)潔而清楚地說明問題起見，以下對(duì)本發(fā)明所述精確定位工件臺(tái)的傳動(dòng)裝置均簡(jiǎn)稱為本傳動(dòng)裝置。
[0012]采用以上的技術(shù)方案后，
[0013]第一電機(jī)通過第一齒輪驅(qū)動(dòng)第一齒圈，聯(lián)動(dòng)磁性密封件密封的第一軸，進(jìn)而帶動(dòng)承載板、工件臺(tái)繞第一軸軸線旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)工件臺(tái)的公轉(zhuǎn)；
[0014]第二電機(jī)驅(qū)動(dòng)第二軸，第二軸通過第一傳動(dòng)件聯(lián)動(dòng)第三軸，讓工件臺(tái)繞第三軸軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)工件臺(tái)的自轉(zhuǎn)；
[0015]通過推拉件，讓第一軸沿其軸向位移，從而帶動(dòng)承載板、第三軸、工件臺(tái)在豎直方向上下運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)工件臺(tái)的軸向位移；
[0016]通過磁性密封件動(dòng)密封，有利于工件臺(tái)在真空環(huán)境里實(shí)現(xiàn)定位；
[0017]精確控制第一電機(jī)、第二電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)工件臺(tái)的精確定位。
[0018]這樣，本傳動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)較為合理(如:零件較少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊等)，傳動(dòng)性能穩(wěn)定，使得工件臺(tái)的定位精度較高，有效保證鍍膜工藝的正常、持續(xù)進(jìn)行。
[0019]所述第一傳動(dòng)件包括第二齒輪、過橋齒輪軸、第三齒輪，第二齒輪設(shè)在第二軸的下部，第三齒輪設(shè)在第三軸的下部，承載板的中段區(qū)域下側(cè)設(shè)有與其轉(zhuǎn)動(dòng)配合的過橋齒輪軸，過橋齒輪軸介于第二齒輪、第三齒輪之間且過橋齒輪分別與第二齒輪、第三齒輪相嚙合，第二齒輪、過橋齒輪、第三齒輪均為直齒圓柱齒輪。
[0020]這樣，第一傳動(dòng)件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)較為合理(如:零件較少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊等)，傳動(dòng)性能穩(wěn)定，使用時(shí)，第二電機(jī)驅(qū)動(dòng)第二軸，第二軸帶動(dòng)第二齒輪，借助過橋齒輪聯(lián)動(dòng)第三齒輪、第三軸，讓工件臺(tái)繞第三軸軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)工件臺(tái)的自轉(zhuǎn)。
[0021]所述固定架為電機(jī)安裝板、四個(gè)豎直的支撐桿、水平的氣缸安裝板組成的方形空心框架，電機(jī)安裝板、氣缸安裝板上下布置，四個(gè)支撐桿呈方形布置，電機(jī)安裝板和氣缸安裝板同端的前后側(cè)各接有一個(gè)支撐桿，電機(jī)安裝板由第一水平板、豎直板、第二水平板依次相接構(gòu)成，第一水平板低于第二水平板，第一水平板與第一電機(jī)在位置上相對(duì)應(yīng)，第二水平板與第二電機(jī)在位置上相對(duì)應(yīng)，氣缸安裝板為直板；
[0022]第一電機(jī)設(shè)在第一水平板的上側(cè)，第二電機(jī)設(shè)在第二水平板的上側(cè)，磁性密封件設(shè)在氣缸安裝板中段區(qū)域的上側(cè)。
[0023]這樣，固定架的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)較為合理(如:零件較少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊等)，便于利用其安裝第一電機(jī)、第二電機(jī)、磁性密封件。
[0024]所述推拉件包括兩個(gè)豎直布置的氣缸、水平布置的推拉板，兩個(gè)氣缸設(shè)在氣缸安裝板上且分別位于磁性密封件的兩側(cè)，兩個(gè)氣缸的缸桿指向電機(jī)安裝板，每一缸桿均與推拉板的同側(cè)對(duì)應(yīng)端相接；
[0025]第一軸上部介于軸肩和磁性密封件之間的軸體與推拉板的中心區(qū)域內(nèi)外套接。
[0026]這樣，推拉件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)較為合理(如:零件較少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊等)，使用時(shí)，通過兩個(gè)氣缸的缸桿向上推動(dòng)推拉板，推拉板與軸肩接觸，推動(dòng)第一軸、第一齒圈沿其軸向向上位移(此過程中，同步聯(lián)動(dòng)磁性密封件)，帶動(dòng)承載板、第三軸、工件臺(tái)、第三齒輪、過橋齒輪軸在豎直方向向上運(yùn)動(dòng);反之，通過兩個(gè)氣缸的缸桿向下拉動(dòng)推拉板，推拉板與軸肩脫離接觸，在第一齒圈、第一軸、承載板、第三軸、工件臺(tái)、第三齒輪、過橋齒輪軸的重力作用下，迫使第一軸、第一齒圈沿其軸向向下位移(此過程中，同步聯(lián)動(dòng)磁性密封件)，帶動(dòng)承載板、第三軸、工件臺(tái)、第三齒輪、過橋齒輪軸在豎直方向向下運(yùn)動(dòng);從而讓第一軸沿其軸向位移，實(shí)現(xiàn)工件臺(tái)的軸向位移。
[0027]需要說明的是，在上述第一軸的軸向位移過程中，因第一齒圈、第一齒輪均為直齒圓柱齒輪，第二齒輪、過橋齒輪、第三齒輪均為直齒圓柱齒輪，故第一齒圈、第三齒輪、過橋齒輪豎直方向的上下運(yùn)動(dòng)得以實(shí)現(xiàn)，第一齒圈不會(huì)受到第一齒輪的干涉，第三齒輪不會(huì)受到過橋齒輪的干涉，過橋齒輪不會(huì)受到第二齒輪的干涉。
[0028]所述第二電機(jī)的電機(jī)軸通過第二傳動(dòng)件與第二軸的上端相接，第二傳動(dòng)件包括第四齒輪、第五齒輪，第四齒輪設(shè)在第二電機(jī)的電機(jī)軸下部，第五齒輪設(shè)在第二軸的上端且與第一齒圈之間留有軸向間隙，第四齒輪與第五齒輪相嚙合，第四齒輪、第五齒輪均為直齒圓柱齒輪。
[0029]這樣，第二傳動(dòng)件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)較為合理(如:零件較少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊等)，傳動(dòng)性能穩(wěn)定，使用時(shí)，第二電機(jī)通過第二傳動(dòng)件驅(qū)動(dòng)第二軸，更加穩(wěn)定地實(shí)現(xiàn)工件臺(tái)的自轉(zhuǎn)。
【附圖說明】
[0030]圖1是本傳動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0031]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
[0032]參見圖1:
[0033]本傳動(dòng)裝置，它包括工件臺(tái)5、固定架8、第一電機(jī)1、第一齒輪la、第一軸2、第一齒圈2b、承載板2c、推拉件7、磁性密封件6、第二電機(jī)3、第二軸4、第三軸2d、第一傳動(dòng)件、第二傳動(dòng)件。
[0034]固定架8、磁性密封件6、第一電機(jī)1、第二電機(jī)3、第一軸2、第二軸4、第三軸2d均為豎直布置狀態(tài)，工件臺(tái)5、第一齒圈2b、第一齒輪la、承載板2c均為水平布置狀態(tài)，第一齒圈2b、第一齒輪Ia均為直齒圓柱齒輪。
[0035]固定架8為電機(jī)安裝板、四個(gè)豎直的支撐桿8d、水平的氣缸安裝板8e組成的方形空心框架，電機(jī)安裝板、氣缸安裝板Se上下布置，四個(gè)支撐桿Sd呈方形布置，電機(jī)安裝板和氣缸安裝板8e同端的前后側(cè)各接有一個(gè)支撐桿8d，電機(jī)安裝板由第一水平板8a、豎直板8b、第二水平板8c依次相接構(gòu)成，第二水平板8c、第一水平板8a左右布置，第一水平板8a低于第二水平板8c，第一水平板8a與第一電機(jī)I在位置上相對(duì)應(yīng)，第二水平板8c與第二電機(jī)3在位置上相對(duì)應(yīng)，氣缸安裝板8e為直板。
[0036]磁性密封件6為現(xiàn)有技術(shù)部分。磁性密封件6包括豎直布置的內(nèi)空心筒、外空心筒6a，內(nèi)空心筒的外壁中部沿軸向間隔開有若干環(huán)形磁槽，內(nèi)空心筒、外空心筒6a內(nèi)外同軸套接，內(nèi)空心筒通過環(huán)形磁槽與外空心筒6a轉(zhuǎn)動(dòng)配合，每個(gè)環(huán)形磁槽和外