研磨工件W的中央部。
[0060]如圖1以及圖3所示，窗部10w、llw也可以以在保護(hù)部件10、11的周緣部沿周向排列的方式形成有多個(gè)。如圖4(B)所示，窗部10w、llw也可以在保護(hù)部件10、11的中央部形成有1個(gè)。
[0061]工件W的形狀為扁平形狀即可，形狀并不特別限定，除圓盤(pán)狀以外，也可以是平板狀、環(huán)狀、框狀等。保持部件12的形狀、通過(guò)保持部件12保持工件W的位置，也可以根據(jù)工件W的形狀、研磨對(duì)象區(qū)域等適當(dāng)?shù)刈兏?br>[0062]覆蓋部件13的安裝部位并不特別限定，例如也可以在保持部件12安裝覆蓋部件13ο
[0063]實(shí)施例
[0064]以下，說(shuō)明本發(fā)明的振動(dòng)滾磨方法的實(shí)施例，但本發(fā)明并不限定于這些實(shí)施例。作為工件保持夾具1，準(zhǔn)備了大致的形狀與圖1相同的夾具。保護(hù)部件10、11的直徑約為840mm。保護(hù)部件10、11的對(duì)置方向的工件保持夾具1的寬度約為213mm(外徑的1/4以上)。覆蓋部件13的寬度約為50mm(工件W的寬度的5/4倍)。對(duì)于窗部10w、llw的尺寸而言，在徑向呈直線狀地延伸并且在周向分離排列的第一以及第二邊的長(zhǎng)度分別約為180mm，在周向呈圓弧狀地延伸并且在周緣部10b、llb側(cè)連接第一以及第二邊彼此的第三邊的長(zhǎng)度約為240mm，在周向呈圓弧狀地延伸并且在中央部10a、11a側(cè)連接第一以及第二邊彼此的第四邊的長(zhǎng)度約為100mm。
[0065]作為工件W，準(zhǔn)備了直徑約為800mm、厚度約為40mm的圓盤(pán)狀部件。工件W的材質(zhì)為鈦制。作為研磨介質(zhì)M，準(zhǔn)備了一邊約為10mm長(zhǎng)度約為7mm的三棱柱斜切的燒結(jié)介質(zhì)(新東工業(yè)株式會(huì)社制)。
[0066]作為振動(dòng)滾磨裝置2，準(zhǔn)備了對(duì)新東工業(yè)株式會(huì)社制的VF-1423W型進(jìn)行了改良的裝置。對(duì)于研磨槽20的尺寸而言，寬度約為800mm，長(zhǎng)度約為1000mm，高度約為800mm。在研磨槽20的中央部設(shè)置有隔板20a。以填滿研磨槽20的容積的1/3的方式向研磨槽20供給上述研磨介質(zhì)M。作為研磨液，準(zhǔn)備了在自來(lái)水中添加了 0.5%的研磨劑(新東工業(yè)株式會(huì)社制:GLM-4)的溶液。研磨液的供給量為每分鐘約400ml。
[0067](1)工件W的外周面Wa的評(píng)價(jià)
[0068]在通過(guò)上述振動(dòng)滾磨裝置2對(duì)上述工件W研磨了 6個(gè)小時(shí)以后，對(duì)工件W的外周面Wa，在表面和背面均任意選擇10點(diǎn)，通過(guò)非接觸型三維形狀測(cè)量裝置(株式會(huì)社TECHN0MU制:TDS-2100CG)進(jìn)行了觀察。另外，在任意10點(diǎn)通過(guò)長(zhǎng)游標(biāo)卡尺測(cè)量工件W的直徑，并且與研磨前的工件W的直徑進(jìn)行了比較。其結(jié)果是，在任一點(diǎn)，在工件W的外周面Wa，均未觀察到變形、凹陷等形狀變化。確認(rèn)到的結(jié)果是:通過(guò)覆蓋部件13，工件W的外周面Wa未被研磨。
[0069](2)研磨的進(jìn)行以及研磨不均的評(píng)價(jià)
[0070]對(duì)研磨前的工件W的要被研磨的位置，在表面和背面均任意選擇3點(diǎn)，通過(guò)表面粗糙度測(cè)量裝置(東京精密株式會(huì)社制:SURFC0M130A)測(cè)量了表面粗糙度Ra(JIS (JapaneseIndustrial Standards:日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn))B6001:1994)。另外，對(duì)于研磨后的工件W，也同樣測(cè)量了表面粗糙度Ra。通過(guò)對(duì)這些測(cè)量值進(jìn)行比較，對(duì)研磨的進(jìn)行以及研磨不均進(jìn)行了評(píng)價(jià)。研磨前的工件W的表面粗糙度Ra的平均值為:表面約為1.49 μ m、背面約為1.52 μ m，相對(duì)于此，研磨后的工件W的表面粗糙度Ra的平均值為:表面約為0.23 μπκ背面約為0.21 μ m0由此，確認(rèn)到兩面均被良好地研磨。另外，對(duì)于研磨后的工件W的相對(duì)于表面粗糙度Ra的平均值的偏差而言，表面和背面均在±10%以內(nèi)。確認(rèn)到的結(jié)果是:兩面均幾乎沒(méi)有加工不均地被研磨。
[0071](3)變形的評(píng)價(jià)
[0072]對(duì)于研磨后的工件W的被研磨的部位，在表面和背面均任意選擇10點(diǎn)，通過(guò)上述的非接觸型三維形狀測(cè)量裝置進(jìn)行了形狀的測(cè)量。其結(jié)果是，在任何測(cè)量位置，均未觀察到因研磨而產(chǎn)生的變形。
[0073]根據(jù)以上，通過(guò)使用實(shí)施方式的工件保持夾具1對(duì)扁平形狀的工件W進(jìn)行振動(dòng)滾磨確認(rèn)到:(a)能夠任意設(shè)定研磨的位置；(b)能夠幾乎沒(méi)有加工不均地均勻地進(jìn)行研磨；以及(c)能夠不使工件W發(fā)生變形地進(jìn)行研磨。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種振動(dòng)滾磨用的工件保持夾具，在使用研磨介質(zhì)通過(guò)振動(dòng)滾磨裝置研磨扁平形狀的工件時(shí)用于保持所述工件， 其中， 具備: 外形形狀呈比所述工件大的圓盤(pán)狀，并且配置成相互對(duì)置的第一保護(hù)部件以及第二保護(hù)部件；以及 保持部件，其以所述工件整體位于由所述第一保護(hù)部件、第二保護(hù)部件以及以連接所述第一保護(hù)部件的周緣與第二保護(hù)部件的周緣彼此的方式延伸的環(huán)狀的虛擬曲面所包圍的圓柱狀的收容空間內(nèi)的方式，在所述收容空間內(nèi)保持所述工件， 在所述第一保護(hù)部件以及第二保護(hù)部件分別形成有與所述收容空間連通的第一窗部， 所述研磨介質(zhì)能夠通過(guò)所述虛擬曲面以及所述第一窗部，在所述收容空間的內(nèi)外通過(guò)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件保持夾具，其中， 所述保持部件以所述工件的主表面與所述第一保護(hù)部件以及第二保護(hù)部件分別對(duì)置的方式保持所述工件， 所述第一窗部形成于與所述工件的主表面中的由所述研磨介質(zhì)進(jìn)行研磨的研磨對(duì)象區(qū)域?qū)χ玫奈恢谩?.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的工件保持夾具，其中， 還具備對(duì)所述工件中的不由所述研磨介質(zhì)進(jìn)行研磨的研磨非對(duì)象區(qū)域進(jìn)行覆蓋的覆蓋部件。4.根據(jù)權(quán)利要求1?3中的任一項(xiàng)所述的工件保持夾具，其中， 所述工件的周緣與所述虛擬曲面之間的間隙設(shè)定為比所述研磨介質(zhì)的外形大。5.根據(jù)權(quán)利要求1?4中的任一項(xiàng)所述的工件保持夾具，其中， 還具備在所述第一保護(hù)部件的周緣與第二保護(hù)部件的周緣之間延伸并且連接所述第一保護(hù)部件與第二保護(hù)部件彼此的連接部件， 在所述連接部件形成有與所述收容空間連通的第二窗部， 所述研磨介質(zhì)能夠通過(guò)所述第二窗部在所述收容空間的內(nèi)外通過(guò)。6.一種振動(dòng)滾磨方法，其中，包括: 將所述工件保持于權(quán)利要求1?5中的任一項(xiàng)所述的工件保持夾具的所述保持部件；以所述第一保護(hù)部件的周緣以及第二保護(hù)部件的周緣與所述振動(dòng)滾磨裝置所具備的研磨槽的底壁接觸的方式，使所述工件保持夾具在所述研磨槽內(nèi)自立的狀態(tài)，將所述工件保持夾具配置在所述研磨槽內(nèi)；以及 由所述振動(dòng)滾磨裝置使所述研磨槽擺動(dòng)，由此一邊使所述工件保持夾具以該工件保持夾具在所述研磨槽內(nèi)自立的狀態(tài)在所述研磨槽內(nèi)滾動(dòng)，一邊使所述研磨介質(zhì)通過(guò)所述虛擬曲面以及所述第一窗部而在所述收容空間的內(nèi)外流動(dòng)。
【專利摘要】本發(fā)明提供振動(dòng)滾磨用的工件保持夾具以及振動(dòng)滾磨方法。在通過(guò)振動(dòng)滾磨裝置研磨工件時(shí)，保護(hù)工件抑制缺陷產(chǎn)生。工件保持夾具(1)是在使用研磨介質(zhì)通過(guò)振動(dòng)滾磨裝置研磨扁平形狀的工件(W)時(shí)用于保持工件(W)的振動(dòng)滾磨用的夾具。工件保持夾具(1)具備：保護(hù)部件(10、11)，其外形形狀呈比工件(W)大的圓盤(pán)狀，并且配置成相互對(duì)置；以及保持部件(12)，其以工件(W)整體位于圓柱狀的收容空間(V)內(nèi)的方式在收容空間(V)內(nèi)保持工件(W)。在保護(hù)部件(10、11)分別形成有與收容空間(V)連通的窗部(10w、11w)。研磨介質(zhì)能夠通過(guò)以連接保護(hù)部件(10、11)的周緣彼此的方式延伸的環(huán)狀的虛擬曲面(S)以及窗部(10w、11w)，在收容空間(V)的內(nèi)外通過(guò)。
【IPC分類】B24B31/12, B24B31/067
【公開(kāi)號(hào)】CN105263674
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201480031792
【發(fā)明人】荻原直幸, 棚橋茂
【申請(qǐng)人】新東工業(yè)株式會(huì)社
【公開(kāi)日】2016年1月20日
【申請(qǐng)日】2014年6月19日
【公告號(hào)】EP2990158A1, US20160151878, WO2015015940A1