振動(dòng)滾磨用的工件保持夾具以及振動(dòng)滾磨方法
【專利說(shuō)明】振動(dòng)滾磨用的工件保持夾具以及振動(dòng)滾磨方法
[0001]本申請(qǐng)主張于2013年7月30日申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)第2013-157888號(hào)的優(yōu)先權(quán)，并以參考方式在本說(shuō)明書(shū)中引用其全文。
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本發(fā)明涉及振動(dòng)滾磨用的工件保持夾具以及振動(dòng)滾磨方法。
【背景技術(shù)】
[0003]專利文獻(xiàn)1公開(kāi)了如下振動(dòng)滾磨裝置:對(duì)被研磨物亦即工件的表面進(jìn)行使表面粗糙度成為規(guī)定的表面粗糙度的研磨，或者進(jìn)行毛刺、氧化膜等的去除等。該振動(dòng)滾磨裝置具有截面呈U字形狀的研磨槽、以及驅(qū)動(dòng)研磨槽擺動(dòng)的驅(qū)動(dòng)單元。在使用該振動(dòng)滾磨裝置研磨工件時(shí)，將工件、研磨介質(zhì)以及研磨液放入研磨槽內(nèi)，通過(guò)驅(qū)動(dòng)單元使研磨槽沿圓弧狀的軌道擺動(dòng)。由此，工件與研磨介質(zhì)相對(duì)運(yùn)動(dòng)，進(jìn)行工件的研磨。
[0004]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2000-280162號(hào)公報(bào)
[0005]在研磨時(shí)工件碰撞研磨槽的情況下，沖擊力作用于工件。此時(shí)，擔(dān)心產(chǎn)生工件變形或者工件的表面受傷等缺陷。特別是近年來(lái)希望對(duì)更大型的工件也使用振動(dòng)滾磨裝置進(jìn)行研磨。若大型的工件碰撞研磨槽，則因其重量的大小，更大的沖擊力作用于工件，因此更加擔(dān)心在工件產(chǎn)生缺陷。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]因此，本公開(kāi)說(shuō)明在通過(guò)振動(dòng)滾磨裝置研磨工件時(shí)能夠保護(hù)工件抑制缺陷產(chǎn)生的振動(dòng)滾磨用的工件保持夾具以及振動(dòng)滾磨方法。
[0007]本公開(kāi)的一個(gè)觀點(diǎn)的工件保持夾具是在使用研磨介質(zhì)通過(guò)振動(dòng)滾磨裝置研磨扁平形狀的工件時(shí)用于保持工件的振動(dòng)滾磨用的工件保持夾具，該工件保持夾具具備:外形形狀呈比工件大的圓盤(pán)狀，并且配置成相互對(duì)置的第一保護(hù)部件以及第二保護(hù)部件；以及保持部件，其以工件整體位于由第一保護(hù)部件、第二保護(hù)部件以及以連接第一保護(hù)部件的周緣與第二保護(hù)部件的周緣彼此的方式延伸的環(huán)狀的虛擬曲面所包圍的圓柱狀收容空間內(nèi)的方式，在收容空間內(nèi)保持工件，在第一保護(hù)部件以及第二保護(hù)部件分別形成有與收容空間連通的第一窗部，研磨介質(zhì)能夠通過(guò)虛擬曲面以及第一窗部，在收容空間的內(nèi)外通過(guò)。
[0008]在本公開(kāi)的一個(gè)觀點(diǎn)的工件保持夾具中，以工件整體位于由外形形狀呈比工件大的圓盤(pán)狀的第一保護(hù)部件、第二保護(hù)部件以及以連接第一保護(hù)部件的周緣與第二保護(hù)部件的周緣彼此的方式延伸的環(huán)狀的虛擬曲面所包圍的收容空間內(nèi)的方式，保持部件在收容空間內(nèi)保持有工件。因此，工件不會(huì)從工件保持夾具露出，而是保持留在收容空間內(nèi)的狀態(tài)。因此，即使在工件保持夾具配置于振動(dòng)滾磨裝置的研磨槽并且通過(guò)振動(dòng)滾磨裝置使研磨槽擺動(dòng)的情況下，也能夠避免工件與研磨槽的碰撞。其結(jié)果是，能夠在通過(guò)振動(dòng)滾磨裝置研磨工件時(shí)，保護(hù)工件抑制缺陷產(chǎn)生。另外，在本公開(kāi)的一個(gè)觀點(diǎn)的工件保持夾具中，外形形狀呈比工件大的圓盤(pán)狀的第一保護(hù)部件以及第二保護(hù)部件配置成相互對(duì)置。因此，工件保持夾具呈圓柱形狀的外形。因此，若以第一保護(hù)部件的周緣以及第二保護(hù)部件的周緣與研磨槽的底壁接觸的方式，使工件保持夾具在研磨槽內(nèi)自立的狀態(tài)，將工件保持夾具配置在研磨槽內(nèi)，則工件保持夾具在研磨槽內(nèi)以自立的狀態(tài)滾動(dòng)。此處，在第一保護(hù)部件以及第二保護(hù)部件分別形成有與收容空間連通的第一窗部，研磨介質(zhì)能夠通過(guò)虛擬曲面以及第一窗部，在收容空間的內(nèi)外通過(guò)。因此，能夠一邊有效地使工件保持夾具滾動(dòng)一邊使研磨介質(zhì)容易在工件保持夾具的內(nèi)部流動(dòng)。其結(jié)果是，能夠極高效地研磨工件。
[0009]保持部件也可以以工件的主表面與第一保護(hù)部件以及第二保護(hù)部件分別對(duì)置的方式保持工件，第一窗部也可以形成于與工件的主表面中的由研磨介質(zhì)進(jìn)行研磨的研磨對(duì)象區(qū)域?qū)χ玫奈恢?。在該情況下，研磨介質(zhì)通過(guò)第一窗部主要被引導(dǎo)至工件的研磨對(duì)象區(qū)域。因此，能夠高效地研磨工件的研磨對(duì)象區(qū)域。
[0010]也可以還具備覆蓋工件中的不由研磨介質(zhì)進(jìn)行研磨的研磨非對(duì)象區(qū)域的覆蓋部件。在該情況下，由于工件保持夾具具備覆蓋部件，所以相對(duì)于工件的應(yīng)成為非研磨區(qū)域的位置，無(wú)需直接在工件自身安裝覆蓋部件。因此，只要使工件保持于工件保持夾具，就能夠設(shè)定所希望的非研磨區(qū)域。
[0011]工件的周緣與虛擬曲面之間的間隙也可以設(shè)定為比研磨介質(zhì)的外形大。在該情況下，在工件的周緣的附近，難以阻礙研磨介質(zhì)的流動(dòng)。因此，也能夠高效地研磨工件的周緣。
[0012]也可以還具備在第一保護(hù)部件的周緣與第二保護(hù)部件的周緣之間延伸并且連接第一保護(hù)部件與第二保護(hù)部件彼此的連接部件，在連接部件形成有與收容空間連通的第二窗部，研磨介質(zhì)能夠通過(guò)第二窗部，在收容空間的內(nèi)外通過(guò)。在該情況下，通過(guò)連接部件將第一以及第二保護(hù)部件一體化。因此，能夠提高工件保持夾具的強(qiáng)度。另外，由于在連接部件形成有第二窗部，所以研磨介質(zhì)能夠通過(guò)第二窗部，在收容空間的內(nèi)外通過(guò)。因此，能夠使研磨介質(zhì)容易在工件保持夾具的內(nèi)部流動(dòng)。其結(jié)果是，能夠極高效地研磨工件。
[0013]本公開(kāi)的其他觀點(diǎn)的振動(dòng)滾磨方法包括:將工件保持于上述任意工件保持夾具的保持部件；以第一保護(hù)部件的周緣以及第二保護(hù)部件的周緣與振動(dòng)滾磨裝置所具備的研磨槽的底壁接觸的方式，使工件保持夾具在研磨槽內(nèi)自立的狀態(tài)，將工件保持夾具配置在研磨槽內(nèi)；以及由振動(dòng)滾磨裝置使研磨槽擺動(dòng)，由此一邊使工件保持夾具以該工件保持夾具在研磨槽內(nèi)自立的狀態(tài)在研磨槽內(nèi)滾動(dòng)，一邊使研磨介質(zhì)通過(guò)虛擬曲面以及第一窗部在收容空間的內(nèi)外流動(dòng)。
[0014]在本公開(kāi)的其他觀點(diǎn)的振動(dòng)滾磨方法中，以工件整體位于由外形形狀呈比工件大的圓盤(pán)狀的第一保護(hù)部件、第二保護(hù)部件以及以連接第一保護(hù)部件的周緣與第二保護(hù)部件的周緣彼此的方式延伸的環(huán)狀的虛擬曲面所包圍的收容空間內(nèi)的方式，通過(guò)保持部件保持工件。因此，工件不會(huì)從工件保持夾具露出，而是保持留在收容空間內(nèi)的狀態(tài)。因此，即使在以虛擬曲面與振動(dòng)滾磨裝置所具備的研磨槽的底壁接觸的方式在研磨槽內(nèi)配置工件且振動(dòng)滾磨裝置使研磨槽擺動(dòng)的情況下，也能夠避免工件與研磨槽的碰撞。其結(jié)果是，在通過(guò)振動(dòng)滾磨裝置研磨工件時(shí)，能夠保護(hù)工件抑制缺陷產(chǎn)生。另外，在本公開(kāi)的其他觀點(diǎn)的振動(dòng)滾磨方法中，外形形狀呈比工件大的圓盤(pán)狀的第一以及第二保護(hù)部件配置成相互對(duì)置。因此，工件保持夾具呈圓柱形狀的外形。因此，若以第一保護(hù)部件的周緣以及第二保護(hù)部件的周緣與研磨槽的底壁接觸的方式，以工件保持夾具在研磨槽內(nèi)自立的狀態(tài)在研磨槽內(nèi)配置工件保持夾具，則工件保持夾具在研磨槽內(nèi)以自立的狀態(tài)滾動(dòng)。并且，在本公開(kāi)的其他觀點(diǎn)的振動(dòng)滾磨方法中，使研磨介質(zhì)通過(guò)虛擬曲面以及第一窗部，在收容空間的內(nèi)外流動(dòng)。因此，能夠一邊使工件保持夾具有效地滾動(dòng)一邊使研磨介質(zhì)容易在工件保持夾具的內(nèi)部流動(dòng)。其結(jié)果是，能夠極高效地研磨工件。
[0015]根據(jù)本公開(kāi)的振動(dòng)滾磨用的工件保持夾具以及振動(dòng)滾磨方法，在通過(guò)振動(dòng)滾磨裝置研磨工件時(shí)，能夠保護(hù)工件抑制缺陷產(chǎn)生。
【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1(A)表示在局部切斷的狀態(tài)下從側(cè)方觀察保持有工件的工件保持夾具的情況，圖1⑶表示從圖UA)的箭頭A方向觀察圖UA)所示的工件保持夾具的情況。
[0017]圖2(A)表示在局部切斷的狀態(tài)下從側(cè)方觀察振動(dòng)滾磨裝置的情況，圖2(B)表示在局部切斷的狀態(tài)下從圖2 (A)的箭頭B方向觀察振動(dòng)滾磨裝置的情況。
[0018]圖3(A)表示從側(cè)方觀察保持有工件的工件保持夾具的其他例子的情況，圖3 (B)表示從正面觀察圖3(A)所示的工件保持夾具的其他例子的情況。
[0019]圖4(A)表示在切斷的狀態(tài)下從側(cè)方觀察保持有工件的工件保持夾具的其他例子的情況，圖4(B)表示從圖4(A)的箭頭C方向觀察圖4(A)所示的工件保持夾具的其他例子的情況。
[0020]附圖標(biāo)記說(shuō)明:
[0021]1…工件保持夾具；2…振動(dòng)滾磨裝置；10、11…保護(hù)部件；10w、llw…窗部；12...保持部件；13…覆蓋部件；14…安裝