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一種便于微調(diào)的光波導(dǎo)芯片的研磨夾具的制作方法

文檔序號:40511874發(fā)布日期:2024-12-31 13:20閱讀:10來源:國知局
一種便于微調(diào)的光波導(dǎo)芯片的研磨夾具的制作方法

本技術(shù)涉及光波導(dǎo)芯片的研磨夾具,具體為一種便于微調(diào)的光波導(dǎo)芯片的研磨夾具。


背景技術(shù):

1、在半導(dǎo)體、光通訊、機(jī)械加工等行業(yè)中,一般的光波導(dǎo)芯片加工出來以后,不能直接進(jìn)行端面耦合,芯片邊緣凹凸不平,很不光滑,直接進(jìn)行端面耦合損耗較大;為了實現(xiàn)端面耦合,我們需要把芯片端面弄光滑。最常用的研磨拋光方法是使用研磨機(jī),將產(chǎn)品固定在夾具中,放在研磨盤上,加入適量的研磨液,利用研磨盤的旋轉(zhuǎn)與產(chǎn)品產(chǎn)生摩擦,通過研磨時間的控制來達(dá)到減薄、磨平、倒角的目的。

2、對此,中國申請專利號:cn213532157u,公開了一種用于微型懸空光波導(dǎo)芯片的研磨夾具,包括下板和蓋板,下板上設(shè)有單邊帶倒角的凹槽,蓋板上設(shè)有v型槽,凹槽與v型槽配合形成與光波導(dǎo)芯片相匹配的夾持腔,凹槽與蓋板配合固定光波導(dǎo)芯片,本實用新型產(chǎn)生的有益效果是:基板、夾板、倒角夾板和蓋板分別貼緊光波導(dǎo)芯片,有效固定光波導(dǎo)芯片方便光波導(dǎo)芯片的端面研磨;利用v形槽和倒角結(jié)構(gòu)與光波導(dǎo)芯片的懸空結(jié)構(gòu)相對應(yīng),避免破壞光波導(dǎo)芯片上的懸空結(jié)構(gòu);利用熱熔膠固定夾具保證結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。

3、然而,現(xiàn)有的光波導(dǎo)芯片的研磨夾具,不能根據(jù)實際需要對研磨機(jī)構(gòu)兩側(cè)的研磨盤之間距離進(jìn)行調(diào)節(jié),無法適用于多種尺寸芯片,進(jìn)一步不能對夾具進(jìn)行高度調(diào)節(jié),使研磨效率得不到提高。

4、因此,為了解決上述問題,提出一種便于微調(diào)的光波導(dǎo)芯片的研磨夾具。


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種便于微調(diào)的光波導(dǎo)芯片的研磨夾具,以解決上述背景技術(shù)中提到的光波導(dǎo)芯片的研磨夾具,不能根據(jù)實際需要對研磨機(jī)構(gòu)兩側(cè)的研磨盤之間距離進(jìn)行調(diào)節(jié),無法適用于多種尺寸芯片,進(jìn)一步不能對夾具進(jìn)行高度調(diào)節(jié),使研磨效率得不到提高的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的,本實用新型提供如下技術(shù)方案:一種便于微調(diào)的光波導(dǎo)芯片的研磨夾具,包括:底板和主體,所述底板上端設(shè)有主體,所述底板下端固定安裝有支撐腿,且底板上端設(shè)有支撐柱,所述支撐柱兩側(cè)設(shè)有支撐桿,所述主體內(nèi)設(shè)有夾持組件,所述主體內(nèi)設(shè)有升降機(jī)構(gòu),所述升降機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)有固定板,所述固定板上設(shè)有第一連接塊,所述第一連接塊上設(shè)有第一連接桿,所述第一連接桿一端設(shè)有活動套,所述活動套內(nèi)轉(zhuǎn)動安裝有第一逆向螺桿,且活動套一側(cè)設(shè)有第二連接桿,所述第二連接桿一端設(shè)有第二連接塊,所述第二連接塊一側(cè)設(shè)有支撐板,且在主體上設(shè)有研磨機(jī)構(gòu),所述研磨機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)有固定架,所述固定架上端開設(shè)有滑槽,且在固定架一側(cè)設(shè)有手搖輪,所述手搖輪一側(cè)設(shè)有第二逆向螺桿。

3、優(yōu)選的,所述夾持組件內(nèi)設(shè)有活動塊,所述活動塊上端開設(shè)有夾槽,所述夾槽內(nèi)設(shè)有芯片組件,且在活動塊兩側(cè)設(shè)有夾持螺桿,所述夾持螺桿一端轉(zhuǎn)動安裝有夾板,所述夾板一側(cè)與芯片組件貼合。

4、優(yōu)選的,所述第二逆向螺桿一端轉(zhuǎn)動安裝在固定架內(nèi),且在第二逆向螺桿上滑動安裝有滑套,所述滑套上端固定安裝有l(wèi)形板。

5、優(yōu)選的,所述滑套下端固定安裝有限位塊,所述限位塊滑動安裝在滑槽內(nèi),所述l形板上固定安裝有伺服電機(jī),所述伺服電機(jī)輸出端固定安裝有研磨盤。

6、優(yōu)選的,所述固定板固定安裝在主體上,所述第一連接塊一側(cè)固定安裝在固定板上,所述第一連接桿一端活動安裝在第一連接塊上,所述活動套一端活動安裝在第一連接桿上。

7、優(yōu)選的,所述第二連接桿一端活動安裝在活動套上,且第二連接桿另一端活動安裝在第二連接塊上,所述第二連接塊固定安裝在支撐板底端,且支撐板一端穿過固定架固定安裝在活動塊底端。

8、優(yōu)選的,所述固定架固定安裝在主體上,所述第二逆向螺桿一端固定安裝在手搖輪上,所述主體通過支撐柱與支撐桿和底板固定連接。

9、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的有益效果是:

10、1.設(shè)置有升降機(jī)構(gòu),可通過此機(jī)構(gòu)對夾持組件得高度進(jìn)行調(diào)節(jié),通過機(jī)構(gòu)內(nèi)第一逆向螺桿帶動活動套在第一逆向螺桿上滑動,進(jìn)而使第一連接桿與第二連接桿進(jìn)行移動,同時使第一連接塊和第二連接塊向相反方向移動進(jìn)而使支撐板帶動夾持組件進(jìn)行升降工作,從而提高裝置實用性。

11、2.設(shè)置有研磨機(jī)構(gòu),通過此機(jī)構(gòu)可對芯片組件進(jìn)行研磨工作,通過手搖輪帶動第二逆向螺桿轉(zhuǎn)動,通過第二逆向螺桿帶動滑套進(jìn)行移動使滑套帶動l形板進(jìn)行移動,此時通過限位塊在滑槽內(nèi)滑動對滑套進(jìn)行限位工作,在通過l形板上的伺服電機(jī)帶動研磨盤轉(zhuǎn)動對芯片組件兩側(cè)同時進(jìn)行研磨工作,進(jìn)而提高裝置工作效率。



技術(shù)特征:

1.一種便于微調(diào)的光波導(dǎo)芯片的研磨夾具,包括:底板(1)和主體(2),所述底板(1)上端設(shè)有主體(2),所述底板(1)下端固定安裝有支撐腿(3),且底板(1)上端設(shè)有支撐柱(4),所述支撐柱(4)兩側(cè)設(shè)有支撐桿(5),所述主體(2)內(nèi)設(shè)有夾持組件(8),其特征在于:所述主體(2)內(nèi)設(shè)有升降機(jī)構(gòu)(6),所述升降機(jī)構(gòu)(6)內(nèi)設(shè)有固定板(61),所述固定板(61)上設(shè)有第一連接塊(62),所述第一連接塊(62)上設(shè)有第一連接桿(63),所述第一連接桿(63)一端設(shè)有活動套(64),所述活動套(64)內(nèi)轉(zhuǎn)動安裝有第一逆向螺桿(65),且活動套(64)一側(cè)設(shè)有第二連接桿(66),所述第二連接桿(66)一端設(shè)有第二連接塊(67),所述第二連接塊(67)一側(cè)設(shè)有支撐板(68),且在主體(2)上設(shè)有研磨機(jī)構(gòu)(7),所述研磨機(jī)構(gòu)(7)內(nèi)設(shè)有固定架(71),所述固定架(71)上端開設(shè)有滑槽(72),且在固定架(71)一側(cè)設(shè)有手搖輪(73),所述手搖輪(73)一側(cè)設(shè)有第二逆向螺桿(74)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于微調(diào)的光波導(dǎo)芯片的研磨夾具,其特征在于:所述夾持組件(8)內(nèi)設(shè)有活動塊(81),所述活動塊(81)上端開設(shè)有夾槽(82),所述夾槽(82)內(nèi)設(shè)有芯片組件(83),且在活動塊(81)兩側(cè)設(shè)有夾持螺桿(84),所述夾持螺桿(84)一端轉(zhuǎn)動安裝有夾板(85),所述夾板(85)一側(cè)與芯片組件(83)貼合。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種便于微調(diào)的光波導(dǎo)芯片的研磨夾具,其特征在于:所述第二逆向螺桿(74)一端轉(zhuǎn)動安裝在固定架(71)內(nèi),且在第二逆向螺桿(74)上滑動安裝有滑套(75),所述滑套(75)上端固定安裝有l(wèi)形板(76)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種便于微調(diào)的光波導(dǎo)芯片的研磨夾具,其特征在于:所述滑套(75)下端固定安裝有限位塊(77),所述限位塊(77)滑動安裝在滑槽(72)內(nèi),所述l形板(76)上固定安裝有伺服電機(jī)(78),所述伺服電機(jī)(78)輸出端固定安裝有研磨盤(79)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于微調(diào)的光波導(dǎo)芯片的研磨夾具,其特征在于:所述固定板(61)固定安裝在主體(2)上,所述第一連接塊(62)一側(cè)固定安裝在固定板(61)上,所述第一連接桿(63)一端活動安裝在第一連接塊(62)上,所述活動套(64)一端活動安裝在第一連接桿(63)上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于微調(diào)的光波導(dǎo)芯片的研磨夾具,其特征在于:所述第二連接桿(66)一端活動安裝在活動套(64)上,且第二連接桿(66)另一端活動安裝在第二連接塊(67)上,所述第二連接塊(67)固定安裝在支撐板(68)底端,且支撐板(68)一端穿過固定架(71)固定安裝在活動塊(81)底端。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種便于微調(diào)的光波導(dǎo)芯片的研磨夾具,其特征在于:所述固定架(71)固定安裝在主體(2)上,所述第二逆向螺桿(74)一端固定安裝在手搖輪(73)上,所述主體(2)通過支撐柱(4)與支撐桿(5)和底板(1)固定連接。


技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及光波導(dǎo)芯片的研磨夾具技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種便于微調(diào)的光波導(dǎo)芯片的研磨夾具,包括:底板和主體,底板上端設(shè)有主體,底板下端固定安裝有支撐腿,且底板上端設(shè)有支撐柱,支撐柱兩側(cè)設(shè)有支撐桿,主體內(nèi)設(shè)有夾持組件,主體內(nèi)設(shè)有升降機(jī)構(gòu),升降機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)有固定板,固定板上設(shè)有第一連接塊,第一連接塊上設(shè)有第一連接桿,第一連接桿一端設(shè)有活動套,活動套內(nèi)轉(zhuǎn)動安裝有第一逆向螺桿,且活動套一側(cè)設(shè)有第二連接桿,第二連接桿一端設(shè)有第二連接塊,第二連接塊一側(cè)設(shè)有支撐板,且在主體上設(shè)有研磨機(jī)構(gòu),研磨機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)有固定架,固定架上端開設(shè)有滑槽,且在固定架一側(cè)設(shè)有手搖輪,手搖輪一側(cè)設(shè)有第二逆向螺桿,提高裝置實用性。

技術(shù)研發(fā)人員:向美華,黃星武
受保護(hù)的技術(shù)使用者:江蘇浦丹光電技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:20240517
技術(shù)公布日:2024/12/30
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