本技術涉及尾氣處理領域，具體涉及一種多級尾氣處理裝置及化學氣相沉積設備。

背景技術：

1、化學氣相沉積(cvd)設備通過在反應室中通入反應氣體，反應氣體在襯底表面反應，從而形成薄膜。在生長薄膜的過程中，反應室內(nèi)會產(chǎn)生大量的尾氣，尾氣中經(jīng)常包含有毒物質(zhì)(如氯化鎵)和顆粒物，因此，需要對尾氣進行過濾處理。

2、現(xiàn)有技術中，化學氣相沉積設備的尾氣處理裝置通常包括冷卻裝置和過濾裝置，其中冷卻裝置用于降低尾氣的溫度，使其中部分物質(zhì)凝華成固體顆粒，然后再通過過濾裝置除去顆粒物。

3、然而，現(xiàn)有的尾氣處理裝置降溫效果不佳，裝置內(nèi)部溫度分布不均勻，導致尾氣中的部分物質(zhì)達不到凝華的溫度，尾氣處理的不徹底。另外，現(xiàn)有的尾氣處理裝置體積過大，且不方便清理。

4、需要說明的是，上述背景技術的內(nèi)容僅用于更清楚地闡述本實用新型的技術方案，并不必然構成現(xiàn)有技術。

技術實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的是提供一種多級尾氣處理裝置及化學氣相沉積設備，以解決上述的技術問題中的至少一個。

2、為了達到上述目的，本實用新型提供了一種多級尾氣處理裝置，所述多級尾氣處理裝置包括自上而下可拆卸層疊的頂蓋板、冷卻裝置和第一過濾裝置，所述頂蓋板設有進氣口，所述冷卻裝置和第一過濾裝置之間設有隔板，所述隔板包括連通所述冷卻裝置和第一過濾裝置的第一通孔；所述冷卻裝置的冷卻腔內(nèi)包括“冂”形的擋板、冷卻管道和中空立柱，所述擋板包括頂板和側板，所述頂板與所述進氣口間隔相對設置，所述側板與隔板間隔設置，所述中空立柱位于所述擋板的內(nèi)側，所述中空立柱的上端與頂板的下表面間隔設置，所述中空立柱的出氣通道與所述第一通孔連通。

3、可選地，所述頂板通過連接件固定在所述頂蓋板上。

4、可選地，所述中空立柱固定在所述隔板上。

5、可選地，所述冷卻管道內(nèi)通有循環(huán)冷卻液，所述循環(huán)冷卻液的溫度為-25℃～0℃。

6、可選地，所述冷卻裝置的冷卻裝置外側壁的溫度低于35℃。

7、可選地，所述冷卻管道至少包括外圈冷卻管道和內(nèi)圈冷卻管道。

8、可選地，所述側板位于所述外圈冷卻管道和內(nèi)圈冷卻管道之間，所述中空立柱設置在所述內(nèi)圈冷卻管道的內(nèi)側。

9、可選地，所述側板的內(nèi)側設有內(nèi)翅片，所述側板的外側設有外翅片。

10、可選地，所述中空立柱的外側設有立柱翅片。

11、可選地，所述冷卻裝置的冷卻裝置外側壁的內(nèi)側設有翅片。

12、可選地，在水平方向上，所述外翅片的邊緣與所述外圈冷卻管道的邊緣之間的最小距離為d1，所述內(nèi)翅片的邊緣與所述內(nèi)圈冷卻管道的邊緣之間的最小距離為d2，所述立柱翅片的邊緣與所述內(nèi)圈冷卻管道的邊緣之間的最小距離為d3。

13、可選地，d2等于d1，或者d2大于d1。

14、可選地，d3等于d2，或者d3小于d2。

15、可選地，所述第一過濾裝置包括濾芯底板和至少一個濾芯，濾芯固定在所述濾芯底板上，所述濾芯底板上設有與濾芯的中心通道連通的第三通孔。

16、可選地，所述第一過濾裝置還包括壓板，濾芯夾設在所述壓板和濾芯底板之間。

17、可選地，所述濾芯底板上設有支柱，所述壓板上設有與所述支柱對應的貫穿孔，所述支柱上還設有位于所述壓板上方的用于鎖緊濾芯的螺母。

18、可選地，濾芯的數(shù)量為多個，所述壓板上設有至少一個第二通孔，所述第二通孔位于多個濾芯之間的間隙的上方。

19、可選地，所述頂蓋板為平板狀，或者為向上彎曲的穹頂狀。

20、可選地，所述多級尾氣處理裝置還包括位于所述第一過濾裝置下方與所述第一過濾裝置可拆卸安裝的空腔，所述空腔包括排氣口。

21、可選地，在所述頂蓋板和冷卻裝置之間還可拆卸地設有第二過濾裝置。

22、可選地，所述頂板通過連接件固定在所述第二過濾裝置的濾芯底板上。

23、本實用新型還提供了一種化學氣相沉積設備，所述化學氣相沉積設備包括如上所述的多級尾氣處理裝置。

24、本實用新型的有益效果至少包括：

25、(1)采用自上而下可拆卸的層疊結構，能夠減小占地面積，且方便清洗。

26、(2)在冷卻裝置中通過“冂”形的擋板和中空立柱的配合，能夠增加尾氣在冷卻裝置中的流動路徑，增強冷卻效果。

27、(3)在擋板的側板、冷卻裝置外側壁的內(nèi)側和中空立柱的外側設置翅片，能夠增加尾氣在冷卻裝置中的流阻，還有助于將擋板的熱量輻射到冷卻管道上，提高換熱效率。

28、(4)此外，通過設置翅片與冷卻管道的距離，能夠得到溫度分布更均勻的環(huán)境。

技術特征：

1.一種多級尾氣處理裝置，其特征在于，所述多級尾氣處理裝置包括自上而下可拆卸層疊的頂蓋板、冷卻裝置和第一過濾裝置，所述頂蓋板設有進氣口，所述冷卻裝置和第一過濾裝置之間設有隔板，所述隔板包括連通所述冷卻裝置和第一過濾裝置的第一通孔；

2.如權利要求1所述的多級尾氣處理裝置，其特征在于，所述頂板通過連接件固定在所述頂蓋板上。

3.如權利要求1所述的多級尾氣處理裝置，其特征在于，所述中空立柱固定在所述隔板上。

4.如權利要求1所述的多級尾氣處理裝置，其特征在于，所述冷卻管道內(nèi)通有循環(huán)冷卻液，所述循環(huán)冷卻液的溫度為-25℃～0℃。

5.如權利要求4所述的多級尾氣處理裝置，其特征在于，所述冷卻裝置的冷卻裝置外側壁的溫度低于35℃。

6.如權利要求1所述的多級尾氣處理裝置，其特征在于，所述冷卻管道至少包括外圈冷卻管道和內(nèi)圈冷卻管道。

7.如權利要求6所述的多級尾氣處理裝置，其特征在于，所述側板位于所述外圈冷卻管道和內(nèi)圈冷卻管道之間，所述中空立柱設置在所述內(nèi)圈冷卻管道的內(nèi)側。

8.如權利要求7所述的多級尾氣處理裝置，其特征在于，所述側板的內(nèi)側設有內(nèi)翅片，所述側板的外側設有外翅片。

9.如權利要求8所述的多級尾氣處理裝置，其特征在于，所述中空立柱的外側設有立柱翅片。

10.如權利要求9所述的多級尾氣處理裝置，其特征在于，所述冷卻裝置的冷卻裝置外側壁的內(nèi)側設有翅片。

11.如權利要求9所述的多級尾氣處理裝置，其特征在于，在水平方向上，所述外翅片的邊緣與所述外圈冷卻管道的邊緣之間的最小距離為d1，所述內(nèi)翅片的邊緣與所述內(nèi)圈冷卻管道的邊緣之間的最小距離為d2，所述立柱翅片的邊緣與所述內(nèi)圈冷卻管道的邊緣之間的最小距離為d3。

12.如權利要求11所述的多級尾氣處理裝置，其特征在于，d2等于d1，或者d2大于d1。

13.如權利要求11所述的多級尾氣處理裝置，其特征在于，d3等于d2，或者d3小于d2。

14.如權利要求1所述的多級尾氣處理裝置，其特征在于，所述第一過濾裝置包括濾芯底板和至少一個濾芯，濾芯固定在所述濾芯底板上，所述濾芯底板上設有與濾芯的中心通道連通的第三通孔。

15.如權利要求14所述的多級尾氣處理裝置，其特征在于，所述第一過濾裝置還包括壓板，濾芯夾設在所述壓板和濾芯底板之間。

16.如權利要求15所述的多級尾氣處理裝置，其特征在于，所述濾芯底板上設有支柱，所述壓板上設有與所述支柱對應的貫穿孔，所述支柱上還設有位于所述壓板上方的用于鎖緊濾芯的螺母。

17.如權利要求15所述的多級尾氣處理裝置，其特征在于，濾芯的數(shù)量為多個，所述壓板上設有至少一個第二通孔，所述第二通孔位于多個濾芯之間的間隙的上方。

18.如權利要求1所述的多級尾氣處理裝置，其特征在于，所述頂蓋板為平板狀，或者為向上彎曲的穹頂狀。

19.如權利要求1所述的多級尾氣處理裝置，其特征在于，所述多級尾氣處理裝置還包括位于所述第一過濾裝置下方與所述第一過濾裝置可拆卸安裝的空腔，所述空腔包括排氣口。

20.如權利要求1-19任一所述的多級尾氣處理裝置，其特征在于，在所述頂蓋板和冷卻裝置之間還可拆卸地設有第二過濾裝置。

21.如權利要求20所述的多級尾氣處理裝置，其特征在于，所述頂板通過連接件固定在所述第二過濾裝置的濾芯底板上。

22.一種化學氣相沉積設備，其特征在于，所述化學氣相沉積設備包括如權利要求1-21任一所述的多級尾氣處理裝置。

技術總結
本技術公開了一種多級尾氣處理裝置，多級尾氣處理裝置包括自上而下可拆卸層疊的頂蓋板、冷卻裝置和過濾裝置，頂蓋板設有進氣口，冷卻裝置和過濾裝置之間設有隔板，隔板包括連通冷卻裝置和過濾裝置的第一通孔；冷卻裝置的冷卻腔內(nèi)包括“冂”形的擋板、冷卻管道和中空立柱，擋板包括頂板和側板，頂板與所述進氣口間隔相對設置，側板與隔板間隔設置，中空立柱位于所述擋板的內(nèi)側，中空立柱的上端與頂板的下表面間隔設置，中空立柱的出氣通道與所述第一通孔連通。該多級尾氣處理裝置能夠增加尾氣在冷卻裝置中的流動路徑，增強冷卻效果，且占地面積小，方便清洗。

技術研發(fā)人員：王家毅,姜勇,鄭振宇,張鵬,郭世平
受保護的技術使用者：中微半導體設備（上海）股份有限公司
技術研發(fā)日：20231229
技術公布日：2025/1/9