技術(shù)編號(hào):40623324
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及尾氣處理領(lǐng)域,具體涉及一種多級(jí)尾氣處理裝置及化學(xué)氣相沉積設(shè)備。背景技術(shù)、化學(xué)氣相沉積(cvd)設(shè)備通過(guò)在反應(yīng)室中通入反應(yīng)氣體,反應(yīng)氣體在襯底表面反應(yīng),從而形成薄膜。在生長(zhǎng)薄膜的過(guò)程中,反應(yīng)室內(nèi)會(huì)產(chǎn)生大量的尾氣,尾氣中經(jīng)常包含有毒物質(zhì)(如氯化鎵)和顆粒物,因此,需要對(duì)尾氣進(jìn)行過(guò)濾處理。、現(xiàn)有技術(shù)中,化學(xué)氣相沉積設(shè)備的尾氣處理裝置通常包括冷卻裝置和過(guò)濾裝置,其中冷卻裝置用于降低尾氣的溫度,使其中部分物質(zhì)凝華成固體顆粒,然后再通過(guò)過(guò)濾裝置除去顆粒物。、然而,現(xiàn)有的尾氣處理裝置降溫效果不...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。