本申請涉及光伏電池片制造設備，具體涉及一種電極組件及等離子增強型化學氣相淀積設備。

背景技術：

1、pecvd(等離子增強型化學氣相沉積)技術是一種低氣壓下利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極上產生輝光放電，利用輝光放電將部分工藝氣體經一系列化學反應和等離子體反應，最終在樣品表面形成固態(tài)薄膜。作為上述技術的應用，等離子增強型化學氣相沉積設備具有重要作用，該設備在工藝實施過程中需要利用電極組件將外部電源的電力導入設備內部的石墨舟上，通常電極組件安設于爐尾電極法蘭位置，當石墨舟裝入設備內部時，電極組件末端的電極頭將抵接至石墨舟對應的電極孔內。但目前等離子增強型化學氣相沉積設備內部的石墨舟在每次工藝實施后均需要更換，而在更換過程中石墨舟的電極孔與電極組件對接困難，甚至電極組件會與石墨舟的其他部位發(fā)生碰撞，導致電極組件變形或者石墨舟損毀。

技術實現思路

1、為克服上述現有技術的不足，本申請?zhí)峁┝艘环N電極組件及等離子增強型化學氣相淀積設備，具體采用如下技術方案：

2、一種電極組件，其包括電極桿、用于固定所述電極桿的調整套、用于連接爐尾電極法蘭的固定套以及調節(jié)組件；

3、所述調整套同軸連接所述電極桿；所述固定套的軸線位置設有調整孔，所述調整套安設于所述調整孔內；所述調節(jié)組件用于調節(jié)所述調整套與所述固定套的同軸度。

4、上述電極組件通過調節(jié)組件可控制調整套與固定套的同軸度，進而調節(jié)電極組件與石墨舟的電極孔的同軸度，確保電極組件精準插入石墨舟的電極孔。

5、可選的：所述調整套包括固定臺和延伸套，所述延伸套與所述電極桿同軸固定，所述延伸套一端連接所述固定臺，所述延伸套另一端延伸至所述調整孔內，且位于所述調整孔內的延伸套直徑小于所述調整孔的直徑。由于該調整套直徑小于固定套的調整孔直徑，因此調整套相對于調整孔具有一定活動空間，上述調整套相對于固定套可在一定范圍內進行同軸度改變，進而實現電極組件伸入位置的改變。

6、可選的：所述調節(jié)組件包括第一調整塊和第二調整塊，所述第一調整塊套設于所述電極桿上；所述第二調整塊位于所述第一調整塊和調整套之間，且所述第二調整塊套設于所述電極桿上。利用第一調整塊和第二調整塊可實現對調整套連接固定，并保證電極桿與調整套穩(wěn)定連接。

7、可選的：所述第一調整塊中朝向調節(jié)套的端面設有第一沉槽，所述第二調整塊嵌合于所述第一沉槽內；所述第二調整塊中朝向調整套的端面設有第二沉槽，所述調整套嵌合于所述第二沉槽內。通過第一調整塊、第二調整塊以及調整套相互嵌套，可實現三者連接固定，同時還可縮減組裝后體積。

8、可選的：所述電極桿一端設有電極主體，所述電極主體用于導通外部電源與電極桿，所述電極主體連接第一調整塊端面，所述電極主體朝向電極桿的端面設有延伸軸，所述延伸軸的軸線位置設有連接孔，所述連接孔與電極桿端部固定連接。外部電源可通過電極主體將電力導入電極桿上，并利用電極桿引入石墨舟上，實現石墨舟供電。

9、可選的：所述延伸軸周向表面設有隔套，所述隔套用于所述第一調整塊與所述電極桿保持絕緣且隔絕熱量傳遞。為避免電極組件外部帶電，在第一調整套與電極桿之間設有隔套，可避免第一調整塊帶電，導致觸電風險，同時電極桿工作時，會傳到部分熱量，為避免電極組件整體過熱，利用隔套可隔絕熱量傳遞。

10、可選的：所述調整孔中朝向調整套的邊沿設有錐形密封面，所述錐形密封面上設有第一密封圈，所述第一密封圈用于封堵所述調整孔與所述調整套的間隙。通過第一封圈可確保調整套與固定套之間密封，避免外界氣體由電極組件進入設備內部。

11、可選的：所述第一沉槽與第二調整塊端面之間設有第二密封圈，所述第二密封圈用于封堵所述第一調整塊與所述第二調整塊的間隙；所述第二沉槽與所述調整套之間設有第三密封圈，所述第三密封圈用于封堵所述第二調整塊與所述調整套的間隙。通過第二密封圈和第三密封圈可確保電極組件內部與外界隔絕，外部氣體無法通過電極組件進入設備內部，進而保證設備內部真空。

12、可選的：所述調節(jié)組件還包括若干緊固件，所述第一調整塊內周向分布多個通孔，每個所述通孔對應一個所述緊固件，所述緊固件一端穿過所述通孔后連接至所述固定套上，通過調整不同位置的緊固件的松緊，改變所述調整套與所述固定套的同軸度。上述緊固件一方面可將第一調整塊、固定套以及兩者之間的部件進行組裝固定，另一方面還可間接控制調整套與固定套的同軸度，實現電極組件校準。

13、此外本申請還公開有一種等離子增強型化學氣相沉積設備，包括爐尾電極法蘭，其中該爐尾電極法蘭上連接有如上述的電極組件。

14、有益效果

15、本申請的技術方案獲得了下列有益效果：

16、(1)本申請的電極組件中通過固定套連接于爐尾電機法蘭上，并且通過調節(jié)調整套與固定套的同軸度，可調節(jié)電極桿末端所連接的電極頭與石墨舟的電極孔的同軸度，確保電極組件精準插入石墨舟的電極孔，避免電極組件撞擊石墨舟，避免造成電極桿彎曲變形或者電極頭、石墨舟損壞。

17、(2)本申請的電極組件中通過第一調整塊和第二調整塊作為調節(jié)組件的主體結構，并利用多個周向分布的緊固件將第一調整塊與固定套連接，實現整體結構的組裝，同時通過改變不同位置緊固件的松緊，可通過改變調整套相對于固定套的同軸度，進而實現電極組件校準，以確保電極組件與石墨舟電極孔精準對接。

18、(3)本申請的電極組件中分別在第一調整塊、第二調整塊、調整套、固定套的連接間隙內設有密封圈，可確保電極組件整體密封，保證電極組件安裝于爐尾電機法蘭時，設備內部仍滿足真空度要求。

技術特征：

1.一種電極組件，其特征在于，包括電極桿(11)、用于固定所述電極桿(11)的調整套(7)、用于連接爐尾電極法蘭的固定套(9)以及調節(jié)組件；

2.根據權利要求1所述的電極組件，其特征在于，所述調整套(7)包括固定臺(702)和延伸套(701)，所述延伸套(701)與所述電極桿(11)同軸固定，所述延伸套(701)一端連接所述固定臺(702)，所述延伸套(701)另一端延伸至所述調整孔(901)內，且位于所述調整孔(901)內的延伸套(701)直徑小于所述調整孔(901)的直徑。

3.根據權利要求2所述的電極組件，其特征在于，所述調節(jié)組件包括第一調整塊(2)和第二調整塊(5)，所述第一調整塊(2)套設于所述電極桿(11)上；所述第二調整塊(5)位于所述第一調整塊(2)和調整套(7)之間，且所述第二調整塊(5)套設于所述電極桿(11)上。

4.根據權利要求3所述的電極組件，其特征在于，所述第一調整塊(2)中朝向調整套(7)的端面設有第一沉槽，所述第二調整塊(5)嵌合于所述第一沉槽內；所述第二調整塊(5)中朝向調整套(7)的端面設有第二沉槽，所述調整套(7)嵌合于所述第二沉槽內。

5.根據權利要求3所述的電極組件，其特征在于，所述電極桿(11)一端設有電極主體(1)，所述電極主體(1)用于導通外部電源與電極桿(11)，所述電極主體(1)連接第一調整塊(2)端面；所述電極主體(1)朝向電極桿(11)的端面設有延伸軸(101)，所述延伸軸(101)上設有連接孔，所述連接孔與電極桿(11)端部固定連接。

6.根據權利要求5所述的電極組件，其特征在于，所述延伸軸(101)的周向表面設有隔套(3)，所述隔套(3)用于所述第一調整塊(2)與所述電極桿(11)保持絕緣以及隔絕熱量傳遞。

7.根據權利要求2所述的電極組件，其特征在于，所述調整孔(901)中朝向調整套(7)的邊沿設有錐形密封面(902)，所述錐形密封面(902)上設有第一密封圈(8)，所述第一密封圈(8)用于封堵所述調整孔(901)與所述調整套(7)的間隙。

8.根據權利要求4所述的電極組件，其特征在于，所述第一沉槽與第二調整塊(5)端面之間設有第二密封圈(4)，所述第二密封圈(4)用于封堵所述第一調整塊(2)與所述第二調整塊(5)的間隙；所述第二沉槽與所述調整套(7)之間設有第三密封圈(6)，所述第三密封圈(6)用于封堵所述第二調整塊(5)與所述調整套(7)的間隙。

9.根據權利要求3所述的電極組件，其特征在于，所述調節(jié)組件還包括若干緊固件(13)，所述第一調整塊內周向分布多個通孔(201)，每個所述通孔(201)對應一個所述緊固件(13)，所述緊固件(13)一端穿過所述通孔(201)后連接至所述固定套(9)上，通過調整不同位置的緊固件(13)的松緊，改變所述調整套(7)與所述固定套(9)的同軸度。

10.一種等離子增強型化學氣相沉積設備，包括爐尾電極法蘭，其特征在于，所述爐尾電極法蘭上連接有如權利要求1-9任一項所述的電極組件。

技術總結
本申請涉及一種電極組件及及等離子增強型化學氣相淀積設備，其包括電極桿、用于固定所述電極桿的調整套、用于連接爐尾電極法蘭的固定套以及調節(jié)組件；所述調整套同軸連接所述電極桿；所述固定套的軸線位置設有調整孔，所述調整套安設于所述調整孔內；所述調節(jié)組件用于調節(jié)所述調整套與所述固定套的同軸度；上述電極組件通過固定套連接于爐尾電機法蘭上，并且通過調節(jié)調整套與固定套的同軸度，可調節(jié)電極桿末端所連接的電極頭與石墨舟的電極孔的同軸度，確保電極組件精準插入石墨舟的電極孔，避免電極組件撞擊石墨舟，避免造成電極桿彎曲變形或者電極頭、石墨舟損壞。

技術研發(fā)人員：王玉明,郭向陽,程海良,楊寶海
受保護的技術使用者：營口金辰機械股份有限公司
技術研發(fā)日：20231207
技術公布日：2024/12/30