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技術(shù)編號(hào)：40505854

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本申請(qǐng)涉及光伏電池片制造設(shè)備，具體涉及一種電極組件及等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相淀積設(shè)備。背景技術(shù)、pecvd(等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積)技術(shù)是一種低氣壓下利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極上產(chǎn)生輝光放電，利用輝光放電將部分工藝氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng)，最終在樣品表面形成固態(tài)薄膜。作為上述技術(shù)的應(yīng)用，等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備具有重要作用，該設(shè)備在工藝實(shí)施過(guò)程中需要利用電極組件將外部電源的電力導(dǎo)入設(shè)備內(nèi)部的石墨舟上，通常電極組件安設(shè)于爐尾電極法蘭位置，當(dāng)石墨舟裝入設(shè)備內(nèi)部時(shí)，電極組件末端的電...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。

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