技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種能夠檢測研磨器具是否與晶片等基板接觸，進而能夠進行研磨器具的位置檢測的研磨裝置以及研磨方法。研磨裝置具有：保持基板(W)的基板保持部(32)；用于將研磨器具(42)向基板W的面按壓的按壓部件(44)；對按壓部件(44)施加按壓力的致動器(45)；使按壓部件(44)沿著基板(W)的面移動的馬達驅(qū)動型移動裝置(55)；在向馬達驅(qū)動型移動裝置(55)供給的馬達電流小于閾值的情況下，發(fā)出警報的監(jiān)視裝置(65)。

技術(shù)研發(fā)人員：上村健司;小林賢一
受保護的技術(shù)使用者：株式會社荏原制作所
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.17
技術(shù)公布日：2017.08.29