本實用新型屬于顯示屏制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種蒸鍍裝置。

背景技術(shù)：

蒸鍍是在真空條件下，將材料加熱并鍍到基底上的一種方法。現(xiàn)有的蒸鍍裝置，例如，OLED線源蒸鍍裝置，坩堝放置在內(nèi)腔室(Inner House)中，蒸鍍的過程中，汽化的材料充滿整個內(nèi)腔室，蒸鍍結(jié)束后，剩余的材料會凝結(jié)在內(nèi)腔室的室壁上。這種蒸鍍裝置，一方面由于內(nèi)腔室內(nèi)部難以清洗，造成蒸鍍材料的污染；另一方面，由于蒸鍍高溫的反復作用，導致殘留在內(nèi)腔室室壁的材料裂解，即使通過先人工鏟除后空燒的方法收集了殘留材料，也不能再加以利用，造成了材料的浪費。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型針對如何解決蒸鍍設(shè)備難以清洗以及蒸鍍的剩余材料難以再利用的問題，提出了一種蒸鍍裝置，包括：蒸鍍坩堝、蒸鍍防沸板和頂蓋，

所述蒸鍍坩堝上設(shè)置有所述蒸鍍防沸板；

所述蒸鍍防沸板和頂蓋之間設(shè)置有蒸鍍腔室；

所述蒸鍍腔室連接有與所述蒸鍍腔室連通的可拆卸的冷卻室；

還包括設(shè)置在所述冷卻室和所述蒸鍍腔室之間的隔板，用于導通或分隔所述蒸鍍腔室和冷卻室。

優(yōu)選地，還包括：

冷卻層，設(shè)置于所述冷卻室的外壁。

優(yōu)選地，還包括：

控制元件，用于調(diào)整所述隔板的位置，以導通或分隔所述蒸鍍 腔室和冷卻室。

優(yōu)選地，所述控制元件包括：

驅(qū)動元件，用于驅(qū)動所述隔板，以隔開或?qū)ㄋ稣翦兦皇液屠鋮s室。

優(yōu)選地，所述控制元件包括：

復位元件，用于使導通或分隔所述蒸鍍腔室和冷卻室的隔板復原。

優(yōu)選地，還包括密封壁；

所述密封壁設(shè)置在所述蒸鍍坩堝開口邊緣，用于密封所述蒸鍍坩堝開口與所述坩堝防沸板之間的縫隙。

優(yōu)選地，所述密封壁包括平行于所述蒸鍍防沸板的第一壁面和垂直于所述蒸鍍防沸板的第二壁面，所述第二壁面用于夾持蒸鍍坩堝的外壁。

優(yōu)選地，所述蒸鍍防沸板與所述密封壁通過凹槽嚙合。

優(yōu)選地，還包括：容納腔和第一彈性元件；

所述容納腔設(shè)置在所述蒸鍍坩堝的外壁上；

所述第一彈性元件的一端連接所述容納腔的內(nèi)壁，另一端連接所述密封壁。

優(yōu)選地，還包括：

第一密封板，用于密封所述蒸鍍腔室頂部至所述密封壁底部；

第二密封板，用于密封所述容納腔。

本實用新型提供的蒸鍍裝置在蒸鍍過程中，隔板將冷卻室和蒸鍍腔室分隔，防止蒸鍍過程中的高溫氣體進入冷卻室，形成難以清洗的殘余材料層；蒸鍍結(jié)束后，隔板打開，剩余蒸鍍材料進入冷卻室進行冷卻，冷卻室可拆卸，在對蒸鍍裝置進行清洗時，拆卸冷卻室進行便可進行清洗。一方面，該裝置阻止了高溫對剩余蒸鍍材料的反復作用而產(chǎn)生的裂解，以使剩余蒸鍍材料可以再利用；另一方 面，該裝置的冷卻室可拆卸，方便對冷卻室進行清洗；此外，相比于具有較大體積的內(nèi)腔室的蒸鍍裝置，本實施例中提供的蒸鍍裝置中的蒸鍍腔室可使得蒸鍍過程中氣體更快達到蒸汽壓。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實用新型實施例提供的蒸鍍裝置的主視圖；

圖2是本實用新型實施例提供的用于與圖1中的蒸鍍裝置進行對比的另一種蒸鍍裝置的主視圖；

圖3是本實用新型實施例提供的另一種蒸鍍裝置的主視圖；

圖4是本實用新型實施例提供的圖3中的蒸鍍裝置的側(cè)視圖；

圖5是本實用新型實施例提供的圖3中的蒸鍍裝置中的蒸鍍防沸板和密封壁結(jié)合的示意圖；

圖6是本實用新型實施例提供的蒸鍍裝置的第一密封板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7是本實用新型實施例提供的蒸鍍裝置的第二密封板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8是本實用新型實施例提供的圖3中的蒸鍍裝置在安裝了第一密封板后的主視圖；

圖9是本實用新型實施例提供的圖3中的蒸鍍裝置在安裝了第二密封板后的主視圖；

附圖標記說明：

101-蒸鍍防沸板；102-頂蓋；103-蒸鍍腔室；104-冷卻室；105-隔板；106-蒸鍍坩堝；107-加熱絲；108-蒸鍍噴嘴；201-內(nèi)腔室；202- 外腔室的室壁；301-冷卻層；302-復位元件；303-驅(qū)動元件；304-容納腔；305-密封壁；306-第一彈性元件；307-支撐結(jié)構(gòu)；401-第二密封板；402-第一密封板。

具體實施方式

為使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

圖1是本實用新型實施例提供的蒸鍍裝置的主視圖，參見圖1，該蒸鍍裝置，包括：蒸鍍坩堝106、蒸鍍防沸板101和頂蓋102，

蒸鍍坩堝106上設(shè)置有蒸鍍防沸板101；

蒸鍍防沸板101和頂蓋102之間設(shè)置有蒸鍍腔室103；

蒸鍍腔室103連接有與蒸鍍腔室103連通的可拆卸的冷卻室104；

還包括設(shè)置在冷卻室104和蒸鍍腔室103之間的隔板105，用于導通或分隔蒸鍍腔室103和冷卻室104。

可理解的是，蒸鍍坩堝106的下面是加熱絲107，以對蒸鍍坩堝106進行加熱。頂蓋102上還設(shè)置有蒸鍍噴嘴108，加熱后的氣體通過蒸鍍噴嘴108對需要進行蒸鍍的基板進行蒸鍍。

本實用新型提供的蒸鍍裝置在蒸鍍過程中，隔板105將冷卻室104和蒸鍍腔室103分隔，防止蒸鍍過程中的高溫氣體進入冷卻室104，形成難以清洗的殘余材料層；蒸鍍結(jié)束后，隔板105打開，剩余蒸鍍材料進入冷卻室104進行冷卻，冷卻室可拆卸，在對蒸鍍裝置進行清洗時，拆卸冷卻室104進行便可進行清洗。

作為圖1中提供的蒸鍍裝置的對比裝置，參見圖2，相比于圖1中 的蒸鍍轉(zhuǎn)置，該蒸鍍裝置沒有蒸鍍腔室103、冷卻室104和隔板105，取而代之的是內(nèi)腔室201。圖2中的蒸鍍裝置還包括外腔室(圖2中的202是外腔室的室壁)，整個蒸鍍裝置設(shè)置在外腔室中，起到保護整個蒸鍍裝置的作用。

圖2提供的蒸鍍裝置在蒸鍍的過程中，加熱絲107對坩堝106內(nèi)的蒸鍍材料進行加熱，使得蒸鍍坩堝106內(nèi)的蒸鍍材料汽化，汽化后的蒸鍍材料通過蒸鍍防沸板101上的通孔進入內(nèi)腔室201。內(nèi)腔室201內(nèi)的蒸鍍材料在達到預(yù)定的蒸汽壓后，會從頂蓋102上的蒸鍍噴嘴108噴出，以蒸鍍需要進行的基板。在這個過程中，高溫的氣體進入內(nèi)腔室201,在內(nèi)腔室201的室壁上沉積，由于溫度較高，蒸鍍材料會與內(nèi)腔室201的室壁緊密結(jié)合，且內(nèi)腔室201體積較大，不便拆卸，造成內(nèi)腔室201的室壁上的蒸鍍材料難以清洗。殘余在內(nèi)腔室201室壁上的蒸鍍材料會對下一次蒸鍍的蒸鍍材料造成污染。此外，即使采用先鏟除后燒空的方法將材料從內(nèi)腔室201的室壁上清除且收集起來，由于在蒸鍍過程中高溫的反復作用，這些材料也會產(chǎn)生裂解，不能再利用。

相比于圖2中的蒸鍍裝置，圖1中的蒸鍍裝置蒸鍍的過程中汽化的蒸鍍材料不能進入冷卻室104，防止了高溫汽化的蒸鍍材料在冷卻室104的室壁上形成緊密結(jié)合的沉積層，難以清除，另一方面也防止了高溫對冷卻室104的室壁的反復作用而導致沉積在冷卻室104的室壁上的蒸鍍材料發(fā)生裂解，不能再利用。

圖1中的蒸鍍裝置在蒸鍍結(jié)束后，打開隔板105，使得蒸鍍材料進入冷卻室104。此時，加熱絲107已經(jīng)停止對蒸鍍坩堝106的加熱，蒸鍍材料在冷卻室104的室壁上形成的冷卻層與冷卻室104的室壁的結(jié)合力較小，便于清洗。冷卻室104可拆卸地連接于蒸鍍腔室103，便于將冷卻室104拆卸進行清洗。

另一方面，相比于圖2中的蒸鍍裝置，該蒸鍍裝置蒸鍍腔室103的體積小于圖2中內(nèi)腔室201的體積，可使得蒸鍍材料較快的達到蒸汽 壓，對需要進行蒸鍍的基板進行蒸鍍。

本實施例提供的蒸鍍裝置一方面阻止了高溫對剩余蒸鍍材料的反復作用而產(chǎn)生的裂解，以使剩余蒸鍍材料可以再利用；另一方面，冷卻室104可拆卸，方便對冷卻室104進行清洗；此外，相比于具有較大體積的內(nèi)腔室201的蒸鍍裝置，本實施例中提供的蒸鍍裝置中的蒸鍍腔室103可使得蒸鍍過程中氣體更快達到蒸汽壓。

作為一種更為具體的實施例，參見圖3，本實施例提供的蒸鍍裝置為OLED線源蒸鍍裝置，其在圖1中提供的蒸鍍裝置的基礎(chǔ)上還包括：

冷卻層301，設(shè)置于冷卻室104的外壁。

冷卻層301可以是循環(huán)氮氣，也可以是循環(huán)冷卻水，或者其它用于冷卻的物質(zhì)來降低冷卻室104內(nèi)的溫度。冷卻層301降低冷卻室104內(nèi)的溫度，使得進入到冷卻室104內(nèi)的蒸鍍材料快速沉積。

更進一步地，該蒸鍍裝置還包括：

控制元件，用于調(diào)整隔板105的位置，以導通或分隔蒸鍍腔室103和冷卻室104。

具體地，該控制元件包括：驅(qū)動元件303和與之相配合的復位元件302。

驅(qū)動元件303，用于驅(qū)動隔板105，以隔開或?qū)ㄕ翦兦皇?03和冷卻室104。

復位元件302，用于使導通或分隔蒸鍍腔室103和冷卻室104的隔板復原。

驅(qū)動元件303可以是各種機械驅(qū)動元件或電磁驅(qū)動元件，而復位元件302優(yōu)選采用彈性元件。驅(qū)動元件303用于驅(qū)動隔板105分隔蒸鍍腔室103和冷卻室104，而復位元件302用于使分隔蒸鍍腔室103和冷卻室104的隔板105復原。

具體地，驅(qū)動元件303可以是電磁驅(qū)動元件或機械驅(qū)動元件； 當驅(qū)動元件為機械驅(qū)動元件時，可以采用油缸、氣缸或電機驅(qū)動的絲杠實現(xiàn)，該驅(qū)動元件的第一端固定在隔板105上，第二端固定在與隔板105相鄰或者相對的冷卻室104的內(nèi)壁上。

當驅(qū)動元件303為電磁元件，可以不設(shè)置復位元件302，而用安裝隔板105上的第一電磁元件和安裝在蒸鍍腔室103或冷卻室104的室壁上的第二電磁元件來控制隔板105的位置。向第二電磁元件施加第一電壓信號使第二電磁元件產(chǎn)生與第一電磁元件相同的磁場，在磁場力的作用下，驅(qū)動第一電磁元件向相反的方向運動，使第一電磁元件遠離第二電磁元件，隔板105在第一電磁元件驅(qū)動下隔開蒸鍍腔室103和冷卻室104。反之，向第二電磁元件施加與第一電壓信號相反的第二電壓信號，使第二電磁元件產(chǎn)生與第一電磁元件相反的磁場，在磁場力的作用下，驅(qū)動第一電磁元件向相向的方向運動，使第一電磁元件靠近第二電磁元件，隔板105在第一電磁元件驅(qū)動下導通(復原)蒸鍍腔室103和冷卻室104。

當然也可以安裝與驅(qū)動元件303配合的復位元件302，如圖3所示，利用彈性元件作為復位元件302，以使隔板105隔開蒸鍍腔室103和冷卻室104，利用設(shè)置于蒸鍍腔室103的側(cè)壁上的電磁元件作為驅(qū)動元件303，以分隔蒸鍍腔室103和冷卻室104。具體來說，當復位元件302優(yōu)選為彈性元件(例如，彈簧)時，彈性元件的一端連接冷卻室104的內(nèi)壁，另一端連接隔板105，向冷卻室104方向拉開隔板105(這種情況下，當擋板隔開蒸鍍腔室103和冷卻室104時，彈性元件處于拉伸狀態(tài)，且擋板105可向冷卻室104方向運動，如圖3所示)。

控制元件的設(shè)置可以更加便捷地在蒸鍍過程中和蒸鍍結(jié)束后，控制隔板105的位置。

更進一步地，該蒸鍍裝置還包括密封壁305，設(shè)置在蒸鍍坩堝106開口邊緣，用于密封蒸鍍坩堝106開口與坩堝防沸板101之間的 縫隙。

密封壁305可以是Invar合金薄片，密封壁305用于密封蒸鍍坩堝106，使得蒸鍍坩堝106內(nèi)的汽化的蒸鍍材料只能通過蒸鍍防沸板101上的開口進入蒸鍍腔室103。

密封壁305可以設(shè)置蒸鍍防沸板101和蒸鍍坩堝106外援，密封蒸鍍防沸板101和蒸鍍坩堝106之間的縫隙，也可以是設(shè)置在蒸鍍坩堝106與蒸鍍防沸板101結(jié)合的邊沿位置處，還可以是如圖3中所示的結(jié)構(gòu)，位于蒸鍍坩堝106的上方，并在蒸鍍坩堝106和蒸鍍防沸板101之間支撐一定的空間。在圖3中的這種結(jié)構(gòu)中，蒸鍍防沸板101直接放置在密封壁305上，使得坩堝內(nèi)的氣體直接從密封壁305和蒸鍍防沸板101上相對應(yīng)的通孔中進入蒸鍍腔室103。在圖3的這種結(jié)構(gòu)中，密封壁305對蒸鍍坩堝106整個上方區(qū)域進行密封，具有更好的氣密性。

具體地，密封壁305包括平行于蒸鍍防沸板101的第一壁面和垂直于蒸鍍防沸板101的第二壁面，該第二壁面用于夾持蒸鍍坩堝106的外壁。

蒸鍍防沸板101放置在密封壁305的第一壁面上，密封壁305的第一壁面夾持在蒸鍍坩堝106的邊緣，以將整個密封壁305支撐在蒸鍍坩堝106的上方。同時，垂直設(shè)置的第二壁面可貼合于蒸鍍坩堝106的側(cè)壁上，也防止汽化的蒸鍍材料從蒸鍍坩堝106的邊緣處逸出。

進一步地，蒸鍍防沸板101與密封壁305通過凹槽嚙合。如圖5所示，在密封壁305和蒸鍍防沸板101接觸的區(qū)域設(shè)置凹槽嚙合的結(jié)構(gòu)，防止蒸鍍坩堝106內(nèi)汽化的蒸鍍材料從蒸鍍坩堝106邊緣處或者從蒸鍍防沸板101與密封壁305結(jié)合處逸出，提高了蒸鍍坩堝106的氣密性。

進一步地，該蒸鍍裝置還包括：容納腔304和第一彈性元件306；

容納腔304設(shè)置在蒸鍍坩堝106的外壁上；

第一彈性元件306的一端連接容納腔304的內(nèi)壁，另一端連接密封壁305。

容納腔304對冷卻室104具有支撐作用，同時，冷卻室104和蒸鍍腔室103連接的位置位于中空的容納腔304中，防止了在冷卻室104和蒸鍍腔室103連接不緊密的情況下造成的氣體泄漏。

第一彈性元件306可以是彈簧，其通過彈力將密封壁305緊貼于蒸鍍坩堝106上，一方面對整個密封壁305具有固定作用，另一方面，在第一彈性元件306的作用下，密封壁305可以更加緊密的貼合于蒸鍍坩堝106的側(cè)壁上，增強了蒸鍍坩堝106的氣密性。

進一步地，如圖4所示，該蒸鍍裝置還包括第一密封板402和第二密封板401，第一密封板402的結(jié)構(gòu)如圖6所示，第二密封板401的結(jié)構(gòu)如圖7所示。

第一密封板402，用于密封蒸鍍腔室103頂部至密封壁305底部，參見圖8。

第二密封板401，用于密封容納腔304，參見圖9。

為了保證第一密封板402和第二密封板401起到更好的密封作用，在第一密封板402和第二密封板401的內(nèi)側(cè)均設(shè)置有石墨墊片。此外，石墨墊片還具有熱隔絕的作用，防止了蒸鍍裝置內(nèi)的熱量的散失。當然，在蒸鍍防沸板101與密封壁305結(jié)合處也可以設(shè)置石墨墊片，以達到更佳的密封效果。

為了增強蒸鍍腔室103的穩(wěn)固性，還可以在蒸鍍腔室103的邊緣處設(shè)置支撐結(jié)構(gòu)，如圖3中的307所示。支撐結(jié)構(gòu)307的一端設(shè)置在頂蓋102上，另一端設(shè)置在蒸鍍防沸板101上，以穩(wěn)定蒸鍍腔室103。支撐結(jié)構(gòu)307可以設(shè)置在蒸鍍防沸板101的四個拐角處，或者均勻的設(shè)置在蒸鍍防沸板101上，只要能夠保證每一支撐結(jié)構(gòu)307上的受力是均勻的即可。

本實施例提供的蒸鍍裝置，在蒸鍍前將蒸鍍坩堝106抽出，放入蒸鍍材料。將盛有蒸鍍材料的蒸鍍坩堝106推入蒸鍍裝置中，蓋上第一密封板402和第二密封板401。關(guān)閉隔板105，以將冷卻室104和蒸鍍腔室103隔開，然后，通過加熱絲107加熱蒸鍍坩堝106。待蒸鍍坩堝106中的材料汽化，且在蒸鍍腔室103中達到預(yù)設(shè)的蒸汽壓后，通過設(shè)置在頂蓋102上的蒸鍍噴嘴108對需要進行蒸鍍的基板進行蒸鍍。蒸鍍結(jié)束后，停止加熱絲107的加熱作用，打開隔板105，以導通冷卻室104和蒸鍍腔室103，使汽化的蒸鍍材料進入冷卻室104，沉積在冷卻室104的室壁上。拆卸冷卻室104進行清洗，收集冷卻室104內(nèi)的蒸鍍材料以再利用。

以上結(jié)合附圖詳細說明了本實用新型的技術(shù)方案，由于現(xiàn)有技術(shù)中沒有考慮到顯示裝置的撓性材料卷曲后再伸展時，無法保持平整，進而影響顯示產(chǎn)品的顯示效果的問題。通過本申請的技術(shù)方案，壓緊裝置的設(shè)置能夠在在卷簾展開后，壓緊整個卷簾或者卷簾的部分區(qū)域上，以使卷簾上的褶皺在壓緊結(jié)構(gòu)的壓力作用下平整展開，解決了顯示產(chǎn)品中，撓性材料的卷簾卷曲后再伸展時，無法保持平整，進而影響顯示產(chǎn)品的顯示效果的問題。

在本實用新型中，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。術(shù)語“多個”指兩個或兩個以上，除非另有明確的限定。

以上所述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本實用新型，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。