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一種絨面鋁摻雜氧化鋅薄膜的制備方法與流程

文檔序號(hào):12646306閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種絨面鋁摻雜氧化鋅薄膜的制備方法,包括以下步驟:S1、取玻璃基底,對(duì)玻璃基底表面進(jìn)行羥基化處理;S2、以固含量0.01~0.10%的聚苯乙烯小球微乳液在羥基化的玻璃基底表面制備聚苯乙烯模板層;S3、采用直流磁控濺射工藝,在聚苯乙烯模板層上制備厚度為500~900nm的AZO薄膜;S4、通過(guò)熱處理去除聚苯乙烯模板層,使AZO薄膜分為鏤空的上AZO薄膜層與下AZO薄膜層;S5、在上AZO薄膜層表面制備膠粘劑層,將上AZO薄膜層轉(zhuǎn)移到另一基板表面,最終得到絨面鋁摻雜氧化鋅薄膜;舍棄傳統(tǒng)的絨面制備方法,避免了傳統(tǒng)刻蝕過(guò)程難以控制、環(huán)境污染較大的缺點(diǎn),工藝簡(jiǎn)單、成本低。

技術(shù)研發(fā)人員:湯永康;金良茂;姚婷婷;馬立云;甘治平;王東
受保護(hù)的技術(shù)使用者:蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計(jì)研究院;中國(guó)建材國(guó)際工程集團(tuán)有限公司
文檔號(hào)碼:201611188162
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.21
技術(shù)公布日:2017.06.13

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