一種根據(jù)膜層均勻性曲線變化即時可調(diào)擋板機構(gòu)及其調(diào)節(jié)方法
【專利摘要】本發(fā)明一種根據(jù)膜層均勻性曲線變化即時可調(diào)擋板機構(gòu)，包括安裝在真空腔體外壁上的第一轉(zhuǎn)動手柄和第二轉(zhuǎn)動手柄、安裝在真空腔體內(nèi)部的傳動機構(gòu)；本發(fā)明還包括一種基于上述機構(gòu)的調(diào)節(jié)方法，該方法可在大氣狀態(tài)下調(diào)節(jié)安裝在腔體外壁上的轉(zhuǎn)動手柄，通過傳動機構(gòu)傳遞牽引真空腔體內(nèi)部活動擋板前后移動從而達均勻性要求，同時根據(jù)均勻性變化及時調(diào)整，實施簡單快捷且效果顯著。
【專利說明】—種根據(jù)膜層均勻性曲線變化即時可調(diào)擋板機構(gòu)及其調(diào)節(jié)方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種鍍膜膜層厚度即時可調(diào)擋板機構(gòu)及其調(diào)節(jié)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]真空磁控濺射鍍膜線可大規(guī)模生產(chǎn)低輻射鍍膜玻璃以及陽光控制膜玻璃，隨著社會的發(fā)展人們對節(jié)能玻璃的要求越來越嚴格，目前鍍膜行業(yè)已經(jīng)開發(fā)出雙銀低輻射鍍膜節(jié)能玻璃，但是在生產(chǎn)雙銀低輻射鍍膜玻璃的同時對膜層均勻性要求越來越高，通過以往的氣氛補償調(diào)節(jié)已經(jīng)不能滿足產(chǎn)品對薄膜均勻性要求，通過在腔體內(nèi)部安裝擋板可滿足調(diào)節(jié)膜層厚度要求，但是擋板安裝位置無法一次安裝到位，需要根據(jù)實際濺射膜厚多次調(diào)節(jié)方可達到最佳均勻性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的克服了以上的不足，提供一種簡單易操作的設備根據(jù)膜層均勻性曲線變化即時可調(diào)擋板機構(gòu)及其調(diào)節(jié)方法。
[0004]一種根據(jù)膜層均勻性曲線變化即時可調(diào)擋板機構(gòu)，包括安裝在真空腔體外壁上的第一轉(zhuǎn)動手柄和第二轉(zhuǎn)動手柄、安裝在真空腔體內(nèi)部的傳動機構(gòu)；所述傳動機構(gòu)包括與所述第一轉(zhuǎn)動手柄依次傳動連接的第一齒輪、第二齒輪、第一傳動軸及第三齒輪；與第二轉(zhuǎn)動手柄依次傳動連接的第五齒輪、第六齒輪、第二傳動軸及第七齒輪；以及齒輪箱；所述齒輪箱上安裝有齒輪箱第一齒輪、齒輪箱第二齒輪、齒輪箱內(nèi)部齒條軸及擋板；所述齒輪箱第一齒輪與所述第三齒輪傳動連接；所述齒輪箱第二齒輪與所述第七齒輪傳動連接；所述齒輪箱第一齒輪轉(zhuǎn)動帶動齒輪箱內(nèi)部齒條軸前后移動，所述齒條軸上連接擋板。
[0005]所述第一轉(zhuǎn)動手柄和第二轉(zhuǎn)動手柄均帶有真空密封套。
[0006]所述的擋板具有腰型孔。
[0007]—種利用所述機構(gòu)進行鍍膜膜層厚度即時調(diào)節(jié)的方法，包括以下幾個步驟: 第一步、檢測靶材濺射后膜層均勻性并分析需要擋板調(diào)節(jié)位置；
第二步、按照膜層均勻性要求調(diào)節(jié)腔體外側(cè)大氣狀態(tài)第一轉(zhuǎn)動手柄的旋轉(zhuǎn)方向；第三步、第一轉(zhuǎn)動手柄轉(zhuǎn)動帶動第一齒輪并由鏈條牽引第二齒輪、第一傳動軸及第三齒輪轉(zhuǎn)動，進而牽引齒輪箱內(nèi)部齒條軸前后移動；
第四步、齒輪箱內(nèi)部齒條軸前后移動帶動擋板前后移動并到達指定位置；
第五步、重復以上步驟可完成擋板另一端移動到達指定位置；
第六步、重新鍍膜并測試膜層均勻性；
第七步、分析調(diào)整擋板后膜層均勻性并做出是否進一步調(diào)整擋板位置；
第八步、調(diào)整結(jié)束后記錄第一轉(zhuǎn)動手柄和第二轉(zhuǎn)動手柄上的手輪刻度并做記錄。
[0008]所述第七步之后如果需要進一步調(diào)整擋板位置時，重復步驟一至步驟六。
[0009]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明一種根據(jù)膜層均勻性曲線變化即時可調(diào)擋板機構(gòu)及其調(diào)節(jié)方法可在大氣狀態(tài)下調(diào)節(jié)安裝在腔體外壁上的轉(zhuǎn)動手柄，通過傳動機構(gòu)傳遞牽引真空腔體內(nèi)部活動擋板前后移動從而達均勻性要求，同時根據(jù)均勻性變化及時調(diào)整，實施簡單快捷且效果顯著。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本發(fā)明一種根據(jù)膜層均勻性曲線變化即時可調(diào)擋板機構(gòu)的內(nèi)部傳動結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為齒輪箱內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；
其中，1、第一傳動軸；2、第二傳動軸；3、齒輪箱；4、齒輪箱內(nèi)部齒條軸；5、擋板;A、第一轉(zhuǎn)動手柄；A1、第一齒輪；A2、第二齒輪；A3、第三齒輪;A4、齒輪箱第一齒輪；B、第二轉(zhuǎn)動手柄；B1、第五齒輪；B2、第六齒輪；B3、B4、齒輪箱第二齒輪。
【具體實施方式】
[0011]為了進一步加深對本發(fā)明的理解，設備的操作將和附圖對本發(fā)明做進一步詳細描述。
[0012]一種根據(jù)膜層均勻性曲線變化即時可調(diào)擋板機構(gòu)，包括安裝在真空腔體外壁上的第一轉(zhuǎn)動手柄和第二轉(zhuǎn)動手柄、安裝在真空腔體內(nèi)部的傳動機構(gòu)；所述傳動機構(gòu)包括與所述第一轉(zhuǎn)動手柄依次傳動連接的第一齒輪、第二齒輪、第一傳動軸及第三齒輪；與第二轉(zhuǎn)動手柄依次傳動連接的第五齒輪、第六齒輪、第二傳動軸及第七齒輪；以及齒輪箱；所述齒輪箱上安裝有齒輪箱第一齒輪、齒輪箱第二齒輪、齒輪箱內(nèi)部齒條軸及擋板；所述齒輪箱第一齒輪與所述第三齒輪傳動連接；所述齒輪箱第二齒輪與所述第七齒輪傳動連接；所述齒輪箱第一齒輪轉(zhuǎn)動帶動齒輪箱內(nèi)部齒條軸前后移動，所述齒條軸上連接擋板。
[0013]所述第一轉(zhuǎn)動手柄和`第二轉(zhuǎn)動手柄均帶有真空密封套。
[0014]所述的擋板具有腰型孔。
[0015]一種利用所述機構(gòu)進行鍍膜膜層厚度即時調(diào)節(jié)的方法，包括以下幾個步驟: 第一步、檢測靶材濺射后膜層均勻性并分析需要擋板調(diào)節(jié)位置；
第二步、按照膜層均勻性要求調(diào)節(jié)腔體外側(cè)大氣狀態(tài)第一轉(zhuǎn)動手柄的旋轉(zhuǎn)方向；第三步、第一轉(zhuǎn)動手柄轉(zhuǎn)動帶動第一齒輪并由鏈條牽引第二齒輪、第一傳動軸及第三齒輪轉(zhuǎn)動，進而牽引齒輪箱內(nèi)部齒條軸前后移動；
第四步、齒輪箱內(nèi)部齒條軸前后移動帶動擋板前后移動并到達指定位置；
第五步、重復以上步驟可完成擋板另一端移動到達指定位置；
第六步、重新鍍膜并測試膜層均勻性；
第七步、分析調(diào)整擋板后膜層均勻性并做出是否進一步調(diào)整擋板位置；
第八步、調(diào)整結(jié)束后記錄第一轉(zhuǎn)動手柄和第二轉(zhuǎn)動手柄上的手輪刻度并做記錄。
[0016]所述第七步之后如果需要進一步調(diào)整擋板位置時，重復步驟一至步驟六。
[0017]本發(fā)明一種根據(jù)膜層均勻性曲線變化即時可調(diào)擋板機構(gòu)及其調(diào)節(jié)方法可在大氣狀態(tài)下調(diào)節(jié)安裝在腔體外壁上的轉(zhuǎn)動手柄，通過傳動機構(gòu)傳遞牽引真空腔體內(nèi)部活動擋板前后移動從而達均勻性要求，同時根據(jù)均勻性變化及時調(diào)整，實施簡單快捷且效果顯著。
[0018]根據(jù)陰極擋板均勻性要求對腔體對應一側(cè)安裝同樣大氣可調(diào)式真空活動擋板可滿足陰極膜厚在橫向均勻性要求。
[0019]在使用該設備后簡單方便操作就可完成對鍍膜膜層厚度調(diào)節(jié)從而達到均勻性均勻要求，同時根據(jù)均勻性變化`及時調(diào)整，實施簡單快捷且效果顯著。
【權(quán)利要求】
1.一種鍍膜膜層厚度即時可調(diào)擋板機構(gòu)，其特征在于包括安裝在真空腔體外壁上的第一轉(zhuǎn)動手柄(A)和第二轉(zhuǎn)動手柄(B)、安裝在真空腔體內(nèi)部的傳動機構(gòu)；所述傳動機構(gòu)包括與所述第一轉(zhuǎn)動手柄(A)依次傳動連接的第一齒輪(Al)、第二齒輪(A2)、第一傳動軸(I)及第三齒輪(A3);與第二轉(zhuǎn)動手柄(B)依次傳動連接的第五齒輪(BI)、第六齒輪(B2)、第二傳動軸(2)及第七齒輪(B3);以及齒輪箱；所述齒輪箱上安裝有齒輪箱第一齒輪(A4)、齒輪箱第二齒輪(B4)、齒輪箱內(nèi)部齒條軸(4)及擋板(5);所述齒輪箱第一齒輪(A4)與所述第三齒輪(A3)傳動連接；所述齒輪箱第二齒輪(B4)與所述第七齒輪(B3)傳動連接；所述齒輪箱第一齒輪(A4 )轉(zhuǎn)動帶動齒輪箱內(nèi)部齒條軸(4 )前后移動，所述齒輪箱內(nèi)部齒條軸(4 )上連接擋板(5)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鍍膜膜層厚度即時可調(diào)擋板機構(gòu)，其特征在于所述第一轉(zhuǎn)動手柄(A)和第二轉(zhuǎn)動手柄(B)均帶有真空密封套。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鍍膜膜層厚度即時可調(diào)擋板機構(gòu)，其特征在于所述的擋板(5)具有腰型孔。
4.一種利用權(quán)利要求1所述機構(gòu)進行鍍膜膜層厚度即時調(diào)節(jié)的方法，其特征在于包括以下幾個步驟: 第一步、檢測靶材濺射后膜層均勻性并分析需要擋板調(diào)節(jié)位置； 第二步、按照膜層均勻性要求調(diào)節(jié)腔體外側(cè)大氣狀態(tài)第一轉(zhuǎn)動手柄(A)的旋轉(zhuǎn)方向；第三步、第一轉(zhuǎn)動手柄(A)轉(zhuǎn)動帶動第一齒輪(Al)并由鏈條牽引第二齒輪(A2)、第一傳動軸(I)及第三齒輪(A3 )轉(zhuǎn)動，進而牽引齒輪箱內(nèi)部齒條軸(4 )前后移動； 第四步、齒輪箱內(nèi)部 齒條軸(4)前后移動帶動擋板(5)前后移動并到達指定位置； 第五步、重復以上步驟可完成擋板(5)另一端移動到達指定位置； 第六步、重新鍍膜并測試膜層均勻性； 第七步、分析調(diào)整擋板(5)后膜層均勻性并做出是否進一步調(diào)整擋板位置； 第八步、調(diào)整結(jié)束后記錄第一轉(zhuǎn)動手柄(A)和第二轉(zhuǎn)動手柄(B)上的手輪刻度并做記錄。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的調(diào)節(jié)方法，其特征在于所述第七步之后如果需要進一步調(diào)整擋板(5)位置時，重復步驟一至步驟六。
【文檔編號】C23C14/35GK103774106SQ201410031779
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2014年1月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月23日
【發(fā)明者】黃林沖, 顧海波, 曹承 申請人:江蘇奧藍工程玻璃有限公司