沉積源的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)一種沉積源，根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的沉積源包括：主體部件，形成為能夠使有機(jī)物向上側(cè)排出；發(fā)熱單元，形成于所述主體部件而用于對(duì)所述主體部件進(jìn)行加熱。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
沉積源

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種沉積源，尤其涉及一種用于在基板上沉積有機(jī)物的沉積源。

【背景技術(shù)】
[0002]作為收容沉積材料的容器的沉積源是由當(dāng)電流通過(guò)壁(部件)時(shí)溫度上升的電阻材料制成。當(dāng)沉積源被施加電流時(shí)，其內(nèi)部的沉積材料便在來(lái)自沉積源壁的輻射熱以及與壁接觸而獲得的傳遞熱的作用下被加熱。沉積源的上方部件上形成有用于使汽化的材料蒸汽向外界排出的蒸汽排出開(kāi)口。
[0003]另外，隨著基板的大型化，沉積源的大小也將增加。沉積源的大小越大，整個(gè)沉積源的溫度越難以均勻地形成。如果整個(gè)沉積源的溫度不均勻，則從沉積源蒸發(fā)的有機(jī)物量也按區(qū)域而不同。由此導(dǎo)致有機(jī)物難以在基板上形成均勻厚度的問(wèn)題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題為提供一種可以在主體部件上形成均勻的溫度的沉積源。
[0005]根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的沉積源包括:主體部件，形成為能夠使有機(jī)物向上側(cè)排出；發(fā)熱單元，形成于所述主體部件而用于對(duì)所述主體部件進(jìn)行加熱。
[0006]在一個(gè)實(shí)施例中，所述發(fā)熱單元可形成于所述主體部件的表面上。
[0007]在一個(gè)實(shí)施例中，所述主體部件可以形成有內(nèi)部空間，而所述發(fā)熱單元可形成于包圍所述主體部件的內(nèi)部空間的所述主體部件的內(nèi)壁面上。
[0008]在一個(gè)實(shí)施例中，所述發(fā)熱單元可形成為帶狀。
[0009]在一個(gè)實(shí)施例中，所述發(fā)熱單元可包括:第一發(fā)熱部，形成于所述主體部件的局部；第二發(fā)熱部，形成于所述主體部件中除了形成有所述第一發(fā)熱部的部分以外的其余部分。
[0010]在一個(gè)實(shí)施例中，所述第一發(fā)熱部能以將所述主體部件劃分為左側(cè)和右側(cè)的中心為基準(zhǔn)而形成于所述主體部件的右側(cè)和左側(cè)中的某一區(qū)域，而所述第二發(fā)熱部可形成于其余區(qū)域。
[0011]在一個(gè)實(shí)施例中，所述第一發(fā)熱部可形成于所述主體部件的中央?yún)^(qū)域，而所述第二發(fā)熱部可分別形成于除了所述第一發(fā)熱部以外的所述主體部件的兩側(cè)。
[0012]在一個(gè)實(shí)施例中，所述第二發(fā)熱部可以比所述第一發(fā)熱部更密集。
[0013]在一個(gè)實(shí)施例中，可以包括一個(gè)向所述第一發(fā)熱部和第二發(fā)熱部供應(yīng)電源的電源部。
[0014]根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的沉積源借助發(fā)熱單元而在整個(gè)主體部件的溫度均勻的狀態(tài)下實(shí)現(xiàn)有機(jī)物的汽化，從而可以將有機(jī)物以均勻的厚度沉積于基板上。由此可以提高有機(jī)物沉積的可靠性。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1為表示根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的沉積源的立體圖。
[0016]圖2是在圖1所示沉積源中沿著A-A’區(qū)域截取的剖面圖。
[0017]圖3為表示圖1所示沉積源的側(cè)面圖。
[0018]圖4為表示根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的沉積源的立體圖。
[0019]圖5為表示圖4所示沉積源中的發(fā)熱單元的變形例的圖。
[0020]圖6為表示根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的沉積源的立體圖。
[0021]圖7a和圖7b為在利用根據(jù)比較例的沉積源而將有機(jī)物沉積于基板的情況下測(cè)定的溫度偏差和在該溫度偏差下沉積于基板上的有機(jī)物厚度的曲線圖。
[0022]圖8a和圖Sb為在利用基于實(shí)施例的沉積源而將有機(jī)物沉積于基板的情況下測(cè)定的溫度偏差和在該溫度偏差下沉積于基板上的有機(jī)物厚度的曲線圖。
[0023]符號(hào)說(shuō)明:
[0024]10:有機(jī)物100、200、300:沉積源
[0025]110:主體部件111:開(kāi)口部
[0026]120,220,320:發(fā)熱單元 221、321:第一發(fā)熱部
[0027]222,322a,322b:第二發(fā)熱部

【具體實(shí)施方式】
[0028]以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，以使本發(fā)明所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有普通知識(shí)的人員容易實(shí)施。本發(fā)明可用多種不同形態(tài)實(shí)現(xiàn)，并不局限于所說(shuō)明的實(shí)施例。
[0029]而且，在各實(shí)施例中，具有相同構(gòu)成的構(gòu)成要素用同一符號(hào)表示，并只在具有代表性的第一實(shí)施例中進(jìn)行說(shuō)明，而在其余實(shí)施例中只對(duì)與第一實(shí)施例不同的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。
[0030]為了明確說(shuō)明本發(fā)明而省略與本發(fā)明無(wú)關(guān)的部分，且在整個(gè)說(shuō)明書(shū)中，用同一附圖標(biāo)記表示相同或相似的構(gòu)成要素。
[0031]在整個(gè)說(shuō)明書(shū)中，所謂某一部分與其他部分“連接”的含義不僅包括“直接連接”的情況，也包括中間隔著其他部件“間接連接”的情況。并且，在沒(méi)有特別的相反記載時(shí)，所謂某一部分包括某個(gè)構(gòu)成要素并不是說(shuō)排出其他構(gòu)成要素，而是說(shuō)還可以包含其他構(gòu)成要素。
[0032]圖1為表示根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的沉積源的立體圖，圖2是在圖1所示沉積源中沿著A-A’區(qū)域截取的剖面圖，圖3為表示圖1所示沉積源的側(cè)面圖。
[0033]參照?qǐng)D1?圖3，沉積源100包括主體部件110和發(fā)熱單元120。
[0034]主體部件110用于向上側(cè)排出有機(jī)物10。為此，可在主體部件110的上側(cè)形成開(kāi)口部111。開(kāi)口部111可以是具有特定直徑的孔。與之不同，開(kāi)口部111還可以是噴嘴。被汽化的有機(jī)物10可通過(guò)這種開(kāi)口部111向外界排出。
[0035]主體部件110形成沉積源100的外形。主體部件110的形狀例如可以是圓柱形、四棱柱形等。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中是以主體部件110的形狀為四棱柱形的情形為例進(jìn)行說(shuō)明。
[0036]發(fā)熱單元120用于向所述主體部件110供熱。發(fā)熱單元120可貫穿整個(gè)主體部件110而形成。發(fā)熱單元120可形成于主體部件110的表面。與之不同，也可以在主體部件110上形成內(nèi)部空間，并使發(fā)熱單元120形成于包圍主體部件110的內(nèi)部空間的主體部件110的內(nèi)壁面上。
[0037]這種發(fā)熱單元120的形狀例如可以是帶(Ribbon)狀。帶狀相比于圓筒形線圈，更能提高與主體部件110的接觸面積。正如這樣，通過(guò)使發(fā)熱單元120形成為帶狀(B卩，呈現(xiàn)特定寬度的膜片形狀)，從而可以使發(fā)熱單元120產(chǎn)生的熱量更為有效地傳遞到主體部件110。
[0038]圖4為表示根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的沉積源的立體圖。
[0039]參照?qǐng)D4，根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的沉積源200與根據(jù)前述第一實(shí)施例的沉積源100 (參照?qǐng)D1)不同，可按各區(qū)域分別形成不同形狀的發(fā)熱單元220。為此，發(fā)熱單元220可包括第一發(fā)熱部221和第二發(fā)熱部222。
[0040]第一發(fā)熱部221可形成于主體部件110的局部。并且，第二發(fā)熱部222可形成于主體部件110上除了形成第一發(fā)熱部221的部分以外的其余部分上。
[0041]例如，第一發(fā)熱部221以將主體部件110劃分為左側(cè)和右側(cè)的中心為基準(zhǔn)而形成于主體部件110的右側(cè)和左側(cè)中的某一區(qū)域中，而第二發(fā)熱部221形成于其余區(qū)域。S卩，如果第一發(fā)熱部221形成于主體部件110的左側(cè)區(qū)域，則第二發(fā)熱部222可形成于主體部件110的右側(cè)區(qū)域。
[0042]與之不同而也可以如圖5所示地在第一發(fā)熱部221形成于主體部件110的右側(cè)區(qū)域時(shí)，第二發(fā)熱部222形成于主體部件110的左側(cè)區(qū)域。
[0043]其中，第二發(fā)熱部222可以形成得比第一發(fā)熱部221更密集。據(jù)此，第二發(fā)熱部222可將相對(duì)多于第一發(fā)熱部221的熱量供應(yīng)給主體部件110。
[0044]對(duì)由這種結(jié)構(gòu)構(gòu)成的發(fā)熱單元120的動(dòng)作過(guò)程進(jìn)行簡(jiǎn)要說(shuō)明。其中，假定主體部件110的右側(cè)溫度低于左側(cè)溫度，并假定第二發(fā)熱部222形成于主體部件110的右側(cè)。
[0045]當(dāng)?shù)谝话l(fā)熱部221和第二發(fā)熱部222被施加電源時(shí)，從第一發(fā)熱部221和第二發(fā)熱部222產(chǎn)生熱量。主體部件110的左側(cè)得到由第一發(fā)熱部221產(chǎn)生的熱量供應(yīng)，而主體部件110的右側(cè)得到由第二發(fā)熱部222產(chǎn)生的熱量供應(yīng)。
[0046]其中，由于第二發(fā)熱部222形成為比第一發(fā)熱部221密集，因此第二發(fā)熱部222可以產(chǎn)生比第一發(fā)熱部221更多的熱量。由此，主體部件110的右側(cè)比左側(cè)得到更多的熱量供應(yīng)，從而可以顯著縮小右側(cè)與左側(cè)的溫度差。
[0047]S卩，通過(guò)在使主體部件110整體的溫度均勻的狀態(tài)下實(shí)現(xiàn)有機(jī)物的汽化，從而可以使有機(jī)物以均勻的厚度沉積于基板上。據(jù)此，可提高有機(jī)物沉積的可靠性。
[0048]另外，隨著主體部件110整體的溫度趨于均勻，沉積于基板上的有機(jī)物的厚度達(dá)到預(yù)定水平，關(guān)于這一點(diǎn)將在后面敘述。
[0049]圖6為表示根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的沉積源的立體圖。
[0050]參照?qǐng)D6，根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的沉積源300與根據(jù)前述第一實(shí)施例的沉積源100 (參照?qǐng)D1)不同，可按各區(qū)域分別形成不同形狀的發(fā)熱單元320。
[0051]詳細(xì)說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的沉積源300的結(jié)構(gòu)。
[0052]第一發(fā)熱部321形成于主體部件110的中央?yún)^(qū)域。并且，第二發(fā)熱部322a、322b分別形成于除了第一發(fā)熱部321以外的主體部件110的兩側(cè)。即，在根據(jù)前述本發(fā)明第二實(shí)施例的沉積源200 (參照?qǐng)D4)中，主體部件110被劃分為兩個(gè)區(qū)域，且在各區(qū)域中分別形成了第一發(fā)熱部221 (參照?qǐng)D4)和第二發(fā)熱部222 (參照?qǐng)D4)。
[0053]然而，在根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的沉積源300中，主體部件110被劃分為三個(gè)區(qū)域，且一個(gè)第一發(fā)熱部321和兩個(gè)第二發(fā)熱部322a、322b分別形成于各自的區(qū)域中。其中，主體部件110的被劃分的區(qū)域既可以形成為具有相同面積，也可以形成為具有不同面積。只要能夠通過(guò)發(fā)熱單元320使主體部件110溫度維持均勻，則主體部件110的劃分區(qū)域面積大小可任選。
[0054]另外，所述第一發(fā)熱部321和第二發(fā)熱部322a、322b可構(gòu)成為相互連接的一個(gè)線圈。通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，可使根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的沉積源300的結(jié)構(gòu)更為簡(jiǎn)化。
[0055]另外，根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的沉積源300可包括未圖示的電源部。這種電源部向第一發(fā)熱部321和第二發(fā)熱部322a、322b供應(yīng)相同的電。即，如上所述，在根據(jù)本發(fā)明的沉積源300中第一發(fā)熱部321和第二發(fā)熱部322a、322b可可以是由一個(gè)線圈構(gòu)成,且從一個(gè)電源部(未圖示)得到相同的電源供應(yīng)的結(jié)構(gòu)。
[0056]由此，在第一發(fā)熱部321和第二發(fā)熱部322a、322b被獨(dú)立驅(qū)動(dòng)，且增設(shè)有用于分別進(jìn)行獨(dú)立控制的控制部等的情況下，由于整體結(jié)構(gòu)變復(fù)雜而可能使制造費(fèi)用上升。然而，在根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的沉積源300中卻不僅不需要額外的控制部，而且可以用一個(gè)線圈實(shí)現(xiàn)第一發(fā)熱部321和第二發(fā)熱部322a、322b，從而可以簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)而減少制造費(fèi)用。
[0057]圖7a和圖7b為在利用根據(jù)比較例的沉積源而將有機(jī)物沉積于基板的情況下測(cè)定的溫度偏差和在該溫度偏差下沉積于基板上的有機(jī)物厚度的曲線圖，而圖8a和圖Sb為在利用基于實(shí)施例的沉積源而將有機(jī)物沉積于基板的情況下測(cè)定的溫度偏差和在該溫度偏差下沉積于基板上的有機(jī)物厚度的曲線圖。
[0058]參照?qǐng)D7a至圖Sb說(shuō)明使用根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的沉積源而實(shí)現(xiàn)有機(jī)物沉積的情況比使用根據(jù)比較例的沉積源實(shí)現(xiàn)有機(jī)物沉積的情況更有利于使沉積于基板上的有機(jī)物厚度趨于預(yù)定水平。
[0059]根據(jù)比較例的沉積源的結(jié)構(gòu)中沒(méi)有形成發(fā)熱單元。而根據(jù)實(shí)施例的沉積源為根據(jù)圖4所示本發(fā)明第二實(shí)施例的沉積源。
[0060]圖7a和圖8a是將主體部件的一端至另一端設(shè)定為I?5并記錄各位置處的溫度的情形。而圖7b和圖8b是將基板的中心設(shè)定為O并將左側(cè)設(shè)定為負(fù)值而右側(cè)設(shè)定為正值之后記錄各位置處的有機(jī)物厚度的情形。其中，將基板中心處的有機(jī)物厚度設(shè)定為1，而其他位置上的有機(jī)物厚度取了與中心進(jìn)行比較的相對(duì)數(shù)值。例如，所謂有機(jī)物的厚度為1.1是指其厚度為基板中心處有機(jī)物厚度的1.1倍。
[0061]如圖7a所示，根據(jù)比較例的沉積源的主體部件左端部分的溫度為359.9°C，而右端部分的溫度為366.8°C。即，主體部件的溫度偏差可能是約7V。
[0062]如圖8a所示，根據(jù)實(shí)施例的沉積源的主體部件的左端部分溫度為365.3°C而右端部分溫度為365.5°C。S卩，主體部件的溫度偏差可能是約0.2°C。
[0063]由于根據(jù)比較例的沉積源和根據(jù)實(shí)施例的沉積源的主體部件兩端的溫度偏差而沉積于基板上的有機(jī)物的厚度偏差如下。
[0064]如圖7b所示，當(dāng)利用根據(jù)比較例的沉積源而將有機(jī)物沉積于基板時(shí)，隨著趨于基板的左側(cè)，有機(jī)物的厚度由基準(zhǔn)值I持續(xù)減小，而隨著趨于基板的右側(cè)，有機(jī)物的厚度由基準(zhǔn)值I持續(xù)增加。
[0065]然而，如圖8b所示，當(dāng)利用根據(jù)實(shí)施例的沉積源而在基板上沉積有機(jī)物時(shí)，即使趨于基板的左側(cè)，有機(jī)物的厚度值仍維持幾乎等于基準(zhǔn)值I的數(shù)值，而在趨于基板右側(cè)時(shí)，有機(jī)物的厚度值雖然略低于基準(zhǔn)值1，然而仍然維持了幾乎等于基準(zhǔn)值的數(shù)值。
[0066]由實(shí)驗(yàn)結(jié)果可知，在根據(jù)比較例的沉積源中，由于主體部件的溫度偏差而沉積于基板上的有機(jī)物的厚度偏差呈現(xiàn)為較大。然而，在根據(jù)實(shí)施例的沉積源中主體部件的溫度偏差相對(duì)低于比較例的沉積源，從而沉積于基板上的有機(jī)物的厚度偏差相對(duì)較低。
[0067]以上參照的附圖和記載的對(duì)發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明只是本發(fā)明的示例，其僅僅是出于說(shuō)明本發(fā)明的目的，而并非旨在限定權(quán)利要求書(shū)中記載的本發(fā)明的范圍。因此只要是本發(fā)明所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有普通知識(shí)的人員即可理解可以由此導(dǎo)出多種變形以及等價(jià)的其他實(shí)施例。因此本發(fā)明真正的技術(shù)保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求書(shū)的技術(shù)思想確定。
【權(quán)利要求】
1.一種沉積源,包括: 主體部件，形成為能夠使有機(jī)物向上側(cè)排出； 發(fā)熱單元，形成于所述主體部件而用于對(duì)所述主體部件進(jìn)行加熱。
2.如權(quán)利要求1所述的沉積源，其中，所述發(fā)熱單元形成于所述主體部件的表面。
3.如權(quán)利要求1所述的沉積源，其中，所述主體部件形成有內(nèi)部空間，而所述發(fā)熱單元形成于包圍所述主體部件的內(nèi)部空間的所述主體部件的內(nèi)壁面。
4.如權(quán)利要求1所述的沉積源，其中，所述發(fā)熱單元形成為帶狀。
5.如權(quán)利要求1所述的沉積源，其中，所述發(fā)熱單元包括: 第一發(fā)熱部，形成于所述主體部件的局部； 第二發(fā)熱部，形成于所述主體部件中除了形成有所述第一發(fā)熱部的部分以外的其余部分。
6.如權(quán)利要求5所述的沉積源，其中，所述第一發(fā)熱部以將所述主體部件劃分為左側(cè)和右側(cè)的中心為基準(zhǔn)而形成于所述主體部件的右側(cè)和左側(cè)中的某一區(qū)域，而所述第二發(fā)熱部形成于其余區(qū)域。
7.如權(quán)利要求5所述的沉積源，其中，所述第一發(fā)熱部形成于所述主體部件的中央?yún)^(qū)域，而所述第二發(fā)熱部分別形成于除了所述第一發(fā)熱部以外的所述主體部件的兩側(cè)。
8.如權(quán)利要求5所述的沉積源，其中，所述第二發(fā)熱部比所述第一發(fā)熱部更密集。
9.如權(quán)利要求5所述的沉積源，其中，包括一個(gè)向所述第一發(fā)熱部和第二發(fā)熱部供應(yīng)電源的電源部。
【文檔編號(hào)】C23C14/24GK104278236SQ201310572117
【公開(kāi)日】2015年1月14日 申請(qǐng)日期:2013年11月15日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月3日
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