技術(shù)編號(hào)：3295907
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開一種沉積源，根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的沉積源包括主體部件，形成為能夠使有機(jī)物向上側(cè)排出；發(fā)熱單元，形成于所述主體部件而用于對(duì)所述主體部件進(jìn)行加熱。專利說明 沉積源 [0001]本發(fā)明涉及一種沉積源，尤其涉及一種用于在基板上沉積有機(jī)物的沉積源。 背景技術(shù) [0002]作為收容沉積材料的容器的沉積源是由當(dāng)電流通過壁(部件)時(shí)溫度上升的電阻材料制成。當(dāng)沉積源被施加電流時(shí)，其內(nèi)部的沉積材料便在來自沉積源壁的輻射熱以及與壁接觸而獲得的傳遞熱的作用...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。