專(zhuān)利名稱(chēng)：用于結(jié)合濺射靶部件的方法，所結(jié)合的濺射靶組件及其用途的制作方法
用于結(jié)合濺射靶部件的方法，所結(jié)合的濺射靶組件及其用途技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明通常涉及一種用于將濺射靶段附接在背襯體上以便制造濺射靶的方法，包括所結(jié)合的靶段和背襯體的組件及其用途。
背景技術(shù)：
大濺射靶通常由一個(gè)背襯體(如一個(gè)背襯管或背襯板)組成，將一個(gè)或多個(gè)靶段結(jié)合在該背襯體上，即將它們附接在該背襯體上。這些段可以是多種形狀的。在濺射期間， 將多數(shù)情況下具有非常高純度或非常精確組成的濺射靶暴露于離子轟擊并且因此暴露于高熱負(fù)荷。該背襯體因此是進(jìn)行水冷卻的。
該背襯體的功能是提供電功率傳輸、機(jī)械強(qiáng)度、以及冷卻水的熱傳遞，并且它允許將該靶安裝在濺射源中。
傳統(tǒng)地，在這些靶段與該背襯體之間的結(jié)合主要通過(guò)擴(kuò)散結(jié)合或通過(guò)焊料獲得。
擴(kuò)散結(jié)合是基于原子跨越兩種材料的界面的相互擴(kuò)散，在這種情況下該靶段的材料和背襯體的材料中的一種或兩種材料部分?jǐn)U散到彼此中，從而產(chǎn)生一個(gè)連續(xù)的、不間斷的界面，其中跨越該界面有這兩種材料的某種程度上平滑的濃度梯度。
這種結(jié)合方法要求將表面清潔掉雜質(zhì)、更具體是氧化物薄層，這些雜質(zhì)將阻礙該擴(kuò)散，并且該方法因此僅僅可以在真空中或在保護(hù)氣氛中進(jìn)行。這使得該方法昂貴并且復(fù)雜。
保護(hù)氣氛是定義為如下的氣氛，在該氣氛中不能形成在這些表面上的氧化物和/ 或任何可能存在的氧化物被還原的。大體上這意味著一種沒(méi)有任何顯著量氧氣的氣氛，如一種惰性氣體遮蓋(blanket)或真空。
再者經(jīng)常需要的是高溫以允許發(fā)生充分?jǐn)U散，該溫度比對(duì)該靶材而言的最優(yōu)溫度更高，由此產(chǎn)生了晶粒生長(zhǎng)或其他退化的風(fēng)險(xiǎn)，減少了該靶材的可用性。對(duì)鋁和鋁合金這尤其是一個(gè)考慮因素。
焊接，換言之在該靶材與該背襯體之間引入低熔點(diǎn)中間體物質(zhì)并且結(jié)合它們，也有其缺點(diǎn)。
一些低熔點(diǎn)焊料經(jīng)常是不合適的，因?yàn)樵诤兴Y(jié)合的背襯體與靶段的濺射靶的使用期間該溫度能夠增加到該焊料的熔點(diǎn)之上，引起脫離，也稱(chēng)作層離，而高溫焊料經(jīng)常是脆性的和/或要求(如在擴(kuò)散結(jié)合中)可能損壞該靶材特性的溫度。
與焊接相關(guān)的一個(gè)特別問(wèn)題是，在局部上看，當(dāng)該濺射靶的表面上的某一點(diǎn)同其他區(qū)域相比具有與該背襯體較差的熱連接時(shí)，可能容易發(fā)生一些問(wèn)題，因?yàn)樵谶@些點(diǎn)中，可能發(fā)生局部過(guò)熱以及該焊料的熔化，導(dǎo)致進(jìn)一步減少的熱傳遞，逐漸地引起層離。
還有一個(gè)缺點(diǎn)在于不得不使用昂貴的焊料。
這兩種結(jié)合方法能夠通過(guò)在該背襯體和這些靶段中產(chǎn)生匹配的或者大致匹配的凹槽和脊而得以改進(jìn)，從而首先增加了該界面面積并且其次允許了某種程度的機(jī)械互鎖，同時(shí)保持了焊接或擴(kuò)散結(jié)合為主要結(jié)合機(jī)制。
在例如J. Vac. Sci. Technol. A25 (I)，Jan/Feb2007, p. 54-60 中所描述的是針對(duì)焊接的情況，在US2010/0038241A1中所描述的是針對(duì)擴(kuò)散結(jié)合的情況。
在這兩種技術(shù)中，該背襯體和該靶段設(shè)置有多個(gè)脊和多個(gè)相應(yīng)的凹槽。這具有的缺點(diǎn)在于要求一個(gè)附加的工藝步驟以產(chǎn)生這些凹槽和脊，同樣增加了更多的成本，因?yàn)榘胁?由于其高純度和/或精確組成通常是非常昂貴的)被機(jī)械地去除并且被浪費(fèi)。
一個(gè)進(jìn)一步的問(wèn)題出現(xiàn)在處置使用過(guò)的靶時(shí)。在上述的兩種技術(shù)中，由多種材料組成的零件可能受到焊料的污染(使用之后繼續(xù)保留)，使得所使用的濺射靶的再利用是困難并且昂貴的。
因此本發(fā)明的目的在于針對(duì)一個(gè)或多個(gè)上述的或其他的缺點(diǎn)，提供一種解決方案。發(fā)明內(nèi)容
為此目的，本發(fā)明提供用于將濺射靶的第一部件的連接面結(jié)合到濺射靶的第二部件的連接面上的一種方法，該方法包括以下步驟提供一個(gè)第一部件和一個(gè)第二部件，較硬的部件在其連接表面具有至少一個(gè)部分，該至少一個(gè)部分相對(duì)于相同的連接表面的至少另一個(gè)部分是突出的，并且具有一個(gè)切口 ；對(duì)該第一部件的連接面和該第二部件的連接面進(jìn)行定位使其互相抵靠；將該第一部件與該第二部件相對(duì)彼此壓制，引起第一部件的連接面的區(qū)域以及第二部件的連接面的區(qū)域中的至少一個(gè)的材料塑性變形，至少部分填充至少一個(gè)切口至這種程度使得由此獲得第二部件與第一部件的互鎖，并且該方法沒(méi)有在所結(jié)合的表面區(qū)域的主要部分上產(chǎn)生除互鎖之外的結(jié)合的步驟。
這具有的優(yōu)點(diǎn)在于提供一種簡(jiǎn)單的、便宜的并且耐熱的方式以結(jié)合濺射靶的兩個(gè)部件，另外它可以在不需要保護(hù)氣氛或焊料的情況下進(jìn)行。
在根據(jù)本發(fā)明的方法的一個(gè)實(shí)施方案中，該第一部件是一個(gè)背襯體并且該第二部件是一個(gè)祀段。
這具有的優(yōu)點(diǎn)在于一個(gè)帶有直式(straightforward)構(gòu)造的派射祀也可以便宜地并且容易地進(jìn)行結(jié)合。
在另一個(gè)實(shí)施方案中，根據(jù)本發(fā)明的方法由三個(gè)所提及的步驟組成。
在另一個(gè)實(shí)施方案中，該第一部件的連接面和該第二部件的連接面中的一個(gè)是平的。這具有的優(yōu)點(diǎn)在于無(wú)需在這個(gè)連接面上而是僅僅在另一個(gè)連接面上提供多個(gè)突起或凹槽，這節(jié)省了更多處理成本以及材料，否者這些材料將變?yōu)閺U料。
在另一個(gè)實(shí)施方案中，該互鎖是僅有的結(jié)合機(jī)制。這是有利的因?yàn)椴恍枰峁┖噶?。另外，不?huì)發(fā)生在這些界面上材料的交叉污染(當(dāng)使用擴(kuò)散結(jié)合時(shí)這將發(fā)生)，使得再利用更加容易。
在一個(gè)具體實(shí)施方案中，所結(jié)合的表面區(qū)域的大部分是無(wú)焊料的，并且該擴(kuò)散結(jié)合不會(huì)在任何實(shí)際的程度上發(fā)生。
在另一個(gè)具體實(shí)施方案中，所提及的這些步驟不是在保護(hù)氣氛或在真空中實(shí)施的。一個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于這是較便宜的并且較容易的，因?yàn)椴恍枰峁┍Ｗo(hù)氣氛或帶有相關(guān)密閉室的真空。
在本發(fā)明的另一個(gè)方面，該壓制步驟是在一個(gè)模具內(nèi)執(zhí)行的，該模具具備一些有曲率的沖頭，以便在壓制期間將同樣的曲率賦予在該模具中存在的、所結(jié)合的第一部件和第二部件。
這具有的優(yōu)點(diǎn)在于，可以獲得所結(jié)合的第二部件和第一部件的一個(gè)所希望的曲率，例如這些部件之一的一個(gè)平的表面，或一個(gè)特點(diǎn)的曲率，該曲率在包括該第二部件和該第一部件的濺射靶的使用期間優(yōu)化了性能。為了做到這點(diǎn)，這些沖頭的曲率需要進(jìn)行調(diào)整至所結(jié)合的第二部件和第一部件的所希望的曲率，尤其考慮所使用的材料的熱膨脹系數(shù)。
在一些具體實(shí)施方案中，這些突出的部分是脊并且這些脊的橫截面是大致T形的。
這具有的優(yōu)點(diǎn)在于，它們的制備是相對(duì)容易的，并且允許對(duì)于材料在壓制期間的行為、該結(jié)合強(qiáng)度以及該結(jié)合彈性的良好控制和優(yōu)化，都將在一個(gè)具體情況下所使用的材料的具體特性考慮在內(nèi)。
在另一具體實(shí)施方案中，這些工藝條件(例如不同步驟的溫度、時(shí)間和壓力，以及存在或不存在預(yù)處理或后處理)，以及該至少一個(gè)突出部分的幾何特征(例如大小、形狀和間距)被選擇為，使得該結(jié)合通過(guò)機(jī)械手段是可逆的并且將該結(jié)合逆轉(zhuǎn)之后該第一部件可以再使用而沒(méi)有任何改變其幾何形狀的操作。
這具有的優(yōu)點(diǎn)在于，無(wú)需制造新的第一部件即可與一個(gè)新的第二部件進(jìn)行結(jié)合， 而是該第一部件可以多次使用。
這個(gè)實(shí)施方案可以與前述的實(shí)施方案進(jìn)行組合，在前述的實(shí)施方案中所結(jié)合的表面區(qū)域的主要部分是無(wú)焊料的并且擴(kuò)散結(jié)合不會(huì)在任何實(shí)際的程度上發(fā)生。
這種組合有利地導(dǎo)致將使用之后的該第二部件的殘余物的化學(xué)污染減至最少，使得在純化工藝中對(duì)其進(jìn)行再循環(huán)變得更容易和更廉價(jià)。
該發(fā)明還涉及一種組件，該組件包括一個(gè)濺射靶的、帶有第一連接面的第一部件和一個(gè)濺射靶的、帶有第二連接面的第二部件，該第一連接面和第二連接面互相結(jié)合在一起，其特征在于該第一連接面和第二連接面各自包含具有一個(gè)切口的至少一個(gè)突出部件， 并且該第二部件與第一部件的互鎖提供結(jié)合強(qiáng)度的至少主要部分。


以下為了更好地顯示本發(fā)明的特征，作為沒(méi)有任何限定特性的一個(gè)實(shí)例，對(duì)將靶段到背襯板上的一種方法進(jìn)行了描述并且通過(guò)以下附圖進(jìn)行了說(shuō)明
圖I :示出了根據(jù)本發(fā)明的一種方法以將一個(gè)帶脊的背襯板結(jié)合至一個(gè)靶段上的第一步驟的透視示意圖2 :不出了在未結(jié)合位置中的一個(gè)背襯板和在一個(gè)祀段一部分的截面；
圖3 :示出了貫穿彎曲的模具零件以及圖I中的背襯板和靶段的截面；
圖4 :示出了貫穿結(jié)合后的位置中的一個(gè)背襯板和一個(gè)靶段的一部分的截面。
具體實(shí)施方式
如圖I中所示，具有93HBW硬度的一個(gè)銅盤(pán)設(shè)置為一個(gè)背襯板I并且一個(gè)具有 14HBW的硬度和99. 9995%純度的稍小的鋁盤(pán)設(shè)置為一個(gè)濺射靶段2。該背襯板I具有一個(gè)第一連接面3并且該靶段2具有一個(gè)第二連接面4，旨在進(jìn)行相互結(jié)合。該背襯板I具有一個(gè)第一背面5并且該靶段2具有一個(gè)第二背面6。該背襯板I設(shè)有在該第一連接面3上的多個(gè)脊7，這些脊位于在這個(gè)表面3上的一個(gè)同心圖案中。
如圖2中所示，該靶段2沒(méi)有脊7或其他突起而具有一個(gè)平的連接面4。
這些脊7是大致T-形的并且可以認(rèn)為由一個(gè)桿8 (該桿的一個(gè)末端連陵至該第一連接面3)以及一個(gè)橫條9組成，該橫條在其末端處比中間處稍窄的并目在其中間處連接至該桿8的另一個(gè)末端。
這些脊7是通過(guò)從相應(yīng)的凹槽10將材料機(jī)加工掉而形成或可以形成的，但是同樣可能以不同的方式形成。這些脊7具有切口 11，運(yùn)些切口是運(yùn)些凹槽10的一部分。
該靶段2的直徑是大30cm。所設(shè)置的這些脊7間隔5. 2mm并且自該第一連接面3 延伸出2mm。這些桿8的長(zhǎng)和寬是Imm,并且這些脊7的頂部寬度是2. 4mm。該橫條9在端具有大約O. 6mm的厚曉
將該背襯板I和該靶段2放置于一個(gè)模具中的所希望的位置，其中為了清晰，在圖 3中僅僅對(duì)這些沖頭12、13進(jìn)行了說(shuō)明。該模具的兩個(gè)沖頭12、13 (在壓制過(guò)程中向該第一背面和第二背面5、6上施加力)，具有輕微的曲率，其中一個(gè)是凹的而另一個(gè)是凸的，并目這兩個(gè)曲率優(yōu)選地相互匹配。
在這種特別情況下沖頭13是凸的，在壓制過(guò)程中該沖頭與該背襯板I進(jìn)行接觸。
該背襯板I、該靶段2以及該模具部件、尤其是沖頭12、13在一個(gè)加熱爐中加熱至 250°C。這可以在對(duì)該模具進(jìn)行組裝并且將該背襯板I和該靶段2放置于其中之前或者之后完成。
準(zhǔn)備一個(gè)壓力機(jī)。將被加熱的模具連同該背襯板I和靶段2放置進(jìn)該壓力機(jī)中， 以在該靶段2和該背襯板I之間的整個(gè)接觸面積上所測(cè)的一個(gè)大致56MPa的壓強(qiáng)在這些圖中箭頭P所指的方向上壓制6分鐘。
所有的操作在環(huán)境大氣壓條件下進(jìn)行，即在空氣中，無(wú)需任何保護(hù)氣氛。
在這個(gè)壓制步驟期間，該第二連接面4的區(qū)域的材料在填充這些凹槽10 (包括這些切口 11)時(shí)是塑性變形的，由此產(chǎn)生在該背襯板I和該靶段2之間的互鎖，如圖4中所展示的。
在這種情況下，對(duì)這些凹槽10和由切口 11形成的空腔進(jìn)行完全填充，但這不總是必要的，也不是本發(fā)明方法的條件。該結(jié)合效果變得更堅(jiān)固，改進(jìn)了在該背襯板I與該靶段 2之間的熱連接，并且如果這些凹槽10和切口 11被填充到更高的程度，則當(dāng)使用所結(jié)合的背襯板I和靶段2時(shí)與包含空氣相關(guān)的可能問(wèn)題可以減少。
大體上優(yōu)選的是這些切口 11填充到至少50%，而若這些切口 11填充到90 %或更多，則獲得更好的結(jié)果。
不需要在該背襯板與該靶段之間提供焊料，但是在不背離本發(fā)明的范圍的情況下，某些焊料可能是局部提供的，這是由于除結(jié)合之外的原因。
同樣在該壓制步驟期間，由于沖頭12和13的曲率，該背襯板I和該靶段2在徑向上成為輕微彎曲的。在這個(gè)特別情況下該第一連接面3成為輕微凸形的。
在該壓制步驟之后，允許所結(jié)合的背襯板I和靶段2冷卻，此時(shí)由于材料的熱膨脹系數(shù)差以及在壓制期間施加在其上的曲率，它們成為大致平的。
明顯地，這些沖頭12和13的曲率可以被適配為使得如所希望地保持一個(gè)凹的或凸的殘余(residual)曲率。
該結(jié)合強(qiáng)度測(cè)得是大約20MPa。
該壓制步驟無(wú)需在高溫下執(zhí)行，而也可以在室溫下執(zhí)行，盡管不得不增大壓力，并且更大功率的并且更昂貴的壓力機(jī)可能因此變得必要?？衫玫臈l件可以通過(guò)常規(guī)實(shí)驗(yàn)來(lái)發(fā)現(xiàn)。
結(jié)合后的背襯板I和靶段2的組件目前可以經(jīng)過(guò)在工業(yè)上已知的操作進(jìn)一步加工以形成濺射靶。無(wú)需進(jìn)行進(jìn)一步的在該背襯板I與該靶段2之間提供結(jié)合的步驟。更特別地，無(wú)需擴(kuò)散結(jié)合步驟，并且因此無(wú)需在保護(hù)氣氛或真空中的高溫工藝步驟。為了確保真空密封性，所結(jié)合的表面區(qū)域的外邊界可以通過(guò)在工業(yè)上已知的方法進(jìn)行密封。
在以上實(shí)例中僅僅兩個(gè)部件，即該靶段2與該背襯板1，進(jìn)行結(jié)合以形成濺射靶。 然而，對(duì)濺射靶的多于兩個(gè)部件也可以類(lèi)似地進(jìn)行結(jié)合，這也在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
例如，一個(gè)靶段2與一個(gè)背襯體I可能通過(guò)提供一個(gè)第三部件，即在它們之間的一個(gè)較軟的材料的中間層，進(jìn)行結(jié)合?？商娲?，一個(gè)硬的第三部件，即一個(gè)兩側(cè)帶有脊的層， 可以用于將一個(gè)較軟的靶段2結(jié)合到一個(gè)較軟的背襯體I上。
通過(guò)一個(gè)或多個(gè)中間部件進(jìn)行的結(jié)合可以在一個(gè)壓制步驟中完成，其中所有的部件同時(shí)進(jìn)行結(jié)合，或者在幾個(gè)壓制步驟中，其中部件一個(gè)接一個(gè)相互進(jìn)行結(jié)合，可能的是中間的工藝發(fā)生在單獨(dú)的壓制步驟之間。
由于在這種情況下這些操作在環(huán)境大氣中實(shí)施，這在該表面上產(chǎn)生了一個(gè)薄氧化層；而在低溫和下，預(yù)期不發(fā)生擴(kuò)散結(jié)合，擴(kuò)撒結(jié)合要求金屬到金屬的分子接觸和高溫。
在使用之后，該背襯板I和該靶段2的殘余物可以通過(guò)施加足夠的力再次進(jìn)行分離。由于不存在擴(kuò)散結(jié)合或焊接，該靶段2的殘余物在這個(gè)步驟中成為機(jī)械受損的但是沒(méi)有包含或很少包含化學(xué)污染，所以它可以通過(guò)化學(xué)的和/或冶金學(xué)的方法容易并且便宜地進(jìn)行再利用。該背襯板2保持著在機(jī)械上基本未損壞并且可以再使用。
這些脊10的尺寸、間距和分布可以被適配于所要結(jié)合的材料在所希望的壓制條件下的機(jī)械特性，從而確保較弱的材料由于在壓制中所施加的壓力同時(shí)具有良好的塑性形變、足夠的結(jié)合強(qiáng)度、以及所結(jié)合的背襯板I與靶段2在使用后的相對(duì)容易的分離。對(duì)這些材料的機(jī)械特性的基本知識(shí)，如瞬時(shí)硬度、屈服應(yīng)力和撕裂應(yīng)力，將允許熟練技術(shù)人員確定在具體的情況下哪些幾何形狀是可用的。
在該背襯體I與靶段2之間的機(jī)械特性的顯著差異，例如由硬度所描述的，有利于該方法的容易的應(yīng)用。需要何種程度的硬度差異同樣取決于這些脊或其他突起的幾何形狀并且取決于所使用的較軟的材料的屈服強(qiáng)度。
大體上，當(dāng)該硬度差是至少20HBW時(shí)獲得好的結(jié)果，當(dāng)硬度差是至少40HBW時(shí)獲得更好地結(jié)果，并且當(dāng)具有60HBW或更大的硬度差時(shí)獲得甚至更好的結(jié)果。
如果希望可以采用一個(gè)在壓制之后對(duì)該靶段2的變形材料進(jìn)行再結(jié)晶的一個(gè)附加的回火步驟。在帶有上述的材料的上述的壓制條件中，重結(jié)晶已經(jīng)在壓制期間發(fā)生并且因此這種步驟將是多余的。
所描述的方法不限于所提及的材料而是也可以與在濺射中使用的其他材料制成的背襯體I和靶段2 一起使用。這些材料可以是例如銅、鋁、鋰、鎂、銀、金、硅、銦、錫、鉈、鉛、秘、鋪、鎘、鈉、鉀、鈹、I丐、銀、鋇、締或者基于這些元素的化合物中之一或其組合、混合物或者合金。
在所述合金的通常的冶金學(xué)用途中，某一種材料的的合金還可以理解為包括以下合金這些合金包含這種金屬以及其他組分的一個(gè)顯著的部分、尤其是主要部分，不管這些其他組分是否形成上述的金屬的一部分。
合適的鋁合金的一些實(shí)例是AlSil、AlSiICuO. 5和AlCuO. 5，其中這些數(shù)字指出了這些合金元素的重量百分比。
有限范圍的材料(例如銀)，如在這個(gè)實(shí)例中使用的情況中，也可以顯示出擴(kuò)散結(jié)合。如果為了再利用的原因而避免這一點(diǎn)，則一個(gè)非常薄的涂層可以施用到該背襯體和/ 或靶段來(lái)避免這種情況。
在某些情況下，在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下，該背襯體I由多于一層的不同材料組成，例如可以使用一個(gè)以引起該第一連接面3附近的良好的結(jié)合的可變形材料層以及一個(gè)以提供足夠的剛度的、遠(yuǎn)離該表面3的較強(qiáng)的材料層。
類(lèi)似地，可以使用由不同的材料層組成的靶段2。
在這些不同的層之間的結(jié)合可以按照常規(guī)的技術(shù)或根據(jù)本發(fā)明進(jìn)行。
在本實(shí)例中使用了具有一個(gè)不帶加熱的活動(dòng)沖頭的一個(gè)單向壓力機(jī)。將是清楚的，其他一些壓力機(jī)，包括可以使用具有用于加熱該模具和/或所壓制的材料并且?guī)в卸鄠€(gè)活動(dòng)沖頭或棍的系統(tǒng)。
通常較便宜的是保持該背襯體I和該靶段2中較軟的那一個(gè)的連接面是平的，因?yàn)樵谀欠N情況下不需要對(duì)該第二連接面4進(jìn)行加工。然而根據(jù)本發(fā)明的方法同樣可以在背襯體I和該靶段2中較軟的那一個(gè)上的一個(gè)不平的第一或第二連接面3，4上進(jìn)行，或者制備的此種第一和第二連接面3、4以使其包含與在另一個(gè)連接面4、3上的凹槽10部分地或完全地匹配的突起。
本發(fā)明無(wú)論如何不限于以上所述的方法變體，然而在不離開(kāi)本發(fā)明范圍的情況下，這樣一種改進(jìn)的方法能夠以不同的形式實(shí)現(xiàn)。
權(quán)利要求
1.用于將濺射靶的第一部件的連接面結(jié)合到濺射靶的第二部件的連接面上的一種方 法，該方法包括以下步驟提供一個(gè)第一部件和一個(gè)第二部件，至少較硬的部件在其連接表面上具有至少一個(gè)部 分，該至少一個(gè)部分相對(duì)于該相同連接表面的至少另一個(gè)部分突出并且具有一個(gè)切口；對(duì)該第一部件的連接面和該第二部件的連接面進(jìn)行定位使其互相抵靠；將該第一部件與該第二部件朝向彼此壓制，從而引起該第一部件的連接面的區(qū)域以及 第二部件的連接面的區(qū)域中的至少一者的材料塑性變形，至少部分地填充至少一個(gè)切口由 此獲得第二部件與第一部件的互鎖，并且沒(méi)有在所結(jié)合的表面區(qū)域的主要部分上產(chǎn)生除互鎖之外的其他結(jié)合的步驟。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中該第一部件是一個(gè)背襯體并且該第二部件是一個(gè) 靶段。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中該第一部件的連接面和第二部件的連接面中的一 個(gè)恰在壓制之前是平坦的。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所有或大致所有切口在壓制步驟過(guò)程中是完全地 或大致完全地填充的。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所結(jié)合的表面區(qū)域的至少主要部分是無(wú)焊料的。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中該方法是在不允許在任何實(shí)際程度上發(fā)生擴(kuò)散結(jié) 合的條件下實(shí)施的。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中前述的這些步驟是產(chǎn)生在該第一部件的連接面與 該第二部件的連接面之間的結(jié)合的僅有步驟。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中該互鎖是僅有的結(jié)合機(jī)制。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所提及的這些步驟不是在保護(hù)氣氛或真空中進(jìn)行的。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中壓力主要施加在垂直于該第一部件的連接面和 第二部件的連接面的方向上。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中該壓制步驟是在一個(gè)模具中實(shí)施的，該模具具有 多個(gè)帶有曲率的沖頭以便在壓制過(guò)程中將相同的曲率賦予存在于該模具中的、所結(jié)合的第 一部件與第二部件。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中該第一部件是一個(gè)背襯板。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中該至少一個(gè)突出部分是以一個(gè)或幾個(gè)脊的形式 設(shè)置的。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中這些脊設(shè)置為多個(gè)同心圓。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中這些脊的橫截面是大致T形的。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中這些突出部分設(shè)置在一個(gè)規(guī)則的圖案中。
17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中該至少一個(gè)突出部分設(shè)置在該第一部件上。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中該第一部件是銅或銅合金制成的。
19.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中該第二部件是由來(lái)自下組的材料之一或其組合、 混合物或者合金制成的招、鋰、鎂、銀、金、銦、錫、銘、鉛、秘、鋪、鎘、鈉、鉀、鈹、韓、銀、鋇、碲 或基于這些元素的化合物。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中該第二部件是由鋁或鋁合金制成的。
21.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其中該壓制是在室溫與300°C之間的一個(gè)溫度進(jìn)行的。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其中該壓制是在200°C與300° C之間的一個(gè)溫度進(jìn)行的。
23.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其中施加在垂直于該第一組件的連接面以及該第二組件的連接面的方向上的壓強(qiáng)分量是在20與120MPa之間，按該第一組件的連接面與第二組件的連接面的所結(jié)合部分的總面積進(jìn)行測(cè)量。
24.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其中該結(jié)合是可逆的。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的方法，其中這些工藝條件和/或該至少一個(gè)突出部分的幾何特征被選擇為使得通過(guò)該第一組件與第二組件的機(jī)械分離該結(jié)合是可逆的。
26.—種組件，包括濺射靶的一個(gè)帶有第一連接面的第一部件和濺射靶的一個(gè)帶有第二連接面的第二部件，第一和第二連接面互相結(jié)合在一起，其中第一和第二連接面各自包含具有一個(gè)切口的至少一個(gè)突出部分，并且第二部件與第一部件的互鎖提供結(jié)合強(qiáng)度的至少主要部分，其中焊料結(jié)合和/或擴(kuò)散結(jié)合是次要結(jié)合機(jī)制或者是完全不存在的。
27.根據(jù)權(quán)利要求26所述的組件，其中該互鎖是僅有的結(jié)合機(jī)制。
28.根據(jù)權(quán)利要求26和27中任一項(xiàng)所述的組件在一種濺射工藝中的用途。
全文摘要
本發(fā)明描述一種用于結(jié)合濺射靶的多個(gè)部件的方法，該方法包括下列步驟提供一個(gè)第一部件和一個(gè)第二部件，較硬的部件具有一些切口突起；將它們相互抵靠進(jìn)行定位；并且將它們相對(duì)彼此壓制以引志這兩個(gè)部件中的至少一個(gè)的材料塑性變形，填充這些切口由此產(chǎn)生互鎖；還有如此產(chǎn)生的所結(jié)合的組件，以及其再利用。在所結(jié)合的表面區(qū)域的主要部分上產(chǎn)生除互鎖之外的結(jié)合的步驟不是必需的。
文檔編號(hào)C23C14/34GK102947480SQ201180029082
公開(kāi)日2013年2月27日 申請(qǐng)日期2011年6月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月18日
發(fā)明者R·林斯博德 申請(qǐng)人:優(yōu)美科公司