專利名稱：濺射設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及液晶顯示器制作技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種濺射設(shè)備。
背景技術(shù)：
在液晶面板的制造工藝中，金屬膜和透明導(dǎo)電膜通常需要通過(guò)濺射成膜的技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)。隨著液晶面板尺寸的加大，高世代面板生產(chǎn)線基板朝大尺寸方向發(fā)展，對(duì)于濺射設(shè)備的要求也越來(lái)越高。在濺射成膜工藝中，一般采用托盤(Tray)作為玻璃基板的載體，通過(guò)托盤的承載，確保玻璃基板在濺射設(shè)備的腔體(Chamber)內(nèi)完成成膜工藝和直立機(jī)械傳動(dòng)。如圖4 所示，濺射設(shè)備包括依次連接的承載機(jī)(Position) 7、中間腔體8和換軌腔體(Traverse Chamber) 9，中間腔體8的一端與承載機(jī)7相連，另一端與換軌腔體9相連。如圖1所示，為現(xiàn)有技術(shù)的濺射設(shè)備的承載機(jī)的立體圖，承載機(jī)包括呈上下依次設(shè)置的磁導(dǎo)軌1、支架2及滾輪4，支架2位于磁導(dǎo)軌1和滾輪4之間，該支架2上可支撐用于設(shè)置其上的托盤3。如圖 2所示，為現(xiàn)有技術(shù)的磁導(dǎo)軌1的立體圖，磁導(dǎo)軌1包括橫桿11和磁條12，橫桿11上安裝有三組磁條12，每組磁條12有兩個(gè)，兩個(gè)磁條12有間隙。如圖3所示，為現(xiàn)有技術(shù)的托盤 3的立體圖，托盤3包括在其下部設(shè)置的圓柱型滑桿31以及于其上部設(shè)置的磁性部件32， 磁性部件32的磁性與磁條12的磁性相反，比如，磁性部件32如果是S極，磁條12為N極， 進(jìn)一步包括有固定玻璃基板的支撐件和固定件。中間腔體以及換軌腔體上部均設(shè)置有磁導(dǎo)軌，下部設(shè)置有滾輪，且下部均有兩條軌道。在濺射成膜工藝中，首先由托盤3承載著玻璃基板水平放置在承載機(jī)的支架2上，然后控制支架2和磁導(dǎo)軌1由水平方向翻轉(zhuǎn)到豎直方向上，豎直的托盤3底部的滑桿31這時(shí)位于滾輪4上，然后控制磁導(dǎo)軌1運(yùn)行至托盤3上方，使得托盤3的磁性部件32位于磁條12的間隙中，這時(shí)托盤3的底部位于滾輪4上，磁性部件32由于與磁條12的磁性相反而依靠斥力能夠無(wú)接觸的在磁條12的空隙中保持豎直狀態(tài)，然后支架2松開。托盤3在滾輪4上運(yùn)行，由承載機(jī)一端運(yùn)行至中間腔體，再運(yùn)行到換軌腔體，換軌之后從換軌腔體運(yùn)行至中間腔體再運(yùn)行至承載機(jī)?，F(xiàn)有技術(shù)的不足之處在于，由于托盤的尺寸和重量較大，其在運(yùn)行過(guò)程中不可避免的存在震動(dòng)；同時(shí)由于磁導(dǎo)軌與滾輪在豎直方向上有個(gè)角度偏差，導(dǎo)致托盤與豎直方向也存在一個(gè)傾斜角度，在承載機(jī)中當(dāng)托盤由水平位置翻轉(zhuǎn)至豎直位置時(shí)，以及在換軌腔室水平移動(dòng)換軌后，震動(dòng)幅度過(guò)大時(shí)很容易導(dǎo)致玻璃基板的損壞。此外在支架松開托盤并撤離之后，由于托盤與磁導(dǎo)軌并無(wú)接觸，托盤將不可避免的產(chǎn)生震動(dòng)，震動(dòng)幅度過(guò)大時(shí)很容易導(dǎo)致玻璃基板損壞，在當(dāng)前玻璃基板逐漸變薄的趨勢(shì)下尤為嚴(yán)重。在換軌腔體處，托盤將有一個(gè)水平換軌動(dòng)作，在換軌完成后，磁導(dǎo)軌翻轉(zhuǎn)置于托盤上部，會(huì)產(chǎn)生震動(dòng)導(dǎo)致玻璃基板的損壞。

實(shí)用新型內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問(wèn)題[0006]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是如何減少托盤在濺射成膜工藝中的震動(dòng)，降低玻璃基板因震動(dòng)導(dǎo)致的損壞幾率。( 二 )技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型公開了一種濺射設(shè)備，包括依次連接的承載機(jī)(Position)、中間腔體和換軌腔體(Traverse Chamber)，中間腔體的一端與承載機(jī)相連， 另一端與換軌腔體相連，還包括設(shè)置在所述承載機(jī)、中間腔體和換軌腔體上的托盤；所述承載機(jī)和換軌腔體的上部均具有磁導(dǎo)軌，所述承載機(jī)的磁導(dǎo)軌的底部右端設(shè)置有卡槽，所述換軌腔體的磁導(dǎo)軌的底部左端設(shè)置有卡槽，所述托盤兩側(cè)的頂部設(shè)置有卡扣，所述卡槽與卡扣形成卡合固定裝置。其中，所述卡槽以固定連接或可拆卸連接的方式安裝在磁導(dǎo)軌上。所述卡扣以固定連接或可拆卸連接的方式安裝在托盤上。所述托盤完全位于承載機(jī)中時(shí)，所述承載機(jī)的卡槽與托盤右側(cè)的卡扣的位置相對(duì)應(yīng)。所述托盤完全位于換軌腔體中時(shí)，所述換軌腔體的卡槽與托盤左側(cè)的卡扣的位置相對(duì)應(yīng)。進(jìn)一步地，所述磁導(dǎo)軌包括橫桿，所述橫桿上安裝有若干組磁條。所述托盤頂部具有磁性部件，所述磁性部件的極性與磁條的極性相反。(三)有益效果上述技術(shù)方案具有如下有益效果通過(guò)在磁導(dǎo)軌的底部和托盤頂部的相應(yīng)位置設(shè)置配套的卡槽和卡扣，使得托盤在承載機(jī)由水平位置翻轉(zhuǎn)至豎直位置時(shí)，以及在換軌腔體中水平換軌時(shí)，都能夠減少振幅過(guò)大，震動(dòng)過(guò)多等問(wèn)題，降低了玻璃基板的破碎損壞幾率。

圖1是濺射設(shè)備的承載機(jī)的立體圖；圖2是濺射設(shè)備的磁導(dǎo)軌的立體圖；圖3是濺射設(shè)備的托盤的立體圖；圖4是本實(shí)用新型的濺射設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是本實(shí)用新型在卡槽和卡扣的固定下的托盤和磁導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6是本實(shí)用新型的卡槽和卡扣的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，1 :磁導(dǎo)軌；11 :橫桿；12 磁條；2 支架；3 托盤；31 滑桿；32 磁性部件； 4 滾輪；5 卡槽；6 卡扣；7 承載機(jī)；8 中間腔體；9 換軌腔體。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本實(shí)用新型，但不用來(lái)限制本實(shí)用新型的范圍。如圖4所示，為本實(shí)用新型實(shí)施例的濺射設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖，包括承載機(jī)7，若干個(gè)中間腔體8，換軌腔體9。本實(shí)施例中將承載機(jī)7所在的一端稱為濺射設(shè)備的右端，換軌腔體9所在的一端稱為濺射設(shè)備的左端。其中，承載機(jī)7的左端與中間腔體8的右端連接，中間腔體8的左端與換軌腔體9連接。中間腔體8可以包括加載/傾卸腔體、加熱腔體以及濺射腔體。再結(jié)合圖1、圖2、圖3、圖5以及圖6所示，承載機(jī)7的上部設(shè)置有磁導(dǎo)軌1，用于支撐托盤3的支架2，下部具有滾輪4。磁導(dǎo)軌1包括橫桿11，橫桿11上安裝有三組磁條12， 每組磁條12有兩個(gè)，兩個(gè)磁條12之間具有一定間隙。托盤3的底部為圓柱型的滑桿31， 還有固定玻璃基板的支撐件和固定件，托盤3的頂部具有磁性部件32，磁性部件32的磁性與磁條12的磁性相反。磁導(dǎo)軌1底部的右側(cè)，設(shè)置有卡槽5 ；托盤3兩側(cè)的頂部分別設(shè)置有卡扣6，當(dāng)托盤3恰好完全位于承載機(jī)7中時(shí)，托盤3右端的卡扣6與卡槽5的位置相對(duì)應(yīng)。換軌腔體9的上部也設(shè)置有磁導(dǎo)軌1，下部具有滾輪4。磁導(dǎo)軌1底部的左側(cè)，設(shè)置有卡槽5，當(dāng)托盤3恰好完全位于換軌腔體9中時(shí)，卡槽5的位置與托盤3左端的卡扣6 的位置相對(duì)應(yīng)。再如圖5所示，卡扣6可以是圓柱型體，以固定連接或可拆卸連接的方式安裝在托盤3上；卡槽5具有與卡扣6的形狀相適應(yīng)的槽，也以固定連接或可拆卸連接的方式安裝在磁導(dǎo)軌1上。在對(duì)玻璃基板進(jìn)行濺射成膜的工藝中，首先由托盤3承載著玻璃基板水平放置在承載機(jī)7的支架2上，然后控制支架2和磁導(dǎo)軌1由水平方向翻轉(zhuǎn)到豎直方向上，豎直的托盤3底部的滑桿31這時(shí)位于滾輪4上，然后控制磁導(dǎo)軌1運(yùn)行至托盤3上方，使得托盤3 的磁性部件2位于磁條12的間隙中，這時(shí)托盤3的底部位于滾輪4上，磁性部件2由于與磁條12的磁性相反而依靠斥力能夠無(wú)接觸的在磁條12的空隙中保持豎直狀態(tài)，且托盤3 右端的卡扣6卡在磁導(dǎo)軌1的卡槽5中，使得托盤3能夠比較牢固的位于承載機(jī)7的磁導(dǎo)軌1中，然后支架2松開，托盤3在滾輪4上運(yùn)行。托盤3由承載機(jī)7 —端運(yùn)行至中間腔體 8，再運(yùn)行到換軌腔體9，這時(shí)托盤3左端的卡扣6卡在換軌腔體9上的卡槽5中，使得托盤 3能夠比較牢固的位于換軌腔體9的磁導(dǎo)軌1中。換軌之后托盤3從換軌腔體9運(yùn)行至中間腔體8再運(yùn)行至承載機(jī)7。由以上實(shí)施例可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例通過(guò)在磁導(dǎo)軌的底部和托盤頂部的相應(yīng)位置設(shè)置配套的卡槽和卡扣，使得托盤在承載機(jī)由水平位置翻轉(zhuǎn)至豎直位置時(shí)，以及在換軌腔體中水平換軌時(shí)，都能夠減少振幅過(guò)大、震動(dòng)過(guò)多等問(wèn)題，降低了玻璃基板的破碎損壞幾率。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和變型，這些改進(jìn)和變型也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種濺射設(shè)備，包括承載機(jī)、中間腔體、換軌腔體及托盤，所述承載機(jī)、中間腔體、換軌腔體成順序設(shè)置，中間腔體兩端分別與承載機(jī)與換軌腔體相連；所述托盤設(shè)置于所述承載機(jī)、中間腔體和換軌腔體上；所述承載機(jī)和換軌腔體的上部均設(shè)置有磁導(dǎo)軌，其特征在于，所述承載機(jī)、換軌腔體的磁導(dǎo)軌底部與托盤兩側(cè)的頂部卡合成固定裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的濺射設(shè)備，其特征在于，所述承載機(jī)的磁導(dǎo)軌的底部一端設(shè)置有卡槽，所述換軌腔體的磁導(dǎo)軌的底部一端設(shè)置有卡槽。
3.如權(quán)利要求2所述的濺射設(shè)備，其特征在于，所述托盤兩側(cè)的頂部設(shè)置有卡扣，所述卡扣收容于卡槽內(nèi)，形成卡合固定裝置。
4.如權(quán)利要求3所述的濺射設(shè)備，其特征在于，所述卡槽以固定連接或可拆卸連接的方式安裝在磁導(dǎo)軌上。
5.如權(quán)利要求3所述的濺射設(shè)備，其特征在于，所述卡扣以固定連接或可拆卸連接的方式安裝在托盤上。
6.如權(quán)利要求3所述的濺射設(shè)備，其特征在于，所述托盤完全位于承載機(jī)中時(shí)，所述承載機(jī)的卡槽與托盤右側(cè)的卡扣的位置相對(duì)應(yīng)。
7.如權(quán)利要求3所述的濺射設(shè)備，其特征在于，所述托盤位于換軌腔體中時(shí)，所述換軌腔體的卡槽與托盤左側(cè)的卡扣的位置相對(duì)應(yīng)。
8.如權(quán)利要求3所述的濺射設(shè)備，其特征在于，所述磁導(dǎo)軌包括橫桿，所述橫桿上安裝有若干組磁條。
9.如權(quán)利要求8所述的濺射設(shè)備，其特征在于，所述托盤頂部具有磁性部件，所述磁性部件的極性與磁條的極性相反。
專利摘要本實(shí)用新型涉及液晶顯示器制作技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種濺射設(shè)備，包括承載機(jī)、中間腔體、換軌腔體及托盤，所述承載機(jī)、中間腔體、換軌腔體成順序設(shè)置，中間腔體兩端分別與承載機(jī)與換軌腔體相連，所述托盤設(shè)置于所述承載機(jī)、中間腔體和換軌腔體上；所述承載機(jī)和換軌腔體的上部均設(shè)置磁導(dǎo)軌，所述承載機(jī)的磁導(dǎo)軌的底部右端設(shè)置有卡槽，所述換軌腔體的底部左端設(shè)置有卡槽，所述托盤兩側(cè)的頂部設(shè)置有卡扣，所述卡槽與卡扣能卡合形成固定裝置。本實(shí)用新型能夠減少玻璃基板在濺射成膜工藝中振幅過(guò)大，震動(dòng)過(guò)多等問(wèn)題，降低了玻璃基板的破碎損壞幾率。
文檔編號(hào)C23C14/34GK202187058SQ20112029117
公開日2012年4月11日 申請(qǐng)日期2011年8月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月11日
發(fā)明者黃秋平 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 合肥鑫晟光電科技有限公司