專利名稱：坩堝及真空蒸鍍系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種坩堝及使用該坩堝的真空蒸鍍系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
真空蒸鍍是在真空室中，加熱坩堝中待形成薄膜的原材料，使其原子或分子從表 面氣化逸出，形成蒸汽流，入射到待鍍膜底板表面，凝結(jié)形成固態(tài)薄膜的方法。以電子槍蒸鍍配合離子助鍍法(Ion Assistance Deposition, IAD)的制程中，是 以電子槍轟擊膜料蒸發(fā)至待鍍膜底板上成膜。而放入坩堝中的膜料可以區(qū)分為塊狀和顆粒 狀，而塊狀膜料相對(duì)于顆粒狀膜料價(jià)格昂貴，且受限于坩堝的形狀，必需重新設(shè)計(jì)塊狀膜料 的形狀，從而增加了生產(chǎn)成本。為了節(jié)省成本生產(chǎn)過(guò)程中往往使用顆粒狀膜料，但由于膜料 的顆粒之間的間隙以及顆粒的晶體之間的孔隙，使得膜料內(nèi)殘余有一定量的水氣，而這些 水氣會(huì)導(dǎo)致后續(xù)鍍膜的噴發(fā)面積不均，從而影響膜層表面品質(zhì)。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，有必要提供一種可對(duì)顆粒狀膜料進(jìn)行烘干的坩堝及使用該坩堝的真空 蒸鍍系統(tǒng)。一種坩堝，用于放置顆粒狀膜料；所述坩堝包括一底板、一側(cè)壁及多個(gè)通風(fēng)管道； 所述底板上設(shè)置有一載料區(qū)，用于承載顆粒狀膜料；所述側(cè)壁垂直固設(shè)于底板邊緣，并與所 述底板形成一容置空間；所述每個(gè)通風(fēng)管道包括一進(jìn)氣端和一出氣端；多個(gè)通風(fēng)管道容置 于所述容置空間內(nèi)，且其進(jìn)氣端固設(shè)于側(cè)壁上且與側(cè)壁上的通風(fēng)口相連通，出氣端朝向于 底板并圍繞所述載料區(qū)分布。一種真空蒸鍍系統(tǒng)，其包括一蒸鍍腔、一底座、一坩堝及一熱風(fēng)源；所述底座設(shè)置 于蒸鍍腔內(nèi)；所述坩堝設(shè)置于底座上，用于放置顆粒狀膜料；所述熱風(fēng)源位于底座下方，該 熱風(fēng)源與坩堝相連通；所述坩堝包括一底板、一側(cè)壁及多個(gè)通風(fēng)管道；所述底板上設(shè)置有 一載料區(qū)，用于承載顆粒狀膜料；所述側(cè)壁垂直固設(shè)于底板邊緣，并與所述底板形成一容 置空間；所述每個(gè)通風(fēng)管道包括一進(jìn)氣端和一出氣端；多個(gè)通風(fēng)管道容置于所述容置空間 內(nèi)，且其進(jìn)氣端固設(shè)于側(cè)壁上且與側(cè)壁上的通風(fēng)口相連通，出氣端朝向于底板并圍繞所述 載料區(qū)分布。本發(fā)明提供的坩堝及真空蒸鍍系統(tǒng)通過(guò)通風(fēng)管道對(duì)放置于載料區(qū)中的顆粒狀膜 料進(jìn)行加熱，去除膜料間所含有的水氣，從而有效保證了鍍膜質(zhì)量。


圖1是本發(fā)明實(shí)施方式提供的坩堝的立體示意圖。圖2使用圖1中所提供的坩堝的真空蒸鍍系統(tǒng)剖示圖。
具體實(shí)施例方式以下將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。如圖1所示，為本發(fā)明實(shí)施方式提供的一種坩堝10，用于放置顆粒狀膜料；其采用 鎢、鉬或鉭等高溫耐熱金屬材料制成。所述坩堝10采用一體成型。所述坩堝10包括一底板11、一側(cè)壁12及多個(gè)通風(fēng)管道13。所述底板11為圓形 結(jié)構(gòu)，該底板11上靠近中心的位置處設(shè)置有一載料區(qū)111，用于承載顆粒狀膜料。所述側(cè) 壁12由所述底板11邊緣垂直延伸而成，并與所述底板11形成一半封閉的容置空間14。所 述側(cè)壁12上間隔均勻的開(kāi)設(shè)有多個(gè)圓形通風(fēng)口 122。所述每一通風(fēng)管道13包括一進(jìn)氣端 131和一出氣端132，多個(gè)通風(fēng)管道13容置于所述容置空間14內(nèi)，且每一通風(fēng)管道13的進(jìn) 氣端131固設(shè)于側(cè)壁12上且與側(cè)壁12上的通風(fēng)口 122相連通。所述多個(gè)通風(fēng)管道13的 出氣端132朝向于底板11，且圍繞所述載料區(qū)111分布。所述通風(fēng)管道13與底板11形成 一朝向于側(cè)壁12的銳角。本實(shí)施方式中，所述坩堝10包括五個(gè)通風(fēng)管道13，所述側(cè)壁12上對(duì)應(yīng)所述通風(fēng)管 道13設(shè)有五個(gè)通風(fēng)口 122。所述五個(gè)通風(fēng)管道13的出氣端132兩兩相互鄰接將所述載料 區(qū)111環(huán)繞。如圖2所示，本發(fā)明還提供一種使用所述坩堝10的真空蒸鍍系統(tǒng)100，所述真空 蒸鍍系統(tǒng)100還包括一蒸鍍腔20、一底座30及一熱風(fēng)源40 ；所述底座30設(shè)置于蒸鍍腔20 內(nèi)；所述坩堝10設(shè)置于底座30上；所述熱風(fēng)源40位于底座30下方，該熱風(fēng)源40與坩堝 10的通風(fēng)管道13相連通。在鍍膜開(kāi)始前，使用者將顆粒狀膜料放入到載料區(qū)111，然后打開(kāi)熱風(fēng)源40。由所述 熱風(fēng)源40產(chǎn)生的熱風(fēng)經(jīng)過(guò)通風(fēng)管道13通入到坩堝10的載料區(qū)111，所述熱風(fēng)通過(guò)對(duì)所述顆 粒狀膜料進(jìn)行烘烤，將位于顆粒之間的間隙以及顆粒的晶體之間的孔隙內(nèi)的水氣蒸發(fā)帶走。在鍍膜過(guò)程中，在電子槍的轟擊作用下，位于載料區(qū)111內(nèi)的顆粒狀膜料部分變 成融熔狀態(tài)，由于所述通風(fēng)管道13與底板11之間保持一定的傾角，使得顆粒狀膜料以及融 熔狀態(tài)膜料不會(huì)進(jìn)入到通風(fēng)管道13中，防下殘余膜料對(duì)下次鍍膜的影響。本發(fā)明實(shí)施方式提供的坩堝及真空蒸鍍系統(tǒng)通過(guò)通風(fēng)管道對(duì)放置于載料區(qū)中的 顆粒狀膜料進(jìn)行加熱，去除膜料間所含有的水氣，從而有效保證了鍍膜質(zhì)量?？梢岳斫獾氖?，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思做 出其它各種像應(yīng)的改變與變形，而所有這些改變與變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范 圍。
權(quán)利要求
一種坩堝，用于放置顆粒狀膜料；其特征在于所述坩堝包括一底板、一側(cè)壁及多個(gè)通風(fēng)管道；所述底板上設(shè)置有一載料區(qū)，用于承載顆粒狀膜料；所述側(cè)壁垂直固設(shè)于底板邊緣，并與所述底板形成一容置空間；所述每個(gè)通風(fēng)管道包括一進(jìn)氣端和一出氣端；多個(gè)通風(fēng)管道容置于所述容置空間內(nèi)，且其進(jìn)氣端固設(shè)于側(cè)壁上且與側(cè)壁上的通風(fēng)口相連通，出氣端朝向于底板并圍繞所述載料區(qū)分布。
2.如權(quán)利要求1所述的坩堝，其特征在于所述多個(gè)通風(fēng)管道的出氣端兩兩相互鄰接 將所述載料區(qū)環(huán)繞。
3.如權(quán)利要求1所述的坩堝，其特征在于所述底板為圓形結(jié)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求1所述的坩堝，其特征在于所述多個(gè)通風(fēng)口均勻間隔開(kāi)設(shè)于側(cè)壁。
5.如權(quán)利要求1所述的坩堝，其特征在于所述坩堝采用一體成型。
6.如權(quán)利要求1所述的坩堝，其特征在于所述坩堝采用高溫耐熱金屬材料制成。
7.如權(quán)利要求6所述的坩堝，其特征在于所述高溫耐熱金屬材料為鎢、鉬或鉭中的一種。
8.一種真空蒸鍍系統(tǒng)，其包括一蒸鍍腔、一底座、一坩堝及一熱風(fēng)源；所述底座設(shè)置于 蒸鍍腔內(nèi)；所述坩堝設(shè)置于底座上，用于放置顆粒狀膜料；所述熱風(fēng)源位于底座下方，該熱 風(fēng)源與坩堝相連通；其特征在于所述坩堝包括一底板、一側(cè)壁及多個(gè)通風(fēng)管道；所述底板 上設(shè)置有一載料區(qū)，用于承載顆粒狀膜料；所述側(cè)壁垂直固設(shè)于底板邊緣，并與所述底板形 成一容置空間；所述每個(gè)通風(fēng)管道包括一進(jìn)氣端和一出氣端；多個(gè)通風(fēng)管道容置于所述容 置空間內(nèi)，且其進(jìn)氣端固設(shè)于側(cè)壁上且與側(cè)壁上的通風(fēng)口相連通，出氣端朝向于底板并圍 繞所述載料區(qū)分布。
全文摘要
本發(fā)明提供一種坩堝，用于放置顆粒狀膜料；所述坩堝包括一底板、一側(cè)壁及多個(gè)通風(fēng)管道；所述底板上設(shè)置有一載料區(qū)，用于承載顆粒狀膜料；所述側(cè)壁垂直固設(shè)于底板邊緣，并與所述底板形成一容置空間；所述每個(gè)通風(fēng)管道包括一進(jìn)氣端和一出氣端；多個(gè)通風(fēng)管道容置于所述容置空間內(nèi)，且其進(jìn)氣端固設(shè)于側(cè)壁上且與側(cè)壁上的通風(fēng)口相連通，出氣端朝向于底板并圍繞所述載料區(qū)分布。本發(fā)明通過(guò)通風(fēng)管道對(duì)放置于載料區(qū)的顆粒狀膜料進(jìn)行加熱，去除膜料間所含有的水氣，從而有效保證了鍍膜質(zhì)量。本發(fā)明還提供一種真空蒸鍍系統(tǒng)。
文檔編號(hào)C23C14/24GK101906610SQ20091030289
公開(kāi)日2010年12月8日 申請(qǐng)日期2009年6月3日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月3日
發(fā)明者裴紹凱 申請(qǐng)人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司