專利名稱:多通道智能微噴送粉激光熔覆裝置的制作方法
專利說(shuō)明多通道智能微噴送粉激光熔覆裝置 本發(fā)明涉及一種多通道智能微噴送粉激光熔覆裝置,它主要用于激光微熔覆制造混合集成電路基板的設(shè)備,屬于電子行業(yè)混合集成電路制造技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù):
關(guān)于多通道智能微噴送粉激光熔覆裝置,目前國(guó)內(nèi)外尚無(wú)相關(guān)報(bào)道。
混合集成電路基板、多層和三維線路板的制造是電子產(chǎn)業(yè)的核心支柱,特別是目前商用的計(jì)算機(jī)、電子及通信設(shè)備中的核心芯片及高端集成電路芯片的制造是世界科技經(jīng)濟(jì)及產(chǎn)業(yè)的潮流與支柱,該行業(yè)的發(fā)展基礎(chǔ)是,制造高端集成電路的“工業(yè)型數(shù)控激光微熔覆技術(shù)與設(shè)備”,為此,本發(fā)明提出一種多通道智能微噴送粉激光熔覆裝置,多通道智能微噴送粉,配合激光器及工作臺(tái),實(shí)現(xiàn)混合集成電路基板、多層和三維線路板的激光三維微熔覆制造。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供多通道智能微噴送粉激光熔覆裝置,它采用多通道智能微噴送粉及多種組合方式,實(shí)現(xiàn)混合集成電路基板、多層和三維線路板的激光三維微熔覆制造。
本發(fā)明主要由微噴針管、數(shù)控針管工作臺(tái),數(shù)控針管庫(kù)、數(shù)控?fù)Q管機(jī)構(gòu),氣動(dòng)系統(tǒng)及粉料箱組成,配合激光器及工作臺(tái),即可進(jìn)行組成多通道智能微噴送粉激光熔覆裝置。
本發(fā)明的特征在于,數(shù)控針管工作臺(tái)置于移動(dòng)工作臺(tái)上方,數(shù)控針管工作臺(tái)的上方安裝激光器,數(shù)控針管工作臺(tái)兩側(cè)分別安裝數(shù)控?fù)Q針管機(jī)構(gòu),兩個(gè)數(shù)控?fù)Q針管機(jī)構(gòu)外側(cè)分別裝配著數(shù)控針管庫(kù),全部機(jī)構(gòu)都通過(guò)控制電纜與系統(tǒng)數(shù)控中心相連。
本發(fā)明的特征還在于,系統(tǒng)數(shù)控中心控制數(shù)控針管工作臺(tái)進(jìn)行多針管、多工位、多通道微噴送料,采用數(shù)控針管庫(kù)及數(shù)控?fù)Q管機(jī)構(gòu),實(shí)現(xiàn)多品種、多針孔、多層次微噴送料,系統(tǒng)數(shù)控中心控制微噴氣動(dòng)裝置,微噴氣動(dòng)裝置控制微細(xì)針管進(jìn)行微噴,實(shí)現(xiàn)了多通道微噴送粉的數(shù)字化智能化,與激光束進(jìn)行多用組合,具有“一粉兩光、雙粉雙光及多粉雙光”等光束與送粉的組合熔覆方式,實(shí)現(xiàn)實(shí)現(xiàn)混合集成電路基板、多層和三維線路板的激光三維微熔覆制造。
附圖是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖,其中,1為數(shù)控針管庫(kù)I,2為數(shù)控?fù)Q針管機(jī)構(gòu)I,3系統(tǒng)數(shù)控中心,4為激光器為,5為氣動(dòng)裝置,6粉料箱A,7為粉料箱B,8為針筒,9為針頭快換接頭,10為針頭,11為數(shù)控針管工作臺(tái),12為工位I的針管,13為激光束,14為移動(dòng)平臺(tái),15為工件,16為為工位II的針管,17為數(shù)控?fù)Q針管機(jī)構(gòu)II,18為數(shù)控針管庫(kù)II,19為進(jìn)料口,20為氣控口。
實(shí)施方案 下面結(jié)合附圖加以說(shuō)明。
將激光熔覆漿料預(yù)先注入微噴微細(xì)針管內(nèi),把漿料的成份、粘度等參數(shù)輸入到系統(tǒng)數(shù)控中心3,由其發(fā)指令,由1數(shù)控針管庫(kù)I轉(zhuǎn)動(dòng)出安裝位置,將注滿漿料的微細(xì)針管置入,按此方式,將本次激光微熔覆的各種漿料分別注入微細(xì)針管,全部放置于數(shù)控針管庫(kù)I、II上,裝料完成后,系統(tǒng)數(shù)控中心3其發(fā)指令控制數(shù)控針管工作臺(tái)11運(yùn)轉(zhuǎn),由2數(shù)控?fù)Q針管機(jī)構(gòu)I,將需要的漿料針管自動(dòng)夾持到微噴工位12上,系統(tǒng)數(shù)控中心3控制微噴氣動(dòng)裝置,微噴氣動(dòng)裝置控制微細(xì)針管進(jìn)行微噴,系統(tǒng)數(shù)控中心3控制激光器4及工件工作臺(tái)14,開始進(jìn)行激光熔覆運(yùn)轉(zhuǎn),數(shù)控針管工作臺(tái)可設(shè)置2-4工位,依此可完成數(shù)字化智能化的多通道微噴送粉,完成混合集成電路基板、多層和三維線路板的激光三維微熔覆制造。
權(quán)利要求
一種多通道智能微噴送粉激光熔覆裝置,其特征在于,數(shù)控針管工作臺(tái)置于移動(dòng)工作臺(tái)上方,數(shù)控針管工作臺(tái)的上方安裝激光器,數(shù)控針管工作臺(tái)兩側(cè)分別安裝數(shù)控?fù)Q針管機(jī)構(gòu),兩個(gè)數(shù)控?fù)Q針管機(jī)構(gòu)外側(cè)分別裝配著數(shù)控針管庫(kù),全部機(jī)構(gòu)都通過(guò)控制電纜與系統(tǒng)數(shù)控中心相連。
全文摘要
一種多通道智能微噴送粉激光熔覆裝置,它主要用于激光微熔覆制造混合集成電路基板的設(shè)備,它采用數(shù)控針管工作臺(tái)進(jìn)行多針管、多工位、多通道微噴送料,采用數(shù)控針管庫(kù)及數(shù)控?fù)Q管機(jī)構(gòu),實(shí)現(xiàn)多品種、多針孔、多層次微噴送料,多通道微噴送粉的數(shù)字化智能化與激光束進(jìn)行多用組合,具有“一粉兩光、雙粉雙光及多粉雙光”等光束與送粉的組合熔覆方式,實(shí)現(xiàn)混合集成電路基板、多層和三維線路板的激光三維微熔覆制造。
文檔編號(hào)C23C24/10GK101407913SQ20071013284
公開日2009年4月15日 申請(qǐng)日期2007年10月8日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月8日
發(fā)明者濤 王, 姚建銓, 劉曉雯, 李福增, 楊愷凱, 金仲偉, 朱超男, 晶 陸 申請(qǐng)人:無(wú)錫浩波光電子有限公司