專利名稱：成膜裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及成膜裝置。更詳細(xì)地說，涉及能夠?qū)Τ尚图庸ぶ笠廊涣粼谀＞呱系幕w材料進(jìn)行成膜加工的成膜裝置。
背景技術(shù)：
已有的成膜裝置將基體材料裝載于成膜裝置用的托架或成膜裝置本身(成膜裝置等)上進(jìn)行成膜加工。因此使用于汽車上的車燈的反射器等基體材料在成型加工之后從模具上取下，裝載于成膜裝置等上進(jìn)行成膜加工。

發(fā)明內(nèi)容
如上所述，在已有的成膜裝置中，在成型加工之后，需要從模具上回收基體材料，裝載于成膜裝置等上進(jìn)行成膜加工的步驟。
本發(fā)明的目的在于，提供通過在成型加工之后對(duì)依然裝載在模具上的基體材料進(jìn)行成膜加工，不需要從模具上取下基體材料并安裝于成膜裝置的步驟，能夠減少產(chǎn)品的加工工序，而且減少產(chǎn)品的加工時(shí)間和加工成本的成膜裝置。
為了解決上述課題，本發(fā)明的成膜裝置具有一端利用底部封閉，另一端開放的筒狀的框體、設(shè)置于所述底部?jī)?nèi)表面的靶、以及貫通所述框體的壁部形成的端口(權(quán)利要求1)。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，能夠?qū)σ廊谎b載在模具上的基體材料進(jìn)行成膜加工，因此能夠減少產(chǎn)品的加工工序，而且減少產(chǎn)品的加工時(shí)間和加工成本。
也可以所述靶設(shè)置為與所述壁部電氣絕緣(權(quán)利要求2)。
也可以所述底部具有導(dǎo)電性(權(quán)利要求3)。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，能夠通過所示底部對(duì)所述靶施加電壓，因此能夠簡(jiǎn)化成膜裝置的電氣系統(tǒng)。
也可以所述底部的外表面具有電氣連接端子(權(quán)利要求4)。
也可以在所述壁部配設(shè)門閥以對(duì)所述框體的開放的另一端與所述靶的連通進(jìn)行開閉控制(權(quán)利要求5)。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，能夠包圍著所述靶的主面形成預(yù)備性閉鎖空間，因此能夠謀求縮短抽真空的時(shí)間和保護(hù)所述靶。
也可以所述成膜裝置具有在前面配設(shè)所述靶，并且在后面配設(shè)所述電氣連接端子的裝置部、貫通壁部地形成所述端口的筒狀端口部、具有電氣絕緣性的環(huán)狀絕緣襯墊、具有形成貫通孔的框體而且在該貫通孔上配設(shè)可開閉的門閥的門閥部、以及具有形成貫通孔的框體而且在該貫通孔的周圍的該框體的外表面上形成與模具接合面的接合面的轉(zhuǎn)接器部；所述端口部的后端通過所述絕緣襯墊與所述裝置部的前面的所述靶的周圍部分接合，而且在該端口部的前端依序接合所述門閥部和所述轉(zhuǎn)接器部，所述絕緣襯墊的內(nèi)孔，所述端口部的內(nèi)孔、所述門閥部的貫通孔、以及所述轉(zhuǎn)接器部的貫通孔相互連通，而且形成為所述轉(zhuǎn)接器部的所述接合面位于前端的結(jié)構(gòu)，并且形成為該接合面能夠與留在的基體材料周圍的模具接合面接合(權(quán)利要求6)。
也可以所述裝置部在所述靶的背后具有磁體和冷卻系統(tǒng)(權(quán)利要求7)。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，能夠?qū)嵤┐趴毓転R射。
也可以在所述轉(zhuǎn)接器部的所述貫通孔的周圍的所述框體的外表面上，形成在與所述留在的基體材料的周圍的模具接合面接合時(shí)能夠覆蓋所述基體材料的規(guī)定的一部分的防附著部(權(quán)利要求8)。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，能夠不在規(guī)定的場(chǎng)所成膜。
也可以在所述端口上連接具有閥門、減壓用的腔室和真空泵的配管，形成所述配管能夠有選擇地切換真空泵與減壓用的腔室的連接的結(jié)構(gòu)(權(quán)利要求9)。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，能夠利用減壓用的腔室縮短抽真空的時(shí)間。
如上所述，本發(fā)明能夠在成型加工之后對(duì)依然裝載在成型加工用的模具上的基體材料進(jìn)行成膜加工，因此能夠?qū)崿F(xiàn)減少產(chǎn)品的加工工序，而且減少產(chǎn)品的加工時(shí)間和加工成本的效果。


圖1是表示本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的成膜裝置的大概結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖，(a)是正面圖，(b)是側(cè)面圖，(c)是背面圖。
圖2是表示圖1的成膜裝置的結(jié)合構(gòu)造的分解立體圖。
圖3是表示圖1的III-III線斷面上的成膜裝置、模具、基體材料的結(jié)合構(gòu)造的剖面圖。
圖4是表示采用圖1的成膜裝置的成膜工序的大概情況的流程圖。
圖5是表示與圖3相同的斷面線上的，本發(fā)明實(shí)施形態(tài)2的成膜裝置、模具、基體材料的結(jié)合構(gòu)造的剖面圖。
圖6是例示圖5的成膜裝置上連接的排氣系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)的配管圖。
符號(hào)說明1 裝置部1a 靶1b 磁體1c、1p 冷卻液流路1d 冷卻液配管連接部1e 接合面
1f 電氣連接端子1g 螺栓插通孔1h 框體2 絕緣襯墊2c 內(nèi)孔2g 螺栓插通孔3 端口部3a 端口3b 配管連接部3c 內(nèi)孔3e 第1端面3f 第2端面3g 螺絲孔3j 螺栓插通孔4 門閥部4a 閥體4b 閥體移動(dòng)空間4c 貫通孔4e、4f 接合面4j 螺絲孔4k 螺絲孔4n、4m 凸起部(ボス部)5 轉(zhuǎn)接器部5a 防附著部5b O形環(huán)5c 貫通孔5e 第1面5f 開口側(cè)端面(第2面)5k 螺栓插通孔7、8、9 螺栓11 絕緣保護(hù)構(gòu)件13 端口部13a 端口13b 配管連接部
13c 內(nèi)孔13e 第1端面13f 第2端面13k 螺絲孔15 凹部15a 階梯部21、22、23 配管24 減壓用的腔室50 中心軸61 零件成型用的凹部100、110 成膜裝置200 排氣系統(tǒng)A 預(yù)備性閉鎖空間B 閉鎖空間C 閉鎖空間V1、V2、V3 閥門P1 第1真空泵P2 第2真空泵W 基體材料Wa 成膜面P 模具Pa 模具接合面P’ 模具具體實(shí)施方式
下面參照?qǐng)D附圖對(duì)實(shí)施本發(fā)明用的最佳形態(tài)進(jìn)行說明。
實(shí)施形態(tài)1圖1是表示本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的成膜裝置100的大概結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖，(a)是正面圖，(b)是側(cè)面圖，(c)是背面圖。圖2是表示圖1的成膜裝置100的結(jié)合構(gòu)造的分解立體圖。為了便于說明，將結(jié)構(gòu)要素分解表示。圖3是表示圖1的III-III線斷面上的成膜裝置100、模具P、基體材料W的結(jié)合構(gòu)造的剖面圖。又，在圖3中，螺栓7、8、9以及絕緣保護(hù)構(gòu)件11僅表示出一部分，相同的螺栓等的圖示省略。
首先對(duì)總體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。如圖1～圖3所示，成膜裝置100，作為總體，具有一端利用底部(即裝置部1)封閉，另一端開放的筒狀的形狀，在底部?jī)?nèi)表面上配置靶1a，開口側(cè)端面5f具有環(huán)狀接合面。靶1a如下所述與筒狀的成膜裝置100的內(nèi)孔2c的壁面、內(nèi)孔3c的壁面、貫通孔4c的壁面、貫通孔5c的壁面、以及開放側(cè)端面5f成電氣絕緣配置。又，成膜裝置100上形成連通閉鎖空間B與成膜裝置100的外部的之間的單個(gè)或多個(gè)端口3a。
在這里，成膜裝置100分為裝置部1、絕緣襯墊2、端口部3、門閥部4、轉(zhuǎn)接器部5構(gòu)成。這些構(gòu)件利用螺栓7、8、9相互緊密連接形成一體。而且裝置部1的靶1a的主面、襯墊2的內(nèi)孔2c、端口部3的內(nèi)孔3c、門閥部4的貫通孔4c、以及轉(zhuǎn)接器部5的貫通孔5c配設(shè)為共有中心軸。借助于此，閉鎖空間B形成為以靶1a為底面的柱狀。而且這些構(gòu)件在其接合面上隔著O形環(huán)等密封材料(未圖示)形成為一體。借助于此，閉鎖空間B形成氣密結(jié)構(gòu)。
下面以從裝置部1向轉(zhuǎn)接器部5的方向作為前方，對(duì)各構(gòu)件的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說明。
裝置部1具有由剛性材料構(gòu)成的框體1h?？蝮w1h的形狀如圖3所示，即在大直徑部的前端面上，共有中心軸50地突出連接著小直徑部，形成帶有階梯的圓柱狀。然后在小直徑部的前端面上配設(shè)靶1a。也就是說，在小直徑部的前端面上形成具有階梯部15a的凹部15，階梯部15a上液體密封地配設(shè)靶1a。而且在靶1a的背面上配設(shè)磁體1b，并且在與凹部15的內(nèi)表面之間保持間隙(冷卻液流路1c)。在凹部15的底面上形成一對(duì)達(dá)到大直徑部的后端面的冷卻液流路1p、1p。而且在一對(duì)冷卻液流路1p、1p的開口部上，向大直徑部的后端面、即裝置1的后面突出地分別配設(shè)一對(duì)冷卻液配管連接部1d、1d。冷卻液配管連接部1d由冷卻液入口用和冷卻液出口用的一對(duì)構(gòu)成。這樣形成能夠從一冷卻液配管連接部1d經(jīng)一冷卻液流路1p到達(dá)冷卻液流路1c，經(jīng)過另一冷卻液流路1p到達(dá)冷卻液配管連接部1d的冷卻液流路，能夠?qū)Π?a和磁體1b進(jìn)行冷卻。
而且裝置部1的階梯面構(gòu)成接合面1e。在該接合面1e上形成多個(gè)螺栓插通孔1g以貫通大直徑部。
又在框體1h的后面突出設(shè)置電氣連接端子1f。電氣連接端子1f與靶1a電氣連接。在這里，框體1h用高電導(dǎo)率的金屬構(gòu)成，以此連接電氣連接端子1f與靶1a。
端口部3形成為筒狀。作為端口部3的后端面的第1端面3e，形成為能夠與裝置部1的接合面1e接合的環(huán)狀的形狀，即與裝置部1的大直徑部具有大致相同的外徑，而且具有比裝置部1的小直徑部大的內(nèi)徑(內(nèi)孔3c的直徑)。而且在第1端面3e上，與裝置部1的螺栓插通孔1g對(duì)應(yīng)地形成螺絲孔3g。在端口部3的壁部，將其貫通形成端口3a。在這里，在圓周方向上形成3個(gè)端口3a，但是可以是單數(shù)也可以是復(fù)數(shù)。端口3a的向端口部3的外周面的開口部配設(shè)配管連接部3b。又，端口部3的壁部，其前端部向內(nèi)延伸設(shè)置，貫通該延伸設(shè)置的部分形成多個(gè)螺栓插通孔3j。
絕緣襯墊2形成為具有與端口部3的第1端面3e大致相同的外徑和內(nèi)徑(內(nèi)孔2c的直徑)的中空?qǐng)A板狀。又在絕緣襯墊2上與裝置部1的螺栓插通孔1g對(duì)應(yīng)地形成螺栓插通孔2g。又，絕緣襯墊2為了使裝置部1的接合面1e與端口部3的第1端面3e之間電氣絕緣并且實(shí)現(xiàn)密封，利用橡膠制造的襯墊等具有電氣絕緣性和彈性的材料構(gòu)成。
在這里，對(duì)裝置部1、絕緣襯墊2、端口部3的結(jié)合結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。裝置部1與端口部3，使絕緣襯墊2介于接合面1e與第1端面3e之間，用螺栓將其相互緊固以形成一體。借助于此，裝置部1與端口部3相互不接觸，而且形成絕緣襯墊2介于接合面1e與第1端面3e的相互對(duì)向的全部部分之間的結(jié)構(gòu)。又，在用螺栓9進(jìn)行緊固時(shí)，在螺栓插通孔1g與2g中插通具有帶凸緣的圓筒狀的電氣絕緣性的絕緣保護(hù)構(gòu)件11，將該絕緣保護(hù)構(gòu)件11插通后將螺栓9擰在端口部3的螺絲孔3g中。以此防止裝置部1與端口部3通過螺栓9在電氣上導(dǎo)通。
門閥部4其整體形成為中央具有貫通孔4c的矩形的板狀。在門閥部4的內(nèi)部，橫過貫通孔4c形成板狀的閥體移動(dòng)空間4b。板狀的閥體4a可在閥體移動(dòng)空間4b內(nèi)滑移以開閉貫通孔4c地容納于閥體移動(dòng)空間4b中。閥體4a連接于未圖示的汽缸的活塞桿等致動(dòng)器上，由該致動(dòng)器矩形滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)，開閉貫通孔4c。該致動(dòng)器與門閥部的滑動(dòng)部被適當(dāng)密封，借助于此，閥體移動(dòng)空間4b在閥體4a滑移時(shí)也對(duì)外部保持氣密密封，使外部氣體不能夠流入。而且貫通孔4c設(shè)定為具有比基體材料W的成膜面Wa大的斷面積。而且在貫通孔4c的兩邊的開口的周圍分別設(shè)置凸起部4n、4m，該凸起部的端面構(gòu)成接合面4e、4f。接合面4e上與端口部3的螺栓插通孔3j對(duì)應(yīng)地形成螺絲孔4j。又在接合面4f上形成螺絲孔4k。該密封部4，具體地說，在實(shí)施形態(tài)1中用公知的真空設(shè)備用的門閥(S·K·K真空工程株式會(huì)社制造的高真空門閥(帶保護(hù)環(huán)))構(gòu)成。
門閥部4相對(duì)于端口部3，貫通孔4c與端口部3的內(nèi)孔3c共有中心軸50，而且接合面4e與端口部3的第2接合面3f接合然后用螺栓8緊固形成一體。螺栓8插通端口部3的螺栓插通孔3j然后擰緊在門閥部4的螺絲孔4j中。又，端口部3的第2端面3f與門閥部4的接合面4e的接合部利用未圖示的密封構(gòu)件密封。
轉(zhuǎn)接器部5在這里形成為正方形的板狀，在中央部形成貫通孔5c。而且，轉(zhuǎn)接器部5的后面、即第1面5e構(gòu)成與門閥部4的接合面4f的接合面。又，轉(zhuǎn)接器部5的前面、即第2面5f構(gòu)成與模具P的模具結(jié)合面Pa的接合面。在該第2面5f上，在貫通孔5c的開口周圍突出設(shè)置環(huán)狀的防附著部5a。
也就是說，在模具P的模具接合面Pa上形成零件成型用的凹部61，在該零件成型用的凹部61中形成基體材料W。轉(zhuǎn)接器部5的貫通孔5c的開口形成為，在轉(zhuǎn)接器部5與模具P接合時(shí)該基體材料W的應(yīng)該成膜的表面(以下稱為“成膜面”)Wa曝露于貫通孔5c(換句話說成膜裝置100的閉鎖空間B)?；蚴秦炌?c的壁面與成膜面Wa的外周一致地形成，在模具接合面Pa上不形成膜。另一方面，因基體材料W而不同，有時(shí)候在成膜面Wa的外緣部具有不能夠成膜的表面(以下稱為“非成膜面”)，因此在轉(zhuǎn)接器部5的貫通孔5c的開口的周圍，形成在轉(zhuǎn)接器部5與模具P接合時(shí)與該基體材料W的非成膜面接觸并將其覆蓋的環(huán)狀的防附著部5a。這樣的所謂基體材料的W的非成膜面，是例如基體材料W為與其他零件接合使用的零件的情況下的該接合面。又，在基體材料W的成型中，有時(shí)候基體材料W的外緣部形成于比模具接合面Pa更前方一側(cè)的位置、即比模具接合面Pa更靠里邊的位置。因此防附著部5a形成為凸部的形狀。
在轉(zhuǎn)接器部5的第2面5f上，在與門閥部4的螺絲孔4k對(duì)應(yīng)的位置上設(shè)置容納螺栓7的頭部用的凹部(锪孔)，在該锪孔形成螺栓插通孔5k。又，在第2面5f上而圍著防附著部5a配設(shè)O形環(huán)5b。
轉(zhuǎn)接器部5對(duì)門閥4，貫通孔5c與門閥部4的貫通孔4c共有中心軸50，而且第1面5e與門閥部4的接合部4f接合，然后用螺栓7緊固形成一體。螺栓7插通轉(zhuǎn)接器部5的螺栓插通孔5k，擰緊門閥部4的螺絲孔4k中。該螺栓7的頭部容納于螺栓插通孔5k的锪孔中，因此在模具P與轉(zhuǎn)接器部5接合時(shí)能夠防止螺栓7的頭部與模具P接觸。又，轉(zhuǎn)接器部5的第1面5e與門閥部4的接合面4f的接合部利用未圖示的密封構(gòu)件密封。
如上所述，成膜裝置100是將裝置部1、絕緣襯墊2、端口部3、門閥部4、以及轉(zhuǎn)接器部5依序接合構(gòu)成的。
下面對(duì)這樣構(gòu)成的成膜裝置100的動(dòng)作進(jìn)行說明。
圖4是表示采用圖1的成膜裝置100的成膜工序的大概情況的流程圖。圖中，成膜裝置100將圖3的剖面圖簡(jiǎn)化表示。
首先，如圖4(a)所示，基體材料W利用模具P、P’形成。
然后，如圖4(b)所示，成型后使模具P、P’的模具接合面分離?；w材料W留在模具P上，成膜面Wa露出。
另一方面，在成膜裝置100中，通過規(guī)定的操作驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器(未圖示)，閥體4a將貫通孔4c關(guān)閉，由閥體4a、內(nèi)孔2c、內(nèi)孔3c、貫通孔4c、以及裝置部1，預(yù)備性構(gòu)成閉鎖空間A。配管連接部3b連接配管(未圖示)與公知的真空泵(未圖示)，借助于該真空泵，預(yù)備性地使閉鎖空間A形成為一定壓力的真空狀態(tài)。通過預(yù)先形成真空狀態(tài)，能夠縮短與基體材料W接合之后的抽真空所需要的時(shí)間。又，在成膜以外的時(shí)間，使門閥部4處于關(guān)閉狀態(tài)，通過使靶1a處于真空中，能夠防止靶1a受到損傷，特別是能夠防止其受到氧化。
又在冷卻液配管連接部1d、1d上，從外部連接配管，冷卻液流過冷卻液流路1p、1c。
還有，配管連接部3b的一部分也可以不與真空泵連接，而通過開閉閥與公知的氣體供給裝置連接。這是為了能夠提供氫氣等發(fā)電氣體和甲烷氣體等反應(yīng)性氣體。
接著，如圖4(c)所示，使模具P或成膜裝置100中的一方或雙方移動(dòng)，使成膜裝置100的轉(zhuǎn)接器部5的第2面5f與模具P的模具接合面Pa接合。在模具接合面Pa與成膜裝置100的接合中，基體材料W的成膜面Wa與貫通孔5c相對(duì)，O形環(huán)5b在整個(gè)一周上與模具接合面Pa接合，而且使防附著部5a與基體材料W的規(guī)定地方接觸(將規(guī)定的地方覆蓋)。在這里，成膜裝置100利用機(jī)器框架等的支持構(gòu)件(未圖示)加以支持，從后面賦予接合力。在這樣的支持結(jié)構(gòu)中，裝置部1由于被施加濺射用的電壓，為了支持成膜裝置100，有必要對(duì)裝置部以外的地方加以支持。例如可以支持轉(zhuǎn)接器部5。
接著，如圖4(d)所示，借助于規(guī)定的操作，在致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)下，閥體4a從貫通孔4c后退，由成膜面Wa、防附著部5a、貫通孔5c、貫通孔4c、內(nèi)孔3c、內(nèi)孔2c、以及裝置部1，形成閉鎖空間B。然后，通過端口3a和配管連接部3b，利用真空泵抽真空，閉鎖空間B形成規(guī)定的高真空狀態(tài)。在這里，由于預(yù)先使閉鎖空間A預(yù)備性形成真空狀態(tài)，在閥體4a打開后可以縮短抽真空的時(shí)間。又，在模具接合面Pa與轉(zhuǎn)接器部5之間，利用O形環(huán)5b可以防止外部氣體流入。
然后，在靶1a(正確地說是在電氣連接端子1f與端口部3之間)時(shí)間規(guī)定的電壓，從靶1a濺射出來的成膜材料在閉鎖空間B內(nèi)移動(dòng)，析出于基體材料W的成膜面Wa上，以此在成膜面Wa上成膜。也就是說，閉鎖空間B作為真空腔室起作用。在這里，裝置部1以外的結(jié)構(gòu)要素和基體材料W利用絕緣襯墊2以及絕緣保護(hù)構(gòu)件11與裝置部1電氣絕緣，因此通過在裝置部1的電氣連接端子1f上施加電壓，能夠在靶1a與裝置部1以外的結(jié)構(gòu)要素以及基體材料W之間產(chǎn)生電位差。又，由于在靶1a的背后設(shè)置磁體1b，因此能夠?qū)崿F(xiàn)磁控管濺射。
這種成膜過程與公知的成膜裝置相同。還有，根據(jù)需要也可以從一部分端口3a注入放電氣體和反應(yīng)性氣體。
接著，如圖4(e)所示，在成膜完成后，利用規(guī)定的操作由致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)，閥體4a關(guān)閉貫通孔4c。以此預(yù)備性地維持閉鎖空間A的真空狀態(tài)。
其后，如圖4(f)所示，將模具P與成膜裝置100分開。
接著，如圖4(g)所示，從模具P上取下成膜后的基體材料W。
還有，在上面所述中，例示了磁控管濺射，但是本發(fā)明由于可以將閉鎖空間B作為真空腔室使用，因此通過改變與基體材料W的成膜面Wa對(duì)置的閉鎖空間B的壁面、即靶的配設(shè)場(chǎng)所中的裝置類的配置，可以實(shí)現(xiàn)各種真空成膜方法。
實(shí)施形態(tài)2本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)2例示將實(shí)施形態(tài)1的門閥部4省略的成膜裝置110。
圖5是表示與圖3相同的斷面上的，成膜裝置110、模具P、基體材料W的接合構(gòu)造的剖面圖。
成膜裝置110是將裝置部1、絕緣襯墊2、端口部13、轉(zhuǎn)接器部5依序接合，利用螺栓7、9形成一體構(gòu)成的。除了不具有門閥部4以及具有端口部3的形狀改變而形成的端口部13以外，其他與實(shí)施形態(tài)1的成膜裝置100相同。
在這里，端口部13形成第2端面13f與轉(zhuǎn)接器部5的第1面5e接合的結(jié)構(gòu)。在第2端面13f上與螺栓插通孔5k對(duì)應(yīng)形成螺絲孔13k。又，第2端面13f的向內(nèi)的延伸設(shè)置部的壁厚比實(shí)施形態(tài)1的第2端面3f的向內(nèi)的延伸設(shè)置部厚度大。
其他結(jié)構(gòu)要素與成膜裝置100相同，因此其說明省略。
轉(zhuǎn)接器部5相對(duì)于端口部13，貫通孔5c與端口13的內(nèi)孔13c共有中心軸50，而且第1面5e與端口部13的第2端面13f接合，用螺栓7緊固形成一體。螺栓7插通轉(zhuǎn)接器部5的螺栓插通孔5k，擰緊在端口部13的螺絲孔13k中。
第1面5e與第2端面13f的接合部被適當(dāng)密封。
又，這樣構(gòu)成的第2實(shí)施形態(tài)的成膜裝置110的動(dòng)作，除了沒有門閥部4的動(dòng)作外，與實(shí)施形態(tài)1的成膜裝置100相同。
成膜裝置110在模具P與成膜裝置110接合之后，通過端口13a以及配管連接部13b將由成膜面Wa、防附著部5a、貫通孔5c、內(nèi)孔13c、內(nèi)孔2c、以及裝置部1形成的閉鎖空間C抽真空。
在這里，圖6是例示圖5的成膜裝置110上連接的排氣系統(tǒng)200的概略結(jié)構(gòu)的配管圖。
排氣系統(tǒng)200形成具有配管21、22、23、真空泵P1、P2、減壓用腔室24、以及閥門V1、V2、V3的結(jié)構(gòu)。
配管21其一端連接于配管連接部13b，另一端與配管22、23的一端分別連接。
配管22的另一端連接于第2真空泵P2的吸入端口。又，配管22上從上述一端側(cè)開始依序配設(shè)閥門V2、減壓用腔室24、第1真空泵P1、閥門P3。第1真空泵P1、其吸入端口連接于減壓用腔室24。
配管23在中途具有閥門V1，另一端連接于第2真空泵P2的吸入端口。
下面對(duì)這樣構(gòu)成的排氣系統(tǒng)200的動(dòng)作進(jìn)行說明。
在圖6中，首先關(guān)閉閥門V1、V2，打開閥門V3。然后，使第1真空泵P1和第2真空泵P2動(dòng)作，位于閥門V2與第1真空泵之間的配管(22)以及減壓用腔室24內(nèi)達(dá)到高真空狀態(tài)，位于真空泵P1以及閥門V1與第2真空泵P2之間的配管(22、23)內(nèi)達(dá)到真空狀態(tài)。
其后，關(guān)閉閥門V3，打開閥門V1。然后一旦閉鎖空間C達(dá)到一定的真空度，就關(guān)閉閥門V1同時(shí)打開閥門V2，閉鎖空間C與減壓用腔室24連通。這樣能夠減少閉鎖空間C抽真空的時(shí)間。
工業(yè)應(yīng)用性本發(fā)明能夠?qū)Τ尚图庸ず笠廊谎b載于成型加工用的模具上的基體材料進(jìn)行成膜加工，因此作為能夠減少產(chǎn)品的加工工序，從而縮短產(chǎn)品的加工時(shí)間的成膜裝置是有用的。
權(quán)利要求
1.一種成膜裝置，其特征在于，具有一端利用底部封閉，另一端開放的筒狀的框體、設(shè)置于所述底部?jī)?nèi)表面的靶、以及貫通所述框體的壁部形成的端口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，所述靶設(shè)置為與所述壁部電氣絕緣。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的成膜裝置，其特征在于，所述底部具有導(dǎo)電性。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的成膜裝置，其特征在于，所述底部的外表面具有電氣連接端子。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，在所述壁部配設(shè)門閥以對(duì)所述框體的開放的另一端與所述靶的連通進(jìn)行開閉控制。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的成膜裝置，其特征在于，具有在前面配設(shè)所述靶，并且在后面配設(shè)所述電氣連接端子的裝置部、貫通壁部地形成所述端口的筒狀端口部、具有電氣絕緣性的環(huán)狀絕緣襯墊、具有形成貫通孔的框體而且在該貫通孔上配設(shè)可開閉的門閥的門閥部、以及具有形成貫通孔的框體而且在該貫通孔的周圍的該框體的外表面上形成與模具接合面的接合面的轉(zhuǎn)接器部；所述端口部的后端通過所述絕緣襯墊與所述裝置部的前面的所述靶的周圍部分接合，而且在該端口部的前端依序接合所述門閥部和所述轉(zhuǎn)接器部，所述絕緣襯墊的內(nèi)孔，所述端口部的內(nèi)孔、所述門閥部的貫通孔、以及所述轉(zhuǎn)接器部的貫通孔相互連通，而且形成為所述轉(zhuǎn)接器部的所述接合面位于前端的結(jié)構(gòu)，并且形成為該接合面能夠與留在的基體材料周圍的模具接合面接合。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的成膜裝置，其特征在于，所述裝置部在所述靶的背后具有磁體和冷卻系統(tǒng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的成膜裝置，其特征在于，在所述轉(zhuǎn)接器部的所述貫通孔的周圍的所述框體的外表面上，形成在與所述留在的基體材料的周圍的模具接合面接合時(shí)能夠覆蓋所述基體材料的規(guī)定的一部分的防附著部。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，在所述端口上連接具有閥門、減壓用的腔室和真空泵的配管，形成所述配管能夠有選擇地切換真空泵與減壓用的腔室的連接的結(jié)構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠?qū)σ廊谎b載于成型加工用的模具上的基體材料進(jìn)行成膜加工的成膜裝置。該裝置具有一端利用底部封閉，另一端開放的筒狀的框體(1h)、設(shè)置于所述底部?jī)?nèi)表面的靶(1a)、以及貫通框體(1h)的壁部形成的端口(3b)。
文檔編號(hào)C23C14/34GK1930319SQ200580007849
公開日2007年3月14日 申請(qǐng)日期2005年3月10日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月12日
發(fā)明者米山信夫, 中山孝, 瀧川志朗, 梅澤隆男, 石澤資右, 高野博史 申請(qǐng)人:新明和工業(yè)株式會(huì)社, 株式會(huì)社大島電機(jī)制作所