本發(fā)明涉及一種利用紅外線激光的快速精密貫通孔形成方法，更具體地，涉及如下的利用紅外線激光的快速精密貫通孔形成方法，即，通過利用結(jié)合有至少一個驅(qū)動部的鏡面結(jié)構(gòu)物來進(jìn)行掃描的方式向被加工件依次照射調(diào)制出的一個貝塞爾光束來快速精密地將其微加工成各種形態(tài)的大小或形狀來形成改變被加工件性狀的激光掃描加工圖案后再進(jìn)行濕式蝕刻，因此，與以往相比，不僅可以顯著縮短激光加工時間，對被加工件快速地進(jìn)行激光加工，還可以縮短蝕刻時間，提高生產(chǎn)效率。

背景技術(shù)：

1、激光廣泛用于切割被加工件(加工對象)或形成貫通孔等加工工作。這種激光加工利用透鏡等光學(xué)器件來形成符合加工作業(yè)的所需形態(tài)的激光光束，并將形成的激光光束照射在被加工件上。

2、尤其，激光光束可以有效地用于對透明玻璃基板等加工難度大的脆性材料進(jìn)行切割或形成貫通孔等加工工作。但是在對玻璃基板進(jìn)行加工時，被加工件可能會因激光而產(chǎn)生裂紋并裂開。

3、此外，當(dāng)由于脆性材料的玻璃基板的外部的污漬、異物而內(nèi)部發(fā)生性狀變化時，可能會發(fā)生貫通孔內(nèi)壁不均勻的問題。

4、并且，當(dāng)利用激光來在玻璃基板上形成細(xì)微的貫通孔時，還存在精密加工難度大、工作耗時長而導(dǎo)致生產(chǎn)效率降低的問題。

5、與此有關(guān)的現(xiàn)有文獻(xiàn)有韓國公開專利公報(bào)第10-2016-0063264號(2016年06月03日公開)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、技術(shù)問題

2、本發(fā)明的目的在于，提供一種利用紅外線激光的快速精密貫通孔形成方法，通過利用結(jié)合有至少一個驅(qū)動部的鏡面結(jié)構(gòu)物來進(jìn)行掃描的方式向被加工件依次照射調(diào)制出的一個貝塞爾光束來快速精密地將其微加工成各種形態(tài)的大小或形狀來形成改變被加工件的性狀的激光掃描加工圖案后再進(jìn)行蝕刻，因此，與以往相比，不僅可以顯著縮短激光加工時間，對被加工件快速地進(jìn)行激光加工，還可以縮短蝕刻時間，提高生產(chǎn)效率。

3、技術(shù)方案

4、為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明實(shí)施例的利用紅外線激光的快速精密貫通孔形成方法包括：步驟(a)，使紅外線激光裝置對準(zhǔn)被加工件的上部；步驟(b)，將從上述紅外線激光裝置射出的激光光束調(diào)制成貝塞爾光束；步驟(c)，實(shí)施對被加工件的各個貫通孔形成區(qū)域以掃描方式依次分別照射調(diào)制出的上述貝塞爾光束的激光加工處理，形成局部改變上述被加工件的性狀的激光掃描加工圖案；以及步驟(d)，對形成有上述激光掃描加工圖案的被加工件進(jìn)行蝕刻來在各個上述貫通孔形成區(qū)域形成貫通孔。

5、上述激光光束采用具有900nm至1200nm的波長及50飛秒至50皮秒的脈沖寬度的極超短激光。

6、從平面上看，在上述激光掃描加工圖案中，通過上述激光加工處理形成的單個點(diǎn)具有以規(guī)則或不規(guī)則的間隔隔開的排列結(jié)構(gòu)，以形成與上述貫通孔相對應(yīng)的形狀。

7、從平面上看，在上述激光掃描加工圖案中，通過上述激光加工處理形成的單個點(diǎn)以20μm以下的規(guī)則或不規(guī)則的間隔隔開并具有與上述貫通孔相對應(yīng)的選自包括三角形、四邊形、五邊形、六邊形、八邊形和星形的多邊形、圓形及橢圓形中的一種以上形狀的排列結(jié)構(gòu)。

8、從平面上看，上述激光掃描加工圖案包括：第一激光掃描加工圖案，以規(guī)則或不規(guī)則的間隔隔開配置，以具有與上述貫通孔相對應(yīng)的形狀；以及至少一個第二激光掃描加工圖案，配置在上述第一激光掃描加工圖案的內(nèi)側(cè)。

9、上述第二激光掃描加工圖案具有與上述第一激光掃描加工圖案相同或不同形狀的排列結(jié)構(gòu)。

10、從平面上看，上述激光掃描加工圖案具有多個點(diǎn)相互連接的直線或曲線的排列結(jié)構(gòu)，以具有與上述貫通孔相對應(yīng)的形狀。

11、優(yōu)選地，上述被加工件為平板形態(tài)的玻璃基板。

12、在上述步驟(c)中，上述掃描方式的激光加工處理以利用結(jié)合有至少一個驅(qū)動部的鏡面結(jié)構(gòu)物來進(jìn)行掃描的方式實(shí)施，從而在10ms以下的穩(wěn)定化時間內(nèi)實(shí)施上述掃描方式的激光加工。

13、在上述步驟(d)中，位于各個上述貫通孔形成區(qū)域的貫通孔分別形成于同一平面上，或者至少一部分形成于不同的平面上。

14、在上述步驟(d)中，上述蝕刻采用包括選自氟化蝕刻劑及非氟化蝕刻劑中的至少一種蝕刻劑的濕式蝕刻。

15、上述步驟(d)包括：步驟(d-1)，將蝕刻劑滲透到通過上述激光加工處理而局部性狀改變的被加工件的激光掃描加工圖案中，使上述被加工件的一部分暴露面沿著厚度方向被去除，從而形成多個蝕刻槽；以及步驟(d-2)，隨著蝕刻劑沿著上述多個蝕刻槽向被加工件的厚度中心部方向滲透，位于上述激光掃描加工圖案之間的空間中的被加工件的性狀改變的堆體部分自然脫落或腐蝕，從而形成貫通孔。

16、上述貫通孔的內(nèi)壁相對于上述被加工件的水平面呈銳角至鈍角的錐角。

17、發(fā)明的效果

18、本發(fā)明的利用紅外線激光的快速精密貫通孔形成方法通過利用結(jié)合有至少一個驅(qū)動部的鏡面結(jié)構(gòu)物來進(jìn)行掃描的方式向被加工件依次照射調(diào)制出的一個貝塞爾光束來快速精密地將其微加工成各種形態(tài)的大小或形狀。

19、如上所述，本發(fā)明的利用紅外線激光的快速精密貫通孔形成方法采用通過調(diào)節(jié)結(jié)合有至少一個驅(qū)動部的鏡面結(jié)構(gòu)物的反射角度來進(jìn)行激光加工的掃描方式，因此，與只移動工作臺的一般的貫通孔形成方法不同，不僅可以將激光加工時的穩(wěn)定化時間縮短到約10ms以下，而且不會受到激光加工的被加工件尺寸的影響。

20、因此，與一般的貫通孔形成方法相比，本發(fā)明的利用紅外線激光的快速精密貫通孔形成方法能夠以100倍以上的速度快速實(shí)施激光加工，從而大幅提高生產(chǎn)效率。

21、此外，本發(fā)明的利用紅外線激光的快速精密貫通孔形成方法可以快速精密地控制被加工件的加工位置，能夠在局部改變被加工件的內(nèi)部性狀以使其具有與貫通孔相同或相似的大小或形狀的狀態(tài)下實(shí)施濕式蝕刻，可以顯著縮短蝕刻時間，進(jìn)而降低蝕刻劑消耗成本，能夠在提高生產(chǎn)效率的同時，提高形成于整個被加工件上的多個貫通孔的質(zhì)量的均勻度。因此，由于本發(fā)明中位于多個蝕刻槽之間的被加工件的性狀改變的堆體部分會因自然脫落或腐蝕而被去除，因此，與一般的貫通孔形成方法相比，可以在很短的時間內(nèi)形成所需大小的貫通孔。

22、此外，本發(fā)明的利用紅外線激光的快速精密貫通孔形成方法在對被加工件的各個貫通孔形成區(qū)域以掃描方式依次照射一個貝塞爾光束來形成激光掃描加工圖案的狀態(tài)下進(jìn)行濕式蝕刻。因此，在本發(fā)明中，即使因被加工件外部的污漬、異物而導(dǎo)致位于各個貫通孔形成區(qū)域的各激光掃描加工圖案中的一部分激光掃描加工圖案不良，使得被加工件的部分性狀改變不均勻，在其周圍還配置有其他激光掃描加工圖案，因此，在濕式蝕刻時可以不受到太大影響，確保貫通孔的產(chǎn)品質(zhì)量。

23、最終，本發(fā)明的利用紅外線激光的快速精密貫通孔形成方法可以在濕式蝕刻時確保貫通孔的表面部直徑與貫通孔的中心部直徑之間的大小保持均勻。

24、并且，本發(fā)明的利用紅外線激光的快速精密貫通孔形成方法通過利用具有以規(guī)則或不規(guī)則間隔隔開的排列結(jié)構(gòu)的激光掃描加工圖案來實(shí)施濕式蝕刻，使得具有與激光掃描加工圖案實(shí)際相同或相似形狀的貫通孔也可以具有多種形狀，實(shí)現(xiàn)多樣化。