1.一種具有載物補償功能的氣浮導軌平臺，包括供氣模塊、驅(qū)動模塊、底座、導軌、氣嘴、載物臺和n個氣浮模塊，n≥4，其特征在于：所述的導軌固定在底座上；所述的氣浮模塊由氣浮軸套、O型密封圈、小孔節(jié)流器、線性位移傳感器和氣浮塊組成；氣浮塊的中心開設(shè)有氣浮軸套安裝孔和傳感器安裝孔，氣浮軸套安裝孔的孔壁開設(shè)氣嘴安裝孔，傳感器安裝孔的孔壁開設(shè)導線孔；氣浮軸套安裝孔內(nèi)設(shè)置氣浮軸套；所述氣浮軸套的兩端與氣浮塊兩端均安裝有O型密封圈；傳感器安裝孔內(nèi)設(shè)置線性位移傳感器，線性位移傳感器的電源線及數(shù)據(jù)線從導線孔穿出；線性位移傳感器的檢測面與底座的上表面平行；每個氣浮模塊的氣嘴安裝孔內(nèi)放置一個氣嘴，供氣模塊給各個氣嘴供氣；載物臺與所有氣浮模塊的氣浮塊頂部均通過螺釘連接，驅(qū)動模塊通過絲杠螺母副或帶傳動機構(gòu)驅(qū)動載物臺；
所述的氣浮軸套中心開設(shè)的導軌安裝孔與導軌間隙配合；氣浮軸套的外圓面開設(shè)有沿軸向布置的多個環(huán)形槽；每個環(huán)形槽底部開設(shè)通氣孔組；通氣孔組為沿圓周等角度但不均布的多個通氣孔，氣浮軸套位于下部的通氣孔多于位于上部的通氣孔；通氣孔的內(nèi)端與氣浮軸套的導軌安裝孔連通；每個通氣孔內(nèi)設(shè)置一個小孔節(jié)流器；所有環(huán)形槽的側(cè)部相通，并與氣浮塊的氣嘴安裝孔連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有載物補償功能的氣浮導軌平臺，其特征在于：所述的供氣模塊包括空氣壓縮機、氣體過濾器、油霧分離器和n個精密減壓閥；空氣壓縮機的輸出口與氣體過濾器的輸入口連通，氣體過濾器的輸出口與油霧分離器的輸入口連通，油霧分離器的輸出口與n個精密減壓閥的輸入口均連通；每個精密減壓閥的輸出口與一個氣嘴的外端連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有載物補償功能的氣浮導軌平臺，其特征在于：所述的小孔節(jié)流器開設(shè)有集氣孔、降壓孔和穩(wěn)壓孔；集氣孔的外端與氣浮軸套上對應(yīng)的通氣孔外端連通；降壓孔的兩端分別與集氣孔的內(nèi)端和穩(wěn)壓孔的外端連通；穩(wěn)壓孔的內(nèi)端與氣浮軸套上對應(yīng)的通氣孔內(nèi)端連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有載物補償功能的氣浮導軌平臺，其特征在于：所述導軌的外圓面、氣浮軸套的導軌安裝孔孔壁、底座的上表面、載物臺的底面以及氣浮塊的上、下表面均為超精密加工面。