本發(fā)明為涉及從基板的一面及另一面切斷基板的基板切斷裝置及基板切斷方法。

背景技術(shù)：

以往，電器設(shè)備等的基板的制造方法，有一種是將多個(gè)單位基板統(tǒng)一集制在1張基板上，并將分割槽從表背兩面形成在該基板的各單位基板間，且沿分割槽將該基板分割成多個(gè)單位基板。專利文獻(xiàn)1中就記載了這種基板制造方法所用的一個(gè)分割槽形成裝置例。該分割槽形成方法具備了具有多片旋轉(zhuǎn)刃的2個(gè)刀具。

先前技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1日本特開2012－86353號(hào)公報(bào)。

專利文獻(xiàn)1所記載的分割槽形成裝置中，由于完全未就2個(gè)刀具的旋轉(zhuǎn)刃彼此間的位置關(guān)系加以考慮，因此將2個(gè)刀具從和基板正交的方向彼此靠近時(shí)，有各旋轉(zhuǎn)刃彼此干擾的疑慮。因此，使用該分割槽形成裝置無(wú)法將基板完全切斷。即，該分割槽形成裝置不能轉(zhuǎn)用為基板切斷裝置。

圖6為傳統(tǒng)基板切斷裝置1的構(gòu)成正視圖。圖6所示的基板切斷裝置1具備了具有多片第1旋轉(zhuǎn)刃2a的第1刀具2、及具有多片第2旋轉(zhuǎn)刃3a的第2刀具3。第1刀具2和第2刀具3為在基板4的切斷方向彼此隔離配置，藉此防止第1旋轉(zhuǎn)刃2a與第2旋轉(zhuǎn)刃3a的干擾。

但，該基板切斷裝置1中，基板4接觸第1旋轉(zhuǎn)刃2a的第1部分4a會(huì)被向下方推壓而大幅撓曲，基板4接觸第2旋轉(zhuǎn)刃3a的第2部分4b則被向上方推壓而大幅撓曲，故有基板無(wú)法利落切斷的問(wèn)題。又，在切斷板厚較薄的基板4時(shí)，因剛性不足而使基板4的撓曲變得更大，所以基板4切斷作業(yè)本身也有甚為困難的問(wèn)題。而且，包含有第1刀具2及第2刀具3的裝置構(gòu)成也會(huì)在基板4的切斷方向有大型化的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明為了解決上述問(wèn)題而研發(fā)者，其目的在提供在切斷基板時(shí)可抑制基板的撓曲，且能防止裝置構(gòu)成大型化的基板切斷裝置及基板切斷方法。

為達(dá)成上述目的，本發(fā)明的基板切斷裝置為用以從基板的一面及另一面切斷前述基板的基板切斷裝置，其特征在于具備：第1刀具，具有用以從前述一面切斷前述基板的多片第1旋轉(zhuǎn)刃；第2刀具，具有用以從前述另一面切斷前述基板的多片第2旋轉(zhuǎn)刃；第1旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)手段，用以旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)前述第1刀具；第2旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)手段，用以旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)前述第2刀具；刀具支持手段，以旋轉(zhuǎn)軸彼此間形成平行且徑向相對(duì)的方式支持前述第1刀具及前述第2刀具；以及相位調(diào)整手段，用以調(diào)整前述第1刀具及前述第2刀具的至少一個(gè)相位，使前述第2旋轉(zhuǎn)刃在前述第1刀具與前述第2刀具相對(duì)的對(duì)向區(qū)域位于相鄰的2片前述第1旋轉(zhuǎn)刃間。

該構(gòu)成中，由于使第2旋轉(zhuǎn)刃在第1刀具與第2刀具相對(duì)的對(duì)向區(qū)域位于相鄰2片第1旋轉(zhuǎn)刃間，故可防止第1旋轉(zhuǎn)刃與第2旋轉(zhuǎn)刃在基板的切斷方向大幅隔離。因而，以第1旋轉(zhuǎn)刃及第2旋轉(zhuǎn)刃的一片旋轉(zhuǎn)刃切斷基板時(shí)，可用另一片旋轉(zhuǎn)刃抑制基板的撓曲。此外，由于以旋轉(zhuǎn)軸彼此間形成平行且徑向相對(duì)的方式支持第1刀具及第2刀具，故可防止基板切斷方向上的裝置構(gòu)成大型化。

本發(fā)明的另一特征為具備用以使前述第1刀具及前述第2刀具在前述基板的切斷方向?qū)χ笆龌逑鄬?duì)移動(dòng)的x方向驅(qū)動(dòng)手段。

該構(gòu)成中，由于可藉x方向驅(qū)動(dòng)手段使第1刀具及第2刀具對(duì)著基板相對(duì)移動(dòng)，故可使基板的切斷作業(yè)順利進(jìn)行。

本發(fā)明的再一特征為前述第1旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)手段具有第1電動(dòng)機(jī)；前述第2旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)手段具有第2電動(dòng)機(jī)；前述相位調(diào)整手段具有控制部，用以控制前述第1電動(dòng)機(jī)及前述第2電動(dòng)機(jī)的至少一個(gè)；前述控制部為控制前述第1電動(dòng)機(jī)及前述第2電動(dòng)機(jī)的至少一個(gè)，使前述第2旋轉(zhuǎn)刃在前述對(duì)向區(qū)域位于相鄰的2片前述第1旋轉(zhuǎn)刃間。

該構(gòu)成中，由于用控制部對(duì)第1電動(dòng)機(jī)及第2電動(dòng)機(jī)的至少一個(gè)進(jìn)行控制，所以可迅速且正確地調(diào)整第1刀具及第2刀具的至少一個(gè)相位。

本發(fā)明的又一特征為前述多片第1旋轉(zhuǎn)刃和前述多片第2旋轉(zhuǎn)刃為相同數(shù)量且以相同傾角設(shè)置；前述相位調(diào)整手段具有用以檢測(cè)前述第1刀具及前述第2刀具的各相位的相位檢測(cè)部；前述控制部為以前述第1刀具及前述第2刀具的各相位的差達(dá)到從前述傾角的整數(shù)倍減去1/2傾角所得的值的方式，來(lái)控制前述第1電動(dòng)機(jī)及前述第2電動(dòng)機(jī)的至少一個(gè)。

該構(gòu)成中，只要以相位差為從傾角的整數(shù)倍減去1/2傾角所得的值的方式控制第1電動(dòng)機(jī)及第2電動(dòng)機(jī)的至少一個(gè)，即可使第2旋轉(zhuǎn)刃簡(jiǎn)單定位于相鄰2片第1旋轉(zhuǎn)刃間。

為達(dá)成上述目的，本發(fā)明的基板切斷方法為用以從基板的一面及另一面切斷前述基板的基板切斷方法，包括下列步驟：(a)將具有用以從前述一面切斷前述基板的多片第1旋轉(zhuǎn)刃的第1刀具以及具有用以從前另一面切斷前述基板的多片第2旋轉(zhuǎn)刃的第2刀具，以旋轉(zhuǎn)軸彼此間形成平行且徑向相對(duì)的方式配置；(b)以前述第2旋轉(zhuǎn)刃在前述第1刀具和前述第2刀具相對(duì)的對(duì)向區(qū)域位于相鄰的2片前述第1旋轉(zhuǎn)刃間的方式，使前述第1刀具及前述第2刀具旋轉(zhuǎn)；及(c)在前述基板的切斷方向，使前述第1刀具及前述第2刀具一邊對(duì)著前述基板相對(duì)移動(dòng)，一邊切斷前述基板。

該構(gòu)成中，由于可防止第1旋轉(zhuǎn)刃與第2旋轉(zhuǎn)刃在基板的切斷方向大幅隔離，故可抑制基板在切斷時(shí)的撓曲。而且可防止在基板切斷方向上的裝置構(gòu)成大型化。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明一實(shí)施例的基板切斷裝置的構(gòu)成正視圖。

圖2為本發(fā)明一實(shí)施例的基板切斷裝置的構(gòu)成方塊圖。

圖3為基板切斷步驟的透視圖。

圖4為第2旋轉(zhuǎn)刃配置于第1旋轉(zhuǎn)刃間的狀態(tài)的放大正視圖。

圖5為本發(fā)明一實(shí)施例的基板切斷方法各步驟的流程圖。

圖6為傳統(tǒng)基板切斷裝置的構(gòu)成正視圖。

具體實(shí)施方式

[發(fā)明的實(shí)施例]

以下，一面參考圖式，一面就本發(fā)明基板切斷裝置及基板切斷方法的各實(shí)施例加以說(shuō)明。

[基板切斷裝置]

圖1為本發(fā)明一實(shí)施例的基板切斷裝置10的構(gòu)成正視圖。圖2為基板切斷裝置10的構(gòu)成方塊圖。圖3為基板12的切斷步驟的透視圖。如圖3所示，以下的說(shuō)明中，將切斷基板12的方向設(shè)為x方向，鉛直方向設(shè)為z方向，對(duì)x方向及z方向成正交的方向設(shè)為y方向。

如圖2所示，基板切斷裝置10為用以從基板12的一面12a及另一面12b將基板12完全切斷的裝置。如圖3所示，本實(shí)施例所使用的基板12為集制有電器設(shè)備(例如移動(dòng)電話)等所用的多個(gè)(本實(shí)施例為9個(gè))單位基板18的薄板型(厚度為0.3至0.4mm左右)的集合基板。此外，基板12的厚度并不限定于本實(shí)施例所示者。

如圖1所示，基板切斷裝置10具備：圓板狀的第1刀具20、圓板狀的第2刀具22、旋轉(zhuǎn)臺(tái)24、及工件夾盤26。

如圖1所示，第1刀具20具有圓板狀的刃座30、及設(shè)于刃座30外周部的多片(本實(shí)施例為20片)第1旋轉(zhuǎn)刃32。如圖2所示，刃座30的中心部形成有供后述第1電動(dòng)機(jī)34的旋轉(zhuǎn)軸34a穿過(guò)的貫通孔36。刃座30在貫通孔36的附近部位形成有供螺栓38穿過(guò)的多個(gè)(本實(shí)施例為4個(gè))貫通孔40。刃座30在貫通孔40的附近傍部位形成有供定位銷42穿過(guò)的至少1個(gè)(本實(shí)施例為1個(gè))貫通孔44。

圖1所示的各第1旋轉(zhuǎn)刃32為藉由切削基板12以切斷基板12用的切削刃，多片第1旋轉(zhuǎn)刃32為以等間隔(本實(shí)施例為18度的角度間隔)設(shè)在刃座30的外周部。本實(shí)施例中，第1刀具20為以正面觀看朝順時(shí)鐘方向旋轉(zhuǎn)的方式構(gòu)成，各第1旋轉(zhuǎn)刃32則設(shè)置成朝順時(shí)鐘方向的前方。

如圖1所示，第2刀具22具有圓板狀的刃座50、及設(shè)在刃座50外周部的多片(本實(shí)施例為20片)第2旋轉(zhuǎn)刃52。如圖2所示，刃座50的中心部形成有供后述第2電動(dòng)機(jī)54的旋轉(zhuǎn)軸54a穿過(guò)的貫通孔56。刃座50在貫通孔56的附近部位形成有供螺栓58穿過(guò)的多個(gè)(本實(shí)施例為4個(gè))貫通孔60。刃座50在貫通孔60的附近部位形成有供定位銷62穿過(guò)的至少1個(gè)(本實(shí)施例為1個(gè))貫通孔64。

圖1所示的各第2旋轉(zhuǎn)刃52為藉由切削基板12以切斷基板12用的切削刃，多片第2旋轉(zhuǎn)刃52則以等間隔(本實(shí)施例為18度的角度間隔)設(shè)在刃座50的外周部。本實(shí)施例中，第2刀具22為以正面觀看朝反時(shí)鐘方向旋轉(zhuǎn)的方式構(gòu)成，各第2旋轉(zhuǎn)刃52則設(shè)置成朝反時(shí)鐘方向的前方。

如圖1所示，旋轉(zhuǎn)臺(tái)24為在基板12的切斷步驟中用以支持基板12者。旋轉(zhuǎn)臺(tái)24設(shè)有用以使其朝向在x方向與y方向間變換的旋轉(zhuǎn)臺(tái)驅(qū)動(dòng)手段68(圖2)。因而，即使在以旋轉(zhuǎn)臺(tái)24支持的基板12依照彼此正交的切斷線l1及切斷線l2(圖3)切斷的情況中，第1刀具20及第2刀具22的移動(dòng)方向只要是x方向及y方向的任一方向(本實(shí)施例為x方向)均可。旋轉(zhuǎn)臺(tái)驅(qū)動(dòng)手段68具有伺服電動(dòng)機(jī)(圖標(biāo)省略)。如圖2所示，旋轉(zhuǎn)臺(tái)驅(qū)動(dòng)手段68為電連接于控制部70，并根據(jù)自控制部70輸入的控制信號(hào)來(lái)控制旋轉(zhuǎn)臺(tái)驅(qū)動(dòng)手段68的伺服電動(dòng)機(jī)(圖標(biāo)省略)等。

如圖1所示，工件夾盤26為用以將基板12固定于旋轉(zhuǎn)臺(tái)24的構(gòu)件。本實(shí)施例的工件夾盤26為以可用負(fù)壓吸附基板12的方式構(gòu)成的真空夾盤。工件夾盤26具有用以切換吸附狀態(tài)與解除吸附狀態(tài)的電磁閥(圖示省略)。如圖2所示，工件夾盤26為電連接于控制部70，并根據(jù)自控制部70輸入的控制信號(hào)來(lái)控制工件夾盤26的電磁閥(圖示省略)等。

此外，如圖2所示，基板切斷裝置10具備：第1旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)手段72、第2旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)手段74、刀具支持手段76、x方向驅(qū)動(dòng)手段80、y方向驅(qū)動(dòng)手段82、及相位調(diào)整手段104。

如圖2所示，第1旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)手段72為用以旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)第1刀具20的手段，具有第1電動(dòng)機(jī)34、及第1電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器84。本實(shí)施例的第1電動(dòng)機(jī)34為伺服電動(dòng)機(jī)，且構(gòu)成為得以8000至10000轉(zhuǎn)/分鐘的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。第1電動(dòng)機(jī)34的旋轉(zhuǎn)軸34a設(shè)有供固定第1刀具20的凸緣86。凸緣86設(shè)有供穿過(guò)第1刀具20的貫通孔40的螺栓38螺合的螺孔88、及穿過(guò)第1刀具20的貫通孔44的定位銷42。在第1刀具20固定于凸緣86的狀態(tài)中，第1電動(dòng)機(jī)34的旋轉(zhuǎn)軸34a即為第1刀具20的旋轉(zhuǎn)軸。

如圖2所示，第1電動(dòng)機(jī)34設(shè)有用以檢測(cè)旋轉(zhuǎn)軸34a的相位(即，第1刀具20的相位)的第1相位檢測(cè)部90。本實(shí)施例的第1相位檢測(cè)部90具有旋轉(zhuǎn)編碼器，且第1相位檢測(cè)部90和控制部70呈電連接。

圖2所示的第1電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器84為對(duì)第1電動(dòng)機(jī)34供給驅(qū)動(dòng)電流者，且電連接于控制部70?？刂菩盘?hào)自控制部70輸入至第1電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器84時(shí)，第1電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器84會(huì)將和該控制信號(hào)相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電流供給到第1電動(dòng)機(jī)34。

如圖2所示，第2旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)手段74為用以旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)第2刀具22的手段，具有第2電動(dòng)機(jī)54、及第2電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器92。本實(shí)施例的第2電動(dòng)機(jī)54為伺服電動(dòng)機(jī)，且構(gòu)成為得以8000至10000轉(zhuǎn)/分鐘的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。第2電動(dòng)機(jī)54的旋轉(zhuǎn)軸54a設(shè)有供固定第2刀具22的凸緣94。凸緣94設(shè)有：供穿過(guò)第2刀具22的貫通孔60的螺栓58螺合的螺孔96、及穿過(guò)第2刀具22的貫通孔64的定位銷62。在第2刀具22固定于凸緣94的狀態(tài)下，第2電動(dòng)機(jī)54的旋轉(zhuǎn)軸54a即為第2刀具22的旋轉(zhuǎn)軸。

如圖2所示，第2電動(dòng)機(jī)54設(shè)有用以檢測(cè)旋轉(zhuǎn)軸54a的相位(亦即，第2刀具22的相位)的第2相位檢測(cè)部98。本實(shí)施例的第2相位檢測(cè)部98具有旋轉(zhuǎn)編碼器，且第2相位檢測(cè)部98和控制部70呈電連接。

圖2所示的第2電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器92為對(duì)第2電動(dòng)機(jī)54供給驅(qū)動(dòng)電流，且電連接于控制部70。從控制部70對(duì)第2電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器92輸入控制信號(hào)時(shí)，第2電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器92會(huì)將與該控制信號(hào)相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電流供給至第2電動(dòng)機(jī)54。

如圖2所示，刀具支持手段76為支持第1刀具20及第2刀具22，使兩者的旋轉(zhuǎn)軸彼此間形成平行且徑向相對(duì)的手段。本實(shí)施例的刀具支持手段76具有：安裝有第1刀具20的第1電動(dòng)機(jī)34；安裝有第2刀具22的第2電動(dòng)機(jī)54；支持第1電動(dòng)機(jī)34及第2電動(dòng)機(jī)54的z方向驅(qū)動(dòng)手段78；及支持z方向驅(qū)動(dòng)手段78的支持臺(tái)102。z方向驅(qū)動(dòng)手段78為用以使第1電動(dòng)機(jī)34及第2電動(dòng)機(jī)54移動(dòng)于z方向的裝置，具有線性導(dǎo)件及伺服電動(dòng)機(jī)(圖標(biāo)省略)。z方向驅(qū)動(dòng)手段78為電連接于控制部70，且根據(jù)自控制部70輸入的控制信號(hào)來(lái)控制z方向驅(qū)動(dòng)手段78的伺服電動(dòng)機(jī)(圖標(biāo)省略)等。

圖2所示的x方向驅(qū)動(dòng)手段80為用以使第1刀具20及第2刀具22和刀具支持手段76一起移動(dòng)于x方向的裝置。圖2所示的y方向驅(qū)動(dòng)手段82為用以使第1刀具20及第2刀具22和刀具支持手段76一起移動(dòng)于y方向的裝置。x方向驅(qū)動(dòng)手段80及y方向驅(qū)動(dòng)手段82具有線性導(dǎo)件及伺服電動(dòng)機(jī)(圖標(biāo)省略)。x方向驅(qū)動(dòng)手段80及y方向驅(qū)動(dòng)手段82為電連接于控制部70，且根據(jù)自控制部70輸入的控制信號(hào)來(lái)控制x方向驅(qū)動(dòng)手段80及y方向驅(qū)動(dòng)手段82的各伺服電動(dòng)機(jī)等(圖標(biāo)省略)。

圖4為第2旋轉(zhuǎn)刃52配置于第1旋轉(zhuǎn)刃32間的狀態(tài)的放大正視圖。圖2所示的相位調(diào)整手段104為用以調(diào)整第1刀具20及第2刀具22的至少一個(gè)相位，以使第2旋轉(zhuǎn)刃52在第1刀具20及第2刀具22相對(duì)的對(duì)向區(qū)域q(圖4)位于相鄰2片第1旋轉(zhuǎn)刃32間的裝置。如圖4所示，假設(shè)具有外切于多片第1旋轉(zhuǎn)刃32的外切圓r1、及外切于多片第2旋轉(zhuǎn)刃52的外切圓r2時(shí)，則外切圓r1和外切圓r2會(huì)在對(duì)向區(qū)域q交叉。

如圖2所示，本實(shí)施例的相位調(diào)整手段104具有第1電動(dòng)機(jī)34、第1相位檢測(cè)部90、第1電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器84、第2電動(dòng)機(jī)54、第2相位檢測(cè)部98、第2電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器92、及控制部70。相位調(diào)整手段104的控制部70為了調(diào)整相位而控制第1電動(dòng)機(jī)34及第2電動(dòng)機(jī)54的至少一個(gè)裝置，且具有執(zhí)行各種運(yùn)算處理的中央處理器(cpu)、及存儲(chǔ)程序及數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)裝置(rom、ram)。

圖4中的基準(zhǔn)線m為正交于基板12，且通過(guò)第1刀具20的旋轉(zhuǎn)中心及第2刀具22旋轉(zhuǎn)中心的假想直線。第1相位檢測(cè)部90及第2相位檢測(cè)部98輸出表示原點(diǎn)位置的信號(hào)時(shí)，在對(duì)向區(qū)域q，相鄰2片第1旋轉(zhuǎn)刃32會(huì)配置在包夾基準(zhǔn)線m的x方向兩側(cè)，第2旋轉(zhuǎn)刃52會(huì)配置在該2片第1旋轉(zhuǎn)刃32間。

本實(shí)施例中，由于多片第1旋轉(zhuǎn)刃32與多片第2旋轉(zhuǎn)刃52為相同數(shù)量且以相同傾角設(shè)置，所以第1刀具20和第2刀具22的相位差為傾角(本實(shí)施例為18度)的整數(shù)倍時(shí)，第1旋轉(zhuǎn)刃32與第2旋轉(zhuǎn)刃52會(huì)在對(duì)向區(qū)域q相對(duì)向。因此，為了避免第1旋轉(zhuǎn)刃32與第2旋轉(zhuǎn)刃52的互相干擾，圖2所示的控制部70會(huì)對(duì)第1電動(dòng)機(jī)34及第2電動(dòng)機(jī)54的至少一個(gè)進(jìn)行控制，使上述相位差達(dá)到從傾角(本實(shí)施例為18度)的整數(shù)倍減去1/2傾角(本實(shí)施例為9度)所得的值。

[基板切斷方法]

沿著圖3所示的切斷線l1、l2切斷基板12時(shí)，首先，將基板12載置于圖1所示的旋轉(zhuǎn)臺(tái)24上，且用工件夾盤26固定該基板12。接著，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)第1刀具20及第2刀具22，一面使這些刀具移動(dòng)于x方向及y方向，一面沿各切斷線l1(圖3)將基板12切斷。

沿圖3所示的多條切斷線l1切斷基板12的作業(yè)完成時(shí)，使圖1所示的旋轉(zhuǎn)臺(tái)24旋轉(zhuǎn)，將基板12的各切斷線l2(圖3)延伸的方向從y方向變換至x方向。然后，一邊使第1刀具20及第2刀具22移動(dòng)于x方向及y方向，一邊沿各切斷線l2(圖3)切斷基板12。此外，圖3中的兩點(diǎn)鏈線表示方向變換后的基板12的狀態(tài)。

以下依照?qǐng)D5的流程圖分別沿著切斷線l1、l2來(lái)切斷基板12的方法(基板切斷方法)詳細(xì)加以說(shuō)明。

圖2所示的控制部70開始執(zhí)行基板切斷程序時(shí)，控制部70會(huì)依序執(zhí)行圖5所示的各步驟s1至s7。首先，在步驟s1中，控制部70會(huì)控制第1電動(dòng)機(jī)34及第2電動(dòng)機(jī)54，以旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)第1刀具20及第2刀具22。此時(shí)，第1刀具20及第2刀具22為處在藉由z方向驅(qū)動(dòng)手段78而在z方向彼此拉開的狀態(tài)。

在圖4所示的對(duì)向區(qū)域q，第1旋轉(zhuǎn)刃32與第2旋轉(zhuǎn)刃52在z方向相對(duì)向時(shí)，由于在切斷基板12時(shí)各旋轉(zhuǎn)刃會(huì)彼此干擾，所以必須將第1旋轉(zhuǎn)刃32及第2旋轉(zhuǎn)刃52的各位置在x方向彼此錯(cuò)開。因此，圖2所示的相位調(diào)整手段104的控制部70會(huì)在步驟s2及步驟s3中調(diào)整第2刀具22的相位，使第2旋轉(zhuǎn)刃52位在相鄰2片第1旋轉(zhuǎn)刃32間。

即，在步驟s2中，控制部70會(huì)取得第1相位檢測(cè)部90及第2相位檢測(cè)部98(圖2)檢測(cè)所得的第1刀具20及第2刀具22的各相位。在步驟s3中，控制部70會(huì)調(diào)整第2刀具22的相位，以使第2旋轉(zhuǎn)刃52在對(duì)向區(qū)域q(圖4)位于相鄰2片第1旋轉(zhuǎn)刃32間。更詳細(xì)而言，控制部70會(huì)控制第2電動(dòng)機(jī)54，使相位差達(dá)到從傾角(本實(shí)施例為18度)的整數(shù)倍減去1/2傾角(本實(shí)施例為9度)所得的值。控制部70會(huì)持續(xù)執(zhí)行步驟s2及s3的各步驟，直到基板切斷程序結(jié)束為止。

另外，在步驟s3中，也可控制第1電動(dòng)機(jī)34(圖2)，以調(diào)整第2刀具22的相位。又，也可控制第1電動(dòng)機(jī)34及第2電動(dòng)機(jī)54(圖2)兩者，以調(diào)整第1刀具20及第2刀具22兩者的相位。而且，從傾角的整數(shù)倍減去的所得值也不限于1/2傾角，在第1旋轉(zhuǎn)刃32與第2旋轉(zhuǎn)刃52不造成干擾的范圍內(nèi)，可適當(dāng)變更。

在步驟s4中，控制部70為控制x方向驅(qū)動(dòng)手段80、y方向驅(qū)動(dòng)手段82及z方向驅(qū)動(dòng)手段78，俾將第1刀具20及第2刀具22定位在圖3所示的起點(diǎn)p1。此時(shí)，z方向驅(qū)動(dòng)手段78為使第1刀具20及第2刀具22朝相互接近的方向移動(dòng)。在步驟s5中，控制部70為控制x方向驅(qū)動(dòng)手段80，藉由使第1刀具20及第2刀具22往x方向移動(dòng)，將基板12朝x方向切斷。

在步驟s6中，控制部70會(huì)判斷第1刀具20及第2刀具22是否到達(dá)x方向的終點(diǎn)p2(圖3)，判斷為“未到達(dá)”時(shí)，即繼續(xù)進(jìn)行步驟s5的動(dòng)作(往x方向的移動(dòng))，判斷為“已到達(dá)”時(shí)，則進(jìn)到步驟s7。此外，第1刀具20及第2刀具22是否到達(dá)終點(diǎn)p2，可根據(jù)例如被刀具支持手段76(圖2)按壓的極限開關(guān)(圖示省略)的輸出來(lái)判斷。

步驟s7中，控制部70會(huì)控制x方向驅(qū)動(dòng)手段80、y方向驅(qū)動(dòng)手段82及z方向驅(qū)動(dòng)手段78(圖2)，使第1刀具20及第2刀具22往下一個(gè)起點(diǎn)移動(dòng)。藉此動(dòng)作，在多條切斷線l1及多條切斷線l2中的1條切斷線的基板12切斷步驟就告結(jié)束。

[本實(shí)施例的功效]

若依本實(shí)施例，可藉上述構(gòu)成達(dá)到以下的各項(xiàng)功效。即，如圖4所示，由于使第2旋轉(zhuǎn)刃52在第1刀具20與第2刀具22相對(duì)的對(duì)向區(qū)域q位于相鄰2片第1旋轉(zhuǎn)刃32間，所以可以防止第1旋轉(zhuǎn)刃32與第2旋轉(zhuǎn)刃52在切斷基板12的x方向大幅隔離。因而，在以第1旋轉(zhuǎn)刃32及第2旋轉(zhuǎn)刃52的一片旋轉(zhuǎn)刃切斷基板12時(shí)，可以另一片旋轉(zhuǎn)刃抑制基板12的撓曲。而且，可以防止x方向的裝置構(gòu)成大型化。

由于可藉圖2所示的x方向驅(qū)動(dòng)手段80，使第1刀具20及第2刀具22對(duì)著基板12相對(duì)移動(dòng)，故可使基板12的切斷作業(yè)順利進(jìn)行。而且，由于采用控制部70來(lái)控制第1電動(dòng)機(jī)34及第2電動(dòng)機(jī)54，故第1刀具20及第2刀具22的至少一個(gè)相位可迅速且正確地加以調(diào)整。

如圖1所示，由于多片第1旋轉(zhuǎn)刃32與多片第2旋轉(zhuǎn)刃52為相同數(shù)量且以相同傾角設(shè)置，故只要控制第1電動(dòng)機(jī)34及第2電動(dòng)機(jī)54的至少一個(gè)，使相位差達(dá)到從傾角的整數(shù)倍減去1/2傾角所得的值，就可使第2旋轉(zhuǎn)刃52簡(jiǎn)單定位于相鄰2片第1旋轉(zhuǎn)刃32間。

[變化例]

此外，實(shí)施本發(fā)明時(shí)，并不限定于上述實(shí)施例，只要在不逸離本發(fā)明目的的范圍內(nèi)，仍可作種種的變更。例如，如圖3所示，上述實(shí)施例中，為使第1刀具20及第2刀具22相對(duì)于基板12移動(dòng)于x方向，但也可與此相反地使基板12相對(duì)于第1刀具20及第2刀具22移動(dòng)于x方向(圖示省略)。

又，如圖2所示，上述實(shí)施例中，為使用具有控制部70的相位調(diào)整手段104作為用以調(diào)整第1刀具20及第2刀具22的至少一個(gè)相位的相位調(diào)整裝置，但也可使用由齒輪或正時(shí)皮帶等構(gòu)成的機(jī)械式相位調(diào)整手段(圖示省略)來(lái)替代。

附圖標(biāo)記

10基板切斷裝置

20第1刀具

22第2刀具

32第1旋轉(zhuǎn)刃

52第2旋轉(zhuǎn)刃

72第1旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)手段

74第2旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)手段

76刀具支持手段

104相位調(diào)整手段