專利名稱：電極連接結(jié)構(gòu)及等離子體裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體加工裝置，尤其涉及一種電極連接結(jié)構(gòu)及等離子體裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體加工工藝中，廣泛應(yīng)用等離子體裝置，如在晶體硅太陽能電池工藝中，使 用一種連續(xù)等離子體鍍膜裝置。如圖1所示，為現(xiàn)有技術(shù)中連續(xù)等離子體鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，包括裝載加熱 腔1、工藝腔2、卸載冷卻腔3等，基片4位于載板5上，在傳動(dòng)系統(tǒng)作用下，在各個(gè)腔室中按 照一定的節(jié)拍運(yùn)動(dòng)，完成裝載、加熱、工藝、冷卻等功能?；?在工藝腔2中進(jìn)行鍍膜工藝，鍍膜工藝中有一種類型為直接耦合等離子體 鍍膜工藝，即不使用外部等離子體源，通過向工藝腔2內(nèi)部零件加射頻激發(fā)等離子體，在基 片4的表面生成所需的膜結(jié)構(gòu)。如圖2所示，在工藝腔2內(nèi)上部零加射頻形成上部電極6，載板5接地形成下電極 7，在滿足等離子體形成條件下，上、下電極之間會(huì)形成等離子體。根據(jù)工藝要求，也可以使 用低頻或者高壓直流電，為了保證工藝的正常進(jìn)行，電極6、7必須與電源端或接地端可靠 接觸。如圖3所示，為現(xiàn)有技術(shù)中的一種電極連接方式，電極端9和連接端8在面A連接， 傳導(dǎo)電信號(hào)，為了實(shí)現(xiàn)電極端9與連接端8的可靠連接，面A需要平整，保證兩個(gè)零件的接 觸面積，并且使用螺釘10和墊片11將兩個(gè)零件壓緊實(shí)現(xiàn)接觸。如圖4所示，為現(xiàn)有技術(shù)中的另一種電極連接方式，該方案減小電極端9與連接端 8的接觸面積，在局部面積上保證加工的精度，實(shí)現(xiàn)零件之間的電接觸。這種方案可以降低 加工的難度和成本。上述現(xiàn)有技術(shù)至少存在以下缺點(diǎn)電極連接的可靠性和均勻性差、電極零件加工難度大、成本高。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種電極連接的可靠性和均勻性好、電極零件加工難度小、 成本高低的電極連接結(jié)構(gòu)及等離子體裝置。本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的本發(fā)明的電極連接結(jié)構(gòu)，包括相互壓緊連接的電極端和連接端，所述電極端與連 接端的接合面之間設(shè)有可導(dǎo)電的連接件。本發(fā)明的等離子體裝置，該裝置包括上述的電極連接結(jié)構(gòu)。由上述本發(fā)明提供的技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明所述的電極連接結(jié)構(gòu)及等離子體 裝置，由于電極端與連接端的接合面之間設(shè)有可導(dǎo)電的連接件，當(dāng)電極端和連接端相互壓 緊后，連接件能保證電極端和連接端之間良好的接觸。使電極連接的可靠性和均勻性好、電 極零件加工難度小、成本低。
圖1為現(xiàn)有技術(shù)中連續(xù)等離子體鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)中連續(xù)等離子體鍍膜裝置的工藝腔的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為現(xiàn)有技術(shù)一電極連接結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為現(xiàn)有技術(shù)二電極連接結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明電極連接結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本發(fā)明中連接件的具體實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本發(fā)明中連接件的具體實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的電極連接結(jié)構(gòu)，其較佳的具體實(shí)施方式
如圖5所示，在兩個(gè)連接的電極 端9和連接端8之間增加一個(gè)連接件12，電極端9與連接端8之間可以通過螺釘10或鉚釘 壓緊。連接件12的材料選用具有良好的電導(dǎo)通性能的材料，能從結(jié)構(gòu)上能夠增大電極 端9和連接端8之間的接觸面積。具體連接件12的材料可以選擇為銅或鋁，表面可以進(jìn)行 鍍銀處理，以避免銅氧化對(duì)導(dǎo)電能力的影響。電極端9和連接端8由于加工誤差會(huì)出現(xiàn)平面度、平行度、表面粗糙度較差的情 況，為了可靠的電極接觸，連接件12的結(jié)構(gòu)可以設(shè)計(jì)為能夠容易產(chǎn)生形變的結(jié)構(gòu)，如彈性 薄壁元件。可以根據(jù)零件的表面狀況產(chǎn)生一定形狀的變形，與電極零件很好的接觸，實(shí)現(xiàn)電 極零件之間的可靠連接。連接件12可以定期進(jìn)行更換，以避免連接件12發(fā)生塑性變形。如圖6所示，為連接件12的一個(gè)實(shí)施例，連接件12的結(jié)構(gòu)為薄壁齒狀結(jié)構(gòu)，薄壁 齒形有較好的彈性形變能力，電極零件安裝后，在螺釘10壓力的作用下，薄壁齒產(chǎn)生變形 與電極零件緊密貼合。如圖7所示，為連接件12的另一個(gè)實(shí)施例，連接件12為螺旋狀結(jié)構(gòu)，具有較好的 彈性形變能力，電極零件安裝后，在螺釘10壓力作用下，連接件12產(chǎn)生變形與電極零件緊 密貼合。連接件12還可以選用波浪狀等結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的等離子體裝置，其較佳的具體實(shí)施方式
是，該裝置包括上述的電極連接 結(jié)構(gòu)，可以在上電極和下電極均采用這種結(jié)構(gòu)，也可以在其中一個(gè)電極上采用這種結(jié)構(gòu)。本發(fā)明通過在電極零件之間增加一個(gè)連接件，保證連接件與電極零件之間緊密貼 合；可以降低電極零件的加工難度和加工成本；使電極零件之間連接均勻；連接件結(jié)構(gòu)簡 單、可定期更換，保證電極零件連接的可靠性；可以實(shí)現(xiàn)大面積、大功率射頻信號(hào)或者地信 號(hào)的可靠連接，避免電極零件加工成本高、加工難度大、連接不均勻等問題。以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此， 任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換， 都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
一種電極連接結(jié)構(gòu)，包括相互壓緊連接的電極端和連接端，其特征在于，所述電極端與連接端的接合面之間設(shè)有可導(dǎo)電的連接件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述連接件為彈性薄壁元件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電極連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述連接件為齒狀結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電極連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述連接件為螺旋狀結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電極連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述連接件為波浪狀結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的電極連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述連接件的材料為 銅或鋁。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電極連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述連接件的表面鍍銀。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電極連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述電極端與連接端之間通過 螺釘或鉚釘壓緊。
9.一種等離子體裝置，其特征在于，該裝置包括權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述的電極連接 結(jié)構(gòu)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的等離子體裝置，其特征在于，所述的電極包括上電極和下電極。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種電極連接結(jié)構(gòu)及等離子體裝置，在電極端與連接端的接合面之間設(shè)有可導(dǎo)電的連接件，連接件采用齒狀、螺旋狀或波浪狀的彈性薄壁元件，當(dāng)電極端和連接端相互壓緊后，連接件能保證電極端和連接端之間良好的接觸。可以使電極零件之間連接均勻；連接件結(jié)構(gòu)簡單、可定期更換，保證電極零件連接的可靠性；可以實(shí)現(xiàn)大面積、大功率射頻信號(hào)或者地信號(hào)的可靠連接，避免電極零件加工成本高、加工難度大、連接不均勻等問題。
文檔編號(hào)H01J37/04GK101924004SQ200910086880
公開日2010年12月22日 申請(qǐng)日期2009年6月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月10日
發(fā)明者姚立強(qiáng) 申請(qǐng)人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司