專利名稱：電極結(jié)構(gòu)及等離子體設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，尤其涉及一種電極結(jié)構(gòu)及等離子體設(shè)備。
背景技術(shù)：
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備廣泛用于半導(dǎo)體制作工藝中，用于沉積 各種薄膜，例如氮化硅薄膜，透明導(dǎo)電薄膜等。太陽能電池制作工藝中，要用到等離子體增 強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備，尤其是在大面積(面積超過0. 25平方米)晶體硅太陽能電池的制作 工藝中的應(yīng)用更加廣泛。如圖1所示，是現(xiàn)有技術(shù)中的PECVD設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。在工藝腔室1內(nèi)上部零加射頻形成上電極4，載板接地形成下電極3，下電極3的 下部設(shè)有加熱板2，在滿足等離子體形成條件下，上、下電極之間會(huì)形成等離子體。根據(jù)工藝 要求，也可以使用低頻或者高壓直流電，為了保證工藝的正常進(jìn)行，電極4、3必須與電源端 或接地端可靠接觸。要保證下電極3良好的導(dǎo)電性和接地，目前下電極3用到的材料一般為石墨。因 加工難度問題，一般石墨的寬度小于100厘米，但為保證大面積，需要用幾塊石墨板拼接起來。如圖2所示，現(xiàn)有技術(shù)一中，用三塊石墨板5直接拼接，然后放在邊框6中，邊框6 接地，石墨板5通過邊框6接地，石墨板5與邊框6之間留有熱脹預(yù)留區(qū)7?，F(xiàn)有技術(shù)一的缺點(diǎn)是石墨板5加熱膨脹，引起兩塊石墨板5之間接觸縫隙變大， 影響均勻性。如圖3所示，現(xiàn)有技術(shù)二中，在石墨板5的拼接處使用固定件8在連接，保證加熱 時(shí)不會(huì)出現(xiàn)縫隙，然后放在邊框6中?，F(xiàn)有技術(shù)二的缺點(diǎn)是石墨板清洗的時(shí)候需要將固定件拆開，不便于維護(hù)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種既能保證石墨板在高溫或者低溫的情況下不會(huì)出現(xiàn)縫 隙，又方便石墨板拆卸維護(hù)的電極結(jié)構(gòu)及等離子體設(shè)備。本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的本發(fā)明的電極結(jié)構(gòu)，由多塊石墨板拼接之后放在邊框中，所述石墨板與邊框之間 設(shè)有彈性元件。本發(fā)明的等離子體設(shè)備，包括工藝腔室，所述工藝腔室中設(shè)有下電極，所述下電極 包括上述的電極結(jié)構(gòu)。由上述本發(fā)明提供的技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明所述的電極結(jié)構(gòu)及等離子體設(shè) 備，由于多塊石墨板拼接之后放在邊框中，石墨板與邊框之間設(shè)有彈性元件。在彈性元件的 作用下，既能保證石墨板在高溫或者低溫的情況下不會(huì)出現(xiàn)縫隙，又方便石墨板拆卸維護(hù)。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中PECVD設(shè)備工藝腔室的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)方案一中下電極的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為現(xiàn)有技術(shù)方案二中下電極的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明的電極結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的電極結(jié)構(gòu)，其較佳的具體實(shí)施方式
如圖4所示，由多塊石墨板5拼接之后 放在邊框6中，石墨板5與邊框6之間設(shè)有彈性元件9。石墨板5與邊框6之間留有熱脹預(yù) 留區(qū)7，彈性元件9可以設(shè)在熱脹預(yù)留區(qū)7的部位。石墨板5可以為長方形，由2-4塊石墨板拼接成電極結(jié)構(gòu)，如由3塊石墨板5拼接。 石墨板5的長邊與邊框6之間可以設(shè)有1-3個(gè)彈性元件9，如設(shè)有2個(gè)彈性元件9。每塊石墨板5的短邊與邊框6之間可以分別設(shè)有1個(gè)彈性元件9。彈性元件9可以為高溫彈簧或高溫彈片，也可以為其它的彈性元件。本發(fā)明的等離子體設(shè)備，其較佳的具體實(shí)施方式
是，包括工藝腔室，工藝腔室中設(shè) 有下電極，下電極包括上述的電極結(jié)構(gòu)。該等離子體設(shè)備可以為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備，也可以為其它的等離子 體設(shè)備。本發(fā)明中將石墨板放入邊框后，石墨板便會(huì)被彈性元件頂住夾緊，這樣既保證了 石墨板在高溫或者低溫的情況下不會(huì)出現(xiàn)縫隙，又保證了石墨板拆卸維護(hù)時(shí)的便捷。以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此， 任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換， 都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
一種電極結(jié)構(gòu)，由多塊石墨板拼接之后放在邊框中，其特征在于，所述石墨板與邊框之間設(shè)有彈性元件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述的石墨板為長方形，由2-4塊石 墨板拼接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于，由3塊所述石墨板拼接。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述石墨板的長邊與所述邊框之 間設(shè)有1-3個(gè)彈性元件，每塊石墨板的短邊與所述邊框之間分別設(shè)有1個(gè)彈性元件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述石墨板的長邊與所述邊框之間 設(shè)有2個(gè)彈性元件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述的彈性元件為高溫彈簧或高溫 彈片。
7.一種等離子體設(shè)備，包括工藝腔室，所述工藝腔室中設(shè)有下電極，其特征在于，所述 下電極包括權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的電極結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的等離子體設(shè)備，其特征在于，該等離子體設(shè)備為等離子體增 強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種電極結(jié)構(gòu)及等離子體設(shè)備，電極結(jié)構(gòu)由多塊石墨板拼接之后放在邊框中，石墨板與邊框之間設(shè)有彈性元件。將石墨板放入邊框后，石墨板便會(huì)被彈性元件頂住夾緊，這樣既保證了石墨板在高溫或者低溫的情況下不會(huì)出現(xiàn)縫隙，又保證了石墨板拆卸維護(hù)時(shí)的便捷。可以應(yīng)用在等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的工藝腔室中。
文檔編號(hào)H01J37/04GK101924003SQ200910086630
公開日2010年12月22日 申請日期2009年6月12日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月12日
發(fā)明者榮延棟 申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司