一種曝光裝置和光路控制裝置的制造方法
【技術(shù)領域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示產(chǎn)品技術(shù)領域，尤其涉及一種曝光裝置和光路控制裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]曝光裝置是生產(chǎn)顯示器的過程中會使用到的重要裝置。現(xiàn)有技術(shù)的曝光裝置大多存在兩個基臺，曝光時，待曝光產(chǎn)品從一個基臺被輸送到另一個基臺，在所述另一個基臺上進行曝光。這樣，光源照射一次，只能曝光一個待曝光產(chǎn)品，同一時間只能對一個基臺上的待曝光產(chǎn)品進行曝光，效率低。如今隨著顯示器的市場需求量的增加，提高待曝光產(chǎn)品的曝光效率、提高曝光產(chǎn)品的生產(chǎn)效率變得尤為重要。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]有鑒于此，本申請?zhí)峁┮环N曝光裝置和光路控制裝置，能夠提高待曝光產(chǎn)品的曝光效率，提高生產(chǎn)率。
[0004]基于上述目的本發(fā)明提供的一種曝光裝置，所述曝光裝置用于對位于不同曝光區(qū)的至少兩個待曝光產(chǎn)品進行同時曝光，所述曝光裝置包括:
[0005]光發(fā)生組件，用于生成第一光線；
[0006]光路控制單元，與掩膜版配合，利用所述第一光線產(chǎn)生投射到所述至少兩個待曝光產(chǎn)品的待曝光區(qū)域的第二光線。
[0007]可選的，所述光路控制單元具體包括:
[0008]第一反射鏡:用于對所述光發(fā)生組件產(chǎn)生的第一光線進行分離，生成第二子光線；
[0009]第二反射鏡:用于將所述第二子光線反射到設定方向，生成投射到所述至少兩個待曝光產(chǎn)品的待曝光區(qū)域的第二光線；
[0010]所述設定方向為投射到待曝光區(qū)域的方向。
[0011 ] 可選的，所述第一反射鏡為半透半反射鏡。
[0012]可選的，當所述待曝光區(qū)域為兩個時，所述半透半反射鏡設置于其透射面與第一光線的投射方向呈第一角度的位置，其反射第一光線形成的第二子光線用于生成投射到一個待曝光區(qū)域的第二光線，其透射第一光線形成的第二子光線用于生成投射到另一個待曝光區(qū)域的第二光線；
[0013]所述第二反射鏡至少包括第一平面鏡，設置在于所述半透半反射鏡平行的位置，用于將所述半透半反射鏡所反射所述第一光線生成的第二子光線反射到所述設定方向，形成投射到所述一個待曝光區(qū)域的第二光線；
[0014]所述第一角度大于0°且小于90°。
[0015]可選的，所述第二反射鏡還包括第二平面鏡、第三平面鏡；
[0016]所述第二平面鏡設置于與所述半透半反射鏡的透射面呈第二角度的位置，用于將所述半透半反射鏡透射所述第一光線生成的第二子光線反射；
[0017]所述第三平面鏡設置于與所述第二平面鏡平行的位置，用于將所述第二平面鏡反射的光線進行反射，形成所述投射到另一個待曝光區(qū)域的第二光線；
[0018]所述第二角度大于45°且小于135°。
[0019]可選的，所述第一反射鏡為平面鏡。
[0020]可選的，當所述待曝光區(qū)域為兩個時，所述第一反射鏡用于將所述光發(fā)生組件產(chǎn)生的第一光線分成兩部分；所述第一反射鏡包括第四平面鏡和第五平面鏡；所述第二反射鏡包括第六平面鏡和第七平面鏡；
[0021]所述第四平面鏡和第五平面鏡的背面與第一光線的投射方向的夾角為第三角度，用于將所述光發(fā)生組件產(chǎn)生的第一光線平均分成兩部分第二子光線，并同時使得這兩部分光線照射方向改變第四角度；
[0022]所述第六平面鏡和第七平面鏡分別設置在與所述第四平面鏡和第五平面鏡平行的位置，分別用于將所述第四平面鏡和第五平面鏡反射的光線反射到所述設定方向，形成用于投射到所述兩個待曝光區(qū)域的第二光線；
[0023]所述第三角度大于0°且小于90° ;所述第四角度為第三角度的余角的二倍。
[0024]可選的，所述裝置的掩膜版設置于光路控制單元和待曝光產(chǎn)品之間，所述第二光線經(jīng)過所述掩膜版投射到待曝光產(chǎn)品；
[0025]或，所述掩膜版設置于光發(fā)生組件中，光發(fā)生組件中的光源產(chǎn)生的光線經(jīng)過光路調(diào)整組件、掩膜版形成所述第一光線。
[0026]同時，本發(fā)明提供一種光路控制裝置，用于曝光裝置，包括本發(fā)明任意一項實施例所提供的光路控制單元。
[0027]從上面所述可以看出，本發(fā)明提供的曝光裝置及光路控制裝置，能夠?qū)⒐庠窗l(fā)出的光線在投射到待曝光區(qū)域之前將光線分成至少兩部分，從而能夠同時將至少兩個待曝光產(chǎn)品進行曝光，提高了曝光效率。同時，本發(fā)明實施例采用簡單的光學部件實現(xiàn)光路控制單元的光路控制功能，具有成本低、制造簡單的有益效果。
【附圖說明】
[0028]圖1為本發(fā)明一種實施例的曝光裝置示意圖；
[0029]圖2為本發(fā)明另一實施例的第一反射鏡不意圖；
[0030]圖3為本發(fā)明另一實施例的光路控制單元結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖4為本發(fā)明又一實施例的光路控制單元示意圖。
【具體實施方式】
[0032]為了給出有效的實現(xiàn)方案，本發(fā)明提供了下述實施例，以下結(jié)合說明書附圖對本發(fā)明實施例進行說明。
[0033]本發(fā)明首先提供一種曝光裝置，結(jié)構(gòu)如圖1所示，所述曝光裝置用于對位于不同曝光區(qū)的至少兩個待曝光產(chǎn)品進行同時曝光，所述曝光裝置包括:
[0034]光發(fā)生組件101，用于生成第一光線；
[0035]光路控制單元102，與掩膜版1016配合，利用所述第一光線產(chǎn)生投射到所述至少兩個待曝光產(chǎn)品的待曝光區(qū)域103、104的第二光線。圖1中箭頭方向為光發(fā)生組件投射來的光線方向。
[0036]從上面所述可以看出，本發(fā)明所提供的曝光裝置，具備光路控制單元102，能夠?qū)⒌谝还饩€分成至少兩部分，投射到至少兩個待曝光區(qū)域，使得位于所述至少兩個待曝光區(qū)域的待曝光產(chǎn)品得到曝光，從而在產(chǎn)生一次所述第一光線之后，能夠曝光至少兩個待曝光產(chǎn)品，使得曝光率得到提高，生產(chǎn)率也能夠提高至少兩倍。
[0037]在本發(fā)明具體實施例中，所述發(fā)光組件101可以是一個單獨的光源，也可以包括必要的光匯聚、擴散、簡單光路改變單元等。
[0038]在本發(fā)明具體實施例中，所述光路控制單元102可以是反射鏡組合、透視鏡組合或者透視鏡與反射鏡的組合。例如，如圖2所示，所述光路控制單元102可以包括兩個相同的反射鏡，這兩個反射鏡在邊緣處相互連接，且這兩個反射鏡的平面呈一定夾角，反射面朝向光照射來的方向，將該光路控制單元設置在合適的位置，使得發(fā)光組件101發(fā)射的光照射到該光路控制單元時，能夠分成兩部分，照射到不同方向，從而最終投射到兩個不同的待曝光區(qū)域。
[0039]在本發(fā)明一些實施例中，仍然參照圖1，所述光路控制單元102具體包括:
[0040]第一反射鏡:用于對所述光發(fā)生組件產(chǎn)生的第一光線進行分離，生成第二子光線；
[0041]第二反射鏡:用于將所述第二子光線反射到設定方向，生成投射到所述至少兩個待曝光產(chǎn)品的待曝光區(qū)域的第二光線。
[0042]在本發(fā)明具體實施例中，第一反射鏡可以是單獨的反射鏡或反射鏡的組合，也可以是透視鏡和反射鏡的組合。
[0043]在本發(fā)明具體實施例中，第二反射鏡為單獨的反射鏡或反射鏡的組合。
[0044]在本發(fā)明一些實施例中，所述第一反射鏡為半透半反射鏡1021。采用半透半反射鏡1021將光發(fā)生組件101所產(chǎn)生的光中的一半透射過去，另一半反射使其光路改變，形成兩部分子光線，采用必要的光路方向調(diào)整部件，例如平面鏡，將所述兩部分子光線的光路調(diào)整到恰好能夠照射到待曝光區(qū)域，形成第二光線。
[0045]采用半透半反射鏡作為第一反射鏡，可以簡化光路設計，同時能夠使得光發(fā)生組件產(chǎn)生的第一光線分成兩部分，從而能夠產(chǎn)生投射到至少兩個待曝光區(qū)域的光線，使得曝光率提高至少一倍。
[0046]在本發(fā)明其它實施例中，可以將半透半反射鏡透射的光線和反射的光線分別再采用半透半反射鏡或者反射鏡組合使其再分成兩部分，從而使得更多的待曝光產(chǎn)品能夠同時曝光。
[0047]在本發(fā)明一些實施例中，仍然參照圖1，當所述待曝光區(qū)域為兩個時，所述半透半反射鏡設置于其透射面與所述第一光線的投射方向呈第一角度的位置，其反射第一光線形成的第二子光線用于生成投射到一個待曝光區(qū)域的第二光線，其透射第一光線形成的第二子光線用于生成投射到另一個待曝光區(qū)域的第二光線；
[0048]所述第二反射鏡至少包括第一平面鏡1022，設置在于所述半透半反射鏡平行的位置，用于將所述半透半反射鏡所反射所述第一光線生成的第二子光線反射到所述設定方向，形成投射到所述一個待曝光區(qū)域的第二光線；
[0049]所述第一角度大于0°且小于90°。
[0050]為了避免第一反射鏡將光發(fā)生組件發(fā)生的光反射回第一光線投射的反方向或者因其透射面或反射面的設置方向與第一光線平行而無法透射或反射第一光線，因此所述半透半反射鏡與第一光線的投射方向之間的夾角應當為上市第一角度。
[0051]在本發(fā)明具體實施例中，由于第一光線經(jīng)過半透半反射鏡透射之后的光線投射方向與第一光線的投射方向相同，因此，可以不再設置反射鏡改變其投射方向。但是在一些情況下為了適應整個曝光設備的尺寸，可以將半透半反射鏡透射的那一部分光線通過平面鏡改變投射方向。
[0052]基于上述理由，在本發(fā)明一些實施例中，所述第二反射鏡還包括第二平面鏡1023、第三平面鏡1024 ；
[0053]所述第二平面鏡1023設置于與所述半透半反射鏡的透射面呈第二角度的位置，用于將所述半透半反射鏡透射所述第一光線生成的第二子光線反射；
[0054]所述第三平面鏡1024設置于與所述第二平面鏡1023平行的位置，用于將所述第二平面鏡1023反射的光線進行反射，形成所述投射到另一個待曝光區(qū)域