涂膠噴嘴分布裝置和方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體勻膠顯影設(shè)備中涂膠噴嘴的技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)是一種涂膠噴嘴分布裝置和方法。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)過(guò)程中，為了達(dá)到工藝要求，需要在同一個(gè)單元中使用不同種類的光刻膠，這樣在有限的空間內(nèi)會(huì)集合多個(gè)膠嘴和其所攜帶的管路系統(tǒng)。在不同膠嘴工作過(guò)程中，膠嘴和其所連接的膠管在移動(dòng)中會(huì)合其他膠嘴和膠管發(fā)生干擾，會(huì)形成系統(tǒng)的顆粒增多和不穩(wěn)定，影響生產(chǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對(duì)上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種涂膠噴嘴分布裝置和方法。該裝置在多個(gè)噴嘴更換時(shí)避免由于膠嘴和其攜帶的膠管在使用中互相干擾。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0005]一種涂膠噴嘴分布裝置，包括噴嘴系統(tǒng)、噴嘴拾取裝置、膠杯及涂膠平臺(tái)，其中噴嘴系統(tǒng)、噴嘴拾取裝置及膠杯均設(shè)置于涂膠平臺(tái)上，所述噴嘴系統(tǒng)和噴嘴拾取裝置分別設(shè)置于膠杯的相鄰兩側(cè)，所述噴嘴系統(tǒng)中的各涂膠噴嘴通過(guò)噴嘴拾取裝置沿通過(guò)膠杯圓心的直線上運(yùn)動(dòng)。
[0006]所述噴嘴系統(tǒng)包括多個(gè)涂膠噴嘴和膠管，所述膠杯的一側(cè)設(shè)有托架，多個(gè)涂膠噴嘴依次排列于托架上、并各涂膠噴嘴分別與一個(gè)膠管連接，各膠管分別分布于通過(guò)膠杯圓心的各直線上。
[0007]所述噴嘴拾取裝置包括氣爪、電缸I及電缸II，其中電缸II連接于涂膠平臺(tái)上，所述電缸I連接于電缸II的輸出端，電缸I的輸出方向與電缸II的輸出方向垂直，所述氣爪連接在電缸I的輸出端、并與涂膠噴嘴相對(duì)應(yīng)。
[0008]多個(gè)涂膠噴嘴在同一單元內(nèi)使用時(shí)，與各涂膠噴嘴連接的膠管呈膠杯圓心的放射狀分布，各涂膠噴嘴和其所連接的膠管通過(guò)噴嘴拾取裝置驅(qū)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)軌跡在通過(guò)膠杯圓心的放射線上，形成涂膠路線。
[0009]所述噴嘴拾取裝置上的氣爪拾取涂膠噴嘴，通過(guò)電缸I和電缸II的運(yùn)動(dòng)控制使涂膠噴嘴沿著通過(guò)膠杯圓心的放射線上運(yùn)動(dòng)。
[0010]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)及有益效果是:
[0011]本發(fā)明通過(guò)使噴嘴和其所連接的管路以相對(duì)于膠杯中心的放射狀分布方式和噴嘴拾取裝置通過(guò)直角坐標(biāo)系的沿著這個(gè)通過(guò)膠杯圓心的放射線運(yùn)動(dòng)來(lái)解決?？梢宰龅蕉嗦纺z嘴互不干擾，使得系統(tǒng)穩(wěn)定。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本發(fā)明中涂膠噴嘴分布裝置的立體示意圖；
[0013]圖2為本發(fā)明中涂膠噴嘴分布裝置的俯視圖；
[0014]圖3為本發(fā)明中噴嘴拾取裝置拾取膠嘴的立體示意圖；
[0015]圖4為本發(fā)明中噴嘴拾取裝置拾取膠嘴的主視圖。
[0016]其中:1為膠嘴，2為膠管，3為托架，4為膠杯，5為氣爪，6為電缸1，7為電缸II。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述。
[0018]如圖1-2所示，本發(fā)明包括噴嘴系統(tǒng)、噴嘴拾取裝置、膠杯4及涂膠平臺(tái)8，其中噴嘴系統(tǒng)、噴嘴拾取裝置及膠杯4均設(shè)置于涂膠平臺(tái)8上，所述噴嘴系統(tǒng)和噴嘴拾取裝置分別設(shè)置于膠杯4的相鄰兩側(cè)，所述噴嘴系統(tǒng)中的涂膠噴嘴I通過(guò)噴嘴拾取裝置沿通過(guò)膠杯4圓心的直線上運(yùn)動(dòng)。
[0019]所述噴嘴系統(tǒng)包括多個(gè)涂膠噴嘴I和膠管2，所述膠杯4的一側(cè)設(shè)有托架3，多個(gè)涂膠噴嘴I依次排列于托架3上、并各涂膠噴嘴I分別與一個(gè)膠管2連接，各膠管2分別分布于通過(guò)膠杯4圓心的各直線上，形成放射狀分布。涂膠噴嘴I相對(duì)于噴嘴拾取裝置呈直線排列、并靠近膠杯4，膠管2在朝向相反方向。
[0020]所述噴嘴拾取裝置包括氣爪5、電缸16及電缸117，其中電缸117設(shè)置于涂膠平臺(tái)8上、并輸出方向與多個(gè)涂膠噴嘴I的排列方向垂直。所述電缸16連接于電缸117的輸出端，電缸16的輸出方向與電缸117的輸出方向垂直,所述氣爪5連接在電缸16的輸出端、并與涂膠噴嘴I相對(duì)應(yīng)。氣爪5由電缸16帶動(dòng)相對(duì)于涂膠噴嘴I排列方向平行直線運(yùn)動(dòng)，電缸16由電缸117帶動(dòng)相對(duì)于涂膠噴嘴I排列方向垂直直線運(yùn)動(dòng)，氣爪5在電缸16和電缸Π7的共同作用下選取所需涂膠噴嘴I。噴嘴拾取裝置通過(guò)電缸16和電缸117形成的直角坐標(biāo)系，使涂膠噴嘴I形成特定的通過(guò)膠杯4圓心的直線運(yùn)動(dòng)軌跡，控制涂膠噴嘴I運(yùn)動(dòng)，使得膠管2跟隨涂膠噴嘴I在這條直線上運(yùn)動(dòng)。
[0021]如圖3、圖4所示，本發(fā)明涂膠噴嘴的分布方法，多個(gè)涂膠噴嘴I在同一單元內(nèi)使用時(shí)，與各涂膠噴嘴I連接的膠管2呈膠杯4圓心的放射狀分布，各涂膠噴嘴I和其所連接的膠管2的運(yùn)動(dòng)軌跡在通過(guò)膠杯4圓心的放射線上運(yùn)動(dòng)，形成涂膠路線。
[0022]噴嘴拾取裝置拾取涂膠噴嘴1，帶動(dòng)涂膠噴嘴I運(yùn)動(dòng)到膠杯4中心涂膠。噴嘴拾取裝置上的氣爪5拾取涂膠噴嘴1，通過(guò)電缸16和電缸117的運(yùn)動(dòng)控制使涂膠噴嘴I沿著通過(guò)膠杯4圓心的放射線上運(yùn)動(dòng)，也就是涂膠噴嘴I和其所連接的膠管2所通過(guò)的圓心放射線，通過(guò)這個(gè)軌跡運(yùn)動(dòng)，使得整個(gè)系統(tǒng)各個(gè)涂膠噴嘴I和其所攜帶的膠管2互不干擾。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種涂膠噴嘴分布裝置，其特征在于:包括噴嘴系統(tǒng)、噴嘴拾取裝置、膠杯(4)及涂膠平臺(tái)(8)，其中噴嘴系統(tǒng)、噴嘴拾取裝置及膠杯(4)均設(shè)置于涂膠平臺(tái)(8)上，所述噴嘴系統(tǒng)和噴嘴拾取裝置分別設(shè)置于膠杯(4)的相鄰兩側(cè)，所述噴嘴系統(tǒng)中的各涂膠噴嘴(I)通過(guò)噴嘴拾取裝置沿通過(guò)膠杯(4)圓心的直線上運(yùn)動(dòng)。
2.按權(quán)利要求1所述的涂膠噴嘴分布裝置，其特征在于:所述噴嘴系統(tǒng)包括多個(gè)涂膠噴嘴(I)和膠管(2)，所述膠杯(4)的一側(cè)設(shè)有托架(3)，多個(gè)涂膠噴嘴(I)依次排列于托架(3)上、并各涂膠噴嘴(I)分別與一個(gè)膠管(2)連接，各膠管(2)分別分布于通過(guò)膠杯(4)圓心的各直線上。
3.按權(quán)利要求1所述的涂膠噴嘴分布裝置，其特征在于:所述噴嘴拾取裝置包括氣爪(5)、電缸I (6)及電缸II (7)，其中電缸11(7)連接于涂膠平臺(tái)⑶上，所述電缸I (6)連接于電缸II (7)的輸出端，電缸I (6)的輸出方向與電缸II (7)的輸出方向垂直,所述氣爪(5)連接在電缸I (6)的輸出端、并與涂膠噴嘴⑴相對(duì)應(yīng)。
4.一種涂膠噴嘴的分布方法，其特征在于:多個(gè)涂膠噴嘴(I)在同一單元內(nèi)使用時(shí)，與各涂膠噴嘴連接的膠管(2)呈膠杯(4)圓心的放射狀分布，各涂膠噴嘴(I)和其所連接的膠管(2)通過(guò)噴嘴拾取裝置驅(qū)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)軌跡在通過(guò)膠杯(4)圓心的放射線上，形成涂膠路線。
5.按權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于:所述噴嘴拾取裝置上的氣爪(5)拾取涂膠噴嘴(I)，通過(guò)電缸I (6)和電缸11(7)的運(yùn)動(dòng)控制使涂膠噴嘴(I)沿著通過(guò)膠杯(4)圓心的放射線上運(yùn)動(dòng)。
【專利摘要】本發(fā)明涉及半導(dǎo)體勻膠顯影設(shè)備中涂膠噴嘴的技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)是一種涂膠噴嘴分布裝置和方法。所述裝置包括噴嘴系統(tǒng)、噴嘴拾取裝置、膠杯及涂膠平臺(tái)，其中噴嘴系統(tǒng)、噴嘴拾取裝置及膠杯均設(shè)置于涂膠平臺(tái)上，所述噴嘴系統(tǒng)和噴嘴拾取裝置分別設(shè)置于膠杯的相鄰兩側(cè)，所述噴嘴系統(tǒng)中的涂膠噴嘴通過(guò)噴嘴拾取裝置沿通過(guò)膠杯圓心的直線上運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明多個(gè)噴嘴更換時(shí)避免由于膠嘴和其攜帶的膠管在使用中互相干擾。
【IPC分類】G03F7-16
【公開(kāi)號(hào)】CN104597714
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310526298
【發(fā)明人】王陽(yáng)
【申請(qǐng)人】沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備有限公司
【公開(kāi)日】2015年5月6日
【申請(qǐng)日】2013年10月30日