技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種機(jī)臺(tái)，包括機(jī)臺(tái)本體，所述機(jī)臺(tái)本體包括承載面，所述承載面包括第一側(cè)和與所述第一側(cè)相對(duì)的第二側(cè)，所述機(jī)臺(tái)還包括供氣組件和控制組件，所述機(jī)臺(tái)本體上設(shè)置有多個(gè)通孔，所述通孔的開口在所述承載面上，供氣組件的出氣口與各個(gè)通孔連通，所述控制組件用于向所述供氣組件輸出控制信號(hào)，供氣組件能夠基于所述控制信號(hào)按照預(yù)定順序依次向所述通孔送氣，每個(gè)所述通孔的送氣時(shí)間持續(xù)預(yù)定時(shí)間段，所述預(yù)定順序包括從所述承載面的第一側(cè)至所述承載面的第二側(cè)的順序或從所述承載面的第二側(cè)至所述承載面的第一側(cè)的順序。本發(fā)明還提供一種曝光機(jī)和一種機(jī)臺(tái)清理方法和一種曝光機(jī)清理方法。所述機(jī)臺(tái)能夠自動(dòng)清理承載面上的異物，提高生成良率。

技術(shù)研發(fā)人員：李衡
受保護(hù)的技術(shù)使用者：京東方科技集團(tuán)股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.12
技術(shù)公布日：2017.07.14