1.一種三維壓電驅動微鏡調節(jié)裝置，其特征在于，包括粗動臺[1]、Y方向驅動結構、Y方向導軌機構[2]、Y方向位移調節(jié)平臺[3]、Y方向柔性鉸鏈導向機構[5]、X方向驅動機構、X方向導軌機構[4]、X方向位移調節(jié)平臺[11]和X方向柔性鉸鏈導向機構[7]；
所述Y方向導軌機構[2]包括兩根導軌，該兩根導軌對稱設置在粗動臺[1]Y方向中軸線的兩側；Y方向柔性鉸鏈導向機構[5]包括四個柔性鉸鏈機構并兩兩對稱于粗動臺[1]Y方向中軸線；Y方向位移調節(jié)平臺[3]位于兩根導軌的上方并在Y方向驅動機構的驅動下沿導軌運動，該Y方向驅動機構包括兩個關于粗動臺[1]Y方向中軸線對稱設置的致動機構，每個致動機構均包括懸臂梁和兩個貼合在懸臂梁上下兩端的Y方向壓電薄膜驅動器[8]，其中懸臂梁與對應的Y方向位移放大機構[6]通過鉸鏈相連，Y方向位移放大機構[6]的另一端與Y方向位移調節(jié)平臺[3]相連；
Y方向位移調節(jié)平臺[3]上設置X方向導軌機構[4]，所述X方向導軌機構[4]包括兩根導軌，該兩根導軌對稱設置在Y方向位移調節(jié)平臺[3]X方向中軸線的兩側，X方向位移調節(jié)平臺[11]位于兩根導軌的上方并在X方向驅動機構的驅動下沿導軌運動，該X方向驅動機構包括兩個關于Y方向位移調節(jié)平臺[3]X方向中軸線對稱設置的致動機構，每個致動機構均包括懸臂梁和兩個貼合在懸臂梁上下兩端的X方向壓電薄膜驅動器[9]，其中懸臂梁與對應的X方向位移放大機構[10]通過鉸鏈相連，X方向位移放大機構[10]的另一端與X方向位移調節(jié)平臺[11]相連；
在施加電壓作用下，Y方向位移調節(jié)平臺[3]上的X方向壓電薄膜驅動器[9]由于逆壓電效應產生輸出力使懸臂梁產生輸出位移，然后經過X方向位移放大機構[10]來實現X方向的位移調節(jié)；粗動臺[1]上的Y方向壓電薄膜驅動器[8]產生輸出力使懸臂梁產生輸出位移，然后經過Y方向位移放大機構[6]來實現Y方向的位移調節(jié)。
2.根據權利要求1所述的三維壓電驅動微鏡調節(jié)裝置，其特征在于，X方向位移調節(jié)平臺[11]上設置Z方向位移調節(jié)機構[13]，其中Z方向位移調節(jié)機構[13]包括支架[15]和Z方向驅動機構，該Z方向驅動機構包括兩個關于X方向位移調節(jié)平臺[11]Y方向中軸線對稱設置的致動機構，每個致動機構均包括懸臂梁和兩個貼合在懸臂梁上下兩端且關于粗動臺[1]Y方向中軸線兩兩對稱的Z方向壓電薄膜驅動器[14]，Z方向位移調節(jié)機構[13]頂端設置微鏡[12]；Z方向位移調節(jié)機構[13]經過Z方向壓電薄膜驅動器[14]來實現豎直方向上的位移調節(jié)。
3.根據權利1所述的三維壓電驅動微鏡調節(jié)裝置，其特征在于，X方向壓電薄膜驅動器[9]、Y方向壓電薄膜驅動器[8]、Z方向壓電薄膜驅動器[14]均采用壓電薄膜層合懸臂梁來施加電壓產生驅動力。
4.根據權利1所述的三維壓電驅動微鏡調節(jié)裝置，其特征在于，粗動臺[1]上設置固定框，Y方向柔性鉸鏈導向機構[5]、Y方向位移放大機構[6]和Y方向驅動機構的致動機構均鉸接在該固定框上。
5.根據權利1所述的三維壓電驅動微鏡調節(jié)裝置，其特征在于，Y方向位移調節(jié)平臺[3]上設置固定框，X方向柔性鉸鏈導向機構[7]、X方向位移放大機構[10]和X方向驅動機構的致動機構均鉸接在該固定框上。