本發(fā)明屬于光刻技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種標(biāo)定方法及標(biāo)定裝置。

背景技術(shù)：

光刻技術(shù)是用于在基底表面上印刷具有特征構(gòu)圖的技術(shù)。這樣的基底可用于制造半導(dǎo)體器件、多種集成電路、平面顯示器(例如液晶顯示器)、電路板、生物芯片、微機(jī)械電子芯片、光電子線路芯片等。由于市面上大多數(shù)的印刷電路板(Printed Circuit Board，簡(jiǎn)稱PCB板)都為精密線路，在光刻機(jī)中，工件臺(tái)移動(dòng)的重復(fù)定位精度對(duì)光刻機(jī)的曝光質(zhì)量是至關(guān)重要的，目前國(guó)內(nèi)測(cè)量偏擺都是用激光干涉儀或者準(zhǔn)直儀。

但是，使用激光干涉儀只能在機(jī)臺(tái)沒(méi)有組裝時(shí)進(jìn)行偏擺的測(cè)量，平臺(tái)整機(jī)組裝成功后無(wú)法測(cè)量偏擺，不能實(shí)現(xiàn)在線測(cè)試。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種標(biāo)定方法以及標(biāo)定裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)平臺(tái)的在線測(cè)試，以解決現(xiàn)有技術(shù)中激光干涉儀只能在機(jī)臺(tái)沒(méi)有組裝時(shí)進(jìn)行偏擺的測(cè)量，不能實(shí)現(xiàn)在線測(cè)試的問(wèn)題。此外，該標(biāo)定方法測(cè)量偏擺更加貼近生產(chǎn)實(shí)際，更加適于實(shí)際的使用。

第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種標(biāo)定方法，其中，該標(biāo)定方法包括：

在光刻機(jī)的XY軸載物平臺(tái)上放置標(biāo)定板；

選定需要標(biāo)定的圖形點(diǎn)A和B，讀取A與B之間的距離為d1；

將圖形點(diǎn)A的中心移動(dòng)到第一相機(jī)的中心點(diǎn)重合；

微調(diào)第二相機(jī)，使圖形點(diǎn)B位于第二相機(jī)的視野范圍內(nèi)，讀取兩相機(jī)之間的距離d2，以及第二相機(jī)中心點(diǎn)和標(biāo)定點(diǎn)之間的距離d3；

根據(jù)d1、d2、d3計(jì)算標(biāo)定板的偏擺角a。

結(jié)合第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了第一方面的第一種可能的實(shí)施方式，其中，該標(biāo)定方法還包括以下步驟：

繪制偏擺角a與Y軸位移的函數(shù)關(guān)系圖。

結(jié)合第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了第一方面的第二種可能的實(shí)施方式，其中，該標(biāo)定方法還包括以下步驟：

繪制偏擺角a與X軸位移的函數(shù)關(guān)系圖。

結(jié)合第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了第一方面的第三種可能的實(shí)施方式，其中，移動(dòng)XY軸載物平臺(tái)，使圖形點(diǎn)A進(jìn)入第一相機(jī)的視野范圍內(nèi)；

使用第一相機(jī)標(biāo)定圖形點(diǎn)A；

微調(diào)XY軸載物平臺(tái)，使第一相機(jī)的中心點(diǎn)與圖形點(diǎn)A的中心重合。

第二方面，本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種標(biāo)定裝置，包括標(biāo)定板、第一相機(jī)和第二相機(jī)，其中，

所述XY軸載物平臺(tái)包括位于水平方向的二維自由度，能夠?qū)崿F(xiàn)XY軸聯(lián)動(dòng)；

所述第一相機(jī)固定在XY軸載物平臺(tái)的上方，所述第二相機(jī)與所述第一相機(jī)等高放置，且兩者的Y軸坐標(biāo)相同，所述第二相機(jī)能夠沿X軸方向移動(dòng)；

所述標(biāo)定裝置采用第一方面及其可能的實(shí)施方式所述的標(biāo)定方法。

結(jié)合第二方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了第二方面的第一種可能的實(shí)施方式，其中，所述標(biāo)定板為玻璃纖維板、陶瓷基板、鋼化玻璃板或者普通光學(xué)玻璃板的一種。

結(jié)合第二方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了第二方面的第二種可能的實(shí)施方式，其中，所述標(biāo)定板為單一圖形板或者多種圖形混合板。

結(jié)合第二方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了第二方面的第三種可能的實(shí)施方式，其中，所述第一相機(jī)為CCD或者CMOS相機(jī)。

結(jié)合第二方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了第二方面的第四種可能的實(shí)施方式，其中，所述第二相機(jī)為CCD或者CMOS相機(jī)。

結(jié)合第二方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了第二方面的第五種可能的實(shí)施方式，其中，所述標(biāo)定板的厚度為2-3mm，精度為0.001mm。

本發(fā)明實(shí)施例帶來(lái)了以下有益效果：

本發(fā)明通過(guò)標(biāo)定板以及兩臺(tái)相機(jī)即可實(shí)現(xiàn)平臺(tái)偏擺的在線測(cè)試，簡(jiǎn)單易用，可以極大的提高標(biāo)定效率，由于該標(biāo)定方法可以重復(fù)測(cè)試，標(biāo)定裝置可以重復(fù)使用，能夠減小標(biāo)定誤差，此外測(cè)量過(guò)程簡(jiǎn)單，標(biāo)定結(jié)果精確，有利于提高工作效率。

本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的說(shuō)明書(shū)中闡述，并且，部分地從說(shuō)明書(shū)中變得顯而易見(jiàn)，或者通過(guò)實(shí)施本發(fā)明而了解。本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點(diǎn)在說(shuō)明書(shū)、權(quán)利要求書(shū)以及附圖中所特別指出的結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)和獲得。

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施例，并配合所附附圖，作詳細(xì)說(shuō)明如下。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實(shí)施方式，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例1提供的一種標(biāo)定方法的流程圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例1提供的一種標(biāo)定方法關(guān)于a的三角函數(shù)關(guān)系圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例2提供的一種標(biāo)定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為圖3的放大結(jié)構(gòu)示意圖。

圖標(biāo)：1-第一相機(jī)；2-第二相機(jī)；3-標(biāo)定板；4-XY軸載物平臺(tái)。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

目前國(guó)內(nèi)測(cè)量偏擺都是用激光干涉儀或者準(zhǔn)直儀，但是使用激光干涉儀只能在機(jī)臺(tái)沒(méi)有組裝時(shí)進(jìn)行偏擺的測(cè)量，平臺(tái)整機(jī)組裝成功后無(wú)法測(cè)量偏擺，不能實(shí)現(xiàn)在線測(cè)試。

基于此，本發(fā)明實(shí)施例提供的一種標(biāo)定方法及標(biāo)定裝置，可以實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)平臺(tái)的在線測(cè)試，適于實(shí)際的生產(chǎn)使用。

為便于對(duì)本實(shí)施例進(jìn)行理解，首先對(duì)本發(fā)明實(shí)施例所公開(kāi)的一種標(biāo)定方法進(jìn)行詳細(xì)介紹。

實(shí)施例1

如圖1所示，本發(fā)明提供的一種標(biāo)定方法，用于光刻機(jī)XY軸載物平臺(tái)偏擺在線測(cè)試，該標(biāo)定方法包括：

S2：在光刻機(jī)的XY軸載物平臺(tái)上放置標(biāo)定板；

具體的，移動(dòng)光刻機(jī)的XY軸載物平臺(tái)至合適位置，將標(biāo)定板平放并置于XY軸載物平臺(tái)的中央位置。

S4：選定需要標(biāo)定的圖形點(diǎn)A和B，讀取A與B之間的距離為d1；

具體的，從標(biāo)定板的圖形點(diǎn)陣中選取位于同一行、間距一定距離的兩圖形點(diǎn)A與B，可以直接讀取A、B之間的測(cè)試間距d1，該間距通常設(shè)置為200mm，圖形點(diǎn)陣中相鄰圖形點(diǎn)中心的距離為10mm，即d1通常為10個(gè)相鄰圖形點(diǎn)的距離。

S6：將圖形點(diǎn)A的中心移動(dòng)到第一相機(jī)的中心點(diǎn)重合；

具體的，移動(dòng)XY軸載物平臺(tái)，使圖形點(diǎn)A進(jìn)入第一相機(jī)的視野范圍內(nèi)；

使用第一相機(jī)標(biāo)定圖形點(diǎn)A；標(biāo)定點(diǎn)A在第一相機(jī)的像素坐標(biāo)系中的位置，通過(guò)坐標(biāo)轉(zhuǎn)換得到標(biāo)定點(diǎn)A在外部XY軸坐標(biāo)系的坐標(biāo)值；

像素坐標(biāo)系與外部XY軸坐標(biāo)系的轉(zhuǎn)換關(guān)系為XpiYpi＝g1(XY)，其中g(shù)1為參數(shù)。

微調(diào)XY軸載物平臺(tái)，使第一相機(jī)的中心點(diǎn)與圖形點(diǎn)A的中心重合。

S8：微調(diào)第二相機(jī)，使圖形點(diǎn)B位于第二相機(jī)的視野范圍內(nèi)，讀取兩相機(jī)之間的距離d2，以及第二相機(jī)中心點(diǎn)和標(biāo)定點(diǎn)之間的距離d3；

具體的，第一相機(jī)固定在外部XY坐標(biāo)軸的零點(diǎn)位置，第二相機(jī)位于第一相機(jī)的等高處，且兩者Y值相等，第二相機(jī)能夠沿X軸方向移動(dòng)，沿X軸方向移動(dòng)第二相機(jī)，找到標(biāo)定板上的圖形點(diǎn)B，此時(shí)，我們稱圖形點(diǎn)B進(jìn)入了第二相機(jī)的視野范圍內(nèi)，然后讀取第二相機(jī)的X軸坐標(biāo)值Xb，即為兩相機(jī)之間的距離d2，在第二相機(jī)的視野范圍內(nèi)的像素坐標(biāo)系中，讀取第二相機(jī)中心點(diǎn)和標(biāo)定點(diǎn)之間的距離，并經(jīng)坐標(biāo)變換得到d3。

S10：根據(jù)d1、d2、d3計(jì)算標(biāo)定板的偏擺角a。

圖2為關(guān)于a的三角函數(shù)關(guān)系圖。

參照?qǐng)D2，由三角函數(shù)關(guān)系可知：

Cos a＝(d1²+d2²-d3²)/2d1d2，從而可以計(jì)算得到偏擺角a的值。

進(jìn)一步的是，該標(biāo)定方法還包括以下步驟：

S12：繪制偏擺角a與Y軸位移的函數(shù)關(guān)系圖。

具體的，沿Y軸方向等間距的移動(dòng)XY軸載物平臺(tái)，測(cè)量標(biāo)定板上的第二組數(shù)據(jù)；優(yōu)選的是，沿Y軸方向選取相鄰兩個(gè)標(biāo)定點(diǎn)的固定間距Dy為位移，移動(dòng)XY軸載物平臺(tái)，測(cè)量標(biāo)定板上的第二組偏擺角a1，記錄偏擺數(shù)據(jù)a1與Dy的值(a1，Dy)。

接著，沿Y軸方向再次以相鄰兩個(gè)標(biāo)定點(diǎn)的固定間距Dy為位移，移動(dòng)XY軸載物平臺(tái)，測(cè)量標(biāo)定板上的第三組偏擺角a2，記錄偏擺數(shù)據(jù)a2與2Dy的值(a2，2Dy)。

同理，多次重復(fù)上述步驟，即按照同樣的測(cè)量方法測(cè)量得到一系列的標(biāo)定板的偏擺角a3、a4……，從而可以得出平臺(tái)在Y軸方向運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的偏擺數(shù)據(jù)(a3，3Dy)、(a4，4Dy)……。

利用作圖工具，例如Origin繪制得到a與Y軸移動(dòng)距離的函數(shù)關(guān)系圖。

作為本實(shí)施例的優(yōu)選方式，該標(biāo)定方法還包括以下步驟：

S14：繪制偏擺角a與X軸位移的函數(shù)關(guān)系圖。

具體的，沿X軸方向等間距的移動(dòng)XY軸載物平臺(tái)，測(cè)量標(biāo)定板上的第二組數(shù)據(jù)；優(yōu)選的是，沿X軸方向選取相鄰兩個(gè)標(biāo)定點(diǎn)的固定間距Dx為位移，移動(dòng)XY軸載物平臺(tái)，測(cè)量標(biāo)定板上的第二組偏擺角a1，記錄偏擺數(shù)據(jù)a1與Dx的值(a1，Dx)。

接著，沿X軸方向再次以相鄰兩個(gè)標(biāo)定點(diǎn)的固定間距Dx為位移，移動(dòng)XY軸載物平臺(tái)，測(cè)量標(biāo)定板上的第三組偏擺角a2，記錄偏擺數(shù)據(jù)a2與2Dx的值(a2，2Dx)。

同理，多次重復(fù)上述步驟，即按照同樣的測(cè)量方法測(cè)量得到一系列的標(biāo)定板的偏擺角a3、a4……，從而可以得出平臺(tái)在X軸方向運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的偏擺數(shù)據(jù)(a3，3Dx)、(a4，4Dx)……。

利用作圖工具，例如Origin繪制得到a與X軸移動(dòng)距離的函數(shù)關(guān)系圖。

需要說(shuō)明的是，S12與S14僅為表述方便使用，并不代表其先后次序，即步驟S12和步驟S14沒(méi)有先后順序之分。

進(jìn)一步的是，該標(biāo)定方法還包括以下步驟：在標(biāo)定測(cè)試之前制作標(biāo)定板，

具體的，使用作圖工具，繪制標(biāo)定板的規(guī)格、參數(shù)，例如標(biāo)定板的厚度、精度、圖形、圖形點(diǎn)陣之間的間距等等以及使用的材質(zhì)，定制、驗(yàn)收。

實(shí)施例2

如圖3和圖4所示，本發(fā)明實(shí)施例所提供的一種標(biāo)定裝置，用于光刻機(jī)的XY軸載物平臺(tái)4偏擺在線測(cè)試，包括標(biāo)定板3、第一相機(jī)1和第二相機(jī)2，其中，

XY軸載物平臺(tái)4包括位于水平方向的二維自由度，能夠?qū)崿F(xiàn)XY軸聯(lián)動(dòng)；

第一相機(jī)1固定在XY軸載物平臺(tái)4的上方，第二相機(jī)2與第一相機(jī)1等高位置放置，且兩者的Y軸坐標(biāo)相同，第二相機(jī)2能夠沿X軸方向移動(dòng)；

本實(shí)施例中的標(biāo)定裝置采用實(shí)施例1中的標(biāo)定方法。

進(jìn)一步的是，第二相機(jī)2沿X軸的最大行程或位移距離為300mm。

優(yōu)選的是，XY軸載物平臺(tái)4包括位于水平方向的二維自由度，能夠?qū)崿F(xiàn)XY軸聯(lián)動(dòng)，如圖3所示，位于紙面水平方向的X軸，以及垂直于紙面方向的Y軸，XY軸載物平臺(tái)4可以沿X軸、Y軸方向移動(dòng)。

進(jìn)一步的是，XY軸載物平臺(tái)4沿X軸方向的最大行程或位移距離為300mm，沿Y軸方向的最大行程或位移距離為1000mm。

進(jìn)一步的是，標(biāo)定板3為玻璃纖維板、陶瓷基板、鋼化玻璃板或者普通光學(xué)玻璃板的一種。

玻璃纖維板由玻璃纖維材料和高耐熱性的復(fù)合材料合成，不含對(duì)人體有害石棉成份。具有較高的機(jī)械性能和介電性能，較好的耐熱性和耐潮性，而且具有良好的加工性。

鋼化玻璃板屬于安全玻璃，鋼化玻璃其實(shí)是一種預(yù)應(yīng)力玻璃，為提高玻璃的強(qiáng)度，通常使用化學(xué)或物理的方法，在玻璃表面形成壓應(yīng)力，玻璃承受外力時(shí)首先抵消表層應(yīng)力，從而提高了承載能力，增強(qiáng)玻璃自身抗風(fēng)壓性，寒暑性，沖擊性等，鋼化玻璃板具有強(qiáng)度高、安全性高、熱穩(wěn)定性好的優(yōu)點(diǎn)，具體表現(xiàn)為碎裂時(shí)的碎片呈類似蜂窩狀的鈍角碎小顆粒，不易對(duì)人體造成嚴(yán)重的傷害；同等厚度的鋼化玻璃抗沖擊強(qiáng)度是普通玻璃的3～5倍，抗彎強(qiáng)度是普通玻璃的3～5倍；能承受的溫差是普通玻璃的3倍，可承受300℃的溫差變化。但是，鋼化玻璃的表面會(huì)存在凹凸不平的以及會(huì)產(chǎn)生變形的現(xiàn)象，平整度較普通玻璃差，而且有自爆的可能性。

陶瓷基板是采用陶瓷基底的標(biāo)準(zhǔn)板，具有熱膨脹系數(shù)小、強(qiáng)度高、硬度高、耐磨性好、熱傳導(dǎo)率低、防酸堿性好等特點(diǎn)，且其良好的表面漫反射處理，解決了在應(yīng)用過(guò)程中，前置光源情況下玻璃材質(zhì)標(biāo)定板反光的難題，可更好地識(shí)別標(biāo)定板圖案細(xì)節(jié)信息從而達(dá)到更高的標(biāo)定精度和測(cè)量精度。同時(shí)，陶瓷材料的標(biāo)定板反光率可以減少到80％，具有優(yōu)良的耐高溫、耐化學(xué)腐蝕的特點(diǎn)，而且密度小，所以在光學(xué)性能上不管是白度透光度還是光澤度，效果都是很好的，在價(jià)格方面，陶瓷基板遠(yuǎn)遠(yuǎn)貴過(guò)普通光學(xué)玻璃板，但是在標(biāo)定板的精度方面陶瓷材料的標(biāo)定板精度沒(méi)有光學(xué)玻璃材質(zhì)的精度好，這一點(diǎn)陶瓷標(biāo)定板是欠缺的。

普通光學(xué)玻璃板是使用的最為普遍的一種，這種光學(xué)材質(zhì)的標(biāo)定板化學(xué)性能穩(wěn)定，精度好，且無(wú)雜質(zhì)無(wú)氣泡，是制作高精度標(biāo)定板較佳的材料，而且價(jià)格較便宜，這種標(biāo)定板的折射率是1.6x10負(fù)6次方，缺點(diǎn)是透光、反光、易碎。

優(yōu)選的是，標(biāo)定板3為玻璃纖維板。

進(jìn)一步的是，標(biāo)定板3為單一圖形板或者多種圖形混合板。

標(biāo)定板3上的圖形為圓形、方形、三角形、五角星中的一種或幾種。常用的標(biāo)定板為棋盤(pán)格的圖形為棋盤(pán)格或者實(shí)心圓。

優(yōu)選的是，標(biāo)定板3為多種圖形混合板，將多種圖形繪制在一塊標(biāo)定板上可以滿足不同的需求，根據(jù)實(shí)際需要選用圖形，滿足不同的精度要求和適用環(huán)境，擴(kuò)大了適用范圍。

需要說(shuō)明的是，相同圖形形成固定間隔的點(diǎn)陣，也就是說(shuō)，每?jī)蓚€(gè)相同圖形的間距是一定的。圓形的直徑為130像素，兩點(diǎn)之間間距為10mm。

進(jìn)一步的是，標(biāo)定板3的厚度為2-3mm，精度為0.001mm。

優(yōu)選的是，標(biāo)定板3的厚度為3mm，精度為0.001mm。

進(jìn)一步的是，第一相機(jī)1為CCD或者CMOS相機(jī)。

CMOS相機(jī)的每個(gè)感光二極管都需要搭配一個(gè)放大器，若以百萬(wàn)像素計(jì)算的話，那就需要上百萬(wàn)個(gè)的放大器，然而放大器屬于模擬電路，很難讓所得的每個(gè)結(jié)果都保持一致，而CCD相機(jī)只需要一個(gè)放大器放在芯片邊緣，與CMOS相比，它的噪聲相對(duì)減少很多，大大提高了圖像品質(zhì)。因此CMOS相機(jī)相比CCD相機(jī)噪聲大。

CMOS相機(jī)采用主動(dòng)式圖像采集方式，感光二極管所產(chǎn)生的電荷會(huì)直接由旁邊的電晶體放大輸出；而CCD相機(jī)為被動(dòng)式采集方式，必須外加額外電壓，通常為12～18V以使每個(gè)像素中的電荷移送到傳輸通道。因此CCD就必須設(shè)計(jì)更精密的電源線路和耐壓強(qiáng)度，這樣使得CCD的耗電量遠(yuǎn)遠(yuǎn)高出CMOS，根據(jù)計(jì)算CMOS的耗電量?jī)H是CCD的1/8～1/10。

CMOS相機(jī)的每個(gè)像素都比CCD相機(jī)的每個(gè)像素復(fù)雜，且CMOS相機(jī)的像素尺寸很難達(dá)到CCD相機(jī)的水平，因此，相同尺寸的CCD與CMOS時(shí)，CCD的分辨率通常會(huì)優(yōu)于CMOS。例如4.40μm*4.40μm像元大小的CCD相機(jī)的分辨率為1628*1236，而5.2μm*5.2μm像元大小的CMOS相機(jī)分辨率為1280*1024，可以看出：同尺寸大小，CCD相機(jī)的分辨率要高于CMOS相機(jī)，也就是說(shuō)CCD相機(jī)成像質(zhì)量要優(yōu)于CMOS相機(jī)。

CMOS信號(hào)是以點(diǎn)為單位的電荷信號(hào)，而CCD是以行為單位的電流信號(hào)，讀取信號(hào)時(shí)CMOS是點(diǎn)直接讀取信號(hào)，CCD則是行間接讀取信號(hào)，因此在像素尺寸相同的情況下，CMOS的靈敏度要低于CCD。

CMOS與現(xiàn)有的大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝相同，可以一次全部整合周邊設(shè)施到傳感器芯片中，大大節(jié)省了外圍芯片的成本；而CCD采用電荷傳遞的方式輸出數(shù)據(jù)，只要其中有一個(gè)像素傳送出現(xiàn)故障，就會(huì)導(dǎo)致一整排的數(shù)據(jù)無(wú)法正常傳送，因此控制CCD的成品率比CMOS低，因此，CCD的制造成本相對(duì)高于CMOS。

綜上所述，CCD相機(jī)在影像品質(zhì)、分辨率大小、靈敏度等方面優(yōu)于CMOS相機(jī)，而CMOS相機(jī)具有低成本、低功耗以及高整合度的特點(diǎn)。

作為本實(shí)施例的優(yōu)選方式，第一相機(jī)1為CCD相機(jī)。

進(jìn)一步的是，第二相機(jī)2為CCD或者CMOS相機(jī)。

優(yōu)選的是，第二相機(jī)2為CCD相機(jī)。

本發(fā)明實(shí)施例提供的標(biāo)定裝置，采用了與上述實(shí)施例提供的標(biāo)定方法，且兩者具有相同的技術(shù)特征，所以也能解決相同的技術(shù)問(wèn)題，達(dá)到相同的技術(shù)效果。

所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可以清楚地了解到，為描述的方便和簡(jiǎn)潔，上述描述的方法和裝置的具體工作過(guò)程，可以參考前述方法實(shí)施例中的對(duì)應(yīng)過(guò)程，在此不再贅述。

在本發(fā)明的描述中，需要說(shuō)明的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。

最后應(yīng)說(shuō)明的是：以上所述實(shí)施例，僅為本發(fā)明的具體實(shí)施方式，用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制，本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，其依然可以對(duì)前述實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改或可輕易想到變化，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改、變化或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)所述以權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。