專利名稱：基板檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種利用光學(xué)手段來檢查瑕疵的存在的裝置，特別是涉及一種基板檢查裝置。
背景技術(shù)：
目前，液晶面板生產(chǎn)廠家常用的用于檢查玻璃基板的瑕疵的基板檢查裝置包括用于承托接受檢查的基板的承托裝置、用于將照明光照射到接受檢查的基板的照明光學(xué)系統(tǒng)以及用于驅(qū)動(dòng)承托裝置運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。其中，照明光學(xué)系統(tǒng)通常固定于承托裝置的上方，在檢查基板時(shí)對基板進(jìn)行由上至下的照射，這種基板檢查裝置可以滿足中小尺寸基板的目視檢查，當(dāng)需要對八代及以上尺寸的基板進(jìn)行檢查時(shí)，由于基板面積大，照明光學(xué)系統(tǒng)的光源位置固定，難以形成均勻性較好的照明，作業(yè)員檢查時(shí)需要對承托基板的承托裝置或基板進(jìn)行多次旋轉(zhuǎn)和翻轉(zhuǎn)以便尋找合適的角度觀察基板上的光斑情況，由此增加了檢查時(shí)間，同時(shí)也不利于光斑缺陷的檢出。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種可以減少作業(yè)員檢查過程的工作量，提高生產(chǎn)效率的基板檢查裝置。本實(shí)用新型的基板檢查裝置，包括用于承托基板的承托裝置以及用于將照明光照射到接受檢查的基板的照明光學(xué)系統(tǒng)，所述照明光學(xué)系統(tǒng)包括設(shè)置于所述承托裝置的上方的光源以及用于帶動(dòng)所述光源在所述承托裝置的上方移動(dòng)的移動(dòng)裝置。本實(shí)用新型的基板檢查裝置，其中，所述移動(dòng)裝置包括橫向延伸的第一導(dǎo)軌、可滑動(dòng)的安裝于所述第一導(dǎo)軌上的 承托所述光源的托板以及驅(qū)動(dòng)所述托板在所述第一導(dǎo)軌上滑動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)裝置。本實(shí)用新型的基板檢查裝置，其中，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置為設(shè)置于托板上的第一電機(jī)，所述托板上設(shè)置有與所述第一導(dǎo)軌相配合的第一滾輪，所述第一電機(jī)通過驅(qū)動(dòng)第一滾輪驅(qū)動(dòng)所述托板在所述第一導(dǎo)軌上滑動(dòng)。本實(shí)用新型的基板檢查裝置，其中，所述第一導(dǎo)軌為兩條，兩條所述第一導(dǎo)軌分別與所述托板的兩個(gè)相對的橫向側(cè)邊對應(yīng)，所述托板的兩個(gè)相對的橫向側(cè)邊上分別設(shè)置有多個(gè)所述第一滾輪，兩個(gè)所述第一導(dǎo)軌分別與對應(yīng)的所述橫向側(cè)邊上的多個(gè)第一滾輪相配
口 ο本實(shí)用新型的基板檢查裝置，其中，所述移動(dòng)裝置還包括設(shè)置于所述托板上的縱向延伸的第二導(dǎo)軌、可滑動(dòng)的安裝于所述第二導(dǎo)軌上的光源座以及驅(qū)動(dòng)所述光源座在所述第二導(dǎo)軌上滑動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置，所述光源安裝于所述光源座上。本實(shí)用新型的基板檢查裝置，其中，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置為設(shè)置于所述光源座上的第二電機(jī)，所述光源座上設(shè)置有與所述第二導(dǎo)軌相配合的第二滾輪，所述第二電機(jī)通過驅(qū)動(dòng)第二滾輪驅(qū)動(dòng)所述光源座在所述第二導(dǎo)軌上滑動(dòng)。[0010]本實(shí)用新型的基板檢查裝置，其中，所述第二導(dǎo)軌為兩條，兩條所述第二導(dǎo)軌分別與所述光源座的兩個(gè)相對的縱向側(cè)邊對應(yīng)，所述光源座的兩個(gè)相對的縱向側(cè)邊上分別設(shè)置有多個(gè)所述第二滾輪，兩個(gè)所述第二導(dǎo)軌分別與對應(yīng)的所述縱向側(cè)邊上的多個(gè)第二滾輪相配合。本實(shí)用新型的基板檢查裝置，其中，所述移動(dòng)裝置還包括控制器，所述控制器分別與所述第一電機(jī)、所述第二電機(jī)電連接，所述控制器分別通過控制所述第一電機(jī)、所述第二電機(jī)控制所述托板在所述第一導(dǎo)軌上的滑動(dòng)以及所述光源座在所述第二導(dǎo)軌上的滑動(dòng)。本實(shí)用新型的基板檢查裝置，其中，所述移動(dòng)裝置還包括多個(gè)設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌上的第一傳感器以及多個(gè)設(shè)置于所述第二導(dǎo)軌上的第二傳感器，所述第一傳感器以及第二傳感器分別與所述控制器電連接，所述控制器根據(jù)所述第一傳感器的電信號(hào)以及第二傳感器的電信號(hào)確定所述光源的位置。本實(shí)用新型的基板檢查裝置，其中，所述控制器為可編程邏輯控制器。本實(shí)用新型的基板檢查裝置采用頂部移動(dòng)式的照明方式，這樣即使適當(dāng)縮小光源的面積，減少燈管的使用量也可以實(shí)現(xiàn)光源的均勻照明，由此減少基板的生產(chǎn)成本；同時(shí)本實(shí)用新型的基板檢查裝置可以減少作業(yè)員調(diào)整基板角度和位置的時(shí)間，使得作業(yè)員更容易檢出缺陷，減少作業(yè)員檢查過程的工作量，提高生產(chǎn)效率。

圖1為本實(shí)用新型的基板檢查裝置的結(jié)構(gòu)示意圖的主視圖；圖2為圖1中的移動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖的俯視圖；圖3為圖1中的A-A剖視圖，示出了圖1中的移動(dòng)裝置的左視結(jié)構(gòu)；圖4為本實(shí)用新型的基板檢查裝置的電路連接圖。
具體實(shí)施方式
如圖1、圖2所示，本實(shí)用新型的基板檢查裝置，包括用于承托基板100的承托裝置I以及用于將照明光照射到接受檢查的基板100的照明光學(xué)系統(tǒng)，照明光學(xué)系統(tǒng)包括設(shè)置于承托裝置I的上方的光源2以及用于帶動(dòng)光源2在承托裝置I的上方移動(dòng)的移動(dòng)裝置3。當(dāng)本實(shí)用新型的基板檢查裝置進(jìn)行基板檢查時(shí)，可以將基板100固定，然后利用移動(dòng)裝置3帶動(dòng)光源2在基板100的上方移動(dòng)，由此保證基板100上待檢測區(qū)域均能得到均勻性較好的照明。本實(shí)用新型的基板檢查裝置改善了基板檢查的方式，解決了頻繁移動(dòng)承托基板的機(jī)臺(tái)浪費(fèi)時(shí)間的問題，利用本實(shí)用新型的基板檢查裝置可一次性完成大尺寸基板上下兩半面的檢查，提高生產(chǎn)效率，降低了運(yùn)行成本，縮短了基板生產(chǎn)時(shí)間。因?yàn)榘惭b于承托裝置I上的基板100的橫向長度較長，所以利用移動(dòng)裝置首先使光源2可以在橫向上自由移動(dòng)，本實(shí)用新型的基板檢查裝置，其中，移動(dòng)裝置3包括橫向延伸的第一導(dǎo)軌11、可滑動(dòng)的安裝于第一導(dǎo)軌11上的承托光源2的托板4以及驅(qū)動(dòng)托板4在第一導(dǎo)軌11上滑動(dòng)的 第一驅(qū)動(dòng)裝置。本實(shí)用新型的基板檢查裝置，其中，第一驅(qū)動(dòng)裝置為設(shè)置于托板上的第一電機(jī)21，托板4上設(shè)置有與第一導(dǎo)軌11相配合的第一滾輪31，第一電機(jī)21通過第一滾輪31驅(qū)動(dòng)托板4在第一導(dǎo)軌11上滑動(dòng)。第一電機(jī)21優(yōu)選步進(jìn)電機(jī)或線性電機(jī)。第一電機(jī)21既可正轉(zhuǎn)也可以反轉(zhuǎn)，由此帶動(dòng)托板4在第一導(dǎo)軌11上可以左右雙向移動(dòng)。結(jié)合圖3所示，本實(shí)用新型的基板檢查裝置，其中，第一導(dǎo)軌11為兩條，兩條第一導(dǎo)軌11分別與托板4的兩個(gè)相對的橫向側(cè)邊41對應(yīng)，托板4的兩個(gè)相對的橫向側(cè)邊41上分別設(shè)置有多個(gè)第一滾輪31，兩個(gè)第一導(dǎo)軌11分別與對應(yīng)的橫向側(cè)邊41上的多個(gè)第一滾輪31相配合。兩條第一導(dǎo)軌11可以托板4更加平穩(wěn)的移動(dòng)，消除托板4因失衡翻轉(zhuǎn)的危險(xiǎn)，由此保證光源2給予基板100穩(wěn)定均勻的照明。本實(shí)用新型的基板檢查裝置，其中，移動(dòng)裝置3還包括設(shè)置于托板4上的縱向延伸的第二導(dǎo)軌12、可滑動(dòng)的安裝于第二導(dǎo)軌12上的光源座6以及驅(qū)動(dòng)光源座6在第二導(dǎo)軌12上滑動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置，光源2安裝于光源座6上。為避免基板100上出現(xiàn)陰影，光源2向下延伸由托板4底部伸出后面向基板100。本實(shí)用新型的基板檢查裝置，其中，第二驅(qū)動(dòng)裝置為設(shè)置于光源座6上的第二電機(jī)22，光源座6上設(shè)置有與第二導(dǎo)軌12相配合的第二滾輪32，第二電機(jī)22通過第二滾輪32驅(qū)動(dòng)光源座6在第二導(dǎo)軌12上滑動(dòng)。本實(shí)用新型的基板檢查裝置，其中，第二導(dǎo)軌12為兩條，兩條第二導(dǎo)軌12分別與光源座6的兩個(gè)相對的縱向側(cè)邊61對應(yīng),光源座6的兩個(gè)相對的縱向側(cè)邊61上分別設(shè)置有多個(gè)第二滾輪32，兩個(gè)第二導(dǎo)軌12分別與對應(yīng)的縱向側(cè)邊61上的多個(gè)第二滾輪32相配合。結(jié)合圖4所示，本實(shí)用新型的基板檢查裝置，其中，移動(dòng)裝置3還包括控制器10，控制器10分別與第一電機(jī)21、第二電機(jī)22電連接，控制器10分別通過控制第一電機(jī)21、第二電機(jī)22控制托板4在第一導(dǎo)軌11上的滑動(dòng)以及光源座6在第二導(dǎo)軌12上的滑動(dòng)。本實(shí)用新型的基板檢查裝置，其中，移動(dòng)裝置3還包括多個(gè)設(shè)置于第一導(dǎo)軌11上的第一傳感器7以及多個(gè)設(shè)置于第二導(dǎo)軌12上的第二傳感器8,第一傳感器7以及第二傳感器8分別與控制器10電連接，當(dāng)托板4經(jīng)過第一導(dǎo)軌11上的某一第一傳感器7，此第一傳感器7向控制器10傳遞電信號(hào)，當(dāng)光源座6經(jīng)過第二導(dǎo)軌12上的某一第二傳感器8，此第一傳感器7向控制器10傳遞電信號(hào),控制器10根據(jù)第一傳感器7的電信號(hào)以及第二傳感器8的電信號(hào)確定光源2的位置并通過顯示裝置顯示出來。操作者根據(jù)顯示裝置顯示的光源2的位置，通過控制器10分別控制第一電機(jī)21、第二電機(jī)22的運(yùn)轉(zhuǎn)，控制托板4在第一導(dǎo)軌11上的滑動(dòng)以及光源座6在第二導(dǎo)軌12上的滑動(dòng)。本實(shí)用新型的基板檢查裝置，其中，控制器10為可編程邏輯控制器(Programmable Logic Controller, PLC)。本實(shí)用新型的基板檢查裝置采用頂部移動(dòng)式的照明方式，這樣即使適當(dāng)縮小光源的面積，減少燈管的使用量也可以實(shí)現(xiàn)光源的均勻照明，由此減少基板的生產(chǎn)成本；同時(shí)本實(shí)用新型的基板檢查裝置可以減少作業(yè)員調(diào)整基板角度和位置的時(shí)間，使得作業(yè)員更容易檢出缺陷，減少作業(yè)員檢查過程的工作量，提高生產(chǎn)效率。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種基板檢查裝置，包括用于承托基板的承托裝置以及用于將照明光照射到接受檢查的基板的照明光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述照明光學(xué)系統(tǒng)包括設(shè)置于所述承托裝置的上方的光源以及用于帶動(dòng)所述光源在所述承托裝置的上方移動(dòng)的移動(dòng)裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述移動(dòng)裝置包括橫向延伸的第一導(dǎo)軌、可滑動(dòng)的安裝于所述第一導(dǎo)軌上的承托所述光源的托板以及驅(qū)動(dòng)所述托板在所述第一導(dǎo)軌上滑動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置為設(shè)置于托板上的第一電機(jī)，所述托板上設(shè)置有與所述第一導(dǎo)軌相配合的第一滾輪，所述第一電機(jī)通過驅(qū)動(dòng)所述第一滾輪驅(qū)動(dòng)所述托板在所述第一導(dǎo)軌上滑動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述第一導(dǎo)軌為兩條，兩條所述第一導(dǎo)軌分別與所述托板的兩個(gè)相對的橫向側(cè)邊對應(yīng)，所述托板的兩個(gè)相對的橫向側(cè)邊上分別設(shè)置有多個(gè)所述第一滾輪，兩個(gè)所述第一導(dǎo)軌分別與對應(yīng)的所述橫向側(cè)邊上的多個(gè)第一滾輪相配合。
5.根據(jù)權(quán)利要求2-4任一項(xiàng)所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述移動(dòng)裝置還包括設(shè)置于所述托板上的縱向延伸的第二導(dǎo)軌、可滑動(dòng)的安裝于所述第二導(dǎo)軌上的光源座以及驅(qū)動(dòng)所述光源座在所述第二導(dǎo)軌上滑動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置，所述光源安裝于所述光源座上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置為設(shè)置于所述光源座上的第二電機(jī)，所述光源座上設(shè)置有與所述第二導(dǎo)軌相配合的第二滾輪，所述第二電機(jī)通過驅(qū)動(dòng)所述第二滾輪驅(qū)動(dòng)所述光源座在所述第二導(dǎo)軌上滑動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述第二導(dǎo)軌為兩條，兩條所述第二導(dǎo)軌分別與所述光源座的兩個(gè)相對的縱向側(cè)邊對應(yīng)，所述光源座的兩個(gè)相對的縱向側(cè)邊上分別設(shè)置有多個(gè)所述第二滾輪，兩個(gè)所述第二導(dǎo)軌分別與對應(yīng)的所述縱向側(cè)邊上的多個(gè)第二滾輪相配合。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述移動(dòng)裝置還包括控制器，所述控制器分別與所述第一電機(jī)、所述第二電機(jī)電連接，所述控制器分別通過控制所述第一電機(jī)、所述第二電機(jī)控制所述托板在所述第一導(dǎo)軌上的滑動(dòng)以及所述光源座在所述第二導(dǎo)軌上的滑動(dòng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述移動(dòng)裝置還包括多個(gè)設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌上的第一傳感器以及多個(gè)設(shè)置于所述第二導(dǎo)軌上的第二傳感器，所述第一傳感器以及第二傳感器分別與所述控制器電連接，所述控制器根據(jù)所述第一傳感器的電信號(hào)以及第二傳感器的電信號(hào)確定所述光源的位置。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述控制器為可編程邏輯控制器。
專利摘要本實(shí)用新型提供的基板檢查裝置，包括用于承托基板的承托裝置以及用于將照明光照射到接受檢查的基板的照明光學(xué)系統(tǒng)，照明光學(xué)系統(tǒng)包括設(shè)置于承托裝置的上方的光源以及用于帶動(dòng)光源在承托裝置的上方移動(dòng)的移動(dòng)裝置。本實(shí)用新型的基板檢查裝置采用頂部移動(dòng)式的照明方式，這樣即使適當(dāng)縮小光源的面積，減少燈管的使用量也可以實(shí)現(xiàn)光源的均勻照明，由此減少基板的生產(chǎn)成本；同時(shí)本實(shí)用新型的基板檢查裝置可以減少作業(yè)員調(diào)整基板角度和位置的時(shí)間，使得作業(yè)員更容易檢出缺陷，減少作業(yè)員檢查過程的工作量，提高生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)G02F1/13GK203117123SQ20132011660
公開日2013年8月7日 申請日期2013年3月14日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月14日
發(fā)明者龐華山, 余道平 申請人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司