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透鏡X、Y、θZ三自由度微動調(diào)整裝置的制作方法

文檔序號:11780365閱讀:來源:國知局
透鏡X、Y、θZ三自由度微動調(diào)整裝置的制作方法

技術(shù)特征:
1.透鏡X、Y、θZ三自由度微動調(diào)整裝置,包括透鏡(1)、鏡框(2)和三個驅(qū)動器(3),所述透鏡(1)與鏡框(2)之間通過膠粘的方式連接,所述三個驅(qū)動器(3)固定在鏡框(2)上,所述鏡框(2)為鏡框內(nèi)環(huán)(2-1)、鏡框外環(huán)(2-2)和三處周向均布的折疊鉸鏈(2-3)組成的一體化結(jié)構(gòu),所述鏡框內(nèi)環(huán)(2-1)上周向均布有三處驅(qū)動器施力塊(2-1-1),所述透鏡(1)與鏡框內(nèi)環(huán)(2-1)之間通過膠粘的方式連接;所述三個驅(qū)動器(3)固定在鏡框外環(huán)(2-2)上,驅(qū)動器(3)的輸入位移作用在對應(yīng)的驅(qū)動器施力塊(2-1-1)上;其特征在于,所述折疊鉸鏈(2-3)由切向彈片(2-3-1)和徑向彈片(2-3-2)組成,所述切向彈片(2-3-1)與鏡框內(nèi)環(huán)(2-1)相連,所述徑向彈片(2-3-2)與鏡框外環(huán)(2-2)相連。
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