本發(fā)明屬于深紫外投影光刻物鏡結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與像差補(bǔ)償領(lǐng)域，涉及一種可用于光刻投影物鏡系統(tǒng)中透鏡X、Y、θZ三自由度調(diào)整的微動(dòng)裝置。

背景技術(shù)：
投影光刻裝備是大規(guī)模集成電路制造工藝中的關(guān)鍵設(shè)備，近年來(lái)隨著集成電路線寬精細(xì)程度的不斷提高，投影光學(xué)裝備的分辨率亦逐漸提高，目前波長(zhǎng)193.368nm的ArF準(zhǔn)分子激光器投影光刻裝備已成為90nm、65nm和45nm節(jié)點(diǎn)集成電路制造的主流裝備。投影光刻物鏡裝調(diào)及使用過(guò)程中，為滿足物鏡良好的光學(xué)性能，需要調(diào)整某些敏感透鏡沿X、Y方向的移動(dòng)量和繞Z軸的轉(zhuǎn)動(dòng)量。中國(guó)專利，公開號(hào)為CN102707404A，光學(xué)元件X、Y、θZ三自由度微動(dòng)調(diào)整裝置，所述鏡框?yàn)橐惑w化結(jié)構(gòu)，由鏡框內(nèi)環(huán)、鏡框外環(huán)和三個(gè)運(yùn)動(dòng)支鏈組成；所述每個(gè)運(yùn)動(dòng)支鏈均由三個(gè)柔性鉸鏈、第一連桿和第二連桿組成，所述運(yùn)動(dòng)支鏈的外側(cè)與鏡框外環(huán)相連，運(yùn)動(dòng)支鏈的內(nèi)側(cè)與鏡框內(nèi)環(huán)相連。該裝置的結(jié)構(gòu)加工工藝難度較大、加工成本高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明為解決現(xiàn)有技術(shù)光學(xué)元件X、Y、θZ三自由度微動(dòng)調(diào)整裝置加工工藝難度大、加工成本高的問(wèn)題，提出一種基于三處周向均布折疊鉸鏈的透鏡柔性微動(dòng)調(diào)整裝置。透鏡X、Y、θZ三自由度微動(dòng)調(diào)整裝置，包括透鏡、鏡框和三個(gè)驅(qū)動(dòng)器，所述鏡片與鏡框之間通過(guò)膠粘的方式連接，所述三個(gè)驅(qū)動(dòng)器固定在鏡框上，其特征在于，所述鏡框?yàn)殓R框內(nèi)環(huán)、鏡框外環(huán)和三處周向均布的折疊鉸鏈組成的一體化結(jié)構(gòu)，所述鏡框內(nèi)環(huán)上周向均布有三處驅(qū)動(dòng)器施力塊，所述透鏡與鏡框內(nèi)環(huán)之間通過(guò)膠粘的方式連接；所述三個(gè)驅(qū)動(dòng)器固定在鏡框外環(huán)上，驅(qū)動(dòng)器的輸入位移作用在對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)器施力塊上；所述折疊鉸鏈由切向彈片和徑向彈片組成，所述切向彈片與鏡框內(nèi)環(huán)相連，所述徑向彈片與鏡框外環(huán)相連。本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明在折疊鉸鏈處采用了切向彈片和徑向彈片代替現(xiàn)有技術(shù)中的三個(gè)柔性鉸鏈和兩個(gè)連桿，降低了加工工藝難度和加工成本；同時(shí)本發(fā)明中驅(qū)動(dòng)器不直接作用在折疊鉸鏈處，避免了驅(qū)動(dòng)器產(chǎn)生的力對(duì)折疊鉸鏈2-3處的局部破壞，能夠提高機(jī)構(gòu)的使用壽命。附圖說(shuō)明圖1為本發(fā)明透鏡X、Y、θZ三自由度微動(dòng)調(diào)整裝置示意圖。圖2為本發(fā)明所述的鏡框示意圖。圖3為本發(fā)明所述的折疊鉸鏈?zhǔn)疽鈭D。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。如圖1所示，透鏡X、Y、θZ三自由度微動(dòng)調(diào)整裝置，包括透鏡1、鏡框2和三個(gè)驅(qū)動(dòng)器3，所述鏡片1與鏡框2之間通過(guò)膠粘的方式連接，所述三個(gè)驅(qū)動(dòng)器3固定在鏡框2上。如圖2所示，所述鏡框2為鏡框內(nèi)環(huán)2-1、鏡框外環(huán)2-2和三處周向均布的折疊鉸鏈2-3組成的一體化結(jié)構(gòu)，鏡框2可以通過(guò)慢走絲線切割或者電化學(xué)腐蝕等方法加工。所述透鏡1與鏡框內(nèi)環(huán)2-1之間通過(guò)膠粘的方式連接。所述三個(gè)驅(qū)動(dòng)器3固定在鏡框外環(huán)2-2上，并將輸入位移作用在對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)器施力塊2-1-1上，所述三處驅(qū)動(dòng)器施力塊2-1-1周向均布在鏡框內(nèi)環(huán)2-1上。驅(qū)動(dòng)器3可采用壓電式、磁滯伸縮式、氣動(dòng)式等驅(qū)動(dòng)方式。如圖3所示，所述折疊鉸鏈2-3由切向彈片2-3-1和徑向彈片2-3-2組成，所述切向彈片2-3-1與鏡框內(nèi)環(huán)2-1相連，所述徑向彈片2-3-2與鏡框外環(huán)2-2相連。本發(fā)明裝置的工作過(guò)程如下；每個(gè)驅(qū)動(dòng)器3單獨(dú)運(yùn)動(dòng)時(shí)，柔順機(jī)構(gòu)的瞬心位于驅(qū)動(dòng)器3正對(duì)面的切向彈片2-3-1與鏡框內(nèi)環(huán)2-1接觸處，根據(jù)機(jī)構(gòu)瞬心的定義，此時(shí)鏡框內(nèi)環(huán)2-1和透鏡1粘接組成的整體會(huì)繞著瞬心擺動(dòng)，由于機(jī)構(gòu)的調(diào)整量程很小，可以認(rèn)為此時(shí)機(jī)構(gòu)沿著垂直于透鏡中心與瞬心連線方向運(yùn)動(dòng)。根據(jù)運(yùn)動(dòng)的合成原理，當(dāng)周向均布的三個(gè)驅(qū)動(dòng)器3同時(shí)運(yùn)動(dòng)時(shí)，通過(guò)控制三個(gè)驅(qū)動(dòng)器3的運(yùn)動(dòng)量可以合成透鏡為X、Y、θZ三個(gè)方向的調(diào)整量。