專利名稱：玻璃基板端面的評(píng)價(jià)方法及玻璃基板端面的加工方法以及玻璃基板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及作為FPD (Flat Panel Display :平板顯示器)用所使用的玻璃基板端面的評(píng)價(jià)方法及玻璃基板端面的加工方法以及玻璃基板。
背景技術(shù)：
在液晶顯示器或等離子顯示器等中所使用的Fro用玻璃基板，在制造工序中，其端面利用研磨部件進(jìn)行倒角加工。被倒角的玻璃基板的端面形狀根據(jù)倒角砂輪的形狀被大致分為具有如圖24A所示的單一的曲面Rl的端面形狀和具有如圖24B所示的平坦部E和兩個(gè)曲率相等的曲面R2、R2的端面形狀。另外，在同圖中表示有將被倒角的端面放大后的剖面，符號(hào)G為玻璃基板。
然而，公知的是在玻璃基板的端面的粗糙度大的情況下，其端面易附著碎玻璃等塵埃。因附著于端面的塵埃有可能會(huì)在制造顯示器時(shí)再次附著于基板面上，所以希望減小端面的粗糙度。
例如，在專利文獻(xiàn)I中將玻璃基板端面的粗糙度Ra值規(guī)定為O. 25 μ m以下，另外， 專利文獻(xiàn)2中將Ra值規(guī)定為O. I μ m，從而抑制端面的塵埃附著。這種玻璃基板端面的粗糙度測(cè)量如專利文獻(xiàn)2所記載，使用具備觸針的觸針式的表面粗糙度儀來(lái)實(shí)施。
另一方面，玻璃基板會(huì)因端面的倒角形狀而在端面產(chǎn)生燒傷、崩裂、缺口等缺陷， 因此關(guān)于倒角形狀還在進(jìn)行研究。
例如，在專利文獻(xiàn)3中提出了關(guān)于硬盤用基板的外周端面的倒角形狀的發(fā)明。專利文獻(xiàn)3的目的是防止由碳基板或玻璃基板等脆性材料制造的硬盤用基板的基板主體在其處理時(shí)成為殘次品。具體地說(shuō)，是防止基板主體的外周端面與輸送用盒接觸時(shí)產(chǎn)生外周端面的損傷、缺口等缺陷。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，在專利文獻(xiàn)3中還公開了一種磁記錄媒體用基板，該磁記錄媒體用基板是在外徑為65mm的基板主體中，將基板主體的外周端面的倒角部加工為圓形， 該圓形的倒角部由具有唯一半徑的圓形狀形成側(cè)部，將圓半徑R設(shè)定為t/2以上2t以下 (t :基板主體的板厚)。另外，在專利文獻(xiàn)I中，也公開了一種磁記錄媒體用基板，該磁記錄媒體用基板的倒角部在基板的上下具有不同的圓形，且它們的半徑Rl、R2分別設(shè)定為不足t/2 ο
專利文獻(xiàn)I:日本國(guó)專利第4370611號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2:日本國(guó)特開2002 — 160147號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)3:日本國(guó)特開平9 - 102122號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的課題
利用觸針式的表面粗糙度儀測(cè)量玻璃基板端面的現(xiàn)有玻璃基板端面的評(píng)價(jià)方法，有時(shí)觸針的前端未進(jìn)入玻璃基板端面存在的微細(xì)的凹部而是跳過(guò)凹部。因此，存在難以正確地評(píng)價(jià)玻璃基板端面的特性的問(wèn)題。即，利用觸針式的表面粗糙度儀評(píng)價(jià)玻璃基板端面的特性的方法，由于其可靠性依賴于凹部的大小，因此不是可靠性高的方法。
另一方面，若為尺寸大的玻璃基板時(shí)，會(huì)產(chǎn)生在尺寸小的磁記錄媒體用基板中不可設(shè)想的問(wèn)題。該問(wèn)題是在倒角加工時(shí)，在玻璃基板的端面產(chǎn)生的燒傷。
這種燒傷在如專利文獻(xiàn)3所公開的小尺寸的硬盤基板的倒角加工時(shí)難以產(chǎn)生， 而在400mmX300mm以上的大小的FPD用玻璃基板將產(chǎn)生。S卩，隨著研磨部件相對(duì)于玻璃基板的端面的相對(duì)的行進(jìn)距離變長(zhǎng)，燒傷發(fā)生的頻次處于增加的傾向。尤其是大小為 1200mmX IlOOmm以上的玻璃基板，燒傷問(wèn)題產(chǎn)生的頻次增加。
另外，在端面形狀較差的情況下，不用說(shuō)在倒角加工中產(chǎn)生的所述燒傷，崩裂的產(chǎn)生也增多，成為阻礙玻璃基板的生產(chǎn)率的主要原因。另外，根據(jù)上述燒傷及崩裂的程度不同還可能成為玻璃基板發(fā)生破壞的原因。另外，在端面形狀較差的情況下，還存在在加工的端面產(chǎn)生缺口這種問(wèn)題。
本發(fā)明是鑒于這種事情而作出的，其目的在于，能夠提供一種能夠正確地評(píng)價(jià)玻璃基板的端面的特性的玻璃基板端面的評(píng)價(jià)方法及基于該評(píng)價(jià)方法的玻璃基板端面的加工方法、以及基于該加工方法可減少玻璃基板端面的塵埃附著的玻璃基板，并且提供基于該加工方法，可以防止在倒角面產(chǎn)生燒傷、崩裂、缺口等缺陷的玻璃基板。
解決課題用的方法
為了實(shí)現(xiàn)所述目的，本發(fā)明提供一種玻璃基板端面的評(píng)價(jià)方法，其特征在于，利用攝像單元拍攝玻璃基板的端面的規(guī)定的區(qū)域，通過(guò)對(duì)該拍攝到的圖像進(jìn)行白黑二值化處理，將所述端面存在的凹部識(shí)別為白圖像，將所述端面的成為鏡面的平坦部識(shí)別為黑圖像， 基于所述白圖像的面積相對(duì)于所述黑圖像的面積的比率，評(píng)價(jià)玻璃基板的端面的特性。
本發(fā)明的評(píng)價(jià)方法提供一種使用了激光顯微鏡等攝像單元的評(píng)價(jià)方法。根據(jù)本發(fā)明，對(duì)利用攝像單元拍攝到的端面的圖像進(jìn)行白黑二值化處理，將端面存在的凹部識(shí)別為白圖像，將端面的成為鏡面的平坦部識(shí)別為黑圖像。而且，基于白圖像的面積相對(duì)于黑圖像的面積的比率，評(píng)價(jià)玻璃基板的端面的特性。
根據(jù)本發(fā)明的評(píng)價(jià)方法，與精度的可靠性依賴于端面存在的凹部的大小的現(xiàn)有觸針式粗糙度儀進(jìn)行的評(píng)價(jià)方法相比較，能夠更正確地評(píng)價(jià)玻璃基板端面的特性。
另外，根據(jù)本發(fā)明，優(yōu)選將所述白圖像的面積相對(duì)于所述黑圖像的面積的比率的閾值設(shè)定為10%。
本申請(qǐng)發(fā)明者對(duì)抑制端面的塵埃附著的所述比率進(jìn)行了精心研究，結(jié)果查明，當(dāng)比率超過(guò)10%時(shí)，塵埃易附著，如果是10%以下，那么塵埃難以附著。因此，在評(píng)價(jià)玻璃基板端面時(shí)，適宜將所述比率的閾值設(shè)定為10%。
為了實(shí)現(xiàn)所述目的，本發(fā)明提供一種玻璃基板端面的加工方法，其特征在于，利用研磨部件研磨玻璃基板的端面，利用攝像單元拍攝該被研磨了的所述端面，通過(guò)對(duì)該拍攝到的圖像進(jìn)行白黑二值化處理，將所述端面存在的凹部識(shí)別為白圖像，將所述端面的成為鏡面的平坦部識(shí)別為黑圖像，控制所述研磨部件研磨所述端面的研磨量使得所述白圖像的面積相對(duì)于所述黑圖像的面積的比率為規(guī)定的閾值以下。
根據(jù)本發(fā)明，基于所述比率控制研磨部件對(duì)端面的研磨量。即，在所述比率比閾值大的情況下，判斷為研磨部件的研磨量(研磨部件相對(duì)于玻璃基板端面的切入量)小，存在大量凹部，并進(jìn)行最佳控制以使精磨品質(zhì)最佳。由此，玻璃基板端面的品質(zhì)穩(wěn)定。
另外，根據(jù)本發(fā)明，優(yōu)選以所述白圖像的面積相對(duì)于所述黑圖像的面積的比率的閾值為10%以下的方式進(jìn)行所述控制。
根據(jù)本發(fā)明，可以穩(wěn)定地制造在玻璃基板端面難以附著塵埃的玻璃基板。
為了實(shí)現(xiàn)所述目的，本發(fā)明提供一種玻璃基板，其特征在于，通過(guò)本發(fā)明的玻璃基板端面的加工方法進(jìn)行了加工。
根據(jù)本發(fā)明的玻璃基板，因在玻璃基板端面難以附著塵埃，所以可以提供品質(zhì)好的玻璃基板。
為了實(shí)現(xiàn)所述目的，本發(fā)明提供一種玻璃基板，其特征在于，通過(guò)本發(fā)明的玻璃基板端面的加工方法進(jìn)行了加工，大小為400mmX300mm以上,板厚(t)為O. 05mm以上、2. 8mm 以下，在具有倒角部的端面引出三根切線而得到的梯形形狀滿足下面的尺寸，
1/3 彡 I — 2tan β Xff/t ^ 4/5
β為開口角度，即玻璃基板的板面和玻璃基板的端面的倒角曲面的交點(diǎn)處的玻璃基板的端面的倒角曲面的切線與玻璃基板的板面所成的角度，且50°<80°，
W為端面寬度，即從玻璃基板的板面和玻璃基板的端面的倒角曲面的交點(diǎn)至在玻璃基板的端面的前端引出的切線為止的與玻璃基板的板面平行的方向上的長(zhǎng)度，
根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)在具有所述大小、所述板厚(t)、所述開口角度(β )的條件的玻璃基板中制造滿足“1/3 ( f/t ( 4/5”的玻璃基板，能夠在玻璃基板端面難以附著塵埃，且能夠防止在倒角面產(chǎn)生燒傷、崩裂、缺口等缺陷。另外，玻璃基板端面和倒角面為同一個(gè)面， 將連結(jié)在玻璃基板的端面的倒角曲面引出的切線A、B和在玻璃基板的端面的前端引出的切線C的兩個(gè)交點(diǎn)的線段的長(zhǎng)度設(shè)定為(f)。
為了實(shí)現(xiàn)所述目的，本發(fā)明提供一種玻璃基板，其特征在于，利用攝像單元拍攝端面的規(guī)定的區(qū)域，通過(guò)對(duì)該拍攝到的圖像進(jìn)行白黑二值化處理，將所述端面存在的凹部識(shí)別為白圖像，將所述端面的成為鏡面的平坦部識(shí)別為黑圖像的情況下的所述白圖像的面積相對(duì)于所述黑圖像的面積的比率為10%以下。
根據(jù)本發(fā)明，優(yōu)選所述規(guī)定的區(qū)域是包含所述玻璃基板的端面加工范圍的砂輪行進(jìn)方向的中央部分在內(nèi)的深度IOmmX寬度20mm范圍中的任意的寬度100 μ mX高度50 μ m 的區(qū)域。
另外，根據(jù)本發(fā)明，提供一種上述發(fā)明中的玻璃基板，該玻璃基板大小為 400mmX300mm以上、板厚(t)為O. 05mm以上、2. 8mm以下，在具有倒角部的端面引出三根切線而得到的梯形形狀滿足下面的尺寸，
1/3 彡 I — 2tan β Xff/t ^ 4/5
β為開口角度，即玻璃基板的板面和玻璃基板的端面的倒角曲面的交點(diǎn)處的玻璃基板的端面的倒角曲面的切線與玻璃基板的板面所成的角度，且50°<80°，
W為端面寬度，即從玻璃基板的板面和玻璃基板的端面的倒角曲面的交點(diǎn)至在玻璃基板的端面的端面引出的切線為止的與玻璃基板的板面平行的方向上的長(zhǎng)度。
發(fā)明效果
根據(jù)本發(fā)明的玻璃基板端面的評(píng)價(jià)方法，能夠正確地評(píng)價(jià)玻璃基板端面的特性。另外，根據(jù)本發(fā)明的玻璃基板端面的加工方法，能夠制造端面的品質(zhì)穩(wěn)定的玻璃基板。另外，根據(jù)本發(fā)明的玻璃基板，塵埃難以附著于端面，另外，可以防止在倒角面產(chǎn)生燒傷、崩裂、缺口等缺陷。


圖I是表示實(shí)施方式的玻璃基板端面的評(píng)價(jià)方法和玻璃基板端面的加工方法的圖2是利用激光顯微鏡拍攝由倒角砂輪加工后的玻璃基板的端面所得到的照片圖像；
圖3是對(duì)圖2的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行白黑二值化處理，將端面存在的凹部作為白圖像、將端面的鏡面作為黑圖像而分色表示的照片圖像；
圖4是利用激光顯微鏡拍攝由倒角砂輪加工后的玻璃基板的端面所得到的照片圖像；
圖5是對(duì)圖4的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行白黑二值化處理，將端面存在的凹部作為白圖像，將端面的鏡面作為黑圖像而分色表示的照片圖像；
圖6是利用激光顯微鏡拍攝由倒角砂輪加工后的玻璃基板的端面所得到的照片圖像；
圖7是對(duì)圖6的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行白黑二值化處理，將端面存在的凹部作為白圖像，將端面的鏡面作為黑圖像而分色表示的照片圖像；
圖8是利用激光顯微鏡拍攝端面粗研磨工序加工后的玻璃基板的端面所得到的照片圖像；
圖9是對(duì)圖8的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行白黑二值化處理，將端面存在的凹部作為白圖像，將端面的鏡面作為黑圖像而分色表示的照片圖像；
圖10是利用激光顯微鏡拍攝由倒角砂輪加工后的玻璃基板的端面所得到的照片圖像；
圖11是對(duì)圖10的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行白黑二值化處理，將端面存在的凹部作為白圖像， 將端面的鏡面作為黑圖像而分色表示的照片圖像；
圖12是利用激光顯微鏡拍攝由倒角砂輪加工后的玻璃基板的端面所得到的照片圖像；
圖13是對(duì)圖12的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行白黑二值化處理，將端面存在的凹部作為白圖像， 將端面的鏡面作為黑圖像而分色表示的照片圖像；
圖14A是實(shí)施方式的FPD用玻璃基板，表示具有單一曲面的倒角形狀的玻璃基板的放大剖面圖14B是實(shí)施方式的FPD用玻璃基板，表示具有平坦部和兩個(gè)曲率相等的曲面的倒角形狀的玻璃基板的放大剖面圖15A是表示與圖14A相對(duì)應(yīng)的梯形形狀的圖15B是表示與圖14B相對(duì)應(yīng)的梯形形狀的圖16是表示玻璃基板的第一實(shí)施例的梯形形狀的圖17是表示玻璃基板的第二實(shí)施例的梯形形狀的圖18是表示玻璃基板的第三實(shí)施例的梯形形狀的圖
圖19是表示玻璃基板的第四實(shí)施例的梯形形狀的圖
圖20是表示玻璃基板的第五實(shí)施例的梯形形狀的圖
圖21是表示玻璃基板的第六實(shí)施例的梯形形狀的圖
圖22是表示玻璃基板的第七實(shí)施例的梯形形狀的圖
圖23是表示玻璃基板的第八實(shí)施例的梯形形狀的圖
圖24A是表示具有單一的曲面的倒角形狀的玻璃基板的放大剖面圖24B是表示具有平坦部和兩個(gè)曲率相等的曲面的倒角形狀的玻璃基板的放大剖面圖。
具體實(shí)施方式
下面，按照附圖，詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明的玻璃基板端面的評(píng)價(jià)方法及玻璃基板端面的加工方法以及玻璃基板的優(yōu)選的實(shí)施方式。
圖I是表示實(shí)施方式的玻璃基板端面的評(píng)價(jià)方法、及玻璃基板端面的加工方法的圖。
如圖I所示，玻璃基板G的端面加工(倒角)工序由具備倒角砂輪(研磨部件)10的加工部12進(jìn)行的加工工序及具備攝像單元即激光顯微鏡(株式會(huì)社keyence制VK — 9500) 14的檢查部16進(jìn)行的檢查工序構(gòu)成。
在加工部12，旋轉(zhuǎn)中的倒角砂輪10的槽IOA被推到玻璃基板G的端面Z。由此， 端面Z被倒角加工。另外，在該加工工序的前段，具有對(duì)端面Z進(jìn)行粗研磨的粗研磨工序。 因此，在該加工部12，端面Z被精磨砂輪即倒角砂輪10精磨為鏡面。
倒角砂輪10是使用了金剛石、陶瓷作為磨粒的具有彈性的樹脂結(jié)合劑砂輪，磨粒及結(jié)合劑也有助于端面Z的鏡面精加工。另外，粒度號(hào)優(yōu)選為220 1000號(hào)，更優(yōu)選為 220 600號(hào)。另外，倒角砂輪10的圓周速度為470 3000m/分，用電流值或電力值對(duì)加工時(shí)的研磨負(fù)荷進(jìn)行管理，以研磨負(fù)荷為一定的方式控制圓周速度。另外，向倒角砂輪10 和玻璃基板G的端面Z之間供給冷卻劑液，防止端面Z的燒傷。
端面Z被加工部12精磨后的玻璃基板G被移到檢查工序，在檢查部16利用激光顯微鏡14拍攝端面Z的規(guī)定的區(qū)域。
利用激光顯微鏡14對(duì)端面Z進(jìn)行拍攝的區(qū)域，例如也可以是玻璃基板的端面Z的加工開始部的區(qū)域、加工的范圍的中央部的區(qū)域、加工完畢部的區(qū)域。具體地說(shuō)，可以選擇下面的區(qū)域。
作為基板的加工開始部的區(qū)域，可以從玻璃基板切出包括從砂輪開始接觸位置向砂輪行進(jìn)方向IOOmm的位置的端面在內(nèi)的深度IOmmX寬度20mm的樣品，從該樣品的端面選擇任意的寬度IOOymX高度50μπι的區(qū)域。優(yōu)選可以選擇切出的樣品的端面的中央的寬度100 μ mX高度50 μ m的區(qū)域。
作為基板的加工中央部的區(qū)域，可以從玻璃基板切出包含玻璃基板的端面加工范圍的砂輪行進(jìn)方向的中央部分在內(nèi)的深度IOmmX寬度20mm樣品，從該樣品的端面選擇任意的寬度ΙΟΟμπιΧ高度50μπι的區(qū)域。優(yōu)選可以選擇切出的樣品的端面的中央的寬度 100 μ mX高度50 μ m的區(qū)域。
作為基板的加工完畢部的區(qū)域，可以從玻璃基板切出包含從砂輪接觸學(xué)完位置向砂輪行進(jìn)方向的相反方向IOOmm的位置的端面在內(nèi)的深度IOmmX寬度20mm的樣品，從該樣品的端面選擇任意的寬度100 μ mX高度50μπι的區(qū)域。優(yōu)選可以選擇切出的樣品的端面的中央的寬度100 μ mX高度50 μ m的區(qū)域。
激光顯微鏡14為光源使用激光的數(shù)字顯微鏡。根據(jù)該激光顯微鏡14，可以檢測(cè)玻璃基板G的端面Z的正確的焦點(diǎn)位置，所以通過(guò)在高度方向進(jìn)行掃描，可在具有焦點(diǎn)的狀態(tài)觀察對(duì)比度良好的圖像。另外，激光顯微鏡14可以進(jìn)行放大像的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)的輸出并且還可以進(jìn)行表面粗糙度、形狀測(cè)定，并且除玻璃基板G的端面Z的亮度信息以外還可以進(jìn)行凹凸的寬度、高度等的測(cè)量。即，可以呈現(xiàn)表面的凹凸?fàn)顟B(tài)。
由激光顯微鏡14拍攝到的析像度高的端面Z的圖像數(shù)據(jù)被輸出到圖像處理部18。 在圖像處理部18，對(duì)上述圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行白黑二值化處理，將端面Z存在的凹部作為白圖像， 將端面Z的成為鏡面的平坦部作為黑圖像進(jìn)行識(shí)別，向運(yùn)算部20輸出表示白圖像及黑圖像的圖像數(shù)據(jù)。
白黑二值化處理通過(guò)下面的方法進(jìn)行。準(zhǔn)備用激光顯微鏡14拍攝粗研磨后的玻璃基板G的端面所得到的圖像。在該情況下，亮度大致一定。在得到的圖像中，端面的圖像用255梯級(jí)來(lái)呈現(xiàn)。
粗研磨使用粒度號(hào)為450 600號(hào)的金屬結(jié)合劑砂輪進(jìn)行。金屬結(jié)合劑砂輪的圓周速度為470 3000m/分，加工時(shí)的研磨負(fù)荷以電流值或電力值而進(jìn)行管理，以研磨負(fù)荷為一定的方式控制圓周速度。另外，向金屬結(jié)合劑砂輪和玻璃基板G的端面Z之間供給冷卻劑液，具有防止端面Z的燒傷的效果。
接著，求出得到的圖像的相鄰的像素之間的梯級(jí)之差，求出該差值的頻數(shù)分布，算出其標(biāo)準(zhǔn)偏差σ。將該標(biāo)準(zhǔn)偏差σ作為白黑二值化處理的基準(zhǔn)閾值。即，將閾值(標(biāo)準(zhǔn)偏差σ )以上的圖像作為白圖像，將不足閾值(標(biāo)準(zhǔn)偏差σ )的圖像作為黑圖像。
接著，對(duì)在粗砂輪后實(shí)施了精加工的端面也進(jìn)行同樣的處理，使用上述得到的粗加工的閾值(標(biāo)準(zhǔn)偏差σ )進(jìn)行二值化處理，進(jìn)行黑和白的面積比率的比較。由此，可進(jìn)行精磨是否良好的詳細(xì)的檢查。
在運(yùn)算部20，算出白圖像所占的面積相對(duì)于黑圖像所占的面積的比率，將該比率示于監(jiān)視器22。通過(guò)操作員確認(rèn)該比率，操作員基于該比率對(duì)玻璃基板G的端面Z的特性進(jìn)行評(píng)價(jià)。另外，在監(jiān)視器22還顯示有由激光顯微鏡14拍攝到的端面Z的圖像、白黑二值化處理后的端面Z的圖像。
S卩，根據(jù)實(shí)施方式的評(píng)價(jià)方法，對(duì)由激光顯微鏡14拍攝到的端面Z的圖像進(jìn)行白黑二值化處理，將端面存在的凹部作為白圖像，將端面的形成鏡面的平坦部作為黑圖像進(jìn)行識(shí)別，而且，基于白圖像的面積相對(duì)于黑圖像的面積的比率，評(píng)價(jià)玻璃基板的端面的特性。
根據(jù)該評(píng)價(jià)方法，與精度的可靠性依賴于端面Z存在的凹部的大小的現(xiàn)有觸針式粗糙度儀進(jìn)行的評(píng)價(jià)方法相比較，可以更正確地評(píng)價(jià)玻璃基板G的端面Z的特性。
另外，在運(yùn)算部20將上述比率的閾值設(shè)定為10%，在超過(guò)10%的情況下，適當(dāng)控制砂輪移動(dòng)部24，以增加倒角砂輪10研磨端面Z的研磨量的方式進(jìn)行控制。
本申請(qǐng)發(fā)明者對(duì)抑制端面Z的塵埃附著的上述比率進(jìn)行了精心研究，結(jié)果查明，在比率超過(guò)10%時(shí)，塵埃易附著，如果是10%以下，那么塵埃不易附著。因此，在評(píng)價(jià)玻璃基板G的端面Z時(shí)，將上述比率的閾值設(shè)定為10%。
另外，根據(jù)實(shí)施方式的端面加工方法，基于在運(yùn)算部20算出的上述比率，如上述對(duì)倒角砂輪10研磨端面Z的研磨量進(jìn)行適當(dāng)?shù)乜刂啤＜?，在算出的上述比率比閾值?0% 大的情況下，判斷為倒角砂輪10的研磨量少，在端面Z存在大量凹部，并以精磨品質(zhì)達(dá)到最佳的方式控制砂輪移動(dòng)部24。具體地說(shuō)，通過(guò)使倒角砂輪10相對(duì)于端面Z向圖I的箭頭A 方向移動(dòng)而增加研磨量，對(duì)上述比率進(jìn)行控制。由此，玻璃基板G的端面Z的品質(zhì)穩(wěn)定。另外，由于在被加工的玻璃基板G的端面Z不易附著塵埃，因此，構(gòu)成品質(zhì)優(yōu)良的玻璃基板G。 另外，上述比率超過(guò)10%的玻璃基板G，從檢查部16返回加工部12，由倒角砂輪10進(jìn)行再加工。
〔實(shí)施例I〕
使用粒度號(hào)為450 600號(hào)的金屬結(jié)合劑砂輪，以研磨負(fù)荷為一定的方式控制 470 3000m/分的圓周速度，并對(duì)IOOOmmX IOOOmm的玻璃基板G的端面Z進(jìn)行粗研磨。接著，使用粒度號(hào)為600號(hào)的具有彈性的樹脂結(jié)合劑砂輪作為精磨砂輪，以研磨負(fù)荷在圓周速度470 3000m/分的范圍為一定的方式控制圓周速度，將端面Z精磨為鏡面。
圖2所示的照片圖像是倒角砂輪10加工后的玻璃基板G，是利用激光顯微鏡14拍攝該玻璃基板G的端面Z的加工中央部的區(qū)域所得到的照片圖像。
圖3是對(duì)圖2的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行白黑二值化處理，將端面Z存在的凹部作為白圖像， 將端面的成為鏡面的平坦部作為黑圖像而分色表示的照片圖像，由運(yùn)算部20算出其比率為 9. 05%。
S卩，圖2、圖3所示的端面Z因比率為10%以下，所以倒角砂輪10的鏡面精磨加工良好地進(jìn)行，成為塵埃不易附著的端面Z。另外，利用觸針式的表面粗糙度形狀測(cè)定儀(株式會(huì)社東京精密產(chǎn)品名為薩?？寄?寸一 7 3 Λ):去除量=O. 25mm、測(cè)定長(zhǎng)=IOmm)測(cè)量端面Z的粗糙度，Ra = O. Ilym0
〔實(shí)施例2〕
使用粒度號(hào)為450 600號(hào)的金屬結(jié)合劑砂輪，以研磨負(fù)荷為一定的方式控制 470 3000m/分的圓周速度，并對(duì)IOOOmmX IOOOmm的玻璃基板G的端面Z進(jìn)行粗研磨。接著，使用粒度號(hào)為220號(hào)的具有彈性的樹脂結(jié)合劑砂輪作為精磨砂輪，以研磨負(fù)荷在圓周速度470 3000m/分的范圍為一定的方式控制圓周速度，將端面Z精研磨為鏡面。
圖4所示的照片圖像是倒角砂輪10加工后的玻璃基板G，是利用激光顯微鏡14拍攝該玻璃基板G的端面Z的加工中央部的區(qū)域所得到的照片圖像。
圖5是對(duì)圖4的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行白黑二值化處理，將端面Z存在的凹部作為白圖像， 將端面的成為鏡面的平坦部作為黑圖像而分色表示的照片圖像，由運(yùn)算部20算出其比率為 8. 13%。
S卩，圖4、圖5所示的端面Z由于比率為10%以下，所以倒角砂輪10的鏡面精磨加工良好地進(jìn)行，成為塵埃難以附著的端面Z。另外，利用觸針式的表面粗糙度形狀測(cè)定儀(株式會(huì)社東京精密產(chǎn)品名為薩福考穆(寸一 7 3 Λ):去除量=O. 25mm、測(cè)定長(zhǎng)=IOmm)測(cè)量端面Z的粗糙度，Ra = O. 22 μ m。
〔實(shí)施例3〕
使用粒度號(hào)為450 600號(hào)的金屬結(jié)合劑砂輪，以研磨負(fù)荷為一定的方式控制 470 3000m/分的圓周速度，并對(duì)IOOOmmX IOOOmm的玻璃基板G的端面Z進(jìn)行粗研磨。接著，使用粒度號(hào)為320號(hào)的具有彈性的樹脂結(jié)合劑砂輪作為精磨砂輪，以研磨負(fù)荷在圓周速度470 3000m/分的范圍內(nèi)為一定的方式控制圓周速度，將端面Z精研磨為鏡面。
圖6所示的照片圖像是倒角砂輪10加工后的玻璃基板G，是利用激光顯微鏡14拍攝該玻璃基板G的端面Z的加工中央部的區(qū)域所得到的照片圖像。
圖7是對(duì)圖6的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行白黑二值化處理，將端面Z存在的凹部作為白圖像， 將端面的成為鏡面的平坦部作為黑圖像而分色表示的照片圖像，由運(yùn)算部20算出其比率為 9. 82%。
S卩，圖6、圖7所示的端面Z由于比率為10%以下，所以倒角砂輪10的鏡面精磨加工良好地進(jìn)行，成為塵埃不易附著的端面Z。另外，利用觸針式的表面粗糙度形狀測(cè)定儀(株式會(huì)社東京精密產(chǎn)品名為薩?？寄?寸一 7 3 Λ):去除量=O. 25mm、測(cè)定長(zhǎng)=IOmm)測(cè)量端面Z的粗糙度，Ra = O. 23 μ m。
〔比較例I〕
使用粒度號(hào)為450 600號(hào)的金屬結(jié)合劑砂輪，以研磨負(fù)荷為一定的方式控制 470 3000m/分的圓周速度,并對(duì)IOOOmmX IOOOmm的玻璃基板G的端面Z進(jìn)行了粗研磨。
圖8所示的照片圖像是端面粗研磨工序加工后，倒角精磨砂輪10加工前的玻璃基板G，是利用激光顯微鏡14拍攝粗研磨后的玻璃基板G的端面Z的加工中央部的區(qū)域所得到的照片圖像。圖9是對(duì)圖8的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行白黑二值化處理，將端面Z存在的凹部作為白圖像，將端面的鏡面作為黑圖像而分色表示的照片圖像，由運(yùn)算部20算出其比率為 22. 67%。
S卩，圖8、圖9表示倒角砂輪10進(jìn)行加工前的玻璃基板G的端面Z的特性。另外，利用觸針式的表面粗糙度形狀測(cè)定儀(株式會(huì)社東京精密產(chǎn)品名為薩?？寄?* 一 7 ^ 去除量=O. 25mm、測(cè)定長(zhǎng)=IOmm)測(cè)量端面Z的粗糙度，Ra = O. 45 μ m。
〔比較例2〕
使用粒度號(hào)為450 600號(hào)的金屬結(jié)合劑砂輪，以研磨負(fù)荷為一定的方式控制 470 3000m/分的圓周速度，并對(duì)IOOOmmX IOOOmm的玻璃基板G的端面Z進(jìn)行粗研磨。接著，使用粒度號(hào)為220號(hào) 800號(hào)的樹脂結(jié)合劑砂輪作為精磨砂輪，以研磨負(fù)荷在圓周速度 470 3000m/分的范圍內(nèi)為一定的方式控制圓周速度，將端面Z精磨為鏡面。
圖10所示的照片圖像是倒角砂輪10加工后的玻璃基板G，是利用激光顯微鏡14 拍攝該玻璃基板G的端面Z的加工中央部的區(qū)域所得到的照片圖像。圖11是對(duì)圖10的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行白黑二值化處理，將端面Z存在的凹部作為白圖像，將端面的鏡面作為黑圖像而分色表示的照片圖像，由運(yùn)算部20算出其比率為13. 10%。
S卩，圖10、圖11所示的端面Z是比率超過(guò)10%、塵埃易附著的端面Z，因此，需要再次進(jìn)行倒角砂輪10的鏡面精磨加工。另外，利用觸針式的表面粗糙度形狀測(cè)定儀(株式會(huì)社東京精密產(chǎn)品名為薩福考穆(寸一 7 3 ^0:去除量=0. 25mm、測(cè)定=IOmm)測(cè)量端面Z 的粗糙度，Ra = O. 32 μ m。
〔比較例3〕
圖12所示的照片圖像是倒角砂輪10加工后的玻璃基板G，是利用激光顯微鏡14拍攝該玻璃基板G的端面Z的加工中央部的區(qū)域所得到的照片圖像。圖13是對(duì)圖12的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行白黑二值化處理，將端面Z存在的凹部作為白圖像，將端面的鏡面作為黑圖像分色表示的照片圖像，由運(yùn)算部20算出其比率為16. 73%。
S卩，圖12、圖13所示的端面Z是比率超過(guò)10%、塵埃易附著的端面Z，所以需要再次進(jìn)行倒角砂輪10的鏡面精磨加工。另外，利用觸針式的表面粗糙度形狀測(cè)定儀(株式會(huì)社東京精密製品名寸一 7 3 ^ :去除量=0. 25mm、測(cè)定長(zhǎng)=IOmm)測(cè)定端面Z的粗糙度，為 Ra = O. 14 μ m。
實(shí)施例2、3的比率比比較例3的比率小，而實(shí)施例2、3的Ra比比較例3的Ra大。 這被認(rèn)為是基于以下的原因。
Ra的測(cè)定是利用觸針式的表面粗糙度儀測(cè)量玻璃基板端面，在玻璃基板端面存在的凹部較微細(xì)的情況下，觸針的前端不能進(jìn)入玻璃基板端面存在的微細(xì)凹部而越過(guò)凹部， 不能正確地評(píng)價(jià)玻璃基板端面的特性。
另一方面，在白圖像和黑圖像的比率中，由于基于拍攝圖像來(lái)評(píng)價(jià)玻璃基板端面的特性，因此也可測(cè)定玻璃基板端面存在的微細(xì)的凹部，能夠正確地評(píng)價(jià)玻璃基板端面的特性。
因此認(rèn)為,在實(shí)施例2、3和比較例3中，比率的大小和Ra的大小倒轉(zhuǎn)了。
圖14A、B是為了說(shuō)明實(shí)施方式的FH)用玻璃基板而將玻璃基板GpG2的端面及其附近放大表示的剖面圖。另外，圖14A表示具有單一的曲面R1的倒角形狀的玻璃基板G1,圖 14B表示具有平坦部E和兩個(gè)曲率相等的曲面R2、R2的倒角形狀的玻璃基板G2。另外，下面說(shuō)明的玻璃基板G的端面的上述比率為10%以下。
實(shí)施方式的玻璃基板Gp G2大小為400mmX300mm以上，其板厚(t)為 O. 05 ^ t ^ 2. 8mm的尺寸。而且，在具有倒角部的端面引出3根切線A、B、C而得到的圖 15A、B的梯形形狀滿足下面的(I)式的尺寸。另外，圖14A與圖15A相對(duì)應(yīng)，圖14B與圖15B 相對(duì)應(yīng)。在圖14A及圖14B中，切線A、B為作為平面的板面Gf和曲面％、R2的交點(diǎn)處的曲 MR1^R2的切線。
1/3 ^ I - 2tan^ Xff/t ^ 4/5 …(I)
在此，(β)為開口角度。即，玻璃基板GpG2的板面Gf和玻璃基板GpG2的端面的倒角曲面(曲面Rp R2)引出的切線Α、B所成的角度，其范圍為50°<80°。
另外，(W)為玻璃基板Gp G2的端面寬度。即，從玻璃基板Gp G2的板面Gf和切線 Α、Β相交的點(diǎn)Ρ1、Ρ2至在玻璃基板GpG2的端面的前端引出的切線C為止的與板面Gf平行的方向上的長(zhǎng)度。
本申請(qǐng)發(fā)明者對(duì)現(xiàn)有技術(shù)涉及的問(wèn)題的解決策略進(jìn)行了精心研究，結(jié)果得到下面的見(jiàn)解。即，在具有倒角部的玻璃基板GpG2的端面引出3根切線A、B、C而得到梯形形狀， 關(guān)于該梯形形狀，找到了用于算出解決上述問(wèn)題的最佳形狀用的參數(shù)。
該參數(shù)為玻璃基板GpG2的板厚(t)、玻璃基板GpG2的端面的開口角度(β )及玻璃基板GpG2的端面寬度(W)。而且,關(guān)于板厚(t),規(guī)定為作為FPD用玻璃基板通常使用的范圍的0.05彡t彡2.8mm。另外，在開口角度(β )中，規(guī)定為50°彡2β彡80°，此時(shí)的端面形狀滿足“1/3 ( I - 2tan^ Xff/t彡4/5”的(I)式。
開口角度(β )是影響玻璃基板Gp G2的品質(zhì)的重要的要因。對(duì)該開口角度(β)的范圍的技術(shù)意義進(jìn)行說(shuō)明如下，在2β不足50°的情況下，在玻璃基板的端面的倒角加工中，冷卻液(冷卻劑液)難以進(jìn)入玻璃基板的端面和倒角用砂輪之間，因此，通過(guò)實(shí)驗(yàn)確認(rèn)了在倒角加工中，在玻璃基板的端面產(chǎn)生燒傷。產(chǎn)生上述燒傷時(shí)，端面的強(qiáng)度顯著降低，因此，存在易于在玻璃基板產(chǎn)生以端面為起點(diǎn)的裂紋這種問(wèn)題。
另外，專利文獻(xiàn)3的課題是防止在基板主體的外周端面的角部與盒接觸時(shí)產(chǎn)生傷、缺口等，為了解決該課題，規(guī)定了基板主體的外周端面的形狀。與此相對(duì)，本申請(qǐng)發(fā)明的目的在于防止在玻璃基板的倒角加工中產(chǎn)生的燒傷和崩裂，因此，雖然形狀類似，但問(wèn)題的著眼點(diǎn)完全不同。另外，在小尺寸的硬盤基板的倒角加工時(shí)，難以產(chǎn)生燒傷現(xiàn)象，因此，燒傷問(wèn)題是大尺寸的FPD用玻璃基板特有的問(wèn)題，本申請(qǐng)發(fā)明可以解決該問(wèn)題。
另一方面，2β超過(guò)80°時(shí)，通過(guò)實(shí)驗(yàn)確認(rèn)了在倒角加工中，在作為平面的板面 Gf和倒角部的交點(diǎn)部分Qp Q2產(chǎn)生崩裂。若產(chǎn)生崩裂，則需要進(jìn)行端面的再加工，具有加工麻煩這種問(wèn)題。
根據(jù)這種理由，本發(fā)明將開口角度(β )的范圍規(guī)定為50°彡2β彡80°。
然而，在將連結(jié)切線Α、B和切線C的兩個(gè)交點(diǎn)的線段的長(zhǎng)度設(shè)定為(f)(下面，稱為平坦長(zhǎng)度)的情況下，(I)式的“I - 2tani3 X W/t”式可以換算為“f/t”。因此，也可以將(I)式表示為“ 1/3彡f/t ( 4/5 ”。
而且，本申請(qǐng)發(fā)明以大小為400_Χ300_以上、板厚(t)為O. 05彡t彡2. 8謹(jǐn)、開口角度(β)為50°彡2β彡80°的玻璃基板GpG2S前提。根據(jù)實(shí)驗(yàn)查明，在該玻璃基板 GpG2中，“f/t”不足1/3時(shí)，端面的前端易缺口。這是因?yàn)槎嗣娴膭傂越档?。另外，根?jù)實(shí)驗(yàn)確認(rèn)了 當(dāng)“f/t”超過(guò)4/5時(shí)，端面的前端的邊緣部分易缺口。另外，根據(jù)實(shí)驗(yàn)確認(rèn)了 在大小為1200mmX IlOOmm以上的玻璃基板中，可以有效地解決燒傷問(wèn)題。
因此，本發(fā)明通過(guò)在具有上述大小、上述板厚(t)、上述開口角度(β )的條件的玻璃基板中，制造滿足“1/3 ( f/t ( 4/5”的玻璃基板GpG2，可以防止在倒角面產(chǎn)生燒傷、崩裂、缺口等缺陷。
下面，對(duì)實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。
圖16的玻璃基板G3是滿足上述大小、板厚(t) = O. 05mm、開口角度(β ) = 25° (2β =50° )、端面寬度(W)= O. 0354mm、平坦長(zhǎng)度(f )=0. 017mm、1/3 < f/t 的玻璃基板。
該玻璃基板G3是滿足本發(fā)明的條件的玻璃基板，根據(jù)該玻璃基板G3，在倒角面沒(méi)有看到燒傷、崩裂、缺口等缺陷。
圖17的玻璃基板G4是滿足上述大小、板厚(t) = O. 05mm、開口角度(β ) = 40° (2β =80° )、端面寬度(W)= O. 0197mm、平坦長(zhǎng)度(f )=0. 017mm、1/3 < f/t 的玻璃基板。
該玻璃基板G4也是滿足本發(fā)明的條件的玻璃基板。在該玻璃基板G4中，在倒角面也沒(méi)有看到燒傷、崩裂、缺口等缺陷。
圖18的玻璃基板G5是滿足上述大小、板厚(t) = O. 05mm、開口角度(β ) = 25。 (2β =50° )、端面寬度(W) = O. 0107mm、平坦長(zhǎng)度(f) = 0.040mm、f/t = 4/5 的玻璃基板。
該玻璃基板G5也是滿足本發(fā)明的條件的玻璃基板，在該玻璃基板G5中，在倒角面也沒(méi)有看到燒傷、崩裂、缺口等缺陷。
圖19的玻璃基板G6是滿足上述大小、板厚(t) = O. 05mm、開口角度(β ) = 40°(2 β =80° )、端面寬度(W)= O. 006mm、平坦長(zhǎng)度(f)= O. 040mm、f/t = 4/5的玻璃基板。
該玻璃基板G6也是滿足本發(fā)明的條件的玻璃基板。在該玻璃基板G6中，在倒角面也沒(méi)有看到燒傷、崩裂、缺口等缺陷。
圖20的玻璃基板G7是滿足上述大小、板厚(t) = 2.8_1、開口角度(3) = 25°(2 β =50° )、端面寬度(W)= 2. 002mm、平坦長(zhǎng)度(f)= O. 933mm、1/3 < f/t的玻璃基板。
該玻璃基板G7也是滿足本發(fā)明的條件的玻璃基板，在該玻璃基板G7中，在倒角面也沒(méi)有看到燒傷、崩裂、缺口等缺陷。
圖21的玻璃基板G8是滿足上述大小、板厚(t) = 2. 8mm、開口角度(β ) = 40°(2 β80° )、端面寬度(W)= I. 113_、平坦長(zhǎng)度(f)= O. 933mm、1/3 < f/t的玻璃基板。:014 /該玻璃基板G8也是滿足本發(fā)明的條件的玻璃基板。在該玻璃基板G8中，在倒角面也沒(méi)有看到燒傷、崩裂、缺口等缺陷。
圖22的玻璃基板G9是滿足上述大小、板厚(t) = 2.8_1、開口角度(3) = 25°(2 β =50° )、端面寬度(W)= O. 600mm、平坦長(zhǎng)度(f)= 2. 240mm、f/t = 4/5的玻璃基板。
該玻璃基板G9也是滿足本發(fā)明的條件的玻璃基板，在該玻璃基板G9中，在倒角面也沒(méi)有看到燒傷、崩裂、缺口等缺陷。
圖23的玻璃基板Gltl是滿足上述大小、板厚(t) = 2. 8mm、開口角度(β ) = 40°(2 β80° )、端面寬度(W)= O. 334mm、平坦長(zhǎng)度(f)= 2. 240mm,f/t = 4/5的玻璃基板。；OII該玻璃基板Gltl也是滿足本發(fā)明的條件的玻璃基板。在該玻璃基板Gltl中，在倒角面中也沒(méi)有看到燒傷、崩裂、缺口等缺陷。
參照特定的實(shí)施方式詳細(xì)地對(duì)本申請(qǐng)進(jìn)行了說(shuō)明，但本領(lǐng)域技術(shù)人員明白，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下可以施以各種變更及修正。
本申請(qǐng)基于2010年7月8日申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)(特願(yuàn)2010-155987)，其內(nèi)容并入本文作為參照。
附圖標(biāo)記說(shuō)明
10 :倒角砂輪
12 :加工部
14 :激光顯微鏡
16 :檢查部
18 :圖像處理部
20 :運(yùn)算部
22 :監(jiān)視器
24 :砂輪移動(dòng)部
Z:端面
Gi G10 :FH)用玻璃基板
Gf :板面
A、B、C :切線
權(quán)利要求
1.一種玻璃基板端面的評(píng)價(jià)方法，其特征在于， 利用攝像單元拍攝玻璃基板的端面的規(guī)定區(qū)域， 通過(guò)對(duì)該拍攝到的圖像進(jìn)行白黑二值化處理，將所述端面存在的凹部識(shí)別為白圖像，將所述端面的成為鏡面的平坦部識(shí)別為黑圖像， 基于所述白圖像的面積相對(duì)于所述黑圖像的面積的比率，評(píng)價(jià)玻璃基板的端面的特性。
2.如權(quán)利要求I所述的玻璃基板端面的評(píng)價(jià)方法，其中， 將所述白圖像的面積相對(duì)于所述黑圖像的面積的比率的閾值設(shè)定為10%。
3.—種玻璃基板端面的加工方法,其特征在于， 利用研磨部件研磨玻璃基板的端面， 利用攝像單元拍攝該被研磨了的所述端面， 通過(guò)對(duì)該拍攝到的圖像進(jìn)行白黑二值化處理，將所述端面存在的凹部識(shí)別為白圖像，將所述端面的成為鏡面的平坦部識(shí)別為黑圖像， 控制所述研磨部件研磨所述端面的研磨余量使得所述白圖像的面積相對(duì)于所述黑圖像的面積的比率為規(guī)定的閾值以下。
4.如權(quán)利要求3所述的玻璃基板端面的加工方法，其中， 以所述白圖像的面積相對(duì)于所述黑圖像的面積的比率的閾值為10%以下的方式進(jìn)行所述控制。
5.—種玻璃基板,其特征在于， 通過(guò)權(quán)利要求4所述的玻璃基板端面的加工方法進(jìn)行了加工。
6.—種玻璃基板,其特征在于， 通過(guò)權(quán)利要求4所述的玻璃基板端面的加工方法進(jìn)行加工， 大小為400mmX300mm以上， 板厚(t)為0. 05謹(jǐn)以上、2. 8謹(jǐn)以下， 在具有倒角部的端面引出三根切線而得出的梯形形狀滿足下面的尺寸，1/3 彡 I — 2tanP Xff/t ( 4/5 3為開口角度，即玻璃基板的板面和玻璃基板的端面的倒角曲面的交點(diǎn)處的玻璃基板的端面的倒角曲面的切線與玻璃基板的板面所成的角度，且50° <20 ^ 80°， W為端面寬度，即從玻璃基板的板面和玻璃基板的端面的倒角曲面的交點(diǎn)至在玻璃基板的端面的端面引出的切線為止的與玻璃基板的板面平行的方向上的長(zhǎng)度。
7.—種玻璃基板,其特征在于， 利用攝像單元拍攝端面的規(guī)定的區(qū)域，通過(guò)對(duì)該拍攝到的圖像進(jìn)行白黑二值化處理，將所述端面存在的凹部識(shí)別為白圖像，將所述端面的成為鏡面的平坦部識(shí)別為黑圖像的情況下的所述白圖像的面積相對(duì)于所述黑圖像的面積的比率為10%以下。
8.如權(quán)利要求7所述的玻璃基板，其特征在于， 所述規(guī)定的區(qū)域是包括所述玻璃基板的端面加工范圍的砂輪行進(jìn)方向上的中央部分在內(nèi)的深度IOmmX寬度20mm范圍中的任意的寬度IOOiimX高度50 的區(qū)域。
9.如權(quán)利要求7或8所述的玻璃基板，其中， 大小為400mmX300mm以上，板厚(t)為0. 05謹(jǐn)以上、2. 8臟以下， 在具有倒角部的端面引出三根切線而得出的梯形形狀滿足下面的尺寸，·1/3 彡 I — 2tanP Xff/t ( 4/5 ·3為開口角度，即玻璃基板的板面和玻璃基板的端面的倒角曲面的交點(diǎn)處的玻璃基板的端面的倒角曲面的切線與玻璃基板的板面所成的角度，且50° <20 <80°， W為端面寬度，即玻璃基板的板面和玻璃基板的端面的倒角曲面的交點(diǎn)至在玻璃基板的端面的端面引出的切線為止的與玻璃基板的板面平行的方向上的長(zhǎng)度。
全文摘要
本發(fā)明提供能夠正確評(píng)價(jià)玻璃基板的端面的特性的玻璃基板端面的評(píng)價(jià)方法及基于該評(píng)價(jià)方法的玻璃基板端面的加工方法以及基于該加工方法，能夠減少玻璃基板端面的塵埃附著的玻璃基板，并且基于該加工方法，能夠防止在倒角面產(chǎn)生燒傷、崩裂、缺口等缺點(diǎn)的玻璃基板。根據(jù)本發(fā)明，對(duì)利用激光顯微鏡(14)拍攝到的端面(Z)的圖像進(jìn)行白黑二值化處理，將端面存在的凹部作為白圖像，將端面的鏡面作為黑圖像進(jìn)行識(shí)別，而且，基于白圖像的面積相對(duì)于黑圖像的面積的比率，評(píng)價(jià)玻璃基板的端面的特性。根據(jù)該評(píng)價(jià)方法，與精度的可靠性依賴于端面(Z)存在的凹部的大小的現(xiàn)有觸針式粗糙度儀進(jìn)行的評(píng)價(jià)方法相比較，能夠更正確地評(píng)價(jià)玻璃基板(G)的端面(Z)的特性。
文檔編號(hào)G02F1/1333GK102985386SQ201180033900
公開日2013年3月20日 申請(qǐng)日期2011年2月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月8日
發(fā)明者宮本干大, 鳥井秀晴, 木村友紀(jì) 申請(qǐng)人:旭硝子株式會(huì)社