專利名稱：正型感光性樹脂組合物、使用其的固化膜及光學(xué)設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及正型感光性樹脂組合物、使用其的固化膜及光學(xué)設(shè)備。
背景技術(shù)：
近年來，隨著數(shù)碼相機(jī)和帶有相機(jī)功能的移動電話等快速發(fā)展，而要求固態(tài)圖像傳感裝置的小型化、高像素化。由于固態(tài)圖像傳感裝置的小型化導(dǎo)致靈敏度降低，所以在光傳感器部和濾色器之間或在濾色器上部配置聚光透鏡、或者在光傳感器部與濾色器之間形成光波導(dǎo)，從而有效地聚集光線，防止設(shè)備靈敏度的降低。作為上述聚光透鏡和光波導(dǎo)的通常的制作方法，可以舉出通過干蝕刻對利用CVD法等形成的無機(jī)膜進(jìn)行加工的方法、對樹脂進(jìn)行涂布并加工的方法。由于前者方法難以得到對于透鏡、或光波導(dǎo)最合適的1. 65 1.90的折射率，所以，目前后者方法備受關(guān)注。迄今為止，例如，提出了含有聚酰胺酸等堿可溶性聚合物、具有酚式羥基的化合物、醌二疊氮化合物及無機(jī)粒子的正型感光性樹脂組合物(例如，參照專利文獻(xiàn)1)、和具有酚單元的倍半硅氧烷與具有稠合多環(huán)式烴基的硅酮共聚物(例如，參照專利文獻(xiàn)幻的方案。但是，上述公開的感光性樹脂組合物和聚合物由于聚酰胺酸或酚式羥基的著色而存在透明性不足的問題。作為透明性優(yōu)異的含有硅氧烷化合物的材料，提出了含有聚硅氧烷、醌二疊氮化合物、溶劑和熱交聯(lián)性化合物的感光性硅氧烷組合物(例如，參照專利文獻(xiàn)幻、和含有具有芳香族烴基的硅氧烷化合物的高折射率材料(例如，參照專利文獻(xiàn)4)的方案，但是，近年來期求可形成具有更高折射率的固化膜的材料。作為具有高折射率的硅氧烷類材料，公開了一種硅氧烷類樹脂組合物，其是利用如下方法得到的在金屬化合物粒子的存在下，將烷氧基硅烷水解并使其進(jìn)行縮合反應(yīng) (例如，參照專利文獻(xiàn)幻。但是，所述樹脂組合物在曝光時的靈敏度不充分，在顯影時產(chǎn)生微小的溶解殘留物因而分辨率不足。[專利文獻(xiàn)1]日本特開2003-75997號公報[專利文獻(xiàn)2]日本特開2006-312717號公報[專利文獻(xiàn)3]日本特開2006-293337號公報[專利文獻(xiàn)4]日本特開2008-24832號公報[專利文獻(xiàn)5]日本特開2007-246877號公報

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種靈敏度和分辨率優(yōu)異且無損于高折射率、高透明性的特性的正型感光性樹脂組合物。為了解決上述課題，本發(fā)明具有以下構(gòu)成。艮P一種正型感光性樹脂組合物，其特征在于，含有(a)聚硅氧烷，是通過將下述通式 (1)表示的有機(jī)硅烷和有機(jī)硅烷低聚物水解并使其部分縮合而合成的；(b)鋁化合物粒子、錫化合物粒子、鈦化合物粒子、鋯化合物粒子、它們的復(fù)合粒子或它們中任一種與硅化合物的復(fù)合粒子；(C)萘醌二疊氮化物化合物及(d)溶劑；上述有機(jī)硅烷低聚物含有下述通式 (2)表示的有機(jī)硅烷。以及一種正型感光性樹脂組合物，其特征在于，含有(a’ )含有金屬化合物粒子的聚硅氧烷，是在鋁化合物粒子、錫化合物粒子、鈦化合物粒子、鋯化合物粒子、它們的復(fù)合粒子或它們中任一種與硅化合物的復(fù)合粒子的存在下，將下述通式(1)表示的有機(jī)硅烷和有機(jī)硅烷低聚物水解并使其部分縮合而合成的；(c)萘醌二疊氮化物化合物及(d)溶劑；上述有機(jī)硅烷低聚物含有下述通式( 表示的有機(jī)硅烷。
權(quán)利要求
1.一種正型感光性樹脂組合物，其特征在于，含有(a)聚硅氧烷，是通過將下述通式(1)表示的有機(jī)硅烷和有機(jī)硅烷低聚物水解并使其部分縮合而合成的；(b)鋁化合物粒子、 錫化合物粒子、鈦化合物粒子、鋯化合物粒子、它們的復(fù)合粒子或它們中任一種與硅化合物的復(fù)合粒子；(c)萘醌二疊氮化物化合物及(d)溶劑；所述有機(jī)硅烷低聚物含有下述通式(2)表示的有機(jī)硅烷；
2.一種正型感光性樹脂組合物，其特征在于，含有(a’)含有金屬化合物粒子的聚硅氧烷，是在鋁化合物粒子、錫化合物粒子、鈦化合物粒子、鋯化合物粒子、它們的復(fù)合粒子或它們中任一種與硅化合物的復(fù)合粒子的存在下，將下述通式(1)表示的有機(jī)硅烷和有機(jī)硅烷低聚物水解并使其部分縮合而合成的；(c)萘醌二疊氮化物化合物及(d)溶劑；所述有機(jī)硅烷低聚物含有下述通式( 表示的有機(jī)硅烷；
3.如權(quán)利要求1或2所述的正型感光性樹脂組合物，其特征在于，所述通式(1)中的R1 含有稠合多環(huán)式芳香族烴基。
4.如權(quán)利要求1 3中任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其特征在于，所述有機(jī)硅烷低聚物中的來自所述通式( 表示的有機(jī)硅烷的Si原子的含量為來自有機(jī)硅烷低聚物中的Si原子的總含量的67摩爾％以上100摩爾％以下。
5.一種正型感光性樹脂組合物，其特征在于，含有(a)聚硅氧烷，是通過將所述通式(1)表示的有機(jī)硅烷和所述通式( 表示的有機(jī)硅烷水解并使其部分縮合而合成；(b)鋁化合物粒子、錫化合物粒子、鈦化合物粒子、鋯化合物粒子、它們的復(fù)合粒子或它們中任一種與硅化合物的復(fù)合粒子；(c)萘醌二疊氮化物化合物及(d)溶劑。
6.一種正型感光性樹脂組合物，其特征在于，含有(a’)含有金屬化合物粒子的聚硅氧烷，是在鋁化合物粒子、錫化合物粒子、鈦化合物粒子、鋯化合物粒子、它們的復(fù)合粒子或它們中任一種與硅化合物的復(fù)合粒子的存在下，將所述通式(1)表示的有機(jī)硅烷和所述通式(2)表示的有機(jī)硅烷水解并使其部分縮合而合成的；(c)萘醌二疊氮化物化合物及(d)溶劑。
7.如權(quán)利要求1、3、4或5所述的正型感光性樹脂組合物，其特征在于，所述(a)的聚硅氧烷中的來自所述通式( 表示的有機(jī)硅烷的Si原子的含量為來自有機(jī)硅烷的Si原子總含量的5摩爾％以上50摩爾％以下。
8.如權(quán)利要求2 4、6中任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其特征在于，所述 (a’)的含有金屬化合物粒子的聚硅氧烷中的來自所述通式( 表示的有機(jī)硅烷的Si原子的含量為含有金屬化合物粒子的聚硅氧烷的來自有機(jī)硅烷的Si原子總含量的5摩爾％以上50摩爾％以下。
9.如權(quán)利要求3所述的正型感光性樹脂組合物，其特征在于，所述通式(1)中的η為 1，并且，(a)的聚硅氧烷或(a’ )的含有金屬化合物粒子的聚硅氧烷中，與作為稠合多環(huán)式芳香族烴基的R1鍵合的Si原子含量為來自有機(jī)硅烷的Si原子總含量的10摩爾％以上。
10.一種固化膜，是使權(quán)利要求1 9中任一項所述的正型感光性樹脂組合物固化而形成的。
11.一種光學(xué)設(shè)備，具有權(quán)利要求10所述的固化膜。
全文摘要
本發(fā)明提供一種正型感光性樹脂組合物，其特征在于，含有(a)聚硅氧烷，是通過將特定的有機(jī)硅烷和有機(jī)硅烷低聚物水解并使其部分縮合而合成的；(b)鋁化合物粒子、錫化合物粒子、鈦化合物粒子、鋯化合物粒子、它們的復(fù)合粒子或它們中任一種與硅化合物的復(fù)合粒子；(c)萘醌二疊氮化物化合物及(d)溶劑，上述有機(jī)硅烷低聚物含有特定的有機(jī)硅烷。上述正型感光性樹脂組合物具有優(yōu)異的靈敏度和分辨率、且不破壞高折射率、高透明性的特性。
文檔編號G03F7/004GK102472964SQ201080036359
公開日2012年5月23日 申請日期2010年9月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月29日
發(fā)明者岡澤徹, 諏訪充史, 鴨川政雄 申請人:東麗株式會社