專(zhuān)利名稱(chēng)：基板處理設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及液晶顯示技術(shù)，尤其涉及一種基板處理設(shè)備。
背景技術(shù)：
液晶顯示器(LCD)是目前常用的平板顯示器，液晶面板是液晶顯示器中的重要部 件，液晶面板包括對(duì)盒設(shè)置的陣列基板和彩膜基板，其間填充液晶。在液晶顯示器的制造過(guò)程中，在很多工藝流程中都需要向玻璃基板表面噴淋液體 以對(duì)玻璃基板表面進(jìn)行處理，例如對(duì)玻璃基板表面清洗、剝離、濕法刻蝕等工藝流程，在這 些工藝流程中，均需要使玻璃基板表面充分、均勻地接觸液體，以保證對(duì)玻璃基板表面的處 理效果。以濕法刻蝕工藝為例，濕法刻蝕是利用化學(xué)藥品對(duì)金屬的腐蝕性，在沉積金屬層的 玻璃基板表面噴淋化學(xué)藥品，以實(shí)現(xiàn)在玻璃基板表面保留部分金屬圖案，去掉多余金屬的 目的，因此，在濕法刻蝕工藝中，需要保證化學(xué)藥品均勻地分布在玻璃基板表面。現(xiàn)有的基板處理設(shè)備，其結(jié)構(gòu)通常如圖1所示，玻璃基板4由多行傳送輪1傳送， 玻璃基板4在傳送方向上前后規(guī)律移動(dòng)；玻璃基板4的上方設(shè)置有多條滑軌2，滑軌2上設(shè) 置有多個(gè)噴嘴3，噴嘴3在滑軌2上沿與傳送方向垂直的方向來(lái)回規(guī)律移動(dòng)多個(gè)噴嘴3沿相 互交叉的方向向玻璃基板4上噴淋液體。然而，采用現(xiàn)有的基板處理設(shè)備，由于玻璃基板的面積較大，而玻璃基板表面各處 噴淋的液體流量和壓力不均勻，尤其是玻璃基板中間部分聚集的液體通常要多于邊緣部分 聚集的液體，這將導(dǎo)致導(dǎo)致玻璃基板表面各處的處理效果不同。仍以濕法刻蝕工藝為例，一 旦玻璃基板中間部分聚集的化學(xué)藥品多于邊緣部分，將導(dǎo)致玻璃基板表面各處的刻蝕效果 不同，甚至導(dǎo)致玻璃基板中間部分可能出現(xiàn)過(guò)刻蝕現(xiàn)象，從而導(dǎo)致玻璃基板表面的線電阻 出現(xiàn)差異，各區(qū)域顏色異常。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種基板處理設(shè)備，以解決現(xiàn)有技術(shù)中玻璃基板表面各處噴淋的 液體不均勻，從而導(dǎo)致玻璃基板表面各處處理效果不同的問(wèn)題，使玻璃基板表面各處的處
理效果趨于一致。本實(shí)用新型提供一種基板處理設(shè)備，包括多個(gè)傳送輪，所述多個(gè)傳送輪成排設(shè) 置，用于傳送玻璃基板；多個(gè)滑軌，設(shè)置于所述玻璃基板上方；多個(gè)噴嘴，設(shè)置于所述滑軌 上，用于在所述滑軌上滑動(dòng)，并向所述玻璃基板上噴淋液體；每排傳送輪從所述玻璃基板的 邊緣至中部，直徑依次遞增，使所述玻璃基板表面呈中間高邊緣低的弧形。如上所述的基板處理設(shè)備，所述傳送輪包括輪體和套設(shè)在所述輪體外部的保護(hù) 層。如上所述的基板處理設(shè)備，所述多個(gè)傳送輪的輪體直徑相等，每排傳送輪從所述 玻璃基板的邊緣至中部，所述保護(hù)層的厚度依次遞增，使玻璃基板表面呈中間高邊緣低的 弧形。[0010] 如上所述的基板處理設(shè)備，所述多個(gè)傳送輪的所述保護(hù)層厚度相等，每排傳送輪 從所述玻璃基板的邊緣至中部，輪體的直徑依次遞增，使所述玻璃基板表面呈中間高邊緣 低的弧形。 如上所述的基板處理設(shè)備，所述滑軌呈向下彎曲的弧形。如上所述的基板處理設(shè)備，所述滑軌所呈的弧度與所述玻璃基板表面所呈的弧度 相匹配。如上所述的基板處理設(shè)備，所述多個(gè)噴嘴呈向下彎曲的弧形排列。如上所述的基板處理設(shè)備，所述多個(gè)噴嘴排列所呈的弧度與所述玻璃基板表面所 呈的弧度相匹配。本實(shí)用新型提供的基板處理設(shè)備，每排傳送輪的直徑從玻璃基板的邊緣至中部依 次遞增，使傳送輪傳送的玻璃基板表面呈中間高邊緣低的弧形。使玻璃基板表面各處噴灑 的液體流量和壓力更加均勻，從而使玻璃基板表面各處的處理趨于相同。

圖1為現(xiàn)有的基板處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型第一實(shí)施例提供的基板處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型第二實(shí)施例提供的基板處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)記1-傳送輪；2-滑軌；3-噴嘴；4-玻璃基板。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新 型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描 述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施 例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于 本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。實(shí)施例一參見(jiàn)圖2，本實(shí)用新型提供一種基板處理設(shè)備，包括多個(gè)傳送輪1，多個(gè)傳送輪1 成排設(shè)置，用于傳送玻璃基板4 ；多個(gè)滑軌2，設(shè)置于玻璃基板4上方；多個(gè)噴嘴3，設(shè)置于滑 軌2上，用于在滑軌2上滑動(dòng)，并向玻璃基板4上噴淋液體；每排傳送輪1從玻璃基板4的邊緣至中部，直徑依次遞增，使玻璃基板4表面呈中 間高邊緣低的弧形。本實(shí)施例提供的基板處理設(shè)備，每排傳送輪的直徑從玻璃基板的邊緣至中部依次 遞增，使傳送輪傳送的玻璃基板表面呈相應(yīng)的弧形。使玻璃基板表面各處噴灑的液體流量 和壓力更加均勻，從而使玻璃基板表面各處的處理效果趨于一致。本實(shí)施例提供的基板處理設(shè)備可以應(yīng)用于液晶顯示器生產(chǎn)過(guò)程中涉及到的多種 工藝環(huán)節(jié)，例如對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗，剝離玻璃基板表面的光刻膠，以及對(duì)玻璃基板表面 進(jìn)行刻蝕等工藝流程。在這些工藝流程中，均需要向玻璃基板表面噴淋液體，以使玻璃基板表面充分接觸液體，進(jìn)而對(duì)玻璃基板表面進(jìn)行相應(yīng)處理。在基板處理設(shè)備中，用于傳送待處理玻璃基板4的多個(gè)傳送輪1，在傳送方向上排 列成互相平行的幾排，在對(duì)玻璃基板4進(jìn)行處理的各種工藝流程中，傳送輪1緩慢勻速轉(zhuǎn) 動(dòng)，來(lái)傳送待處理的玻璃基板4。
噴嘴3在玻璃基板4上方的滑軌2上來(lái)回滑動(dòng)，并且向玻璃基板4上噴淋液體。液 體噴淋到玻璃基板4后，其位置可能無(wú)法在短時(shí)間內(nèi)改變，因此，有可能造成玻璃基板4表 面局部區(qū)域的液體堆積，而這種現(xiàn)象基板中間部位更加明顯，這樣會(huì)造成玻璃基板4中間 和邊緣的處理效果存在差異。由于玻璃基板4的面積較大，并且具有較強(qiáng)的韌性，因此，為了解決玻璃基板4中 間和邊緣處理效果差異的問(wèn)題，可以使玻璃基板4的表面設(shè)置成中間高、邊緣低的弧形。由 于傳送輪1位于玻璃基板4的下方，并且在與傳動(dòng)方向垂直的方向上成排排列，因此，可以 采用直徑大小不同的多個(gè)傳送輪1，來(lái)實(shí)現(xiàn)玻璃基板4表面呈弧形。具體是，每排傳送輪1從玻璃基板4的邊緣至中部，可以將對(duì)應(yīng)的傳送輪1的直徑 設(shè)置成依次遞增，使直徑大的傳送輪1處對(duì)應(yīng)的玻璃基板4表面高于直徑小的傳送輪1處 對(duì)應(yīng)的玻璃基板4表面。從而實(shí)現(xiàn)玻璃基板4表面呈中間高邊緣低的弧形。玻璃基板4中 間位置下方的傳送輪1直徑較大，越靠近邊緣的傳送輪1的直徑越小。這樣，使玻璃基板4 的表面也呈現(xiàn)弧形，從而在對(duì)玻璃基板4進(jìn)行處理的各種工藝流程中，液體從玻璃基板4的 中間緩慢向邊緣擴(kuò)散，使玻璃基板4表面的額液體具有很好的置換性。另外，玻璃基板4表面所呈弧形的弧度可以根據(jù)玻璃基板4面積的大小以及液體 噴淋的量而具體確定。通常，玻璃基板4表面的弧度無(wú)需設(shè)置的過(guò)大，相應(yīng)的，每排傳送輪1 的直徑從玻璃基板4邊緣至中部，直徑相差不必過(guò)大，以防止玻璃基板4損壞，只需使中間 區(qū)域略微高于邊緣即可。以濕法刻蝕工藝流程為例，采用本實(shí)施例提供的基板處理設(shè)備進(jìn)行濕法刻蝕的流 程中，多個(gè)噴嘴3向玻璃基板4表面噴淋化學(xué)藥品，化學(xué)藥品噴淋到玻璃基板4表面后，由 于玻璃基板4表面中間區(qū)域高于邊緣區(qū)域，使得玻璃基板4表面中間區(qū)域堆積的化學(xué)藥品 向邊緣區(qū)域擴(kuò)散，通過(guò)設(shè)置不同直徑的傳送輪1來(lái)實(shí)現(xiàn)玻璃基板4表面所呈弧形，使中間 區(qū)域的化學(xué)藥品緩慢向邊緣區(qū)域擴(kuò)散，從而使玻璃基板4表面各區(qū)域的化學(xué)藥品量趨于均 勻，從而使刻蝕效果趨于均勻，從而使玻璃基板4表面各區(qū)域沉積的金屬層被腐蝕的程度 區(qū)域相同，玻璃基板4表面各處的刻蝕效果趨于相同。有效避免玻璃基板4表面出現(xiàn)過(guò)刻 蝕現(xiàn)象，防止玻璃基板4表面的線電阻出現(xiàn)差異以及顏色異常的問(wèn)題。實(shí)施例二參見(jiàn)圖3，本實(shí)用新型提供一種基板處理設(shè)備，包括多個(gè)傳送輪1，多個(gè)傳送輪1 成排設(shè)置，用于傳送玻璃基板4 ；多個(gè)滑軌2，設(shè)置于玻璃基板4上方；多個(gè)噴嘴3，設(shè)置于滑 軌2上，用于在滑軌2上滑動(dòng)，并向玻璃基板4上噴淋液體；每排傳送輪1從玻璃基板4的邊緣至中部，直徑依次遞增，使玻璃基板4表面呈中 間高邊緣低的弧形。在前一實(shí)施例的基礎(chǔ)上，傳送輪1可以進(jìn)一步包括輪體(圖中未示出)和套設(shè)在 輪體外部的保護(hù)層(圖中未示出)。該保護(hù)層通常采用橡膠等材料制成，以減少輪體表面磨 損，并且防止玻璃基板4表面受輪體摩擦而損壞。[0038]因此，一種優(yōu)選的實(shí)施方式，多個(gè)傳送輪1的輪體直徑可以相等，每排傳送輪1從 玻璃基板4的邊緣至中部，保護(hù)層的厚度依次遞增，從而使玻璃基板4表面呈中間高邊緣低 的弧形。另外一種優(yōu)選的實(shí)施 方式，可以設(shè)置多個(gè)傳送輪1的保護(hù)層厚度相等，每排傳送 輪1從玻璃基板4的邊緣至中部，輪體的直徑依次遞增，使玻璃基板4表面呈中間高邊緣低 的弧形。以上兩種方式均可以是每排傳送輪1的整體直徑，從玻璃基板4邊緣到中部依次 遞增，從而使玻璃基板4表面呈中間高邊緣低的弧形。進(jìn)一步的，為了配合呈中間高邊緣低的玻璃基板4的弧形表面，相應(yīng)的，可以將玻 璃基板4上方的滑軌2也設(shè)置呈弧形，具體是呈向下彎曲的弧形，由于多個(gè)噴嘴3設(shè)置在滑 軌2上，因此，可以使滑軌2上的各個(gè)噴嘴3到玻璃基板4表面的垂直距離趨于相同，從而 使各個(gè)噴嘴3噴淋的液體到達(dá)玻璃基板4表面上的壓力趨于相同，更有利于玻璃基板4表 面上的液體均勻分布。優(yōu)選的，可以將玻璃基板4表面所呈弧度與滑軌2所呈弧度相匹配，從而使各個(gè)噴 嘴3距離對(duì)應(yīng)的玻璃基板4表面區(qū)域相等，是各個(gè)噴嘴3垂直朝向玻璃基板4的表面，從而 使各個(gè)噴嘴3噴淋的液體達(dá)到基板上的壓力相同。另一種可行的實(shí)施方式是，可以將多個(gè)噴嘴3呈向下彎曲的弧形排列，具體是，可 以調(diào)整各個(gè)噴嘴3在滑軌2上的安裝角度，以使同一滑軌2上的多個(gè)噴嘴3呈向下彎曲的 弧形排列，或者使不同滑軌2上的多個(gè)噴嘴3成向下彎曲的互相排列，從而使各個(gè)噴嘴3到 玻璃基板4表面的垂直距離趨于相同，各個(gè)噴嘴3噴淋的液體到達(dá)玻璃基板4表面上的壓 力趨于相同，更有利于玻璃基板4表面上的液體均勻分布。與前一種實(shí)施方式類(lèi)似的，還可以將多個(gè)噴嘴3排列所呈的弧度設(shè)置成與玻璃基 板4表面所呈的弧度相匹配，從而使各個(gè)噴嘴3距離對(duì)應(yīng)的玻璃基板4表面區(qū)域相等，使各 個(gè)噴嘴3噴淋的液體達(dá)到基板上的壓力相同。本實(shí)施例提供的基板處理設(shè)備在液晶顯示器生產(chǎn)過(guò)程中涉及到的多種工藝環(huán)節(jié)， 例如清洗、剝離或濕法刻蝕等工藝環(huán)節(jié)中，通過(guò)每排傳送輪的直徑從玻璃基板的邊緣至中 部依次遞增，使傳送輪傳送的玻璃基板表面呈中間高邊緣低的弧形。從而使向玻璃基板表 面各處噴灑的各種液體流量和壓力更加均勻，從而使玻璃基板表面各處的處理趨于相同。最后應(yīng)說(shuō)明的是以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制； 盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解 其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等 同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù) 方案的精神和范圍。
權(quán)利要求1.一種基板處理設(shè)備，包括多個(gè)傳送輪，所述多個(gè)傳送輪成排設(shè)置，用于傳送玻璃基 板；多個(gè)滑軌，設(shè)置于所述玻璃基板上方；多個(gè)噴嘴，設(shè)置于所述滑軌上，用于在所述滑軌 上滑動(dòng)，并向所述玻璃基板上噴淋液體；其特征在于，每排傳送輪從所述玻璃基板的邊緣至 中部，直徑依次遞增，使所述玻璃基板表面呈中間高邊緣低的弧形。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理設(shè)備，其特征在于，所述傳送輪包括輪體和套設(shè)在 所述輪體外部的保護(hù)層。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板處理設(shè)備，其特征在于，所述多個(gè)傳送輪的輪體直徑相 等，每排傳送輪從所述玻璃基板的邊緣至中部，所述保護(hù)層的厚度依次遞增，使玻璃基板表 面呈中間高邊緣低的弧形。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板處理設(shè)備，其特征在于，所述多個(gè)傳送輪的所述保護(hù)層 厚度相等，每排傳送輪從所述玻璃基板的邊緣至中部，輪體的直徑依次遞增，使所述玻璃基 板表面呈中間高邊緣低的弧形。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的基板處理設(shè)備，其特征在于，所述滑軌分別呈向下 彎曲的弧形。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板處理設(shè)備，其特征在于，所述滑軌所呈的弧度與所述玻 璃基板表面所呈的弧度相匹配。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-4所述的基板處理設(shè)備，其特征在于，所述多個(gè)噴嘴呈向下彎曲的 弧形排列。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板處理設(shè)備，其特征在于，所述多個(gè)噴嘴排列所呈的弧度 與所述玻璃基板表面所呈的弧度相匹配。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種基板處理設(shè)備，包括多個(gè)傳送輪，所述多個(gè)傳送輪成排設(shè)置，用于傳送玻璃基板；多個(gè)滑軌，設(shè)置于玻璃基板上方；多個(gè)噴嘴，設(shè)置于滑軌上，用于在滑軌上滑動(dòng)，并向玻璃基板上噴淋液體；每排傳送輪從所述玻璃基板的邊緣至中部，直徑依次遞增，使所述玻璃基板表面呈中間高邊緣低的弧形。本實(shí)用新型使玻璃基板表面各處噴灑的液體流量和壓力更加均勻，從而使玻璃基板表面各處的處理效果趨于相同。
文檔編號(hào)G02F1/1333GK201853680SQ201020592168
公開(kāi)日2011年6月1日 申請(qǐng)日期2010年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月29日
發(fā)明者徐斌 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司