專利名稱：具防呆裝置的容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種容器，特別是指其中所包含的防止錯(cuò)誤放置的防呆裝置。
背景技術(shù)：
近代半導(dǎo)體科技發(fā)展迅速，其中光學(xué)微影技術(shù)(Optical Lithography)扮 演重要的角色，只要是關(guān)于圖形(pattern)定義，皆需仰賴光學(xué)微影技術(shù)。 光學(xué)微影技術(shù)在半導(dǎo)體的應(yīng)用上，是將設(shè)計(jì)好的線路制作成具有特定形狀可透 光的光罩(photo mask)。利用曝光原理，則光源通過光罩投影至硅晶圓(silicon wafer)可曝光顯示特定圖案。由于任何附著于光罩上的塵埃顆粒(如微粒、粉塵 或有機(jī)物)都會(huì)造成投影成像的質(zhì)量劣化，用于產(chǎn)生圖形的光罩必須保持絕對(duì)潔 凈，因此在一般的晶圓制程中，都提供無塵室(clean room)的環(huán)境以避免空氣 中的顆粒污染。然而，目前的無塵室也無法達(dá)到絕對(duì)無塵狀態(tài)?，F(xiàn)代的半導(dǎo)體 制程皆利用抗污染的光罩盒(reticle pod)進(jìn)行光罩的保存與運(yùn)輸，以使光罩保
持潔凈。
現(xiàn)有的光罩盒多以高分子材質(zhì)所構(gòu)成，此種高分子材質(zhì)具有成型容易、價(jià) 格低廉以及可形成透明體的優(yōu)點(diǎn)。此種絕緣電阻高的高分子材質(zhì)容易因?yàn)槟ゲ?或撥離而產(chǎn)生靜電，尤其是無塵室的作業(yè)環(huán)境需要保持較低濕度，使高分子材 質(zhì)的光罩盒非常容易產(chǎn)生與累積電荷。光罩表面的靜電容易吸引空氣中的污染 微粒，更甚者還會(huì)造成光罩上的金屬線出現(xiàn)靜電放電(electrostatic discharge, ESD)效應(yīng)。靜電放電所產(chǎn)生的瞬間電流會(huì)引起電花(spark)或電弧 (arc),在電花與電弧發(fā)生的同時(shí)，強(qiáng)大的電流伴隨著高溫，導(dǎo)致金屬線的氧化 與溶解，因而改變了光罩的圖案。
目前針對(duì)靜電放電所解決的方法有許多，首先是改善作業(yè)環(huán)境，使空氣中 維持適當(dāng)?shù)臐穸取⒆鳂I(yè)人員穿著具接地效應(yīng)的衣物或使用離子扇消除環(huán)境中的 靜電。但是改變作業(yè)環(huán)境的具有許多無法預(yù)測(cè)的變因，沒有辦法完全解決靜電
對(duì)光罩的傷害。
另一種方法是改變光罩盒組成元件的材質(zhì)，美國專利號(hào)US6， 513， 654提出， 設(shè)置具接地功能的光罩支撐件，在光罩盒與配合機(jī)臺(tái)接觸時(shí)，光罩支撐件可將 光罩上的電荷導(dǎo)出。另外美國專利號(hào)US6，247，599提出，在光罩盒的底盤、罩 蓋或提把上增設(shè)導(dǎo)電板，通過此減少電荷的累積。增設(shè)導(dǎo)電板的方法已被廣為 使用，然罩蓋與底盤的定位多倚賴螺絲鎖固，鎖固時(shí)的摩擦?xí)a(chǎn)生微粒，形成 污染源。
有鑒于以上缺失，本實(shí)用新型所提供的光罩盒，乃針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)加以改良。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的主要目的，是提供一種具有防呆裝置的容器，其中防呆裝置
的設(shè)計(jì)是與容器原有結(jié)構(gòu)結(jié)合，可確保容器中各部位的正確放置，避免在使用 過程中對(duì)容器中的對(duì)象造成傷害。
本實(shí)用新型的另一目的，是提供一種具有防呆裝置的容器，其中防呆裝置 的設(shè)計(jì)不需以螺絲鎖固，可避免微粒產(chǎn)生，減少污染源。
本實(shí)用新型的又一目的，是提供一種具有防呆裝置的容器，可以減少電荷 累積，并且防止靜電對(duì)光罩所造成的傷害。
本實(shí)用新型的再一目的，是提供一種具有防呆裝置的容器，可在無需改變 原有容器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的情況下，增設(shè)一電荷屏蔽裝置。
基于上述的目的，本實(shí)用新型首先提供一種容器，其是由一個(gè)第一蓋體及 一個(gè)第二蓋體組合而成。容器中尚包括一底盤，設(shè)置于第二蓋體上，與第二蓋 體形成可容納對(duì)象的空間；第二蓋體包含至少一第一防呆裝置；底盤包含至少 一第二防呆裝置；當(dāng)?shù)诙来粞b置與第一防呆裝置互相卡合時(shí)，底盤與第二蓋 體的相對(duì)位置^固定。
本實(shí)用新型接著提供一種具防呆裝置的容器，其是由一個(gè)第一蓋體及一個(gè) 第二蓋體組合而成，容器中尚包括一罩蓋與一底盤。底盤包含至少一第三防呆 裝置，罩蓋包括一第四防呆裝置，當(dāng)?shù)谌来粞b置與第四防呆裝置互相卡合時(shí)， 底盤與罩蓋的相對(duì)位置，固定不移動(dòng)，底盤與罩蓋組合成一可承放對(duì)象的空 間。
本實(shí)用新型進(jìn)一步提供一種具防呆裝置的容器，其是由一個(gè)第一蓋體及一 個(gè)第二蓋體組合形成一內(nèi)部區(qū)域，容器中尚包括一罩蓋，設(shè)置于第二蓋體上。
第二蓋體罩蓋包含至少一第五防呆裝置，罩蓋包含至少一第六防呆裝置，當(dāng)?shù)?六防呆裝置與第五防呆裝置互相對(duì)應(yīng)時(shí)，罩蓋與該二蓋體組合成一可承放對(duì)象 的空間。
本實(shí)用新型的有益效果是，除了可以使容器的各部分被放置在正確位置外， 并且無須使用螺絲固定，避免微粒產(chǎn)生，減少污染源。當(dāng)罩蓋為導(dǎo)電材質(zhì)時(shí)， 更可防止靜電對(duì)內(nèi)容物造成傷害。本設(shè)計(jì)亦可增設(shè)使用于目前的光罩盒，無須 進(jìn)行設(shè)計(jì)上的變更。


圖1A本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的容器剖面圖； 圖1B本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的容器剖面圖； 圖1C本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的容器剖面圖; 圖2本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的容器剖面圖； 圖3本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的容器立體圖； 圖4本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的容器剖面圖； 圖5A本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的容器剖面圖； 圖5B本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的容器立體圖。主要元件符號(hào)說明
100 光罩盒
102第一蓋體
104第二蓋體
1041框體
1042門體
106 內(nèi)部區(qū)域
110 底盤
112a第一防呆裝置
112b第一防呆裝置
112c第一防呆裝置
115 罩蓋
202a第二防呆裝置
202b第二防呆裝置
202c第二防呆裝置
300
302第一蓋體
304第二蓋體
306內(nèi)部區(qū)域
310底盤
312a第三防呆裝置
312b第三防呆裝置
312c第三防呆裝置
315盟生 早皿
317a第四防呆裝置
317b第四防呆裝置
400光罩盒
402第一蓋體
404第二蓋體
4041框體
4042門體
406內(nèi)部區(qū)域
412第五防呆裝置
415習(xí)生 早皿
417第六防呆裝置
說明書第4/6頁
具體實(shí)施方式
本新型的實(shí)施方式是以半導(dǎo)體制程中所使用容器為例進(jìn)行說明，但是任何 必須保持潔凈或密封的應(yīng)用，例如醫(yī)學(xué)治療用品、生化用品或光學(xué)儀器，均屬 本實(shí)用新型的應(yīng)用范圍。本實(shí)用新型所利用到的一些基本元件與彼此間結(jié)構(gòu)原 理，屬于該領(lǐng)域具有通常知識(shí)的人士所能輕易理解，不再贅述。而以下文中所 對(duì)照的圖式，是表達(dá)與本實(shí)用新型特征有關(guān)的結(jié)構(gòu)示意，并未亦不需要依據(jù)實(shí) 際尺寸完整繪制。
根據(jù)本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例，提供一具防呆裝置的容器可用以保存或傳
送對(duì)象，如圖1A與圖1B所示，此容器100是一光罩盒，包含了一第一蓋體102與一第二蓋體104，第一蓋體102具有一內(nèi)部區(qū)域106，第二蓋體104是用以隔 絕內(nèi)部區(qū)域106與外在環(huán)境。第二蓋體104可以是一體成型，亦可以是由框體 1041和門體1042所組成。第二蓋體104面對(duì)內(nèi)部區(qū)域106的表面可設(shè)置一底盤 110。
如圖2所示，第二蓋體104包括三個(gè)第一防呆裝置112a、 112b、 112c。底 盤110包括三個(gè)第二防呆裝置202 a、 202b、 202c相對(duì)于第一防呆裝置112a、 112b、 112c。當(dāng)?shù)诙来粞b置202 a、 202b、 202c與第一防呆裝置112a、 112b、 112c互相卡合時(shí)，該底盤110與該第二蓋體104的相對(duì)位置M固定，不會(huì)相 對(duì)移動(dòng)。若第二防呆裝置202 a、 202b、 202c與第一防呆裝置112a、 112b、 112c 不能互相卡合時(shí)，底盤110則未被正確設(shè)置于第二蓋體104表面，底盤110與 第二蓋體104會(huì)相對(duì)滑動(dòng)，造成底盤的掉落或移位。
在本實(shí)施例中第一防呆裝置112a、 112b、 112c為突起物，且第二防呆裝置 202 a、 202b、 202c為相對(duì)該突起物的凹槽。亦可將第一防呆裝置改為凹槽，而 第二防呆裝置為相對(duì)該凹槽的突起物。由于三個(gè)112a、 112b、 112c與三個(gè)第二 防呆裝置202 a、 202b、 202c必需要互相卡合才能使底盤110與第二蓋體104 密合，因此底盤110必需要依特定方向設(shè)置于第二蓋體104上
如圖1C所示，容器100的內(nèi)部區(qū)域內(nèi)可增設(shè)一罩蓋115，當(dāng)罩蓋115或底 盤110至少其中之一為導(dǎo)體材質(zhì)時(shí)，可以對(duì)對(duì)象10產(chǎn)升屏蔽作用，避免不必要 的電荷累積產(chǎn)生，可達(dá)到靜電防護(hù)的功效。
根據(jù)本實(shí)用新型另一較佳實(shí)施例，提供一容器可用以保存或傳送對(duì)象，如 圖3與所示，此容器300是一光罩盒，包含了一第一蓋體302與一第二蓋體304， 第一蓋體302具有一內(nèi)部區(qū)域306,第二蓋體304是用以隔絕內(nèi)部區(qū)域306與外 在環(huán)境。第二蓋體304可以是一體成型，亦可以是由框體和門體所組成。第二 蓋體304面對(duì)內(nèi)部區(qū)域306的表面可設(shè)置一底盤310(未繪示)。
如圖3與圖4所示，底盤310包括第三防呆裝置312a、 312b。罩蓋315的 邊緣即為第四防呆裝置317a、 317b，當(dāng)罩蓋315以特定方向設(shè)置于底盤310上， 則第三防呆裝置312a、 312b與第四防呆裝置317a、 317b互相卡合，使底盤310 與罩蓋315的相對(duì)位置大致固定不移動(dòng)，底盤310與罩蓋315組合成一可承放 對(duì)象的空間。當(dāng)?shù)谌来粞b置312a、 312b與第四防呆裝置317a、 317b未卡合 時(shí)，該底盤310與該罩蓋315的相對(duì)位置不固定。
在本實(shí)施例中，第三防呆裝置312a、 312b是底盤310的邊墻，突出于底盤
與一第二蓋體104，
310面對(duì)內(nèi)部區(qū)域306的表面。第四防呆裝置317a、 317b是罩蓋315的邊緣， 底盤的邊墻310與罩蓋315的邊緣互相對(duì)應(yīng)，使得第四防呆裝置得以抵靠第三 防呆裝置，組合成一可承放對(duì)象的空間。若未將罩蓋315以特定方向設(shè)置于底 盤310上，則第三防呆裝置312a、 312b與第四防呆裝置317a、 317b不相對(duì)應(yīng)， 使得罩蓋315與底盤310無法互相密合，無法達(dá)成安全運(yùn)送對(duì)象的目的。
根據(jù)本實(shí)用新型又一較佳實(shí)施例，提供一容器可用以保存或傳送對(duì)象，如 圖5A所示，此容器400是一光罩盒，包含了一第一蓋體402與一第二蓋體404， 第一蓋體402具有一內(nèi)部區(qū)域406，第二蓋體404是用以隔絕內(nèi)部區(qū)域406與外 在環(huán)境。第二蓋體404是由框體4041和門體4042所組成，框體404面對(duì)內(nèi)部 區(qū)域406的部分包含至少一個(gè)第五防呆裝置412。容器400另包含一罩蓋415， 罩蓋415是設(shè)置在第二蓋體404上，罩蓋415包括至少一第六防呆裝置417，當(dāng) 第六防呆裝置417與第五防呆裝置412互相對(duì)應(yīng)時(shí)，罩蓋415與第二蓋體404 組合成一可承放對(duì)象的空間。
本實(shí)施例中，如圖5B所示，框體4042上設(shè)置一第五防呆裝置412，是一凸 出于內(nèi)部區(qū)域的物。第六防呆裝置417是罩蓋415的彎曲部，第六防呆裝置417 形成的缺口可供第五防呆裝置412設(shè)置。當(dāng)?shù)谖宸来粞b置412與第六防呆裝置 417未互相對(duì)應(yīng)時(shí)，第二蓋體404與罩蓋415無法組合成可承放對(duì)象的空間，則 不能安全保存或傳送對(duì)象。
故，本實(shí)用新型所提供的具防呆裝置的容器，其防呆裝置的設(shè)計(jì)是與容器 原有結(jié)構(gòu)結(jié)合，可確保容器中各部位的正確放置，避免在使用過程中對(duì)容器中 的對(duì)象造成傷害；且無須螺絲鎖固，可避免微粒產(chǎn)生；亦可減少電荷累積，防 止靜電對(duì)內(nèi)部對(duì)象的傷害。
以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非用以限定本實(shí)用新型的 申請(qǐng)專利權(quán)利；同時(shí)以上的描述，對(duì)于熟知本技術(shù)領(lǐng)域的專門人士應(yīng)可明了及 實(shí)施，因此其它未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神下所完成的等效改變或修飾， 均應(yīng)包含在下述的申請(qǐng)專利范圍中。
權(quán)利要求1、一種具防呆裝置的容器，用以保存或傳送對(duì)象，其特征在于該容器包含一第一蓋體，具有一內(nèi)部區(qū)域；一第二蓋體，用以隔絕該內(nèi)部區(qū)域與外在環(huán)境，該第二蓋體包含至少一第一防呆裝置；以及一底盤，設(shè)置于該第二蓋體面對(duì)該內(nèi)部區(qū)域的表面，該底盤包含至少一第二防呆裝置；其中該第二防呆裝置與該第一防呆裝置以特定方向互相卡合時(shí)，該底盤與該第二蓋體的相對(duì)位置大致固定。
2、 如權(quán)利要求1所述的容器，其特征在于，該第二防呆裝置與第一 防呆裝置未卡合時(shí)，該底盤與該罩蓋的相對(duì)位置不固定。
3、 如權(quán)利要求1所述的容器，其特征在于，該第一防呆裝置為至少 一凹槽，該第二防呆裝置為相對(duì)該凹槽的至少一突起物。
4、 如權(quán)利要求1所述的容器，其特征在于，該第一防呆裝置為至少 一突起物，該第二防呆裝置為相對(duì)該突起物的至少一凹槽。
5、 如權(quán)利要求1所述的容器，其特征在于，該第二蓋體包括一框體 與一門體。
6、 如權(quán)利要求1所述的容器，其特征在于，該容器為光罩盒或光罩 傳送盒。
7、 如權(quán)利要求l所述的容器，其特征在于，還包含一罩蓋。
8、 如權(quán)利要求l所述的容器，其特征在于，該底盤為導(dǎo)體材質(zhì)。
9、 如權(quán)利要求8所述的容器，其特征在于，還包含一罩蓋，該罩蓋 為導(dǎo)體材質(zhì)且與該底盤電性相通。
10、 一種具防呆裝置的容器，用以保存或傳送對(duì)象，其特征在于該容 器包含一第一蓋體，具有一內(nèi)部區(qū)域；一第二蓋體，用以隔絕該內(nèi)部區(qū)域與外在環(huán)境；一底盤，設(shè)置于該第二蓋體面對(duì)該內(nèi)部區(qū)域的表面，該底盤面對(duì)該 內(nèi)部區(qū)域的表面包含至少一第三防呆裝置；以及一罩蓋，放置于該底盤上，該罩蓋包括一第四防呆裝置， 其中該第三防呆裝置以特定方向與該第四防呆裝置互相卡合時(shí)，該底盤與該罩蓋的相對(duì)位置固定不移動(dòng)，該底盤與該罩蓋組合成一可承放對(duì)象的空間。
11、 如權(quán)利要求10所述的容器，其特征在于，該第三防呆裝置與第 四防呆裝置未卡合時(shí)，該底盤與該罩蓋的相對(duì)位置不固定。
12、 如權(quán)利要求10所述的容器，其特征在于，該第三防呆裝置為至 少一邊墻。
13、 如權(quán)利要求12所述的容器，其特征在于，該邊墻是突出于該底 盤面對(duì)該內(nèi)部區(qū)域的表面。
14、 如權(quán)利要求12所述的容器，其特征在于，該邊墻是凹陷于該底 盤面對(duì)該內(nèi)部區(qū)域的表面。
15、 如權(quán)利要求12所述的容器，其特征在于，該第四防呆裝置抵靠 該邊墻。
16、 一種具防呆裝置的容器，用以保存或傳送對(duì)象，其特征在于， 該容器包含一第一蓋體，具有一內(nèi)部區(qū)域；一第二蓋體，用以隔絕該內(nèi)部區(qū)域與外在環(huán)境，該第二蓋體面對(duì)該內(nèi)部區(qū)域的部分包含至少一第五防呆裝置；以及，一罩蓋，設(shè)置于該第二蓋體上，該罩蓋包含至少一第六防呆裝置； 其中該第六防呆裝置與該第五防呆裝置以特定方向互相對(duì)應(yīng)時(shí)，該罩蓋與該第二蓋體組合成一可承放對(duì)象的空間。
17、 如權(quán)利要求16所述的容器，其特征在于，該第五防呆裝置與第 六防呆裝置未互相對(duì)應(yīng)時(shí)，該第二蓋體與該罩蓋不能組合成該可承放對(duì)象 的空間。
18、 如權(quán)利要求16所述的容器，其特征在于，該第二蓋體內(nèi)設(shè)置一 鎖固裝置，用以鎖固該第一蓋體與該第二蓋體。
19、 如權(quán)利要求18所述的容器，其特征在于，該第五防呆裝置是該 鎖固裝置的一部分。
20、如權(quán)利要求16所述的容器，其特征在于，該第六防呆裝置是該 罩蓋的彎曲部。
專利摘要本實(shí)用新型一種具防呆裝置的容器，其是由一個(gè)第一蓋體及一個(gè)第二蓋體組合而成；容器中尚包括一底盤，設(shè)置于第二蓋體上，與第二蓋體形成可容納對(duì)象的空間；第二蓋體包含至少一第一防呆裝置；底盤包含至少一第二防呆裝置；當(dāng)?shù)诙来粞b置與第一防呆裝置互相卡合時(shí)，底盤與第二蓋體的相對(duì)位置固定。本實(shí)用新型的防呆裝置的設(shè)計(jì)是與容器原有結(jié)構(gòu)結(jié)合，可確保容器中各部位的正確放置，避免在使用過程中對(duì)容器中的對(duì)象造成傷害。
文檔編號(hào)G03F7/20GK201194222SQ20082000719
公開日2009年2月11日 申請(qǐng)日期2008年3月12日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月12日
發(fā)明者林志銘, 邱銘乾 申請(qǐng)人:家登精密工業(yè)股份有限公司