具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具的制作方法
【專利摘要】本實用新型是有關(guān)于一種具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具，包括有:一承置臺、一滑設(shè)于承置臺的滑桿、一固設(shè)于滑桿上的立桿及一固設(shè)于立桿上的推桿，防呆機構(gòu)包括有:二壓柱、四擋塊、一第一連桿及一第二連桿。二壓柱穿設(shè)于承置臺上，包括有一第一壓柱及一第二壓柱;四擋塊設(shè)置于承置臺下方，包括有一第一擋塊、一第二擋塊、一第三擋塊及一第四擋塊;第一連桿，分別連接第二壓柱及第二擋塊與第三擋塊;第二連桿則分別連接第一壓柱及第一擋塊與第四擋塊。由此，可避免因置放于承置臺上的二個晶舟未確實定位時，移動晶圓所可能造成晶圓碰撞或刮傷。
【專利說明】具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型是關(guān)于一種晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具，特別是有關(guān)于一種具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具。
【背景技術(shù)】
[0002]請參閱圖1是已知晶舟(cassette)的抽片移轉(zhuǎn)本意圖，一般而目，多個晶圓(wafer) 91是先一起存放于一具有多個承置槽901的第一晶舟90內(nèi)，每一晶圓91分別存放于每一承置槽901，以方便作業(yè)人員或機器設(shè)備的機械手臂取拿。
[0003]如圖1所本，晶圓91在后續(xù)流程中檢驗時，若有必要，需從第一晶舟90中進行抽片移轉(zhuǎn)至第二晶舟95的承置槽951，以檢驗晶圓91是否正常。其轉(zhuǎn)換過程是先將第一晶舟90與第二晶舟95分別依序相鄰置放于工作桌上，作業(yè)人員再利用右手握住真空筆去吸附取拿第一晶舟90的晶圓91的支持框，此時作業(yè)人員需避免真空筆去碰觸到晶圓91的晶面，再將晶圓91放置于第二晶舟95的承置槽951上。
[0004]于轉(zhuǎn)換過程中，若真空筆的吸力突然不夠，或者作業(yè)人員突然碰觸到真空筆的吸力釋放鍵，則晶圓91會滑落，容易導(dǎo)致晶圓91刮傷、缺角或破片等情形。此時，若作業(yè)人員正好跨越第一晶舟90與第二晶舟95的上方，則將造成多片晶圓91相互碰撞而導(dǎo)致刮傷碎裂，并非十分理想。
[0005]請參閱圖2是另一已知晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具的抽片移轉(zhuǎn)小:意圖，其是利用一晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具來將第一晶舟88上的多個晶圓881移轉(zhuǎn)至第二晶舟89上，該治具包括有:一具有多個支撐座85的承置臺80、一滑桿81、一立桿82、及一推桿84。立桿82固設(shè)于滑桿81的一端，且立桿82具有一直向槽孔821。推桿84的二端分別固設(shè)有一推鏟842及一操作桿83，操作桿83可滑設(shè)于立桿82的直向槽孔821中，故推桿84可通過操作桿83來調(diào)整推桿84的高度，以選擇所要移轉(zhuǎn)的第一晶舟88上的晶圓881，將的移轉(zhuǎn)至第二晶舟89上。
[0006]圖2所示的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具，并無防呆的機構(gòu)，需操作人員先確認二個對應(yīng)的晶舟的位置，保持精確的位置，方能進行晶圓的轉(zhuǎn)換作業(yè)，然操作人員有時會疏忽，沒有確認晶舟擺放位置是否正確，即進行晶圓的轉(zhuǎn)換作業(yè)，容易導(dǎo)致晶圓于轉(zhuǎn)換時，產(chǎn)生晶圓刮傷、破裂等意外，亦非十分理想，尚有改善的空間。
[0007]創(chuàng)作人原因于此，本于積極發(fā)明創(chuàng)作的精神，亟思一種可以解決上述問題的“具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具”，幾經(jīng)研究實驗終至完成本實用新型。
實用新型內(nèi)容
[0008]本實用新型的主要目的是在提供一種具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具，以便能當(dāng)置放于承置臺上的二個晶舟未確實定位時，晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具的滑塊會阻擋滑桿的左右滑移，使得推桿無法左右滑移，亦即使作業(yè)人員無法利用推桿上的推鏟來移轉(zhuǎn)晶圓，可避免因晶舟未確實定位時，仍移動晶圓所可能造成晶圓碰撞或刮傷。
[0009]為達成上述目的，本實用新型的具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具，該晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具包括有:一承置臺、一滑設(shè)于該承置臺的滑桿、一固設(shè)于該滑桿上的立桿及一固設(shè)于該立桿上的推桿，其特征在于，該防呆機構(gòu)包括有:
[0010]二壓柱，穿設(shè)于該承置臺，包括有一第一壓柱及一第二壓柱；
[0011]四擋塊，設(shè)置于該承置臺下方，包括有一第一擋塊、一第二擋塊、一第三擋塊及一第四擋塊；
[0012]一第一連桿，分別與該第二壓柱、該第二擋塊及該第三擋塊相連；以及
[0013]一第二連桿，分別與該第一壓柱、該第一擋塊及該第四擋塊相連。
[0014]其中，該第一連桿連結(jié)一第一樞轉(zhuǎn)軸。
[0015]其中，該第二連桿連結(jié)一第二樞轉(zhuǎn)軸。
[0016]其中，該滑桿上連結(jié)一滑塊，該第一壓柱可選擇式下壓或未下壓，對應(yīng)促使該第一擋塊及該第四擋塊底緣的水平高度高于或低于該滑塊頂緣的水平高度。
[0017]其中，該第二壓柱可選擇式下壓或未下壓，對應(yīng)地促使該第二擋塊及該第三擋塊底緣的水平高度高于或低于該滑塊頂緣的水平高度。
[0018]該防呆機構(gòu)還包括有一復(fù)位連桿、一重力塊、一橫桿、一第一支桿及一第二支桿，該復(fù)位連桿、該重力塊及該橫桿依序相連，該橫桿與該第一連桿相連，該第一支桿的二端分別與該橫桿及該第四擋塊相連，該第二支桿的二端分別與該橫桿及該第一擋塊相連。
[0019]其中，該重力塊呈契形狀，該第一樞轉(zhuǎn)軸穿設(shè)于該重力塊及該第一連桿，該復(fù)位連桿可選擇式內(nèi)推或未內(nèi)推，對應(yīng)促使該四擋塊底緣的水平高度高于或低于該滑塊頂緣的水平高度。
[0020]其中，該承置臺下底面設(shè)有多個支撐座，該滑桿穿設(shè)該多個支撐座。
[0021]其中，該復(fù)位連桿、該重力塊及該橫桿為一體式結(jié)構(gòu)。
[0022]本實用新型的有益效果是，其可避免因晶舟未確實定位時，仍移動晶圓所可能造成晶圓碰撞或刮傷。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]以下，配合附圖列舉較佳實施例，用以對本實用新型的內(nèi)容作進一步說明，其中:
[0024]圖1是已知晶舟的抽片移轉(zhuǎn)示意圖。
[0025]圖2是另一已知晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具的抽片移轉(zhuǎn)示意圖。
[0026]圖3是本實用新型一較佳實施例的具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具的立體圖。
[0027]圖4是本實用新型一較佳實施例的具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具的另一不同視角立體圖。
[0028]圖5是本實用新型一較佳實施例的具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具的側(cè)視示意圖。
[0029]圖6是本實用新型一較佳實施例的具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具的動作原理
(一)本意圖。
[0030]圖7是本實用新型一較佳實施例的具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具的動作原理
(二)示意圖。
[0031]圖8A是本實用新型一較佳實施例的具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具的復(fù)位動作原理(一)本意圖。[0032]圖8B是本實用新型一較佳實施例的具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具的復(fù)位動作原理(二)示意圖。
【具體實施方式】
[0033]請參閱圖3與圖4，其分別為本實用新型一較佳實施例具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具二不同視角立體圖。本實施例的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具包括有:一承置臺10、二滑設(shè)于承置臺10的滑桿11、12、四支撐座15、16、17、18、一滑塊33、一固設(shè)于滑桿19上的立桿14及一固設(shè)于立桿14的推桿13，推桿上固設(shè)有一推鏟131，可用以移轉(zhuǎn)晶舟(示于圖6)上的晶圓(圖未示)。
[0034]在本實施例中，滑桿11、12及滑桿19是經(jīng)由滑塊33而連成一體式結(jié)構(gòu)。亦即，二滑桿11、12、滑桿19及滑塊33是可一起水平左右連動滑移。另，滑桿11穿設(shè)于二支撐座15、16間，滑桿12穿設(shè)二支撐座17、18間，由此，使二滑桿11、12可平順地水平左右滑移，進而使滑桿19也可平順地水平左右滑移。
[0035]如圖所示，晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具的防呆機構(gòu)包括有:四壓柱51、52、四擋塊41、42、43、44、二第一連桿21、22、二第二連桿23、24、一復(fù)位連桿28、一橫桿32、一第一支桿25、一第二支桿26及一重力塊31。其中，四壓柱51、52穿設(shè)于承置臺10，四壓柱包括有二第一壓柱51及二第二壓柱52。四擋塊設(shè)置于承置臺10下方，四擋塊41、42、43、44包括有一第一擋塊41、一第二擋塊42、一第三擋塊43及一第四擋塊44。在本實施例中，復(fù)位連桿28、重力塊31及橫桿32是為一體式結(jié)構(gòu)。
[0036]此外，第一連桿21分別與第二壓柱52及第二擋塊42相連，另第一連桿22則分別與第二壓柱52及第三擋塊43相連，二第一連桿21、22共同連結(jié)一第一樞轉(zhuǎn)軸211。另外，第二連桿23分別與第一壓柱51及第一擋塊41相連，另第二連桿24則分別與第一壓柱51及第四擋塊44相連，第二連桿23連結(jié)一第二樞轉(zhuǎn)軸231，另第二連桿24連結(jié)一第二樞轉(zhuǎn)軸241。
[0037]請參閱圖5、圖6及圖7，其分別本實用新型一較佳實施例的具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具的側(cè)視示意圖、及動作原理(一)(二)示意圖，并請一并參閱圖3。如圖5所示，若承置臺10上未置放任何晶舟時，四壓柱51、52是凸出于承置臺10上，此時，四擋塊41、42、43、44會阻擋限制滑塊33向左滑移，亦即，滑桿19不能向左滑移。
[0038]如圖6所示，當(dāng)要進行晶圓轉(zhuǎn)換作業(yè)，亦即操作人員要將第一晶舟56上的晶圓移轉(zhuǎn)至第二晶舟57 (示于圖7)上時，需第一晶舟56確實定位，方能通過第一晶舟56的重量將二第一壓柱51下壓，經(jīng)由第二連桿23所連結(jié)的第二樞轉(zhuǎn)軸231及第二連桿24所連結(jié)的第二樞轉(zhuǎn)軸241，對應(yīng)促使第一擋塊41及第四擋塊44可上移至其底緣的水平高度高于滑塊33頂緣的水平高度。亦即，使第一擋塊41及第四擋塊44不會阻擋限制滑塊33向左滑移，但此時第二擋塊42及第三擋塊43仍會阻擋限制滑塊33向左滑移，滑桿19仍不能向左滑移。
[0039]如圖7所示，當(dāng)?shù)诙е?7確實定位，方能通過第二晶舟57的重量將二第二壓柱52下壓，經(jīng)由二第一連桿21、22所共同連結(jié)的第一樞轉(zhuǎn)軸211，對應(yīng)地促使第二擋塊42及第三擋塊43可上移至其底緣的水平高度高于該滑塊33頂緣的水平高度。亦即，第二擋塊42及第三擋塊43不會阻擋限制滑塊33向左滑移，此時，四擋塊41、42、43、44皆不會阻擋限制滑塊33向左滑移，滑桿19方能向左滑移。換言之，需第一晶舟56與第二晶舟57皆確實定位，方能執(zhí)行晶圓的移轉(zhuǎn)作業(yè)。
[0040]請參閱圖8A及圖8B，其分別為本實用新型一較佳實施例的具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具的復(fù)位動作原理(一)及(二)示意圖，并請一并參閱圖3。本實施例的復(fù)位原理是通過復(fù)位連桿28、重力塊31及橫桿32依序相連，橫桿32與二第一連桿21，22相連，第一支桿25的二端分別與橫桿32及第四擋塊44相連，第二支桿26的二端分別與橫桿32及第一擋塊41相連。
[0041]在本實施例中，重力塊31是呈契形狀，第一樞轉(zhuǎn)軸211穿設(shè)于重力塊31及二第一連桿21、22，當(dāng)復(fù)位連桿28向右推時，可對應(yīng)促使四擋塊41、42、43、44上移至其底緣的水平高度高于滑塊33頂緣的水平高度，此時，四擋塊41、42、43、44皆不會阻擋限制滑塊33向左滑移，滑桿19可左右滑移。
[0042]由此，本實施例的防呆機構(gòu)，當(dāng)置放于承置臺10上的二個晶舟56、57未確實定位時，晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具的滑塊33會阻擋滑桿19的向左滑移，使得推桿13無法前后滑移，亦即使作業(yè)人員無法移轉(zhuǎn)晶圓，可避免因晶舟56、57未確實定位時，仍移動晶圓所可能造成晶圓碰撞或刮傷。
[0043]此外，本實施例的復(fù)位機構(gòu)，當(dāng)復(fù)位連桿28向右推時，可同時使四擋塊41、42、43、44上移至其底緣的水平高度高于滑塊33頂緣的水平高度，進而促使滑桿19可左右滑移，可便于操作人員排除故障。
[0044]上述實施例僅是為了方便說明而舉例而已，本實用新型所主張的權(quán)利范圍自應(yīng)以權(quán)利要求范圍所述為準(zhǔn)，而非僅限于上述實施例。
【權(quán)利要求】
1.一種具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具，該晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具包括有:一承置臺、一滑設(shè)于該承置臺的滑桿、一固設(shè)于該滑桿上的立桿及一固設(shè)于該立桿上的推桿，其特征在于，該防呆機構(gòu)包括有: 二壓柱，穿設(shè)于該承置臺，包括有一第一壓柱及一第二壓柱； 四擋塊，設(shè)置于該承置臺下方，包括有一第一擋塊、一第二擋塊、一第三擋塊及一第四擋塊； 一第一連桿，分別與該第二壓柱、該第二擋塊及該第三擋塊相連；以及 一第二連桿，分別與該第一壓柱、該第一擋塊及該第四擋塊相連。
2.如權(quán)利要求1所述的具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具，其特征在于，其中，該第一連桿連結(jié)一第一樞轉(zhuǎn)軸。
3.如權(quán)利要求1所述的具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具，其特征在于，其中，該第二連桿連結(jié)一第二樞轉(zhuǎn)軸。
4.如權(quán)利要求2所述的具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具，其特征在于，其中，該滑桿上連結(jié)一滑塊，該第一壓柱可選擇式下壓或未下壓，對應(yīng)促使該第一擋塊及該第四擋塊底緣的水平高度高于或低于該滑塊頂緣的水平高度。
5.如權(quán)利要求4所述的具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具，其特征在于，其中，該第二壓柱可選擇式下壓或未下壓，對應(yīng)地促使該第二擋塊及該第三擋塊底緣的水平高度高于或低于該滑塊頂緣的水平高度。
6.如權(quán)利要求4所述的具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具，其特征在于，該防呆機構(gòu)還包括有一復(fù)位連桿、一重力塊、一橫桿、一第一支桿及一第二支桿，該復(fù)位連桿、該重力塊及該橫桿依序相連，該橫桿與該第一連桿相連，該第一支桿的二端分別與該橫桿及該第四擋塊相連，該第二支桿的二端分別與該橫桿及該第一擋塊相連。
7.如權(quán)利要求6所述的具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具，其特征在于，其中，該重力塊呈契形狀，該第一樞轉(zhuǎn)軸穿設(shè)于該重力塊及該第一連桿，該復(fù)位連桿可選擇式內(nèi)推或未內(nèi)推，對應(yīng)促使該四擋塊底緣的水平高度高于或低于該滑塊頂緣的水平高度。
8.如權(quán)利要求1所述的具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具，其特征在于，其中，該承置臺下底面設(shè)有多個支撐座，該滑桿穿設(shè)該多個支撐座。
9.如權(quán)利要求6所述的具防呆機構(gòu)的晶舟抽片移轉(zhuǎn)治具，其特征在于，其中，該復(fù)位連桿、該重力塊及該橫桿為一體式結(jié)構(gòu)。
【文檔編號】H01L21/677GK203607380SQ201320624955
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2013年10月10日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月10日
【發(fā)明者】劉方軍 申請人:京隆科技(蘇州)有限公司