專利名稱：涂布方法以及圖案形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在濾色器或有機(jī)EL (電致發(fā)光)顯示裝置等的制 造中，通過噴墨往基板上涂布涂布液的涂布方法以及使用該方法的圖 案形成方法。
背景技術(shù)：
例如，在濾色器的制造中，將紅色、綠色、藍(lán)色3種顏色，或者 這些顏色加上黑色的4種顏色的彩色抗蝕劑(色彩k^7卜)涂布于 規(guī)定的圖案上，最近，研究了噴墨涂布作為將這樣幾種材料涂布到同 一基板上的技術(shù)(例如，日本特開平1-217302號(hào)公報(bào)、日本特開平 7-72325號(hào)公報(bào)、日本特開平7-146406號(hào)公報(bào))。所謂噴墨涂布是將彩 色印刷中廣泛應(yīng)用的噴墨印刷的原理應(yīng)用到濾色器等的涂布中的方 法，有通過每個(gè)噴嘴噴出不同顏色的彩色抗蝕液，能夠同時(shí)形成3色 或4色的濾色器薄膜的優(yōu)點(diǎn)。
采用噴墨涂布進(jìn)行多種顏色的彩色抗蝕劑的涂布時(shí)，可能產(chǎn)生某 區(qū)域中涂布的彩色抗蝕劑流到相鄰區(qū)域的問題，為了避免這樣的問題， 采用以下方法，即設(shè)置隔開不同區(qū)域用的被稱為岸壁(^y夕)的隔 壁部材，在岸壁包圍的區(qū)域內(nèi)涂布彩色抗蝕液(日本特開平10-133194 號(hào)公報(bào))的方法。
然而，噴墨涂布的情況下，從原理上講，未必能夠以充分的精度 往目標(biāo)位置上噴出彩色抗蝕液。為此，從往被岸壁包圍的區(qū)域內(nèi)準(zhǔn)確 地供給彩色抗蝕液的觀點(diǎn)考慮，提出了通過用CF4氣體的等離子體處 理對(duì)整個(gè)表面進(jìn)行疏水處理后，用02氣體的等離子體對(duì)基板面進(jìn)行親 水處理，僅選擇性地使岸壁的表面為疏水性，從而校正彩色抗蝕液的 滴下位置的技術(shù)(日本特開2002-372921號(hào)公報(bào))。
但是，即使通過這樣的疏水處理也不能充分地校正彩色抗蝕液的 滴下位置，如果要在岸壁包圍的整個(gè)區(qū)域內(nèi)填充彩色抗蝕液，則會(huì)產(chǎn) 生越過岸壁流到鄰接的區(qū)域內(nèi)的不理想狀況。另外，通過疏液處理像 岸壁側(cè)面為疏水性，則會(huì)排斥彩色抗蝕液使其不能充分地填充，從而 可能產(chǎn)生光泄露。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種涂布方法以及圖案形成方法，其可以借 助于噴墨涂布在基板上所形成的岸壁內(nèi)以良好的精度填充涂布膜.
根據(jù)本發(fā)明的笫1觀點(diǎn)，提供一種涂布方法，其往基板上被岸壁 包圍的區(qū)域內(nèi)利用噴墨方式供給涂布液形成涂布膜，然后使該涂布膜 軟化流動(dòng)，從而將該涂布膜填充到上述岸壁包圍的區(qū)域內(nèi)。
上述第1觀點(diǎn)中，也可以在利用上述噴墨方式供給涂布液之后使 涂布膜固化。也可以在對(duì)上述岸壁的表面進(jìn)行疏液處理，對(duì)被上述岸 壁包圍的區(qū)域借助于噴墨供給涂布液之后，使涂布膜軟化、流動(dòng)之前 對(duì)上述岸壁的表面進(jìn)行親液處理。另外，上述涂布膜的軟化，優(yōu)選通 過將上述涂布膜暴露在有機(jī)溶劑氣氛中進(jìn)行。還有，上述岸壁所包圍 的區(qū)域，可以在應(yīng)該分別形成多種色彩的各涂布膜的位置上形成多個(gè)， 在這種情況下，上述涂布液可采用彩色抗蝕液，上述涂布膜可采用作
為濾色層的彩色抗蝕薄膜、或者作為有機(jī)EL層的彩色抗蝕薄膜。此外， 上述涂布膜可采用各種有機(jī)膜或無機(jī)膜。
通過使上述涂布膜軟化、流動(dòng)，而將該涂布膜填充到被上述岸壁 包圍的區(qū)域內(nèi)的處理，可以是對(duì)偏向上述岸壁所包圍的區(qū)域形成的涂 布膜的位置進(jìn)行校正的處理；又可以是上述岸壁所包圍的區(qū)域具有角 部時(shí)，使上述涂布膜遍及該角部的處理；還可以是上述涂布液為高粘 度液體時(shí)，使涂布膜遍及上述岸壁所包圍區(qū)域的外周部的處理。
根據(jù)本發(fā)明的第2觀點(diǎn)，提供一種圖案形成方法，其是在基板上 由涂布膜形成薄膜圖案的圖案形成方法，具有在基板上以包圍預(yù)定 的薄膜形成區(qū)域的方式形成岸壁的工序；往上述岸壁所包圍的預(yù)定的 薄膜形成區(qū)域內(nèi)利用噴墨供給涂布液，形成涂布膜構(gòu)成的薄膜的工序； 以及通過使上述薄膜軟化、流動(dòng)，從而將該薄膜填充到上述岸壁所包 圍的區(qū)域內(nèi)的工序。
上述第2觀點(diǎn)中，也可以還具有在形成上述涂布膜構(gòu)成的薄膜之 后將薄膜固化的工序。另外，又可以預(yù)先對(duì)上述岸壁的表面進(jìn)行疏液 處理，往上述岸壁所包圍的預(yù)定的薄膜形成區(qū)域內(nèi)利用噴墨供給涂布 液之后，在使薄膜軟化、流動(dòng)之前對(duì)上述岸壁的表面進(jìn)行親液處理。 而且，優(yōu)選上述薄膜的軟化通過將上述薄膜暴露在有機(jī)溶劑氣氛中進(jìn) 行。進(jìn)一步，上述岸壁所包圍的預(yù)定的薄膜形成區(qū)域，可以在應(yīng)該分別形成多種色彩的各薄膜的位置上形成多個(gè)。這時(shí)，上述涂布液為彩 色抗蝕液，上述薄膜為彩色抗蝕薄膜，以此可形成濾色層的圖案或者
有機(jī)EL層的圖案。此外，上述涂布膜可用各種有機(jī)膜或無機(jī)膜.
通過使上述涂布膜軟化、流動(dòng)，而將該涂布膜填充到被上述岸壁 包圍的區(qū)域內(nèi)的處理，可以是對(duì)偏向上述岸壁所包圍的區(qū)域形成的涂 布膜的位置進(jìn)行校正的處理；另外,上述岸壁所包圍的預(yù)定的薄膜形 成區(qū)域具有角部時(shí)，也可以是使上述薄膜遍及該角部的處理；還有， 上述涂布液為高粘度液體時(shí)，還可以是使薄膜遍及上述岸壁所包圍的 預(yù)定的薄膜形成區(qū)域的外周部的處理。
根據(jù)本發(fā)明的第3觀點(diǎn)，提供一種存儲(chǔ)媒體，所述存儲(chǔ)媒體存儲(chǔ) 了在計(jì)算機(jī)上工作、控制處理系統(tǒng)的程序，其中，上述程序在運(yùn)行時(shí)， 使計(jì)算機(jī)控制所述處理系統(tǒng)，實(shí)施以下所述的涂布方法向基板上被 岸壁所包圍的區(qū)域內(nèi)利用噴墨方式供給涂布液形成涂布膜，然后通過 使該涂布膜軟化、流動(dòng)，從而將該涂布膜填充到上述岸壁所包圍的區(qū) 域內(nèi)。
在這種情況下，上述涂布方法，也可以是在通過上述噴墨方式供 給涂布液之后使涂布膜固化的方法。
根據(jù)本發(fā)明的第4觀點(diǎn)，提供一種存儲(chǔ)媒體，所迷存儲(chǔ)媒體存儲(chǔ) 了在計(jì)算機(jī)上工作、控制處理系統(tǒng)的程序，其中，上述程序在運(yùn)行時(shí)， 使計(jì)算機(jī)控制所述處理系統(tǒng)，實(shí)施在基板上由涂布膜形成薄膜圖案的 圖案形成方法，所述圖案形成方法具有在基板上以包圍預(yù)定的薄膜 形成區(qū)域的方式形成岸壁的工序；向上述岸壁所包圍的預(yù)定的薄膜形 成區(qū)域內(nèi)利用噴墨供給涂布液，形成由涂布膜構(gòu)成的薄膜的工序；通 過使上述薄膜軟化、流動(dòng)，從而將該薄膜填充到上述岸壁所包圍的區(qū) 域內(nèi)的工序。
在這種情況下，上述圖案形成方法，還可以進(jìn)一步具有在形成上 述涂布膜構(gòu)成的薄膜之后使薄膜固化的工序。
根據(jù)本發(fā)明，可以在利用噴墨涂布形成涂布膜之后，利用軟熔處 理展開涂布膜，因此可以使涂布膜高精度地填充到岸壁內(nèi)的區(qū)域中。


圖1是表示本發(fā)明的一種實(shí)施方式的彩色抗蝕圖案的形成方法的 流程圖。圖2是用于說明本發(fā)明一種實(shí)施方式的彩色抗蝕圖案的形成方法 的各工序的工序斷面圖.
圖3是表示噴墨涂布中彩色抗蝕液的滴下位置以及所形成的薄膜 的偏移的圖。
圖4是表示噴墨涂布中彩色抗蝕液的滴下位置的偏移以及所形成 的薄膜的偏移的圖。
圖5是表示用軟熔處理(y 7口一処理)校正噴墨涂布中薄膜的
偏移的狀態(tài)的圖。
圖6是表示在具有角部的區(qū)域中用噴墨涂布形成薄膜的狀態(tài)，以 及之后進(jìn)行軟熔處理使薄膜遍及角部的狀態(tài)的圖。
圖7是表示使用高粘度抗蝕劑進(jìn)行噴墨涂布的狀態(tài)，以及使通過 軟熔處理使涂布高粘度抗蝕劑所形成的薄膜遍及預(yù)定的薄膜形成區(qū)域 的外周部的狀態(tài)的圖。
圖8是表示本發(fā)明的一種實(shí)施方式的實(shí)施圖案形成方法的處理系 統(tǒng)及其控制系統(tǒng)的例子的框圖。
符號(hào)說明
1:玻璃基板
2:岸壁
3:預(yù)定的薄膜形成區(qū)域
4:疏水面
5:噴嘴
6:彩色抗蝕液
7:彩色抗蝕薄膜
9:淡色部分
10:脫色部分
12:角部
13:外周部
100:處理系統(tǒng)
103:噴墨涂布裝置
104:固化裝置
106:軟熔處理裝置
108:程序控制器110:存儲(chǔ)部
具體實(shí)施例方式
以下參照

本發(fā)明的實(shí)施方式，
這里，以在液晶顯示裝置的濾色器上涂布彩色抗蝕劑，形成彩色 抗蝕圖案的方法作為例子進(jìn)行說明.
圖1是表示本發(fā)明一實(shí)施方式的彩色抗蝕圖案的形成方法的流程 圖，圖2是用于說明各工序的工序斷面圖。
首先，如圖2 (a)所示，在玻璃基板l上利用光刻法形成樹脂制 的岸壁2，規(guī)定多個(gè)預(yù)定的薄膜形成區(qū)域3 (步驟1)。該預(yù)定的薄膜 形成區(qū)域3形成在應(yīng)該形成紅色、綠色、藍(lán)色3種顏色的，或者這些 加上黑色4種顏色的各彩色抗蝕薄膜的位置上。
然后，例如通過使用如CF4氣體那樣的含氟氣體的常壓等離子體 對(duì)薄膜基板1的整個(gè)表面實(shí)施對(duì)抗彩色抗蝕液的疏液處理(疏水處理)， 形成疏水面4 (步驟2，圖2 (b))。然后，通過用02氣體的等離子 體進(jìn)行處理而使玻璃基板l表面的氟濺起，而實(shí)現(xiàn)親水化(步驟3，圖 2 (c))。
該狀態(tài)中，通過噴墨涂布從噴嘴5將作為涂布液的特定顏色的彩 色抗蝕液6噴到預(yù)定的薄膜形成區(qū)域3，形成作為濾色層的彩色抗蝕薄 膜7(步驟4，圖2(d))。如上所述，噴墨涂布是將彩色印刷中廣泛 應(yīng)用的噴墨印刷的原理應(yīng)用到濾色器等的涂布中的方法，紅色、綠色、 藍(lán)色3種顏色，或者這些顏色加上黑色的4種顏色的彩色抗蝕液每一 種分別使用不同的噴嘴進(jìn)行，以使鄰接的預(yù)定的薄膜形成區(qū)域3滴下 互不相同的顏色的彩色抗蝕液。以此可以同時(shí)形成3色或4色的濾色 層。
在這種情況下，由于在岸壁2上實(shí)施疏水處理而形成疏水面4，因 此即使利用噴墨方式自噴嘴5噴出的彩色抗蝕液6的滴下位置有些許 偏離，也可以沿著岸壁2的側(cè)面校正至中心位置。這里，彩色抗蝕液6 的供給量限于少量，以使其不從預(yù)定的薄膜形成區(qū)域3溢出。在這一 階段，通過疏水面4的防御等，使彩色抗蝕液6沒有遍及預(yù)定的薄膜 形成區(qū)域3的整個(gè)表面，而形成間隙。
然后，在岸壁2的表面涂布親水化液體，或者實(shí)施UV照射處理等， 以除去岸壁2表面的疏水部分，實(shí)現(xiàn)全面親水化(步驟5，圖2(e))。其后，根據(jù)需要采用適當(dāng)?shù)姆椒ㄊ顾纬傻牟噬刮g薄膜7固化 (步驟6，圖2(f))。這時(shí)無論固化的方法如何，可以采取減壓干燥 等不加熱的干燥方法使其固化，也可以加熱使其固化.在搬送中彩色 抗蝕薄膜7的變形等不成為問題的情形下，該固化工序不是必需的，
該狀態(tài)下，將彩色抗蝕薄膜7暴露在稀釋劑等有機(jī)溶劑的氣氛中 使其軟化、流動(dòng)(軟熔)(步驟7，圖2 (g))。以此使彩色抗蝕薄 膜7在預(yù)定的薄膜形成區(qū)域3的整個(gè)表面上展開，平坦化，并遮蓋預(yù) 定的薄膜形成區(qū)域3上形成的間隙。該軟熔處理，如例如日本特開 2002-334830號(hào)公報(bào)中所公開的那樣，作為為了省略光刻技術(shù)用的圖案 形成工序，而改變抗蝕圖案的形狀的技術(shù)而開發(fā)。該軟熔處理，可以 在將玻璃基板1放置在腔室內(nèi)的載置臺(tái)上的狀態(tài)下，借助于沸騰等將 溶劑蒸汽導(dǎo)入腔室內(nèi)進(jìn)行.
這樣在噴墨涂布后進(jìn)行軟熔處理的情況下，彩色抗蝕液的量即使 較少也可以遍及預(yù)定的薄膜形成區(qū)域3的整個(gè)表面，因此可以減少噴 墨涂布時(shí)彩色抗蝕液的供給量。在這種情況下，彩色抗蝕薄膜7的膜 厚變薄，但是可以通過設(shè)定較高的初期抗蝕劑濃度，或者加重色濃度 來解決。軟熔處理之后，根據(jù)需要進(jìn)行加熱處理。借助于此，形成由 彩色抗蝕劑構(gòu)成的薄膜的所期望的圖案.
通過這樣將噴墨涂布和軟熔處理加以組合，可以得到如下所述的 較大的優(yōu)點(diǎn)。
(1) 噴墨涂布本質(zhì)上未必能夠充分地處理微小圖案，因此如圖3 (a)所示，彩色抗蝕液6的滴下位置在預(yù)定的薄膜形成區(qū)域3中有偏
向，這時(shí)，如圖3(b)所示，所形成的彩色抗蝕薄膜7的位置也有偏 向，產(chǎn)生顏色淡的部分(淡色部分)9。又如圖4(a)所示，還存在滴 下位置偏移， 一部分滴在岸壁2上的情況，這時(shí)如圖4(b)所示，彩 色抗蝕薄膜7的位置也進(jìn)一步偏移，產(chǎn)生顏色脫落部分(脫色部分) 10，從而存在發(fā)生漏光的部分。相反，通過采用軟熔處理使彩色抗蝕 薄膜7流動(dòng)，從而能夠?qū)θ鐖D3 (b)或圖4 (b)所示的薄膜7的偏移 進(jìn)行如圖5(a)、 (b)所示的校正，防止淡色部分或脫色部分的產(chǎn)生。
(2) 已有的噴墨涂布中，彩色抗蝕劑的滴下位置即使有些偏移， 也由于增加彩色抗蝕液的噴出量，使彩色抗蝕劑遍及預(yù)定的薄膜形成 區(qū)域3的整個(gè)表面，所以彩色抗蝕液可能超出岸壁2而流出，發(fā)生混色.相對(duì)而言，在采用軟熔處理的情況下，噴出時(shí)彩色抗蝕液不一定
要遍及預(yù)定的薄膜形成區(qū)域3的整個(gè)表面，因此可使彩色抗蝕液的噴 出量減少，使其不容易發(fā)生上述流出現(xiàn)象。
(3 )由于噴墨涂布是滴下液體使液體填充到岸壁2所包圍的區(qū)域 中的涂布，由于液體的表面張力容易使噴出形狀為圓形，因此，當(dāng)岸 壁2所包圍的區(qū)域的形狀存在如角部的形狀時(shí)，如圖6(a)所示，彩 色抗蝕液6不能達(dá)到角部12，該部分容易發(fā)生脫色。與其相比，通過 采用軟熔處理使彩色抗蝕薄膜7流動(dòng)，從而如圖6 (b)所示，能夠使 薄膜7遍及角落12，使脫色部分不容易產(chǎn)生。
(4)使用高粘度抗蝕劑時(shí)，由于噴墨涂布時(shí)抗蝕劑噴出量可以是 少量，因而可以降低抗蝕劑用量，不容易滴在岸壁2上發(fā)生混色，但 是高粘度抗蝕劑的流動(dòng)性較差，而且只滴下少量液體，因此彩色抗蝕 液難以遍及預(yù)定的薄膜形成區(qū)域3的外周部。因此，如圖7(a)所示， 外周部13容易發(fā)生脫色。相對(duì)而言，通過采用軟熔處理，即使在使用 高粘度抗蝕劑時(shí)，也可以使彩色抗蝕薄膜7流動(dòng)，可以如圖7 (b)所 示那樣使薄膜7遍及預(yù)定的薄膜形成區(qū)域3的外周部而在整個(gè)表面上 展開.
另外，步驟2的疏水面4的形成以及步驟3的玻璃基板l的表面的 親水化處理并不是必須進(jìn)行的，不進(jìn)行這些工序時(shí)，也不需要步驟5 的親水化處理。
在進(jìn)行步驟7的軟熔處理時(shí)，在軟熔處理之前可通過以下方式進(jìn) 行步驟6的薄膜7的固化在軟熔處理腔室內(nèi)進(jìn)行減壓干燥、或者利 用埋設(shè)在載置臺(tái)上的加熱器等進(jìn)行加熱干燥。但是，噴墨涂布裝置和 軟熔處理裝置設(shè)置在分開的位置上時(shí)，從進(jìn)行噴墨涂布到將玻璃基板 搬至軟熔處理裝置的腔室內(nèi)的搬送過程中，利用噴墨涂布形成的薄膜 圖案有可能被損壞。在這種情況下，優(yōu)選在進(jìn)行噴墨涂布后，立即利 用另行設(shè)置的裝置進(jìn)行減壓干燥或者加熱干燥使其固化。
從盡量不使利用噴墨涂布形成的薄膜圖案受到破壞的考慮出發(fā)， 優(yōu)選在進(jìn)行噴墨涂布后迅速進(jìn)行軟熔處理，從這樣的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選 使用噴墨涂布裝置和軟熔裝置一體化的裝置。作為這樣的裝置，可以 是能夠在鄰接的不同腔室內(nèi)分別進(jìn)行噴墨涂布和軟熔處理的裝置，也 可以是在同一腔室內(nèi)進(jìn)行噴墨涂布和軟熔處理的裝置。又可以在進(jìn)行噴墨涂布后到進(jìn)行軟熔處理為止的時(shí)間內(nèi)，進(jìn)行加熱處理等其他適當(dāng) 的處理。
下面對(duì)于進(jìn)行這樣的圖案形成方法的處理系統(tǒng)及其控制系統(tǒng)的例 子進(jìn)行說明.
圖8是表示這樣的處理系統(tǒng)的方框圖。該處理系統(tǒng)IOO，如上所述， 具備利用例如光刻技術(shù)形成岸壁的岸壁形成裝置101;利用例如CF4 氣體的等離子體進(jìn)行疏水處理，利用氧氣的等離子體進(jìn)行親水化處理 的等離子體處理裝置102;從噴嘴提供彩色抗蝕劑而形成彩色抗蝕薄膜 的噴墨涂布裝置103;利用減壓干燥或加熱干燥等將噴墨涂布后的彩色 抗蝕薄膜固化的固化裝置104;對(duì)進(jìn)行疏水處理成為疏水面的岸壁表面 涂布親水液或者進(jìn)行UV照射的親水化裝置105;對(duì)彩色抗蝕薄膜進(jìn)行 軟熔處理的軟熔處理裝置106等，還具備在這些裝置之間搬送基板1 的搬送機(jī)構(gòu)107。又具有控制這些處理裝置101 - 106以及搬送機(jī)構(gòu)107 的微處理機(jī)(計(jì)算器)構(gòu)成的程序控制器108。程序控制器108上連接 有由操作員為了管理處理系統(tǒng)100而進(jìn)行指令的輸入操作等的鍵盤， 以及將等離子處理裝置的工作狀況可視化顯示的顯示器等構(gòu)成的用戶 接口 109。
另外，程序控制器108上連接有存儲(chǔ)部110，所述存儲(chǔ)部110存儲(chǔ) 了用程序控制器108的控制實(shí)現(xiàn)處理系統(tǒng)100實(shí)施的各種處理用的控 制程序、或者用于根據(jù)處理?xiàng)l件使處理系統(tǒng)100的各構(gòu)成裝置實(shí)施處 理的程序即方法(。方法存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部110中的存儲(chǔ)媒體中。 存儲(chǔ)媒體可以是硬盤或半導(dǎo)體存儲(chǔ)器，也可以是CDROM、 DVD、閃 存等可移動(dòng)的存儲(chǔ)媒體。另外，也可以從其他裝置，例如通過專用線 路進(jìn)行方法的適當(dāng)傳送。
而且根據(jù)必要，根據(jù)來自用戶接口 109的指示等從存儲(chǔ)部110調(diào) 出任意的方法，并由程序控制器108執(zhí)行，從而在程序控制器108的 控制下，由處理系統(tǒng)IOO進(jìn)行所期望的處理.
構(gòu)成處理系統(tǒng)100的各處理裝置，可以是全部獨(dú)立的分立裝置， 也可以是部分或者全部一體化的裝置。作為一體化的例子，可列舉例 如噴墨涂布裝置103和固化裝置104的一體化；噴墨涂布裝置103、
一
固化裝置104以及軟熔處理裝置106的一體化；固化裝置104和軟熔處 理裝置106的一體化等。利用如上所述的裝置結(jié)構(gòu)，基于存儲(chǔ)媒體所存儲(chǔ)的方法，可使處 理系統(tǒng)實(shí)施上述圖1所示的工序，進(jìn)行彩色抗蝕劑的涂布處理以及彩 色抗蝕薄膜圖案的形成。
此外，本發(fā)明并不限于上述實(shí)施方式，可以有各種變形.例如， 上述實(shí)施形態(tài)中，本發(fā)明可用于用作液晶顯示裝置等中所用的濾色器
的濾色層的彩色抗蝕薄膜圖案的形成，也用于使用有機(jī)半導(dǎo)體膜的EL 元件用的彩色抗蝕薄膜圖案的形成.又可用于LED (發(fā)光二極管)元 件等顯示裝置中的薄膜形成；還可使用于各種有機(jī)膜或者無機(jī)膜的薄 膜的形成，例如銦錫氧化物(ITO)膜或絕緣膜等薄膜的形成.
另外，軟熔處理雖然列舉了使用有機(jī)溶劑的例子，但并不限于此， 只要是可以對(duì)所形成的薄膜賦予流動(dòng)性的處理即可，也可以是利用熱 的處理等其他處理。
權(quán)利要求
1. 一種涂布方法，其特征在于，往基板上被岸壁包圍的區(qū)域內(nèi)通過噴墨方式供給涂布液形成涂布膜，然后使該涂布膜軟化、流動(dòng)，從而將該涂布膜填充到上述岸壁包圍的區(qū)域內(nèi)。
2. 權(quán)利要求1所述的涂布方法，其中，在利用上述噴墨方式供給 涂布液之后，使涂布膜固化。
3. 權(quán)利要求1或2所述的涂布方法，其中，對(duì)上述岸壁的表面進(jìn) 行疏液處理，往被上述岸壁包圍的區(qū)域內(nèi)利用噴墨供給涂布液之后， 在使涂布膜軟化、流動(dòng)之前對(duì)上述岸壁的表面進(jìn)行親液處理.
4. 權(quán)利要求1或2所述的涂布方法，其中，上述涂布膜的軟化， 通過將上述涂布膜暴露在有機(jī)溶劑氣氛中進(jìn)行。
5. 權(quán)利要求1或2所述的涂布方法，其中，上述岸壁所包圍的區(qū) 域，在應(yīng)該分別形成多種色彩的各涂布膜的位置上形成多個(gè).
6. 權(quán)利要求5所述的涂布方法，其中，上述涂布液為彩色抗蝕液， 上述涂布膜是作為濾色層的彩色抗蝕薄膜、或者作為有機(jī)EL層的彩色 抗蝕薄膜。
7. 權(quán)利要求1或2所述的涂布方法，其中，上述涂布膜為有機(jī)膜 或無機(jī)膜。
8. 權(quán)利要求1或2所述的涂布方法，其中，通過使上述涂布膜軟 化、流動(dòng)，而將該涂布膜填充到被上述岸壁包圍的區(qū)域內(nèi)的處理，對(duì) 偏向上述岸壁所包圍的區(qū)域形成的涂布膜的位置進(jìn)行校正。
9. 權(quán)利要求1或2所述的涂布方法，其中，上述岸壁所包圍的區(qū) 域具有角部時(shí)，通過使上述涂布膜軟化、流動(dòng)，而將該涂布膜填充到 被上述岸壁包圍的區(qū)域內(nèi)的處理，使上述涂布膜遍及該角部。
10. 權(quán)利要求1或2所述的涂布方法，其中，上述涂布液為高粘度 涂布液時(shí)，通過使上述涂布膜軟化、流動(dòng)，而將該涂布膜填充到被上 述岸壁包圍的區(qū)域內(nèi)的處理，使涂布膜遍及上述岸壁所包圍區(qū)域的外 周部。
11. 一種圖案形成方法，其是在基板上由涂布膜形成薄膜圖案的圖 案形成方法，其具有在基板上以包圍預(yù)定的薄膜形成區(qū)域的方式形成岸壁的工序； 向上述岸壁所包圍的預(yù)定的薄膜形成區(qū)域內(nèi)利用噴墨供給涂布液，形成涂布膜構(gòu)成的薄膜的工序；以及通過使上述薄膜軟化、流動(dòng)，從而將該薄膜填充到上述岸壁所包 圍的區(qū)域內(nèi)的工序。
12. 權(quán)利要求11所述的圖案形成方法，其進(jìn)一步具有在形成上述 涂布膜構(gòu)成的薄膜之后使薄膜固化的工序。
13. 權(quán)利要求11或12所述的圖案形成方法，其中，預(yù)先對(duì)上述岸 壁的表面進(jìn)行疏液處理，向上述岸壁所包圍的預(yù)定的薄膜形成區(qū)域內(nèi) 利用噴墨供給涂布液之后，在使薄膜軟化、流動(dòng)之前對(duì)上述岸壁的表 面進(jìn)行親液處理。
14. 權(quán)利要求11或12所述的圖案形成方法，其中，上述薄膜的軟 化，通過將上述薄膜暴露在有機(jī)溶劑氣氛中進(jìn)行。
15. 權(quán)利要求11或12所述的圖案形成方法，其中，上述岸壁所包 圍的預(yù)定的薄膜形成區(qū)域，在應(yīng)該形成多種色彩的各薄膜的位置上形 成多個(gè).
16. 權(quán)利要求15所述的圖案形成方法，其中，上述涂布液為彩色 抗蝕液，上述薄膜為彩色抗蝕薄膜，以此形成濾色層的圖案或者有機(jī) EL層的圖案。
17. 權(quán)利要求11或12所述的圖案形成方法，其中，上述薄膜為有 機(jī)膜或無機(jī)膜。
18. 權(quán)利要求11或12所述的圖案形成方法，其中，通過使上迷涂 布膜軟化、流動(dòng)，而將該涂布膜填充到被上述岸壁包圍的區(qū)域內(nèi)的處 理，對(duì)偏向上述岸壁所包圍的預(yù)定的薄膜形成區(qū)域形成的薄膜的位置 進(jìn)行校正。
19. 權(quán)利要求11或12所述的圖案形成方法，其中，上述岸壁所包 圍的預(yù)定的薄膜形成區(qū)域具有角部時(shí)，通過使上述涂布膜軟化、流動(dòng)， 而將該涂布膜填充到被上述岸壁包圍的區(qū)域內(nèi)的處理，使上述薄膜遍 及該角部。
20. 權(quán)利要求11或12所述的圖案形成方法，其中，上述涂布液為 高粘度涂布液時(shí)，通過使上述涂布膜軟化、流動(dòng)，而將該涂布膜填充 到被上述岸壁包圍的區(qū)域內(nèi)的處理，使薄膜遍及上述岸壁所包圍的預(yù) 定的薄膜形成區(qū)域的外周部。
21. —種存儲(chǔ)媒體，其存儲(chǔ)了在計(jì)算機(jī)上工作、控制處理系統(tǒng)的程序，其中，上述程序使計(jì)算機(jī)控制所述處理系統(tǒng)，以便在執(zhí)行時(shí)實(shí)施下述涂布方法向基板上被岸壁所包圍的區(qū)域內(nèi)通過噴墨方式供給涂布液形 成涂布膜，然后通過使該涂布膜軟化、流動(dòng)，從而將該涂布膜填充到 上述岸壁所包圍的區(qū)域內(nèi)。
22. 權(quán)利要求21所述的存儲(chǔ)媒體，其中，上述涂布方法，在利用 上述噴墨方式供給涂布液之后使涂布膜固化。
23. —種存儲(chǔ)媒體，其存儲(chǔ)了在計(jì)算機(jī)上工作、控制處理系統(tǒng)的程序，其中，上述程序在運(yùn)行時(shí)，使計(jì)算機(jī)控制所述處理系統(tǒng)，進(jìn)行在基板上 利用涂布膜形成薄膜圖案的圖案形成方法，所述圖案形成方法具有下 述工序在基板上以包圍預(yù)定的薄膜形成區(qū)域的方式形成岸壁的工序； 向上述岸壁所包圍的預(yù)定的薄膜形成區(qū)域內(nèi)利用噴墨供給涂布液，形成由涂布膜構(gòu)成的薄膜的工序；通過使上述薄膜軟化、流動(dòng)，從而將該薄膜填充到上述岸壁所包圍的區(qū)域內(nèi)的工序。
24. 權(quán)利要求23所述的存儲(chǔ)媒體，其中，上述圖案形成方法進(jìn)一 步具有在形成由上述涂布膜構(gòu)成的薄膜之后使薄膜固化的工序。
全文摘要
向基板上被岸壁包圍的區(qū)域內(nèi)利用噴墨方式供給涂布液形成涂布膜，然后使該涂布膜軟化、流動(dòng)，從而將該涂布膜填充到上述岸壁包圍的區(qū)域內(nèi)。
文檔編號(hào)G03F7/16GK101293239SQ20081009488
公開日2008年10月29日 申請(qǐng)日期2008年4月25日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月27日
發(fā)明者田中志信 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社