專利名稱：：感光性樹脂組合物和層壓體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及在印刷電路板的制造、IC芯片搭載用引線框(以下稱為引線框)制造、金屬掩模制造等的金屬箔精密加工，以及半導(dǎo)體封裝、例如BGA(球珊陣列封裝，BallGridArray)、CSP(芯片尺寸封裝)，平板顯示器領(lǐng)域中的ITO電極、尋址電極、或電磁波屏蔽體等部件的制造，及制造利用噴砂工藝加工基材時(shí)作為保護(hù)掩模部件的抗蝕圖案時(shí)適合的、可通過堿性水溶液顯影的感光性樹脂組合物以及使用其的感光性樹脂層壓體，以及這些的用途。
背景技術(shù)：
：以往，通過光刻法制造印刷電路板。光刻法是指如下方法將感光性樹脂組合物涂布到基板上，進(jìn)行圖案曝光，使該感光性樹脂組合物的曝光部聚合、固化，用顯影液除去未曝光部，在基板上形成抗蝕圖案，實(shí)施蝕刻或鍍敷處理，形成導(dǎo)體圖案后，將該抗蝕圖案從該基板上剝離除去，從而在基板上形成導(dǎo)體圖案。上述的光刻法中，使用如下方法中的任一個(gè)將由感光性樹脂組合物形成的層(以下，稱為"感光性樹脂層"。)層壓在基板上時(shí)，將感光性樹脂組合物溶液涂布到基板使其干燥的方法；或者，將依次層壓有支撐體、感光性樹脂層、以及根據(jù)需要的保護(hù)層的感光性樹脂層壓體(以下，稱為"干膜抗蝕劑"。)層壓在基板上的方法。并且，在印刷電路板的制造中，大多使用后者的干膜抗蝕劑。對于使用上述的干膜抗蝕劑制造印刷電路板的方法，以下進(jìn)行簡單說明。首先，在具有保護(hù)層的情況下，從感光性樹脂層剝離保護(hù)層。接著，使用層壓機(jī)在覆銅層壓板等基板上，按照基板、感光性樹脂層、支撐體的順序，層壓感光性樹脂層和支撐體。接著，隔著具有布線圖案的光掩模，以超高壓汞燈所發(fā)射的i射線(365nm)等活性光線對該感光性樹脂層進(jìn)行曝光，從而使曝光部分聚合固化。接著，剝離例如由聚對苯二曱酸乙二酯形成的支撐體。接著，通過顯影液、例如具有弱堿性的水溶液，將感光性樹脂層的未曝光部分溶解或分散除去，在基板上形成抗蝕圖案。接著，使所形成的抗蝕圖案作為保護(hù)掩模進(jìn)行公知的蝕刻處理、或圖案鍍敷處理。最后，從基板剝離該抗蝕圖案，制造具有導(dǎo)體圖案的基板即印刷電路板。近年來，在電子機(jī)器急速進(jìn)行多樣化高功能化中，印刷電路板的少量多品種生產(chǎn)、高密度化多層化進(jìn)一步發(fā)展。特別是對于材料來說，必須滿足生產(chǎn)率的提高、高品質(zhì)化、低成本化。近年來，為了滿足這些要求，呈現(xiàn)出直接成像(以下，還稱為"DI")曝光方式#1實(shí)用化并迅速推廣。該DI曝光方式的最大的特征是不需要光掩模，可通過由光源發(fā)射的激光對基板進(jìn)行直接描繪。作為光源使用波長350~430nm的光、特別是大多數(shù)情況下使用i射線(365nm)或h射線(405nm)。由于DI曝光方式不需要掩模，因而對少量多品種生產(chǎn)、低成本生產(chǎn)有利，另一方面，還可以列舉如下所述那樣的缺點(diǎn)。首先，作為第一個(gè)問題，相對于現(xiàn)有曝光方式(以下也稱為"接觸曝光")的整面一次曝光，DI曝光是激光對基板上進(jìn)行掃描，因而每張基板的曝光時(shí)間即產(chǎn)量降低，生產(chǎn)率惡化。為了解決該問題，DI用的干膜抗蝕劑要求通常的數(shù)倍~數(shù)十倍的高靈敏性。通常，高靈敏度性與高密合性處于平衡的關(guān)系，因而強(qiáng)烈期望具有兼顧這些的性能的感光性樹脂組合物。作為第二個(gè)問題，可列舉出曝光對比度。接觸曝光中照射充分量的光，因而，感光性樹脂組合物中的發(fā)色染料進(jìn)行反應(yīng)，可以分辨出曝光部分和未曝光部分。然而，DI曝光的情況下，如上述那樣照射的光量非常少，因而發(fā)色染料的反應(yīng)慢，難以分辨出曝光部分/未曝光部分。曝光后通過缺陷檢查機(jī)的判定，通常將未曝光部分和曝光部分標(biāo)上標(biāo)記地來進(jìn)行，為了提高生產(chǎn)率，要求剛剛曝光后的感光性樹脂層具有良好的對比度。作為感光性樹脂組合物中使用的光聚合引發(fā)劑，已知有六芳基雙咪唑。該六芳基雙咪唑本身對紫外光的靈敏度低，因而通常導(dǎo)入敏化劑。二苯甲酮、米蚩酮等是敏化劑的代表例子，這些敏化劑吸收區(qū)域僅局部存在于360nm附近，因而隨著光源波長接近可視區(qū)域，靈敏度降低，對405nm的激光不能獲得充分的靈敏度和密合性。作為感光性樹脂組合物中使用的光聚合引發(fā)劑，還已知有p塞噸酮及其衍生物。使用該遂噸酮及其4汙生物的情況下，通過選擇適當(dāng)?shù)拿艋瘎?，可以?80nm附近的光源顯示出高的靈敏度，但大多情況下不能獲得充分的分辨率，另外，對405nm的光源還是伴隨靈敏度的降低。在專利文獻(xiàn)l中，記載了使用吖啶化合物作為敏化劑的例子，此外在專利文獻(xiàn)2中記載了使用N-芳基甘氨酸的例子，使用這些化合物的感光性樹脂組合物盡管靈敏度高但對比度非常低，不能解決上述問題。另外，在專利文獻(xiàn)3中，使用四唑化合物或其水溶性鹽作為敏化劑，在專利文獻(xiàn)4中進(jìn)行通過使用噻二唑類的感光性樹脂組合物，獲得高靈敏度化和密合性，但在將該組合物用作干膜光抗蝕劑時(shí)，產(chǎn)生被認(rèn)為是源于暗反應(yīng)的有效壽命的降低，時(shí)間經(jīng)過的同時(shí)，具有作為干膜光抗蝕劑的特性發(fā)生變化的、所謂的保存穩(wěn)定性降低的問題，不能得到穩(wěn)定的性能。由于這些，期望可解決上述問題并進(jìn)一步改良性能專利文獻(xiàn)1專利文獻(xiàn)2專利文獻(xiàn)3專利文獻(xiàn)4國際公開第2001-092958號小冊子日本特開2000-321767號公報(bào)日本特開平ll-310605號7>才良日本特開平02-153353號7>寺艮
發(fā)明內(nèi)容發(fā)明所要解決的問題本發(fā)明的目的在于克服上述問題點(diǎn)并提供感光性樹脂組合物、使用其的感光性樹脂層壓體、以及它們的用途，該感光性樹脂組合物對具有350~430nm的波長的光源的靈敏度、密合性優(yōu)異，并且對比度和保存穩(wěn)定性良好、可通過堿性水溶液顯影。用于解決問題的方法本發(fā)明人為了解決上述問題，進(jìn)行了研究，發(fā)現(xiàn)通過使用含有特定的光聚合引發(fā)劑和特定結(jié)構(gòu)的噻二唑化合物的感光性樹脂組合物，可以解決上述問題，從而完成本發(fā)明。本發(fā)明如下所述。1.一種感光性樹脂組合物，其含有(a)包含含a，p-不飽和羧基的單體作為共聚成分、酸當(dāng)量為100~600、重均分子量為20000~500000的熱塑性共聚物20~90質(zhì)量％;(b)具有至少一個(gè)末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體5~75質(zhì)量％;(c)包含吖啶衍生物的光聚合引發(fā)劑0.01~20質(zhì)量％;(d)下述通式(1)所示的巰基噻二唑化合物0.01~5質(zhì)量％;以及(e)無色染料0.01~5質(zhì)量％。(式中，Ri是選自碳原子數(shù)為1~3的烷基、碳原子數(shù)為1~3的烷氧基、碳原子數(shù)為1~3的烷硫基、巰基、以及氨基所組成的組中的一個(gè)基團(tuán)。)2.根據(jù)上述l所述的感光性樹脂組合物，上述(d)巰基p塞二唑化合物為選自5-曱硫基-2-巰基-1,3,4-噻二唑、5-氨基-2-巰基-1，3，4-p塞二哇、以及2，5-二巰基-1，3，4-嚷二唑所組成的組中的至少一種化合物。3.根據(jù)上述1或2所述的感光性樹脂組合物，(e)無色染料為無色結(jié)晶紫。4.根據(jù)上述l~3任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，上述(b)加成聚合性單體含有選自下述化學(xué)式(2)和下述化學(xué)式(3)所組成的組中的至少一種化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>(式中，R2以及R3各自獨(dú)立地為H或CH3。另外，A以及B各自獨(dú)立地為碳原子數(shù)為2~4個(gè)的亞烴基。al、a2、bl以及b2是0或正整數(shù)、al、a2、bl以及b2的總計(jì)是2-40。)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage11</formula>(式中，R4以及Rs各自獨(dú)立地為H或CH3。另外，D以及E各自獨(dú)立地為碳原子數(shù)為24個(gè)的亞烴基。a3、a4、b3以及b4是O或正整數(shù)、a3、a4、b3以及b4的總計(jì)是2~40。)5.—種感光性樹脂層壓體，其在支撐體上層壓由上述l~4任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物形成的感光性樹脂層而成。6.—種抗蝕圖案的形成方法，至少按順序包括使用上述5所述的感光性樹脂層壓體將感光性樹脂層層壓在基板上的層壓工序、曝光工序、顯影工序。7.根據(jù)上述6所述的抗蝕圖案的形成方法，上述曝光工序中，通過直接描繪進(jìn)行曝光。8.—種印刷電路板的制造方法，其包括對通過上述6或7所述的方法形成有抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻或鍍敷的工序。9.一種引線框的制造方法，其包括對通過上述6或7所述的方法形成有抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻的工序。10.—種半導(dǎo)體封裝體的制造方法，其包括對通過上述6或7所述的方法形成有抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻或鍍敷的工序。11.一種凹凸基板的制造方法，其包括對通過上述6或7所述的方法形成有抗蝕圖案的基板進(jìn)行噴砂的工序。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，可以提供對具有350430nm的波長的光源的靈敏度、密合性優(yōu)異，并且對比度和保存穩(wěn)定性良好的、可通過堿性水溶液顯影的感光性樹脂組合物。具體實(shí)施方式以下，具體說明本發(fā)明。感光性樹脂組合物，其含有(a)包含含a,p-不飽和羧基的單體作為共聚成分、酸當(dāng)量為100-600、重均分子量為20000-500000的熱塑性共聚物20~90質(zhì)量％;(b)具有至少一個(gè)末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體5~75質(zhì)量％;(c)包含吖啶衍生物的光聚合引發(fā)劑0.01~20質(zhì)量％;(d)下述通式(1)所示的巰基噻二唑化合物0.01~5質(zhì)量％;以及(e)無色染料0.01~5質(zhì)量％。N—N(i)(式中，&是選自碳原子數(shù)為1~3的烷基、碳原子數(shù)為13的烷氧基、碳原子數(shù)為1~3的烷硫基、巰基、以及氨基所組成的組中的一個(gè)基團(tuán)。)作為感光性樹脂組合物中使用的(a)熱塑性聚合物，使用包含含a,p-不飽和羧基的單體作為共聚成分、酸當(dāng)量為100~600、重均分子量為20000-500000的熱塑性聚合物。為了感光性樹脂組合物對堿水溶液具有顯影性和剝離性，需要熱塑性聚合物中的羧基。從確保與涂布溶劑或其他組合物、例如單體的相容性的觀點(diǎn)出發(fā)，酸當(dāng)量為100以上，另外，從維持顯影性和剝離性的觀點(diǎn)出發(fā)，酸當(dāng)量為600以下。這里，酸當(dāng)量是指其中具有l(wèi)當(dāng)量羧基的聚合物的質(zhì)量(克)。另外，酸當(dāng)量的測定是使用例如自動(dòng)滴定裝置(HIRANUMA,COM-555),在0.lmol/L的NaOH水溶液中通過電位滴定法進(jìn)行的。從均勻維持干膜抗蝕劑的厚度、獲得對顯影液的耐'性的觀點(diǎn)出發(fā)，重均分子量為20000以上，另外，從維持顯影性的觀點(diǎn)出發(fā)，重均分子量為500000以下。該情況下的重均分子量是指通過凝膠滲透色譜儀(GPC)、使用聚苯乙烯的標(biāo)準(zhǔn)曲線測定的重均分子量。可通過例如日本分光(抹)制凝膠滲透色譜儀(使用通過示差折射率計(jì)RI-1530，泵PU-1580,Degasser:DG-980-50，柱爐CO-1560,柱依次為KF-8025、KF-806Mx2、KF-807,洗脫液THF,聚苯乙烯標(biāo)準(zhǔn)試樣(昭和電工(^朱)制ShodexSTANDARDSM-105)制作的標(biāo)準(zhǔn)曲線)求出。種或其以上的單體共聚而獲得。第一單體是分子中具有一個(gè)聚合性不飽和基團(tuán)的羧酸或酸酐。例如為(曱基)丙烯酸、富馬酸、桂皮酸、巴豆酸、衣康酸、馬來酸酐、馬來酸半酯等。其中，特別優(yōu)選(曱基)丙烯酸。這里(甲基)丙烯酸表示丙烯酸和曱基丙烯酸。以下同樣。第二單體是非酸性的、分子中具有一個(gè)聚合性不飽和基團(tuán)、并且按照使其維持感光性樹脂層的顯影、蝕刻、以及鍍敷工序中的耐性、固化膜的撓性等各種特性而進(jìn)行選擇。作為這樣的單體，可列舉出例如(曱基)丙烯酸曱酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(曱基)丙烯酸正丙酯、(曱基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(曱基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(曱基)丙烯酸2_羥丙酯類，還可列舉出乙烯醇的酯類，例如醋酸乙烯酯、(曱基)丙烯腈、苯乙烯、聚合性苯乙烯衍生物、(甲基)丙烯酸節(jié)基酯。第一單體與第二單體的共聚比例優(yōu)選是第一單體為10~60質(zhì)量％、第二單體為40~90質(zhì)量％，更優(yōu)選是第一單體為15~35質(zhì)量％、第二單體為65~85質(zhì)量％。感光性樹脂組合物中所含有的熱塑性聚合物的量是20~90質(zhì)量％的范圍，優(yōu)選為25~70質(zhì)量％的范圍。從維持堿顯影性的觀點(diǎn)出發(fā)，其量為20質(zhì)量％以上，另外，通過曝光形成的固化圖像充分發(fā)揮作為抗蝕性能的觀點(diǎn)出發(fā)，其量為90質(zhì)量％以下。作為感光性樹脂組合物中的(b)具有至少一個(gè)末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體，可使用具有至少一個(gè)末端烯屬不飽和基團(tuán)的公知的化合物。例如，可列舉出4-壬基苯基七乙二醇二丙二醇丙烯酸酯、丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙基酯、苯氧基六乙二醇丙烯酸酯、鄰苯二曱酸酐及丙烯酸2-羥丙酯的半酯化合物與環(huán)氧丙烷的反應(yīng)產(chǎn)物(日本觸媒化學(xué)制、商品名OE-A200)、4-正辛基苯氧基五丙二醇丙烯酸酯、(曱基)丙烯酸1，6-己二醇酯、二(曱基)丙烯酸1，4-環(huán)己二醇酯；另外，還可列舉出聚氧烷二醇二(曱基)丙烯酸酯，例如聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(曱基)丙烯酸酯、聚氧乙烯聚氧丙二醇二(曱基)丙烯酸酯、2-二(對鞋基苯基)丙烷二(甲基)丙烯酸酯、丙三醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、三羥曱基丙烷三縮水甘油醚三(曱基)丙烯酸酯；含有尿烷基的多官能基(甲基)丙烯酸酯，例如六亞曱基二異氰酸酯與九丙二醇單甲基丙烯酸酯的尿烷化物、以及異氰脲酸酯化合物的多官能(甲基)丙烯酸酯。特別是，從密合性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選實(shí)施方式是作為(b)加成聚合性單體含有選自下述式(2)和下述式(3)所組成的組中的至少一種化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula>(式中，R2以及R3各自獨(dú)立地為H或CH3。另外，A以及B各自獨(dú)立地為碳原子數(shù)為24個(gè)的亞烴基。al、a2、bl以及b2為0或正整數(shù)，al、a2、bl以及b2的總計(jì)為2-30。)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>(式中，R4以及Rs各自獨(dú)立地為H或CH3。另夕卜，D以及E各自獨(dú)立地為碳原子數(shù)為24個(gè)的亞烴基。a3、a4、b3以及b4為0或正整數(shù)，a3、a4、b3以及b4的總計(jì)為2~30。)作為上述式(2)所代表的化合物的具體例子，可列舉出2,2-雙{(4-丙烯酰氧基聚亞乙基氧基)環(huán)己基}丙烷或2,2-雙{(4-甲基丙烯酰氧基聚亞乙基氧基)環(huán)己基}丙烷。該化合物所具有的聚亞乙基氧基優(yōu)選是選自單亞乙基氧基、二亞乙基氧基、三亞乙基氧基、四亞乙基氧基、五亞乙基氧基、六亞乙基氧基、七亞乙基氧基、八亞乙基氧基、九亞乙基氧基、十亞乙基氧基、十一亞乙基氧基、十二亞乙基氧基、十三亞乙基氧基、十四亞乙基氧基、以及十五亞乙基氧基所組成的組中的任一個(gè)基團(tuán)的化合物。另外，還可列舉出2，2-雙{(4-丙烯酰氧基聚亞爛基氧基)環(huán)己基}丙烷或2,2-雙{(4-曱基丙烯酰氧基聚亞烴基氧基)環(huán)己基}丙烷。作為該化合物所具有的聚亞烴基氧基，可列舉出亞乙基氧基與亞丙基氧基的混合物，優(yōu)選八亞乙基氧基與二亞丙基氧基的嵌段結(jié)構(gòu)的加成物或無規(guī)結(jié)構(gòu)的加成物、以及四亞乙基氧基與四亞丙基氧基的嵌段結(jié)構(gòu)的加成物或無規(guī)結(jié)構(gòu)的加成物、十五亞乙基氧基與二亞丙基氧基的嵌段結(jié)構(gòu)的加成物或無規(guī)結(jié)構(gòu)的加成物。式中，al、a2、bl以及b2的總計(jì)為230、更優(yōu)選為2~15。這些之中，最優(yōu)選為2,2-雙{(4-曱基丙烯酰氧基五亞乙基氧)環(huán)己基}丙烷。作為上述式(3)所代表的化合物的具體例子，可列舉出2,2-雙{(4-丙烯酰氧基聚亞乙基氧基)苯基}丙烷或2,2-雙{(4-曱基丙烯酰氧基聚亞乙基氧基)苯基}丙烷。該化合物所具有的聚亞乙基氧基優(yōu)選是選自單亞乙基氧基、二亞乙基氧基、三亞乙基氧基、四亞乙基氧基、五亞乙基氧基、六亞乙基氧基、七亞乙基氧基、八亞乙基氧基、九亞乙基氧基、十亞乙基氧基、十一亞乙基氧基、十二亞乙基氧基、十三亞乙基氧基、十四亞乙基氧基、以及十五亞乙基氧基所組成的組中的任一個(gè)基團(tuán)的化合物。另外，還可列舉出2，2-雙{(4-丙烯酰氧基聚亞烴基氧基)苯基}丙烷或2,2-雙{(4-甲基丙烯酰氧基聚亞烴基氧基)苯基}丙烷。作為該化合物所具有的聚亞烴基氧基，可列舉出亞乙基氧基與亞丙基氧基的混合物，優(yōu)選為八亞乙基氧基與二亞丙基氧基的嵌段結(jié)構(gòu)的加成物或無規(guī)結(jié)構(gòu)的加成物、以及四亞乙基氧基與四亞丙基氧基的嵌段結(jié)構(gòu)的加成物或無規(guī)結(jié)構(gòu)的加成物、十五亞乙基氧基與二亞丙基氧基的嵌段結(jié)構(gòu)的加成物或無MJ吉構(gòu)的加成物。式中，a3、a4、b3以及b4是0或正整數(shù)，a3、a4、b3以及b4的總計(jì)是2~30、更優(yōu)選為2~15。這些其中，最優(yōu)選為2，2-雙{(4-曱基丙烯酰氧基五亞乙基氧基)苯基}丙烷。這些可單獨(dú)使用，也可組合2種以上使用。(b)加成聚合性單體的量相對于全部感光性樹脂組合物(固體成分)為5~75質(zhì)量％的范圍，更優(yōu)選的范圍為10~50質(zhì)量％。從抑制固化不良、以及顯影時(shí)間的延遲的觀點(diǎn)出發(fā)，其量是5質(zhì)量％以上，另外，從抑制冷流及抑制固化抗蝕劑剝離延遲的觀點(diǎn)出發(fā)，其量是75質(zhì)量％以下。在含有選自上述式(2)以及上述式(3)所組成的組中的至少一種化合物的情況下，該化合物的含量相對于全部感光性樹脂組合物(固體成分)優(yōu)選為10~30質(zhì)量％的范圍。從密合性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為10質(zhì)量％以上，從抑制固化抗蝕剝離延遲的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為30質(zhì)量％以下。感光性樹脂組合物中包含含(c)吖啶衍生物的光聚合引發(fā)劑。作為該必須成分的吖啶衍生物的例子，可列舉出9-苯基吖-定、9—p比口定基p丫口定、9—p比。秦基p丫口定、1，2—又又(9一P丫口定基)乙烷、1，3-雙(9-吖啶基)丙烷、1,4-雙(9-吖啶基)丁烷、1,5-雙(9-吖啶基)戊烷、1,6-雙(9-吖啶基)己烷、1，7-雙(9-吖啶基)庚烷(旭電化工業(yè)(抹)制，N-1717)、1,8-雙(9-吖啶基)辛烷、1，9-雙(9-吖啶基)壬烷、1,10-雙(9-吖啶基)癸烷、l，ll-雙(9-吖啶基)十一烷、1,12-雙(9-吖啶基)十二烷。其中，9-苯基吖啶和1,7_雙(9-吖啶基)庚烷是對密合性非常有效的光聚合引發(fā)劑，故優(yōu)選使用。這些可單獨(dú)使用或組合2種以上使用。感光性樹脂組合物中的吖啶衍生物的含量相對于全部感光性樹脂組合物(固體成分)優(yōu)選為0.01~5質(zhì)量％。吖啶衍生物的含量更優(yōu)選為0.05~3質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為O.l~2質(zhì)量％。從得到充分的靈敏度的觀點(diǎn)出發(fā)，其量優(yōu)選為0.01質(zhì)量％以上，另外，從維持保存穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，其量優(yōu)選為5質(zhì)量％以下。另外，感光性樹脂組合物中，還可組合使用吖啶衍生物以外的光聚合引發(fā)劑。這樣的光聚合引發(fā)劑，可列舉出醌類，例如2-乙基蒽醌、八乙基蒽醌、1,2-苯并蒽醌、2,3-苯并蒽醌、2-苯基蒽醌、2,3-二苯基蒽醌、1-氯蒽醌、1，4-萘醌、9,10-菲醌、2-曱基-1,4-萘醌、2，3-二曱基蒽醌、3-氯-2-曱基蒽醌；芳香族酮類，例如二苯甲酮、米蚩酮[4，4，-雙(二曱基氨基)二苯甲酮]、4，4，-雙(二乙基氨基)二苯曱酮；安息香、安息香醚類，例如安息香乙基醚、安息香苯基醚、曱基安息香、乙基安息香；芐基二曱基縮酮、芐基二乙基縮酮，N-苯基甘氨酸類，例如N-苯基甘氨酸、N-甲基-N-苯基甘氨酸、N-乙基-N-苯基甘氨酸；噻噸酮類與烷基氨基安息香酸的組合，例如乙基噻噸酮與二曱基氨基安息香酸乙酯、2-氯p塞噸酮與二甲基氨基安息香酸乙酯、異丙基噻噸酮與二曱基氨基安息香酸乙酯的組合；肟酯類，例如l-苯基-1,2-丙二酮-2-0-安息香將、1-苯基-1，2-丙二酮-2-(0-乙氧基羰基)肟、三芳基咪唑二聚物及其衍生物；吡唑啉類，例如l-苯基-3-苯乙烯基-5-苯基-吡唑啉、1-(4-叔丁基-苯基)-3-苯乙烯基-5-苯基-吡唑啉、1-苯基-3-(4-叔丁基-苯乙烯基)-5-(4-叔丁基-苯基)-吡唑啉。其中，從靈敏度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選前述吖啶衍生物與N-苯基甘氨酸類的組合。添加N-苯基甘氨酸類的情況下的添加量相對于全部感光性樹脂組合物(固體成分)優(yōu)選為0.001質(zhì)量％以上、l質(zhì)量％以下，特別優(yōu)選為O.Ol質(zhì)量％以上、0.5質(zhì)量％。感光性樹脂組合物中的、包含吖啶衍生物的光聚合引發(fā)劑的含量相對于全部感光性樹脂組合物(固體成分)優(yōu)選含有O.Ol質(zhì)量％以上、20質(zhì)量％以下，更優(yōu)選含有1質(zhì)量％以上、10質(zhì)量％以下。從得到充分的靈敏度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為0.01質(zhì)量％以上，為了使感光性樹脂層的與基板密合一側(cè)的部分充分固化而優(yōu)選為20質(zhì)量％以下。在感光性樹脂組合物中，含有(d)下述通式(1)所示的巰基漆二唑化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>(i)(式中，&是選自碳原子數(shù)為1~3的烷基、碳原子數(shù)為1~3的烷氧基、碳原子數(shù)為1~3的烷硫基、巰基、以及氨基所組成的組中的一個(gè)基團(tuán)。)作為這樣的(d)巰基噻二唑化合物，可列舉出例如5-曱基—2-發(fā)?；?1,3,4-p塞二哇、5-乙基-2-發(fā)u基一1,3，4一口塞二唑、5-正丙基-2—巰基-1，3，4—p塞二峻、5—異丙基—2-巰基-1,3,4-p塞二哇、5-曱氧基-2-巰基-1，3，4-p塞二唾、5-乙氧基一2-3克基一1，3，4-p塞二^上、5-正丙氧基-2-3危基-1，3，4-p塞二峻、5-異丙氧基-2-巰基-1，3，4-瘞二唑、5-甲石克基-2-巰基-1,3，4-噻二唑、5-乙石危基-2-巰基-1,3,4-p塞二峻、5—正丙為t基-2—統(tǒng)u基-1，3，4-p塞二唑、5-異丙硫基-2-巰基-1，3，4-漆二唑、5-氨基-2-巰基-1,3,4-p塞二哇、2,5-二巰基-1,3，4-p塞二哇。特別是，5-曱硫基-2-疏基-1，3，4-噻二唑、5-氨基_2-巰基-1，3，4-p塞二唑、2,5-二統(tǒng)u基-1,3，4-p塞二唑由于靈敏度、密合性及對比度性能高，故優(yōu)選使用。這些可單獨(dú)使用或組合2種以上^f吏用。感光性樹脂組合物中的(d)巰基噻二唑化合物的量為(固體成分)0.01~5質(zhì)量％，優(yōu)選為0.05~3質(zhì)量％,最優(yōu)選0.1-2質(zhì)量％。從得到充分的靈敏度以及密合性、對比度的觀點(diǎn)出發(fā)，其量需為0,01質(zhì)量％以上，另外，從維持保存穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，其量需為5質(zhì)量％以下。感光性樹脂組合物中，含有(e)無色染料。作為這樣的無色染料，可列舉出無色結(jié)晶紫、熒烷染料。其中，在使用無色結(jié)晶紫的情況下，對比度良好，故優(yōu)選。作為熒烷染料，可列舉出例如3-二乙基氨基-6-曱基-7-苯胺基熒烷、3-二丁基氨基-6-曱基-7-苯胺基熒烷、2-(2-氯苯胺基)-6-二丁基氨基熒烷、2-溴-3-甲基-6-二丁基氨基熒烷、2-N,N-二千基氨基-6-二乙基氨基熒烷、3-二乙基氨基-7-氯氨基熒烷、3,6-二甲氧基熒烷、3-二乙基氨基-6-甲氧基-7-氨基熒烷。感光性樹脂組合物中的(e)無色染料的含量相對于全部感光性樹脂組合物(固體成分)為O.Ol~5質(zhì)量％,優(yōu)選為0.05~3質(zhì)量％。從體現(xiàn)充分的對比度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為0.01質(zhì)量％以上，另外，從維持保存穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為5質(zhì)量％以下。從密合性和對比度的觀點(diǎn)出發(fā)，本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式是在感光性樹脂組合物中組合使用(e)無色染料和卣化物。卣化物可列舉出例如戊基溴、異戊基溴、溴異丁烯、溴乙烯、二苯基曱基溴、亞卡基二溴、二溴甲烷、三溴曱基苯基砜、四溴曱烷、三(2，3-二溴丙基)磷酸酯、三氯乙酰胺、戊基碘、異丁基碘、l,l，l-三氯-2，2-雙(對氯苯基)乙烷、六氯乙烷、卣化三吖。秦化合物。在含有卣化物的情況下，感光性樹脂組合物中的卣化物的含量優(yōu)選為(固體成分)0.01~5質(zhì)量％。感光性樹脂組合物中，還可采用著色物質(zhì)，例如無色染料以外的染料、顏料。作為這樣的著色物質(zhì)，可列舉出例如酞菁綠、甲基橙、尼羅藍(lán)2B、維多利亞藍(lán)、孔雀石綠(malachitegreen)、石威性藍(lán)20、孑L雀石綠(diamondgreen)。在感光性樹脂組合物包含上述的著色物質(zhì)的情況下，著色物質(zhì)的含量相對于全部感光性樹脂組合物優(yōu)選在(固體成分)0.005~10質(zhì)量％的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選在O.Ol~1質(zhì)量％的范圍。從目視確認(rèn)抗蝕性的觀點(diǎn)出發(fā)，著色物質(zhì)的含量相對于全部感光性樹脂組合物優(yōu)選為0.005質(zhì)量％以上，從靈每丈度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為10質(zhì)量％以下。另外，為了提高感光性樹脂組合物的熱穩(wěn)定性、保存穩(wěn)定性，優(yōu)選在感光性樹脂組合物中含有自由基聚合抑制劑、苯并三唑類。作為這樣的自由基聚合抑制劑，可列舉出例如對曱氧基苯酚、氫醌、1，2，3-苯三酚、萘胺、叔丁基兒茶酚、氯化亞銅、2,6-二叔丁基-對曱酚、2，2，-亞曱基雙(4-曱基-6-叔丁基苯酚)、2,2，-亞曱基雙(4-乙基-6-叔丁基苯酚)、亞硝基苯基羥基胺鋁鹽、二苯基亞硝基胺。另外，作為苯并三唑類，可列舉出例如1，2，3-苯并三唑、1-氯-1,2,3-苯并三唑、雙(N-2-乙基己基)氨基亞曱基-1,2,3-苯并三唑、雙(N-2-乙基己基)氨基亞曱基-1,2,3-曱苯基三唑、雙(N-2-羥基乙基)氨基亞曱基-1，2，3-苯并三唑、4-羧基-1,2,3-苯并三唑、5-羧基-1,2,3-苯并三峻。在感光性樹脂組合物中含有自由基聚合抑制劑和苯并三唑類的情況下，其總含量相對于全部感光性樹脂組合物(固體成分)優(yōu)選為0.01~3質(zhì)量％,更優(yōu)選為0.05~1質(zhì)量％。從賦予感光性樹脂組合物保存穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，其量優(yōu)選為O.Ol質(zhì)量％以上，另外，從維持靈敏度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為3質(zhì)量％以下。這些自由基聚合抑制劑、苯并三唑類化合物可單獨(dú)使用，也可組合2種以上使用。在感光性樹脂組合物中，還可根據(jù)需要含有增塑劑。作為這樣的增塑劑，可列舉出甘醇.酯類，例如聚乙二醇、聚丙二醇、聚氧丙烯聚氧乙烯醚、聚氧乙烯單曱基醚、聚氧丙烯單曱基醚、聚氧乙烯聚氧丙烯單曱基醚、聚氧乙烯單乙基醚、聚氧丙烯單乙基醚、聚氧乙烯聚氧丙烯單乙基賦鄰苯二甲酸酯類，例如鄰苯二甲酸二乙酯、鄰甲苯磺酰胺、對曱苯磺酰胺、檸檬酸三丁酯、檸檬酸三乙酯、乙酰檸檬酸三乙酯、乙酰檸檬酸三正丙酯、乙酰檸檬酸三正丁酯；2,2-雙((4-羥基聚亞丙基氧基)苯基}丙烷，例如2，2-雙{(4-羥基十五亞丙基氧基)苯基}丙烷。在含有增塑劑的情況下，優(yōu)選在感光性樹脂組合物中含有(固體成分)1~20質(zhì)量％。感光性樹脂層壓體由感光性樹脂組合物的層和支撐該層的支撐體形成，還可根據(jù)需要在與支撐體相反的一側(cè)的表面具有保護(hù)層。這里所使用的支撐體，期望是透過活性光的透明的支撐體。作為這樣的透過活性光的支撐體，可列舉出聚對苯二甲酸乙二酯薄膜、聚乙烯醇薄膜、聚氯乙烯薄膜、氯乙烯共聚物薄膜、聚偏氯乙烯薄膜、偏氯乙烯共聚薄膜、聚曱基丙烯酸甲酯共聚物薄膜、聚苯乙烯薄膜、聚丙烯腈薄膜、苯乙烯共聚物薄膜、聚酰胺薄膜、纖維素衍生物薄膜等。這些薄膜還可根據(jù)需要使用拉伸后的薄膜。在圖像形成性和經(jīng)濟(jì)性方面，厚度薄的一方是有利的，但從維持強(qiáng)度的需要等發(fā)出，優(yōu)選使用10~30pm的薄膜。另外，感光性樹脂層壓體中使用的保護(hù)層的重要的特性在于，在與感光性樹脂層的密合力的方面，相比于支撐體，保護(hù)層的密合力充分小且可容易地剝離。這樣的薄膜，有例如聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜。另外，還可以使用日本特開昭59-202457號公報(bào)所示的剝離性優(yōu)異的薄膜。特別優(yōu)選的是保護(hù)層的厚度優(yōu)選為550fim,更優(yōu)選為15~30(im。從不易被破壞的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為5(im以上，乂人經(jīng)濟(jì)性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為50fim以下。感光性樹脂層壓體中的感光性樹脂層的厚度因用途而不同，優(yōu)選為1~100nm、更優(yōu)選為5~60|im,越薄分辨率越提高。另外，越厚膜強(qiáng)度越提高。依次層壓支撐體、感光性樹脂層、以及根據(jù)需要的保護(hù)層來制作感光性樹脂層壓體的方法，可以釆用以往公知的方法。例如，首先，將用于感光性樹脂層的感光性樹脂組合物與溶解這些的溶劑混合制成均勻的溶液。用于制成均勻的溶液的溶劑可以使用7〉知的溶劑，可列舉出例如曱乙酮(MEK)所代表的酮類，以及甲醇、乙醇、及異丙醇等醇類。優(yōu)選將溶劑添加到感光性樹脂組合物中進(jìn)行調(diào)制，以使感光性樹脂組合物的溶液的粘度在25。C下為5004000mPasec。接著，使用棒涂機(jī)或輥涂機(jī)將含有感光性樹脂組合物的溶液涂布到支撐體上，進(jìn)行干燥，在支撐體上層壓由感光性樹脂組合物形成的感光性樹脂層。接著，可以根據(jù)需要通過在感光性樹脂層上層壓保護(hù)層，制作感光性樹脂層壓體。<抗蝕圖案的形成方法〉使用感光性樹脂層壓體的抗蝕圖案可以通過包含層壓工序、曝光工序、以及顯影工序的工序來形成。示出具體的方法的一個(gè)例子。首先，使用層壓機(jī)進(jìn)行層壓工序。在感光性樹脂層壓體具有保護(hù)層的情況下剝離保護(hù)層后，用層壓機(jī)將感光性樹脂層加熱壓粘到基板表面而進(jìn)行層壓。在此情況下，可以僅在基板表面的一個(gè)面層壓感光性樹脂層，也可在雙面層壓。此時(shí)的加熱溫度通常為40~160°C。另外，通過進(jìn)行二次以上該加熱壓粘來提高密合性和耐化學(xué)藥品性。此時(shí)，壓粘可以4吏用具有雙輥的二段式層壓機(jī)，還可反復(fù)幾次從輥穿過地進(jìn)行壓粘。接著，使用曝光機(jī)進(jìn)行曝光工序。必要時(shí)，可將支撐體剝離并通過光掩模由活性光進(jìn)行曝光。曝光量由光源照度和曝光時(shí)間確定。還可使用光量計(jì)進(jìn)行測定。曝光工序中，可以使用直接描繪并曝光的方法。直接描繪并曝光的方法中，不使用光掩模而直接描繪在基板上進(jìn)行曝光。作為光源，使用波長350~430nm的半導(dǎo)體激光、超高壓汞燈等。描繪圖案通過計(jì)算機(jī)控制，在此情況下的曝光量由光源照度和基板的移動(dòng)速度來決定。接著，使用顯影裝置進(jìn)行顯影工序。曝光后，在感光性樹脂層上具有支撐體的情況下，根據(jù)需要將其除去，接著，使用堿水溶液的顯影液，顯影除去未曝光部，得到抗蝕圖像。堿水溶液使用Na2C03、K2C03等的水溶液。這些可結(jié)合感光性樹脂層的特性進(jìn)行選擇，但通常是0.2~2質(zhì)量％的濃度、20~40°C的Na2C03水溶液。在該i威水溶液中，可以混合有表面活性劑、消泡劑、用于促進(jìn)顯影的少量的有機(jī)溶劑等。通過上述的工序，得到抗蝕圖案，但根據(jù)情況，還可進(jìn)行100~300。C的力卩熱工序。通過實(shí)施該加熱工序，可以進(jìn)一步提高耐化學(xué)藥品性。加熱可以使用熱風(fēng)、紅外線、遠(yuǎn)紅外線等方式的加熱爐。<印刷電路板的制造方法〉印刷電路板的制造方法如下進(jìn)行在使用覆銅層壓板或撓性基板作為基板形成上述的抗蝕圖案的方法之后，接著，經(jīng)過以下的工序。首先，通過蝕刻法或鍍敷法，在由顯影而露出的基板的銅面形成導(dǎo)體圖案。此后，通過具有比顯影液強(qiáng)的堿性的水溶液從基板剝離抗蝕圖案，得到期望的印刷電路板。對于剝離用的堿水溶液(以下，稱為"剝離液"。)沒有特別限定，但通常使用2~5質(zhì)量％的濃度、40~70。C的NaOH、KOH的水溶液。剝離液中還可加入少量的水溶性溶劑。<引線框的制造方法>引線框的制造方法如下進(jìn)行在使用銅、銅合金、鐵系合金等的金屬板作為基板進(jìn)行上述的<抗蝕圖案的形成方法〉后，接著，經(jīng)過以下的工序。首先，對由顯影而露出的基板進(jìn)行蝕刻，形成導(dǎo)體圖案。此后，用與上述的<印刷電路板的制造方法〉同樣的方法剝離抗蝕圖案，得到期望的引線框。<半導(dǎo)體封裝體的制造方法>制造半導(dǎo)體封裝體的方法如下進(jìn)行在使用完成作為LSI的電路形成后的晶圓作為基板進(jìn)行上述的<抗蝕圖案的形成方法〉后，接著，經(jīng)過以下的工序。對由通過顯影而露出的開口部實(shí)施銅、焊錫等的柱狀的鍍敷，形成導(dǎo)體圖案。此后，用與上述的<印刷電路板的制造方法〉同樣的方法剝離抗蝕圖案，再通過蝕刻除去柱狀鍍敷以外的部分的薄金屬層，從而得到期望的半導(dǎo)體封裝體。<利用噴石少的力口工工藝〉使用感光性樹脂層壓體作為干膜抗蝕劑，由噴砂工藝對基材實(shí)施加工的情況下，用與上述的<抗蝕圖案的形成方法>同樣的方法將感光性樹脂層壓體層壓到基材上，實(shí)施曝光、顯影，其中該基材例如為玻璃基材、涂布有玻璃肋糊劑的玻璃基材、陶瓷基材、不銹鋼等金屬基材、硅晶圓、藍(lán)寶石等礦石、合成樹脂層等有機(jī)基材。進(jìn)而，可以經(jīng)過如下工序，在基材上對微細(xì)圖案進(jìn)^"加工，所述工序包括噴砂、處理工序，^Mv所形成的抗蝕圖案上切削至用于噴上噴砂材料的深度；剝離工序，用堿剝離液等將殘留在基材上的樹脂部分從基材除去。用于前述噴砂處理工序的噴砂材料可以使用公知的噴砂材料，例如使用SiC,Si02、A1203、CaC03、Zr02、玻璃、不銹鋼等的2~100pm左右的微粒。實(shí)施例以下，通過實(shí)施例，進(jìn)一步詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式的例子。首先說明實(shí)施例和比較例的評價(jià)用試樣的制作方法，接著，表示對所得至'J的試樣的評價(jià)方法及其評價(jià)結(jié)果。l.評價(jià)用試樣的制作實(shí)施例和比較例中的感光性樹脂層壓體是如下那樣制作的。<感光性樹脂層壓體的制作>將表l所示的組成的感光性樹脂組合物(其中，P-1、P-2的數(shù)字表示固體成分40%的甲乙酮溶液計(jì)的質(zhì)量份)充分?jǐn)嚢?、混合，使用棒涂機(jī)將其均勻涂布到作為支撐體的16pm厚的聚對苯二甲酸乙二酯薄膜的表面，在95°C的干燥機(jī)中干燥3分鐘，形成感光性樹脂層。感光性樹脂層的厚度是40pm。接著，在沒有層壓感光性樹脂層的聚對苯二甲酸乙二酯薄膜的表面上，貼合23fim厚的聚乙烯薄膜作為保護(hù)層，得到感光性樹脂層壓體。表2示出以表l中的縮寫表示的感光性樹脂組合物中的材料成分的名稱。另外，比較例3是不含(C)吖啶衍生物的組合物。另外，比較例1和2是不含本發(fā)明中使用的(d)巰基噻二唑化合物的組合物。<基板整平>靈敏度、分辨率評價(jià)用基板使用層壓有35(im壓延銅箔的1.6mm厚的覆銅層壓板，對表面進(jìn)行濕式拋光輥研磨(3M公司(抹)制、ScotchBrite(注冊商標(biāo))HD#600,通兩次)。<層壓〉邊剝離感光性樹脂層壓體的聚乙烯薄膜，邊進(jìn)行整平，通過熱輥層壓機(jī)(ASAHIENGINEERING.CO.,LTD.制，AL-70),在輥溫度105。C下將該層壓體層壓到預(yù)熱至60。C的覆銅層壓板上。氣體壓力為0.35MPa、層壓速度為1.5m/min。<曝光〉通過2種DI曝光方式曝光裝置(HitachiViaMechanics,Ltd.制，DE-H，光源405nm)(OrbotechLtd.制，Paragon9000，光源355nm),根據(jù)下述的靈敏度評價(jià)，以階段式曝光表級數(shù)為6的曝光量進(jìn)行曝光。<顯影〉剝離聚對苯二曱酸乙二酯薄膜后，以規(guī)定時(shí)間噴射3(TC的1質(zhì)量。/。Na2C03水溶液，將感光性樹脂層的未曝光部分溶解除去。此時(shí)，將用于使未曝光部分的感光性樹脂層完全溶解的最少時(shí)間作為最小顯影時(shí)間。2.評價(jià)方法(1)對比度評價(jià)曝光后經(jīng)過l分鐘，然后按如下等級劃分是否可以目視辨別曝光部和未曝光部的界限。o:目牙見可辨另寸x:目浮見難以辨別(2)靈敏度評價(jià)使用從透明到黑色21級改變明度的Stauffer制21級階段式曝光表，對層壓后經(jīng)過15分鐘的靈敏度、分辨率評價(jià)用基板進(jìn)行曝光。曝光后，以最小顯影時(shí)間的2倍的顯影時(shí)間進(jìn)行顯影，用抗蝕膜完全殘留的階段式曝光表段數(shù)為6的曝光量，按如下等級劃分?！?曝光量為20mJ/cm2以下。o:曝光量超過20mJ/cm2且50mJ/cm2以下?！?曝光量超過50mJ/cm2且80mJ/cm2以下。x:曝光量超過80mJ/cm2。(3)密合性評價(jià)通過曝光部與未曝光部的寬度為1:IOO的比率的線圖案掩模對層壓后經(jīng)過15分鐘的靈敏度、分辨率評價(jià)用基板進(jìn)行曝光。以最小顯影時(shí)間的2倍的顯影時(shí)間進(jìn)行顯影，將正常形成固化抗蝕線的最小掩模寬度作為密合性的值?！?密合性的4直為30pim以下。o:密合性的值超過30iam且40nm以下?！?密合性的值超過40pm。(4)保存穩(wěn)定性評價(jià)從感光性樹脂層壓體剝離聚乙烯薄膜，使用UV-Vis分光計(jì)(島津制作所(抹)制，UV-240)，測定波長600nm的光的透過率。此時(shí)，將與用于該感光性樹脂層壓體的薄膜相同的聚對苯二曱酸乙二酯薄膜放入分光計(jì)的參照側(cè)，消除來自聚對苯二曱酸乙二酯薄膜的透過率。對在溫度50。C、濕度60%下保存3天的感光性樹脂層壓體的透過率和在溫度23。C、濕度50%下保存3天的同樣的感光性樹脂層壓體的透過率進(jìn)行比較，通過其差值，按如下等級進(jìn)行劃分。o:600nm中的透過率的差不足±10%x:600nm中的透過率的差為±10%以上3.評價(jià)結(jié)果實(shí)施例以及比較例的評價(jià)結(jié)果示于表1。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage31</column></row><table>/285t<table>tableseeoriginaldocumentpage32</column></row><table>產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明可以利用于印刷電路板的制造，IC芯片搭載用引線框的制造、金屬掩模的制造等的金屬箔精密加工，以及BGA、CSP等封裝的制造。權(quán)利要求1.一種感光性樹脂組合物，其含有(a)包含含α，β-不飽和羧基的單體作為共聚成分、酸當(dāng)量為100～600、重均分子量為20000～500000的熱塑性共聚物20～90質(zhì)量％；(b)具有至少一個(gè)末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體5～75質(zhì)量％；(c)包含吖啶衍生物的光聚合引發(fā)劑0.01～20質(zhì)量％；(d)下述通式(1)所示的巰基噻二唑化合物0.01～5質(zhì)量％；以及(e)無色染料0.01～5質(zhì)量％，id="icf0001"file="S2008100937324C00011.gif"wi="104"he="24"top="92"left="72"img-content="drawing"img-format="tif"orientation="portrait"inline="no"/>式中，R1是選自碳原子數(shù)為1～3的烷基、碳原子數(shù)為1～3的烷氧基、碳原子數(shù)為1～3的烷硫基、巰基、以及氨基所組成的組中的一個(gè)基團(tuán)。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性樹脂組合物，上述(c)包含吖啶衍生物的光聚合引發(fā)劑的吖啶衍生物為選自9-苯基吖啶、9-吡啶基吖啶、9-吡溱基吖啶、1,2-雙(9-吖啶基)乙烷、1，3-雙(9-吖啶基)丙烷、1,4-雙(9-吖啶基)丁烷、1，5-雙(9-吖啶基)戊烷、1，6-雙(9-吖啶基)己烷、1,7-雙(9-吖啶基)庚烷、1,8-雙(9-吖啶基)辛烷、1，9-雙(9-吖啶基)壬烷、I，IO-雙(9-吖咬基)癸烷、1,11-雙(9-吖啶基)十一烷、1，12-雙(9-吖啶基)十二烷所組成的組中的至少一種化合物。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，上述(d)巰基p塞二唑化合物為選自5-曱基_2-巰基-1,3,4-噻二唑、5-乙基-2-巰基-1,3,4-噻二唑、5-正丙基-2-巰基-l,3，4-蓬二唑、5-異丙基-2-巰基-1，3，4-噻二唑、5-曱氧基-2-巰基-1，3,4-p塞二唑、5-乙氧基-2-巰基-1，3，4-瘞二唑、5-正丙氧基-2-巰基-1,3,4-"塞二唑、5-異丙氧基-2-巰基-1，3，4-p塞二唑、5-曱硫基-2-巰基-1，3,4-蓬二唑、5-乙辟l基-2-巰基-1，3，4-瘞二唑、5-正丙碌l基-2-巰基-1,3,4-噻二唑、5-異丙硫基-2-巰基-1,3,4-p塞二哇、5-氨基-2-巰基-1，3,4-漆二哇、2，5-二巰基-1，3，4-p塞二唑所組成的組中的至少一種化合物。4.根據(jù)權(quán)利要求l~3任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，上述(d)巰基噻二唑化合物為選自5-甲硫基-2-巰基-1,3,4-p塞二哇、5-氨基-2-巰基-1，3，4-p塞二峻、以及2，5-二巰基-1，3，4-瘞二唑所組成的組中的至少一種化合物。5.根據(jù)權(quán)利要求l~4任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，(e)無色染料為無色結(jié)晶紫。6.根據(jù)權(quán)利要求l~5任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，上述(b)加成聚合性單體含有選自下述化學(xué)式(2)和下述化學(xué)式(3)所組成的組中的至少一種化合物，式中，R2以及Rs各自獨(dú)立地為H或CH3;另夕卜，A以及B各自獨(dú)立地為碳原子數(shù)為2~4個(gè)的亞烴基；al、a2、bl以及b2是0或正整數(shù)、al、a2、bl以及b2的總計(jì)是2~40,<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>式中，R4以及Rs各自獨(dú)立地為H或CHb;另外，D以及E各自獨(dú)立地為碳原子數(shù)為24個(gè)的亞烴基；a3、a4、b3以及b4是0或正整數(shù)、a3、a4、b3以及b4的總計(jì)是2~40。7.—種感光性樹脂層壓體，其在支撐體上層壓由權(quán)利要求1~6任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物形成的感光性樹脂層而成。8.—種抗蝕圖案的形成方法，至少按順序包括使用權(quán)利要求7所述的感光性樹脂層壓體將感光性樹脂層層壓在基板上的層壓工序、曝光工序、顯影工序。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的抗蝕圖案的形成方法，上述曝光工序中，通過直接描繪進(jìn)行曝光。10.—種印刷電路板的制造方法，其包括對通過權(quán)利要求8或9所述的方法形成抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻或鍍敷的工序。11.一種引線框的制造方法，其包括對通過權(quán)利要求8或9所述的方法形成有抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻的工序。12.—種半導(dǎo)體封裝體的制造方法，其包括對通過權(quán)利要求8或9所述的方法形成有抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻或鍍敷的工序。13.—種凹凸基板的制造方法，其包括對通過權(quán)利要求8或9所述的方法形成有抗蝕圖案的基板進(jìn)行噴砂的工序。全文摘要提供對具有350～430nm波長的光源的靈敏度、密合性優(yōu)異，并且對比度及保存穩(wěn)定性良好的、可通過堿性水溶液顯影的感光性樹脂組合物和層壓體。使用感光性樹脂組合物，其含有(a)包含含α，β-不飽和羧基的單體作為共聚成分、酸當(dāng)量為100～600、重均分子量為20000～500000的熱塑性共聚物20～90質(zhì)量％；(b)具有至少一個(gè)末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體5～75質(zhì)量％；(c)包含吖啶衍生物的光聚合引發(fā)劑0.01～20質(zhì)量％；(d)特定的巰基噻二唑化合物0.01～5質(zhì)量％；以及(e)無色染料0.01～5質(zhì)量％。文檔編號G03F7/004GK101290471SQ20081009373公開日2008年10月22日申請日期2008年4月16日優(yōu)先權(quán)日2007年4月17日發(fā)明者秦洋介申請人:旭化成電子材料元件株式會社