專利名稱：噴出量測量和調(diào)整方法、液狀體噴出方法、濾色器的制法的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及噴出量測量方法、噴出量調(diào)整方法、液狀體的噴出方法、 濾色器的制造方法、液晶顯示裝置的制造方法及電光裝置的制造方法，尤 其涉及可以精度優(yōu)良地測量從液滴噴出頭噴出的液滴的噴出量的方法。
背景技術(shù)：
以往，作為對工件噴出液滴的方法，公知利用噴墨式液滴噴出裝置進(jìn) 行噴出的方法。液滴噴出裝置包括工作臺，其載置基板等工件，并使工 件沿一個方向移動；和滑架，其沿配置在與工作臺移動方向正交的方向上的導(dǎo)軌移動。滑架配置噴墨頭(以下稱為液滴噴出頭)，對工件噴出液滴， 然后進(jìn)行涂覆。使功能液成為液滴后通過向工件噴出液滴，從而所涂覆的功能液可以 采用各種材料。功能液大多因?yàn)闇囟鹊淖兓鴮?dǎo)致粘度發(fā)生變化，粘度發(fā) 生變化也會導(dǎo)致流體電阻發(fā)生變化。流體電阻發(fā)生變化，從而流經(jīng)液滴噴 出頭內(nèi)的流路的功能液的流速也發(fā)生變化。因?yàn)楣δ芤旱牧魉僮兓?，故?個墨點(diǎn)的噴出量變動，難以精度優(yōu)良地測量噴出量。為了解決該問題，在專利文獻(xiàn)l中，公幵了一種精度優(yōu)良地測量每個 墨點(diǎn)的噴出量的方法。根據(jù)該方法，在腔室內(nèi)設(shè)置了液滴噴出裝置后，通 過調(diào)整腔室內(nèi)的溫度與濕度，從而控制液滴噴出裝置的環(huán)境，測量噴出量。專利文獻(xiàn)1特開2004-209429號公報在利用壓電元件對液滴噴出頭的空腔(cavity)加壓時，因壓電元件 的動作而增加的能量的一部分轉(zhuǎn)換為熱，成為使得液滴噴出頭的溫度上升 的主要原因。再有，在未驅(qū)動壓電元件時，壓電元件不會發(fā)熱，液滴噴出 頭散熱，因此成為液滴噴出頭的溫度變動的主要原因。在測量噴出量時，由于噴出量受到溫度的影響，故測量時的噴頭溫度在每次測量的時候不能以大致相同的溫度條件進(jìn)行測量，存在測量精度下 降的問題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是為了解決上述問題的至少一部分而進(jìn)行的，能作為以下的形 態(tài)或應(yīng)用例來實(shí)現(xiàn)。 [應(yīng)用例1〗本應(yīng)用例涉及的噴出量測量方法，對從在多個滑架上排列并搭載有多 個液滴噴出頭的液滴噴出頭列的、上述液滴噴出頭噴出的液狀體的噴出量 進(jìn)行測量，其特征在于，該噴出量測量方法包括第一測量工序，排列多 個上述液滴噴出頭列，從上述液滴噴出頭噴出上述液狀體，對從上述液滴 噴出頭列中的、被上述液滴噴出頭列夾持的上述液滴噴出頭噴出的上述液 狀體的噴出量進(jìn)行測量；和第二測量工序，在上述第一測量工序之后進(jìn)行，用其他的上述液滴噴出頭列夾持在上述第一測量工序中未被其他的上述 液滴噴出頭列夾持的上述液滴噴出頭，并使上述液滴噴出頭噴出上述液狀 體后，對從上述液滴噴出頭噴出的上述液狀體的噴出量進(jìn)行測量。 根據(jù)該噴出量測量方法，可以將噴出量的測量分為第一測量工序與第二測量工序來進(jìn)行。在使液狀體作為液滴從噴嘴噴出時，對液狀體進(jìn)行加壓。通過對液狀 體進(jìn)行加壓，從而液狀體的壓力升高。此時，在噴嘴中，成為液狀體與氣 體接觸的狀態(tài)。而且，液狀體的壓力高于氣體的氣壓，因此液狀體的一部 分成為液滴，被噴出到氣體中。在對液狀體進(jìn)行加壓時，所加壓的能量的一部分被轉(zhuǎn)換為熱。而且， 液滴噴出頭的溫度上升。液狀體若溫度上升，則構(gòu)成液狀體的分子的動能 增加，因此大多粘度降低。若液狀體的粘度變化，則通過噴嘴等流路時的 流體電阻變化。并且，從噴嘴噴出的液狀體的噴出量變化。在第一測量工序中，排列多個液滴噴出頭列后噴出液狀體。此時，液 滴噴出頭列存在被其他液滴噴出頭列夾持的狀態(tài)的液滴噴出頭和未被其 他液滴噴出頭列夾持的狀態(tài)的液滴噴出頭。而且，各液滴噴出頭因?yàn)檫M(jìn)行 噴出時溫度上升，因此進(jìn)行噴出的液滴噴出頭全部溫度上升。未被其他液滴噴出頭列夾持的狀態(tài)的液滴噴出頭的一面與空氣流相 接觸，容易釋放熱量，因此溫度難以上升。另一方面，被其他液滴噴出頭 列夾持的狀態(tài)的液滴噴出頭列因?yàn)闇囟壬仙?，變得難以散熱，故溫度容易 上升。也就是說，屬于被其他液滴噴出頭列夾持的狀態(tài)的液滴噴出頭列的 液滴噴出頭與屬于未被其他液滴噴出頭列夾持的狀態(tài)的液滴噴出頭列的 液滴噴出頭相比，溫度容易上升。在該測量方法中，在第一測量工序中對從屬于被其他液滴噴出頭列夾 持的狀態(tài)的液滴噴出頭列的液滴噴出頭噴出時的噴出量進(jìn)行測量。然后， 在第二測量工序中，用其他液滴噴出頭列夾持第一測量工序中未被其他液 滴噴出頭列夾持的液滴噴出頭列，在噴出液狀體后對噴出量進(jìn)行測量。也 就是說，在第一測量工序與第二測量工序中，測量從屬于被其他液滴噴出 頭列夾持的狀態(tài)下的液滴噴出頭列的液滴噴出頭噴出時的噴出量。因此， 液滴噴出頭可以對基本相同的溫度下的噴出量進(jìn)行測量。結(jié)果，可以精確[應(yīng)用例2]在上述應(yīng)用例涉及的噴出量測量方法中，其特征在于，上述第一測量 工序及上述第二測量工序包括測量上述噴出量的預(yù)定的上述液滴噴出頭 待機(jī)的噴出前待機(jī)工序；噴出上述液狀體的測量用噴出工序；和對所噴出 的上述液狀體的噴出量進(jìn)行測量的測量工序；在上述噴出前待機(jī)工序中， 對上述液滴噴出頭進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動。根據(jù)該噴出量測量方法，在噴出前待機(jī)工序中，液滴噴出頭通過進(jìn)行 暖機(jī)驅(qū)動，從而使得液滴噴出頭的溫度上升。而且，測量液滴噴出頭的溫 度高的狀態(tài)下的噴出量。在向工件噴出液狀體時，因?yàn)橐旱螄姵鲱^噴出液 滴，故液滴噴出頭的溫度上升。也就是說，液滴噴出頭通過進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動， 從而可以測量與向工件噴出液狀體時大致相同的溫度下的噴出量。因此， 可以精確地測量向工件噴出液狀體時的噴出量。[應(yīng)用例3]在上述應(yīng)用例涉及的噴出量測量方法中，其特征在于，上述暖機(jī)驅(qū)動 是在驅(qū)動到從上述液滴噴出頭不噴出上述液狀體的程度后進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動。 根據(jù)該噴出量測量方法，暖機(jī)驅(qū)動到從噴嘴不噴出液滴的程度。因此，因?yàn)橐旱尾粫速M(fèi)地噴出，故可以成為節(jié)省資源的噴出量測量方法。 [應(yīng)用例4〗在上述應(yīng)用例涉及的噴出量測量方法中，其特征在于，上述暖機(jī)驅(qū)動 是在與上述測量用噴出工序中噴出上述液狀體的場所大致相同的場所進(jìn) 行暖機(jī)驅(qū)動。根據(jù)該噴出量測量方法，因?yàn)橐旱螄姵鲱^為了進(jìn)行測量而噴出液狀體 的場所和進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動的場所是基本相同的場所，故在液滴噴出頭進(jìn)行暖 機(jī)驅(qū)動后，無需為了進(jìn)行測量而向噴出液狀體的場所移動。因此，在移動 液滴噴出頭的期間內(nèi)無需冷卻液滴噴出頭即可進(jìn)行噴出，故可以減小液滴 噴出頭的溫度中的分散，可以測量噴出量。結(jié)果，可以精確地測量噴出量。[應(yīng)用例5]在上述應(yīng)用例涉及的噴出量測量方法中，其特征在于，在上述第一測 量工序中，對一個滑架所搭載的上述液滴噴出頭中的、預(yù)定測量的全部上 述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量后，對其他上述滑架所搭載的上述液滴噴 出頭中的、預(yù)定測量的全部上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量，從而順次 對各上述滑架所搭載的預(yù)定測量的全部上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測 量，在上述第二測量工序中，對一個滑架所搭載的上述液滴噴出頭中的、 預(yù)定測量的全部上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量后，對其他上述滑架所 搭載的上述液滴噴出頭中的、預(yù)定測量的全部上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn) 行測量，從而順次對各上述滑架所搭載的預(yù)定測量的全部上述液滴噴出頭 的噴出量進(jìn)行測量。根據(jù)該噴出量測量方法，在對一個滑架所搭載的液滴噴出頭的噴出量 全部進(jìn)行測量后，順次改變滑架，對各滑架所裝置的上述液滴噴出頭的噴 出量進(jìn)行測量。因此，可以利用滑架的移動量較少的方法進(jìn)行測量。結(jié)果， 因?yàn)榭梢詼p少使滑架移動的能量，故可以成為節(jié)省資源的測量方法。[應(yīng)用例6〗在上述應(yīng)用例涉及的噴出量測量方法中，其特征在于，由多個上述滑 架所搭載的多個上述液滴噴出頭列形成上述液滴噴出頭的多行，在上述第 一測量工序中，對一個滑架所搭載的預(yù)定測量的上述液滴噴出頭中的、一 部分上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量后，對其他上述滑架所搭載的上述液滴噴出頭中的、屬于己經(jīng)測量了噴出量的上述液滴噴出頭的行的上述液 滴噴出頭，即位于與已經(jīng)進(jìn)行過測量的上述液滴噴出頭接近的場所的上述 液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量，從而順次對各上述滑架所搭載的預(yù)定測量 的上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量，在上述第二測量工序中，對一個滑 架所搭載的預(yù)定測量的上述液滴噴出頭中的、 一部分上述液滴噴出頭的噴 出量進(jìn)行測量后，對其他上述滑架所搭載的上述液滴噴出頭中的、屬于己 經(jīng)測量了噴出量的上述液滴噴出頭的行的上述液滴噴出頭，即位于與已經(jīng) 進(jìn)行過測量的上述液滴噴出頭接近的場所的上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn) 行測量，從而順次對各上述滑架所搭載的預(yù)定測量的上述液滴噴出頭的噴 出量進(jìn)行測量，反復(fù)進(jìn)行上述第一測量工序與上述第二測量工序，從而對 預(yù)定測量的全部行中的上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量。根據(jù)該噴出量測量方法，在屬于相同行的液滴噴出頭中，測量了位于 較近場所的液滴噴出頭的噴出量后，順次改變行進(jìn)行測量。在測量液滴噴 出頭的噴出量時，液滴噴出頭在溫度被管理的環(huán)境內(nèi)被進(jìn)行測量。此時， 溫度大多以大的周期變化。此時，接著測量液滴噴出頭的某一行內(nèi)鄰近的 液滴噴出頭的噴出量。因此，在同一行中較近的噴頭可以利用大致相同溫 度的影響所產(chǎn)生的誤差對噴出量進(jìn)行測量。[應(yīng)用例7]在上述應(yīng)用例涉及的噴出量測量方法中，其特征在于，由多個上述滑 架所搭載的多個上述液滴噴出頭列形成上述液滴噴出頭的多行，在上述第 一測量工序中，對一個滑架所搭載的預(yù)定測量的上述液滴噴出頭中的、一 部分上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量，在上述第二測量工序中對位于上 述第一測量工序測量過的上述液滴噴出頭附近且屬于上述液滴噴出頭的 行的上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量，反復(fù)進(jìn)行上述第一測量工序與上 述第二測量工序，從而對屬于規(guī)定行的上述液滴噴出頭中的、預(yù)定測量的 全部上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量，切換到未進(jìn)行測量的上述液滴噴 出頭所屬的行，反復(fù)進(jìn)行上述第一測量工序與上述第二測量工序，從而對 上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量。根據(jù)該噴出量測量方法，在對一個液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量后， 對位于該測量過的液滴噴出頭附近的液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量。因此，即使在周圍的溫度變化時，在同一行中鄰近位置的噴頭也可以利用大 致相同溫度的影響所產(chǎn)生的誤差來測量噴出量。 [應(yīng)用例8]本應(yīng)用例涉及的噴出量調(diào)整方法，對從在多個滑架上排列并搭載有多 個液滴噴出頭的液滴噴出頭列的、上述液滴噴出頭噴出的液狀體的噴出量 進(jìn)行調(diào)整，其特征在于，該噴出量調(diào)整方法包括第一測量工序，排列多 個上述液滴噴出頭列，從上述液滴噴出頭噴出上述液狀體，對從上述液滴 噴出頭列中的、被上述液滴噴出頭列夾持的上述液滴噴出頭噴出的上述液 狀體的噴出量進(jìn)行測量；第一調(diào)整工序，對上述第一測量工序測出的上述 液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整；第二測量工序，在上述第一調(diào)整工序之后進(jìn)行，用其他的上述液滴噴出頭列夾持在上述第一測量工序中未被其他的 上述液滴噴出頭列夾持的上述液滴噴出頭，并使上述液滴噴出頭噴出上述液狀體后，對從上述液滴噴出頭噴出的上述液狀體的噴出量進(jìn)行測量；和 第二調(diào)整工序，對在上述第二測量工序中測出的上述液滴噴出頭的噴出量 進(jìn)行調(diào)整。根據(jù)該噴出量調(diào)整方法，在第一調(diào)整工序中對第一測量工序測量的液 滴噴出頭進(jìn)行調(diào)整后，在第二調(diào)整工序中對第二測量工序測量的液滴噴出 頭進(jìn)行調(diào)整。而且，根據(jù)第一測量工序及第二測量工序中精確地測量了噴 出量的測量結(jié)果，在第一調(diào)整工序及第二調(diào)整工序中可以精確地調(diào)整噴出[應(yīng)用例9〗在上述應(yīng)用例涉及的噴出量調(diào)整方法中，其特征在于，還包括第一噴出量調(diào)整工序，反復(fù)進(jìn)行上述第一測量工序與上述第一調(diào)整工序，以使上述噴出量接近目標(biāo)噴出量；和第二噴出量調(diào)整工序，反復(fù)進(jìn)行上述第二 測量工序與上述第二調(diào)整工序，以使上述噴出量接近目標(biāo)噴出量。根據(jù)該噴出量調(diào)整方法，具有第一噴出量調(diào)整工序與第二噴出量調(diào)整 工序。而且，在第一噴出量調(diào)整工序中，根據(jù)第一測量工序測出的噴出量 的測量結(jié)果，在第一調(diào)整工序中進(jìn)行噴出量的調(diào)整。接著，通過反復(fù)進(jìn)行 第一測量工序與第一調(diào)整工序，從而使得噴出量接近目標(biāo)噴出量。因此， 與僅進(jìn)行一次調(diào)整工序的方法相比，可以精確地調(diào)整噴出量。而且，即使在第二噴出量調(diào)整中也同樣地進(jìn)行，因此與僅進(jìn)行一次調(diào) 整工序的方法相比，可以精確調(diào)整噴出量。結(jié)果，可以成為能精確地調(diào)整 噴出量的方法。[應(yīng)用例10]在上述應(yīng)用例涉及的噴出量調(diào)整方法中，其特征在于，上述第一測量 工序及上述第二測量工序包括測量上述噴出量的預(yù)定的上述液滴噴出頭 待機(jī)的噴出前待機(jī)工序；噴出上述液狀體的測量用噴出工序；和對所噴出 的上述液狀體的噴出量進(jìn)行測量的測量工序；在上述噴出前待機(jī)工序中，上述液滴噴出頭進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動。根據(jù)該噴出量調(diào)整方法，在噴出前待機(jī)工序中液滴噴出頭通過進(jìn)行暖 機(jī)驅(qū)動，從而使液滴噴出頭的溫度上升。而且，對液滴噴出頭的溫度高的 狀態(tài)下的噴出量進(jìn)行測量。在向工件噴出液狀體時，因?yàn)橐旱螄姵鲱^噴出 液狀體，故液滴噴出頭的溫度上升。也就是說，液滴噴出頭通過進(jìn)行暖機(jī) 驅(qū)動，從而對與向工件噴出液狀體時大致相同的溫度下的噴出量進(jìn)行測量 后，調(diào)整噴出量。因此，可以精確地調(diào)整向工件噴出液狀體時的噴出量。[應(yīng)用例11]在上述應(yīng)用例涉及的噴出量調(diào)整方法中，其特征在于，上述暖機(jī)驅(qū)動 是在驅(qū)動到從上述液滴噴出頭不噴出上述液狀體的程度后進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動。根據(jù)該噴出量調(diào)整方法，可以暖機(jī)驅(qū)動到從噴嘴不噴出液滴的程度。 因此，因?yàn)椴粫速M(fèi)地噴出液滴，故可以成為節(jié)省資源的噴出量調(diào)整方法。[應(yīng)用例12]在上述應(yīng)用例涉及的噴出量調(diào)整方法中，其特征在于，上述暖機(jī)驅(qū)動 是在與上述測量用噴出工序中噴出上述液狀體的場所大致相同的場所進(jìn) 行暖機(jī)驅(qū)動。根據(jù)該噴出量調(diào)整方法，因?yàn)橐旱螄姵鲱^為了進(jìn)行測量而噴出液狀體 的場所和進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動的場所為大致相同的場所，故在液滴噴出頭進(jìn)行暖 機(jī)驅(qū)動后，無需為了測量而向噴出液狀體的場所移動。因此，在移動液滴 噴出頭的期間內(nèi)無需冷卻液滴噴出頭即可進(jìn)行噴出，故可以減小液滴噴出 頭的溫度中的分散，可以測量噴出量。結(jié)果，可以精確地測量噴出量。[應(yīng)用例13]在上述應(yīng)用例涉及的噴出量調(diào)整方法中，其特征在于，在上述第一噴 出量調(diào)整工序中，對屬于被上述液滴噴出頭列夾持的上述液滴噴出頭列的 上述液滴噴出頭、和屬于未被上述液滴噴出頭列夾持的上述液滴噴出頭列 的上述液滴噴出頭所噴出的上述液狀體的噴出量進(jìn)行調(diào)整。根據(jù)該噴出量調(diào)整方法，在第一測量工序中，屬于未被其他液滴噴出 頭列夾持的液滴噴出頭列的液滴噴出頭在第一噴出量調(diào)整工序與第二噴 出量調(diào)整工序這兩個工序中可以被調(diào)整噴出量。在第一測量工序中，屬于未被其他液滴噴出頭列夾持的液滴噴出頭列 的液滴噴出頭在第一噴出量調(diào)整工序中進(jìn)行噴出量的調(diào)整。而且，該液滴 噴出頭的噴出量在調(diào)整為接近目標(biāo)噴出量后，在第二噴出量調(diào)整工序中， 再次調(diào)整噴出量。在第二噴出量調(diào)整工序中，液滴噴出頭的溫度比第一噴 出量調(diào)整工序中的溫度還要上升。而且，液滴噴出頭與在第一噴出量調(diào)整 工序中未進(jìn)行調(diào)整的情況相比，可以利用較少的反復(fù)次數(shù)進(jìn)行調(diào)整。結(jié)果， 可以成為生產(chǎn)率較佳的調(diào)整方法。[應(yīng)用例14]在上述應(yīng)用例涉及的噴出量調(diào)整方法中，其特征在于，在由上述第一 測量工序及上述第一調(diào)整工序構(gòu)成的工序和由上述第二測量工序及上述 第二調(diào)整工序構(gòu)成的工序的至少一個工序中，多次進(jìn)行測量工序及調(diào)整工 序，上述調(diào)整工序包括粗調(diào)整工序與微調(diào)整工序。在此，粗調(diào)整工序與微調(diào)整工序的區(qū)別在于，進(jìn)行調(diào)整時的噴出量的 大小。而且，在粗調(diào)整工序中，與微調(diào)整工序相比，可以大幅度改變噴出 量后進(jìn)行調(diào)整。根據(jù)該噴出量調(diào)整方法，進(jìn)行粗調(diào)整與微調(diào)整。此時，與 反復(fù)進(jìn)行微調(diào)整，每次少量地調(diào)整噴出量的情況相比，組合通過粗調(diào)整使 得噴出量大幅度變化的工序和微調(diào)整工序后進(jìn)行的方法，可以以較少的次 數(shù)調(diào)整為作為目標(biāo)的噴出量。因此，可以生產(chǎn)率良好地進(jìn)行調(diào)整。[應(yīng)用例15]在上述應(yīng)用例涉及的噴出量調(diào)整方法中，其特征在于，在上述粗調(diào)整 工序之前進(jìn)行的測量工序中噴出的上述液狀體的量，比在上述微調(diào)整工序 之前進(jìn)行的測量工序中噴出的上述液狀體的量少。根據(jù)該噴出量調(diào)整方法，在粗調(diào)整工序中，與微調(diào)整工序相比，可以以較少的噴出量迸行噴出量的測量。因此，可以減少所噴出的液狀體的消 耗量。結(jié)果，可以成為節(jié)省資源的調(diào)整方法。 [應(yīng)用例16]在上述應(yīng)用例涉及的噴出量調(diào)整方法中，其特征在于，在上述粗調(diào)整 工序之前進(jìn)行的測量工序中單位時間內(nèi)從上述液滴噴出頭噴出上述液狀 體的次數(shù)，比在上述微調(diào)整工序之前進(jìn)行的測量工序中單位時間內(nèi)從上述 液滴噴出頭噴出上述液狀體的次數(shù)多。根據(jù)該噴出量調(diào)整方法，在粗調(diào)整工序中，與微調(diào)整工序相比，增多 單位時間內(nèi)噴出的次數(shù)。在粗調(diào)整工序以及微調(diào)整工序中，進(jìn)行大致相同 次數(shù)的噴出，測量噴出量時，粗調(diào)整工序可以在短時間內(nèi)進(jìn)行噴出。因此 可以生產(chǎn)率良好地進(jìn)行調(diào)整。[應(yīng)用例17]在上述應(yīng)用例涉及的噴出量調(diào)整方法中，其特征在于，在上述第一調(diào) 整工序中，對一個滑架所搭載的上述液滴噴出頭中的、預(yù)定調(diào)整的全部上 述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了調(diào)整后，對其他上述滑架所搭載的上述液滴 噴出頭中的、預(yù)定調(diào)整的全部上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整，順次對 各上述滑架所搭載的預(yù)定調(diào)整的全部上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整， 在上述第二調(diào)整工序中，對一個滑架所搭載的上述液滴噴出頭中的、預(yù)定 調(diào)整的全部上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整后，對其他上述滑架所搭載 的上述液滴噴出頭中的、預(yù)定調(diào)整的全部上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào) 整，順次對各上述滑架所搭載的預(yù)定調(diào)整的全部上述液滴噴出頭的噴出量 進(jìn)行調(diào)整。根據(jù)該噴出量調(diào)整方法，在對一個滑架所搭載的液滴噴出頭的噴出量 全部進(jìn)行調(diào)整后，順次改變滑架，對各滑架所裝置的上述液滴噴出頭的噴 出量進(jìn)行調(diào)整。因此，可以利用滑架的移動量較少的方法進(jìn)行調(diào)整。結(jié)果， 因?yàn)榭梢詼p少使滑架移動的能量，故可以成為節(jié)省資源的調(diào)整方法。[應(yīng)用例18]在上述應(yīng)用例涉及的噴出量調(diào)整方法中，其特征在于，由多個上述滑 架所搭載的多個上述液滴噴出頭列形成上述液滴噴出頭的多行，在上述第 一調(diào)整工序中，對一個滑架所搭載的預(yù)定調(diào)整的上述液滴噴出頭中的、一部分上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整后，對其他上述滑架所搭載的上述 液滴噴出頭中的、屬于已經(jīng)調(diào)整了噴出量的上述液滴噴出頭的行的一部分 上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量，從而順次對各上述滑架所搭載的預(yù)定 調(diào)整的上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整，在上述第二調(diào)整工序中，對一 個滑架所搭載的預(yù)定調(diào)整的上述液滴噴出頭中的、 一部分上述液滴噴出頭 的噴出量進(jìn)行調(diào)整后，對其他上述滑架所搭載的上述液滴噴出頭中的、屬 于己經(jīng)調(diào)整了噴出量的上述液滴噴出頭的行的一部分上述液滴噴出頭的 噴出量進(jìn)行調(diào)整，順次對各上述滑架所搭載的預(yù)定調(diào)整的上述液滴噴出頭 的噴出量進(jìn)行調(diào)整，反復(fù)進(jìn)行上述第一調(diào)整工序與上述第二調(diào)整工序，從 而對預(yù)定調(diào)整的全部行中的上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整。根據(jù)該噴出量調(diào)整方法，在屬于相同行的液滴噴出頭中，調(diào)整了位于 較近場所的液滴噴出頭的噴出量后，順次改變行進(jìn)行調(diào)整。在調(diào)整液滴噴 出頭的噴出量時，液滴噴出頭在溫度被管理的環(huán)境內(nèi)被進(jìn)行調(diào)整。此時， 溫度大多以大的周期變化。此時，接著調(diào)整液滴噴出頭的某一行內(nèi)鄰近的 液滴噴出頭的噴出量。因此，在同一行中較近的噴頭可以利用大致相同溫 度的影響所產(chǎn)生的誤差對噴出量進(jìn)行調(diào)整。[應(yīng)用例19]在上述應(yīng)用例涉及的噴出量調(diào)整方法中，其特征在于，由多個上述滑 架所搭載的多個上述液滴噴出頭列形成上述液滴噴出頭的多行，在上述第 一調(diào)整工序中，對一個滑架所搭載的預(yù)定調(diào)整的上述液滴噴出頭中的、一 部分上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整，在上述第二調(diào)整工序中對位于上 述第一調(diào)整工序調(diào)整過的上述液滴噴出頭附近且屬于上述液滴噴出頭的 行的上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整，反復(fù)進(jìn)行上述第一調(diào)整工序與上 述第二調(diào)整工序，從而對屬于規(guī)定行的上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào) 整，切換到未進(jìn)行調(diào)整的上述液滴噴出頭所屬的行，反復(fù)進(jìn)行上述第一調(diào) 整工序與上述第二調(diào)整工序，從而對上述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整。根據(jù)該噴出量調(diào)整方法，在對一個液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整后， 對位于該調(diào)整過的液滴噴出頭附近的液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整。因 此，即使在周圍的溫度變化時，在同一行中鄰近位置的噴頭也可以利用大 致相同溫度的影響所產(chǎn)生的誤差來調(diào)整噴出量。[應(yīng)用例20]本應(yīng)用例涉及的噴出量調(diào)整方法，對從在多個滑架上排列并搭載有多 個液滴噴出頭的液滴噴出頭列的、上述液滴噴出頭噴出的液狀體的噴出量 進(jìn)行調(diào)整，其特征在于，該噴出量調(diào)整方法包括第一測量工序，排列多 個上述液滴噴出頭列，從上述液滴噴出頭噴出上述液狀體，對從上述液滴 噴出頭列中的、被上述液滴噴出頭列夾持的上述液滴噴出頭噴出的上述液 狀體的噴出量進(jìn)行測量；第一調(diào)整工序，對上述第一測量工序測出的上述 液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整；第二測量工序，在上述第一調(diào)整工序之后進(jìn)行，用其他的上述液滴噴出頭列夾持在上述第一測量工序中未被其他的 上述液滴噴出頭列夾持的上述液滴噴出頭，并使上述液滴噴出頭噴出上述液狀體后，對從上述液滴噴出頭噴出的上述液狀體的噴出量進(jìn)行測量；和 第二調(diào)整工序，對在上述第二測量工序中測出的上述液滴噴出頭的噴出量 進(jìn)行調(diào)整；還包括第一噴出量調(diào)整工序，反復(fù)進(jìn)行上述第一測量工序與 上述第一調(diào)整工序，以使上述噴出量接近目標(biāo)噴出量；和第二噴出量調(diào)整 工序，反復(fù)進(jìn)行上述第二測量工序與上述第二調(diào)整工序，以使上述噴出量 接近目標(biāo)噴出量；在上述第一噴出量調(diào)整工序中，除了屬于被上述液滴噴 出頭列夾持的上述液滴噴出頭列的上述液滴噴出頭以外，還對從屬于未被 上述液滴噴出頭列夾持的上述液滴噴出頭列的上述液滴噴出頭噴出的上 述液狀體的噴出量進(jìn)行粗調(diào)整。根據(jù)該噴出量調(diào)整方法，與在第一噴出量調(diào)整工序中未進(jìn)行調(diào)整的情 況相比，可以以較少的反復(fù)次數(shù)進(jìn)行調(diào)整。結(jié)果，可以成為生產(chǎn)率優(yōu)良的 調(diào)整方法。[應(yīng)用例21]在上述應(yīng)用例涉及的噴出量調(diào)整方法中，其特征在于，在上述第一噴 出量調(diào)整工序中，調(diào)整為從未被上述液滴噴出頭列夾持的上述液滴噴出 頭噴出的上述液狀體的噴出量比從被上述液滴噴出頭列夾持的上述液滴 噴出頭噴出上述液狀體的噴出量少。根據(jù)該噴出量調(diào)整方法，調(diào)整為從未被液滴噴出頭列夾持的液滴噴出 頭噴出的液狀體的噴出量減少。未被液滴噴出頭列夾持的液滴噴出頭由于 受到風(fēng)的影響，溫度降低。而且，在溫度降低時，噴出量減少。在調(diào)整為噴出作為目標(biāo)的噴出量的液狀體后，在用其他液滴噴出頭夾持并測量噴出 量時，由于液滴噴出頭的溫度升高，故噴出量會超過作為目標(biāo)的噴出量。在此，調(diào)整為從未被液滴噴出頭列夾持的液滴噴出頭噴出的液狀體的 噴出量比目標(biāo)噴出量少。因此，在用其他液滴噴出頭夾持并測量噴出量時， 可以從與目標(biāo)噴出量接近的噴出量開始對噴出量進(jìn)行調(diào)整。結(jié)果，因?yàn)榭?以以極少的調(diào)整次數(shù)進(jìn)行調(diào)整，故可以生產(chǎn)率良好地進(jìn)行調(diào)整。[應(yīng)用例22]在上述應(yīng)用例涉及的噴出量調(diào)整方法中，其特征在于，在上述第二測 量工序中，以從被上述液滴噴出頭列夾持的上述液滴噴出頭噴出上述液狀 體的噴出量比上述第一噴出量調(diào)整工序中設(shè)定的噴出量少的方式變更設(shè) 定后，噴出上述液狀體，在上述第二調(diào)整工序中，對噴出量進(jìn)行調(diào)整。根據(jù)該噴出量調(diào)整方法，調(diào)整為從未被液滴噴出頭列夾持的液滴噴出 頭噴出的液狀體的噴出量比目標(biāo)噴出量少。因此，在用其他液滴噴出頭夾 持并測量噴出量時，可以從與目標(biāo)噴出量接近的噴出量開始對噴出量進(jìn)行 調(diào)整。結(jié)果，因?yàn)榭梢砸詷O少的調(diào)整次數(shù)進(jìn)行調(diào)整，故可以生產(chǎn)率良好地 進(jìn)行調(diào)整。[應(yīng)用例23]本應(yīng)用例涉及的液狀體的噴出方法，從液滴噴出頭向工件噴出液狀體，其特征在于，該液狀體的噴出方法包括對噴出量進(jìn)行調(diào)整的噴出量調(diào)整工序；和向上述工件噴出液滴的涂敷工序；在上述噴出量調(diào)整工序中 采用上述應(yīng)用例記載的噴出量調(diào)整方法進(jìn)行調(diào)整。根據(jù)該液狀體的噴出方法，在測量了噴出量后通過對噴出量進(jìn)行調(diào) 整，從而使得噴出量成為所希望的噴出量，并向工件噴出。而且，因?yàn)橐?精確地測量了噴出量的測量值為基礎(chǔ)，對噴出量進(jìn)行調(diào)整，故向工件噴出 的噴出量可以進(jìn)行精確地調(diào)整過的噴出量的噴出。結(jié)果，可以使噴出量精 確地向工件進(jìn)行噴出。[應(yīng)用例24]本應(yīng)用例涉及的濾色器的制造方法，具有在基板上涂敷彩墨而形成濾 色器的工序，其特征在于，采用上述應(yīng)用例記載的液狀體的噴出方法，向 上述基板噴出并涂敷上述彩墨。根據(jù)該濾色器的制造方法，由于可以以使彩墨的噴出量精確的方式噴 出并進(jìn)行涂敷，故可以成為以使彩墨的涂敷量精確的方式被涂敷的濾色器 的制造方法。[應(yīng)用例25]本應(yīng)用例涉及的液晶顯示裝置的制造方法，具有以下工序，即在第一 基板與第二基板上形成取向膜，在上述第一基板與上述第二基板之間夾持 液晶而形成液晶顯示裝置，其特征在于，采用上述應(yīng)用例記載的液狀體的 噴出方法，向上述第一基板與上述第二基板中的至少一方噴出并涂敷上述 取向膜的材料后，通過使其固化，從而形成上述取向膜。根據(jù)該液晶顯示裝置的制造方法，由于可以以使取向膜材料的噴出量 精確的方式噴出并進(jìn)行涂敷，故可以成為以使取向膜材料的涂敷量精確的 方式被涂敷的液晶顯示裝置的制造方法。[應(yīng)用例26]本應(yīng)用例涉及的液晶顯示裝置的制造方法，具有以下工序，即在第一 基板上涂敷液晶后，在上述第一基板與第二基板之間夾持上述液晶而形成 液晶顯示裝置，其特征在于，采用上述應(yīng)用例記載的液狀體的噴出方法， 向上述第一基板噴出并涂敷上述液晶。根據(jù)該液晶顯示裝置的制造方法，由于可以以使液晶的噴出量精確的 方式噴出并進(jìn)行涂敷，故可以成為以使液晶的涂敷量精確的方式被涂敷的 液晶顯示裝置的制造方法。[應(yīng)用例27]本應(yīng)用例涉及的電光裝置的制造方法，具有在基板上涂敷發(fā)光元件形 成材料后通過使其固化而形成發(fā)光元件的工序，其特征在于，采用上述應(yīng) 用例記載的液狀體的噴出方法，向上述基板噴出并涂敷上述發(fā)光元件形成 材料。根據(jù)該電光裝置的制造方法，由于可以以使發(fā)光元件形成材料的噴出 量精確的方式噴出并進(jìn)行涂敷，故可以成為以使發(fā)光元件形成材料的涂敷 量精確的方式被涂敷的電光裝置的制造方法。[應(yīng)用例28]本應(yīng)用例涉及的電光裝置的制造方法，具有在基板上涂敷液狀體的電極材料后通過使其固化而形成電極的工序，其特征在于，采用上述應(yīng)用例 記載的液狀體的噴出方法，向上述基板噴出并涂敷上述液狀體的上述電極 材料。根據(jù)該電光裝置的制造方法，由于可以以使液狀體的電極材料的噴出 量精確的方式噴出并進(jìn)行涂敷，故可以成為以使電極材料的涂敷量精確的 方式被涂敷，從而形成電極的電光裝置的制造方法。[應(yīng)用例29]本應(yīng)用例涉及的電光裝置的制造方法，具有在基板上涂敷液狀體的布 線材料后通過使其固化而形成布線的工序，其特征在于，采用上述應(yīng)用例 記載的液狀體的噴出方法，向上述基板噴出并涂敷上述液狀體的上述布線 材料。根據(jù)該電光裝置的制造方法，由于可以以使液狀體的布線材料的噴出 量精確的方式噴出并進(jìn)行涂敷，故可以成為以使布線材料的涂敷量精確的 方式被涂敷，從而形成布線的電光裝置的制造方法。[應(yīng)用例30]本應(yīng)用例涉及的電光裝置的制造方法，具有以下工序，即在基板上涂 敷液狀體的半導(dǎo)體材料并使其固化后，通過進(jìn)行加熱，從而形成半導(dǎo)體， 其特征在于，采用上述應(yīng)用例記載的液狀體的噴出方法，向上述基板噴出 并涂敷上述液狀體的上述半導(dǎo)體材料。根據(jù)該電光裝置的制造方法，由于可以以使液狀體的半導(dǎo)體材料的噴 出量精確的方式噴出并進(jìn)行涂敷，故可以成為以使半導(dǎo)體材料的涂敷量精 確的方式被涂敷，從而形成半導(dǎo)體的電光裝置的制造方法。


圖1是表示第一實(shí)施方式涉及的液滴噴出裝置的構(gòu)成的概略立體圖。圖2 (a)是滑架的示意俯視圖，(b)是用于說明滑架的結(jié)構(gòu)的示意側(cè) 視圖，(c)是用于說明液滴噴出頭的結(jié)構(gòu)的主要部分示意剖視圖。 圖3是液滴噴出裝置的電氣控制框圖。圖4是表示向基板噴出液滴并進(jìn)行涂覆的制造工序的流程圖。 圖5是用于說明調(diào)整液滴噴出頭的噴出量的順序的圖。圖6是說明利用了液滴噴出裝置的噴出方法的圖。圖7 (a)及(b)是表示液滴噴出頭的驅(qū)動波形的時間圖，(c)是表 示驅(qū)動噴出次數(shù)與噴嘴溫度的關(guān)系的曲線圖，(d)是表示驅(qū)動電壓與噴出量的關(guān)系的曲線圖。圖8是說明利用了液滴噴出裝置的噴出方法的圖。 圖9是說明利用了液滴噴出裝置的噴出方法的圖。 圖10是表示第三實(shí)施方式涉及的向基板噴出液滴并進(jìn)行涂覆的制造 工序的流程圖。圖11是表示第七實(shí)施方式涉及的液滴噴出裝置的構(gòu)成的概略立體圖。 圖12是表示向基板噴出液滴并進(jìn)行涂覆的制造工序的流程圖。 圖13是表示第八實(shí)施方式涉及的向基板噴出液滴并進(jìn)行涂覆的制造 工序的流程圖。圖14是表示第九實(shí)施方式涉及的向基板噴出液滴并進(jìn)行涂覆的制造 工序的流程圖。圖15是表示第十實(shí)施方式涉及的液晶顯示裝置的結(jié)構(gòu)的概略分解立 體圖。圖16是表示第十一實(shí)施方式涉及的有機(jī)EL裝置的結(jié)構(gòu)的概略分解立 體圖。圖17是表示第十二實(shí)施方式涉及的表面電場顯示裝置的概略分解立 體圖。圖18是表示第十三實(shí)施方式涉及的等離子顯示裝置的結(jié)構(gòu)的概略分 解立體圖。圖中7—作為工件的基板，12 —滑架，12a—第一滑架，12b—第二滑 架，12c—第三滑架，12d—第四滑架，12e—第五滑架，12f—第六滑架， 14一液滴噴出頭，41一作為液狀體的功能液，44一液滴，71 —作為液滴噴 出頭列的第一噴頭列，72 —作為液滴噴出頭列的第二噴頭列，73 —作為液 滴噴出頭列的第三噴頭列，74-作為液滴噴出頭列的第四噴頭列，75 —作 為液滴噴出頭列的第五噴頭列，76 —作為液滴噴出頭列的第六噴頭列，77 一作為液滴噴出頭列的第七噴頭列，78 —作為液滴噴出頭列的第八噴頭 列，79 —作為液滴噴出頭列的第九噴頭列，80 —作為液滴噴出頭列的第十噴頭列，81—作為液滴噴出頭列的第十一噴頭列，82 —作為液滴噴出頭列的第十二噴頭列，104 —噴出量，IIO —作為行的第一噴頭行，lll一作為 行的第二噴頭行，112 —作為行的第三噴頭行，120 —作為電光裝置的液晶 顯示裝置，122 —液晶，124 —作為第一基板的元件基板，125 —作為第二 基板的對置基板，130、 157—作為電極的像素電極，131、 151—作為半導(dǎo) 體的TFT元件，132、 152、 169 —作為布線的掃描線，133、 153、 170—作 為布線的數(shù)據(jù)線，135、 144一取向膜，141B、 141G、 141R—濾色器，143 一作為電極的對置電極，147—作為電光裝置的有機(jī)EL裝置，148、 166、 172、 181、 188 —基板，158 —作為發(fā)光元件的空穴輸送層，159B、 159G、 159R—作為發(fā)光元件的發(fā)光層，160 —作為發(fā)光元件的功能層，161 —作為 電極的陰極，163 —作為電光裝置的表面電場顯示裝置，168 —作為電極的 電子發(fā)射元件，173 —作為電極的陽極，178 —作為電光裝置的等離子顯示 裝置，183 —作為電極的地址電極，l卯一作為電極的總線電極，191一作 為電極的維持電極。
具體實(shí)施方式
以下，根據(jù)附圖對實(shí)施方式進(jìn)行說明。其中，為了使各附圖中的各部件為在各附圖上能識別的程度的大小， 故以每個部件的縮小比例不同的方式進(jìn)行圖示。 (第一實(shí)施方式)在本實(shí)施方式中，根據(jù)圖1 圖9，對液滴噴出裝置、利用該液滴噴 出裝置使液狀體成為液滴并噴出時的特征性例子進(jìn)行說明。 (液滴噴出裝置)首先，根據(jù)圖1 圖3，說明向工件噴出液滴并進(jìn)行涂覆的液滴噴出 裝置l。關(guān)于液滴噴出裝置，雖然存在各種各樣的裝置，但優(yōu)選采用噴墨 法的裝置。噴墨法能進(jìn)行微小液滴的噴出，因此適用于微細(xì)加工。圖1是表示液滴噴出裝置的構(gòu)成的概略立體圖。由液滴噴出裝置1噴 出功能液并進(jìn)行涂覆。如圖1所示，液滴噴出裝置1包括形成為長方體形狀的基臺2。在本 實(shí)施方式中，將該基臺2的長邊方向設(shè)為Y方向，將與該Y方向正交的方向設(shè)為X方向。在基臺2的上表面2a上，沿Y方向延伸的一對導(dǎo)向軌3a、 3b突設(shè)于 該Y方向的整個寬度上。在該基臺2的上側(cè)，安裝有作為工作臺的臺面4， 其構(gòu)成具備與導(dǎo)向軌3a、 3b對應(yīng)的未圖示的直動機(jī)構(gòu)的掃描裝置。該臺 面4的直動機(jī)構(gòu)例如為螺紋式直動機(jī)構(gòu)，其具備沿著導(dǎo)向軌3a、 3b沿Y 方向延伸的螺紋軸(驅(qū)動軸)；與該螺紋軸螺合的球狀螺母(ballrmt)， 該驅(qū)動軸與Y軸電動機(jī)(未圖示)連接，該Y軸電動機(jī)接受規(guī)定的脈沖 信號，以梯級(step)為單位正轉(zhuǎn)反轉(zhuǎn)。然后， 一旦與規(guī)定的梯級數(shù)對應(yīng) 的驅(qū)動信號被輸入Y軸電動機(jī)，則Y軸電動機(jī)正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，臺面4沿Y 方向以規(guī)定的速度往動或復(fù)動(沿Y方向掃描)與該梯級數(shù)相當(dāng)?shù)牧?。進(jìn)而，基臺2的上表面2a上，與導(dǎo)向軌3a、 3b平行地配置有主掃描 位置檢測裝置5，可以計量臺面4的位置。該臺面4的上表面上形成有載置面6，該載置面6上設(shè)有未圖示的吸 引式基板卡盤(chuck)機(jī)構(gòu)。然后，若載置面6上載置作為工件的基板7， 則由基板卡盤機(jī)構(gòu)將該基板7定位固定在載置面6的規(guī)定位置上?；_2的X方向兩側(cè)立設(shè)一對支撐臺8a、 8b，這一對支撐臺8a、 8b 上架設(shè)有沿X方向延伸的導(dǎo)向部件9。導(dǎo)向部件9的上側(cè)配設(shè)有以能供給的方式收納所噴出的液體的收納容 器10。另一方面，該導(dǎo)向部件9的下側(cè)，沿X方向延伸的導(dǎo)向軌11突設(shè) 于X方向的整個寬度上。配置為能沿導(dǎo)向軌11移動的滑架12由第一滑架12a 第六滑架12f 這六個滑架構(gòu)成，各滑架12a 12f形成為底面大致是平行四邊形的角柱形 狀。該各滑架12a 12f具備直動機(jī)構(gòu)，各滑架12a 12f分別獨(dú)立移動。 該直動機(jī)構(gòu)例如是具備沿著導(dǎo)向軌11沿X方向延伸的螺紋軸(驅(qū)動軸)、 和與該螺紋軸螺合的球狀螺母的螺紋式直動機(jī)構(gòu)，該驅(qū)動軸與X軸電動機(jī) (未圖示)連接，該X軸電動機(jī)接受規(guī)定的脈沖信號，以梯級為單位正轉(zhuǎn) 反轉(zhuǎn)。然后， 一旦與規(guī)定的梯級數(shù)對應(yīng)的驅(qū)動信號被輸入X軸電動機(jī)，則 X軸電動機(jī)正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，滑架12沿X方向往動或復(fù)動(沿X方向掃描) 與該梯級數(shù)相當(dāng)?shù)牧?。?dǎo)向部件9與滑架12之間配置有副掃描位置檢測 裝置13，可以計量各滑架12a 12f的位置。然后，滑架12的下表面(臺面4一側(cè)的面)突設(shè)有液滴噴出頭14?；_2的上側(cè)、即臺面4的單側(cè)的一方(圖中Y方向的相反方向)上 配置有清洗單元15。清洗單元15由維修臺面16、配置于維修臺面16上 的第一沖洗單元17、第二沖洗單元18、壓蓋單元19、擦拭單元20、重量 測量裝置21等構(gòu)成。維修臺面16位于導(dǎo)向軌3a、 3b上，具備與臺面4同樣的直動機(jī)構(gòu)。 然后，通過利用未圖示的維修臺面位置檢測裝置來檢測位置，并用直動機(jī) 構(gòu)進(jìn)行移動，從而能夠移動到所希望的場所后停止。然后，維修臺面16 沿導(dǎo)向軌3a、 3b移動，從而第一沖洗單元17、第二沖洗單元18、壓蓋單 元19、擦拭單元20、重量測量裝置21的其中一個裝置配置在與液滴噴出 頭14對置的場所。第一沖洗單元17及第二沖洗單元18在清洗液滴噴出頭14內(nèi)的流路 時作為接受從液滴噴出頭14噴出的液滴的裝置。在液滴噴出頭14內(nèi)的功 能液揮發(fā)時，由于功能液的粘度升高，故難以噴出。該情況下，由于從液 滴噴出頭14中排除粘度升高的功能液，故從液滴噴出頭14噴出液滴并進(jìn) 行清洗。第一沖洗單元17及第二沖洗單元18進(jìn)行該接受液滴的功能。壓蓋單元19是具有對液滴噴出頭14加蓋的功能、和吸引液滴噴出頭 14的功能液的功能的裝置。從液滴噴出頭14噴出的液滴有時具有揮發(fā)性， 若存在于液滴噴出頭14內(nèi)的功能液的溶劑從噴嘴揮發(fā)，則功能液的粘度 變化，噴嘴堵塞。壓蓋單元19通過對液滴噴出頭14加蓋，從而防止噴嘴 堵塞。進(jìn)而，在液滴噴出頭14的內(nèi)部混入固態(tài)物體而無法噴出液滴時，吸 引并除去液滴噴出頭14內(nèi)部的功能液和固態(tài)物體。然后，可以解除噴嘴 的堵塞。擦拭單元20是對配置有液滴噴出頭14的噴嘴的噴嘴板進(jìn)行擦拭的裝 置。噴嘴板是在液滴噴出頭14中配置于與基板7對置一側(cè)的面上的部件。 在液滴附著于噴嘴板時，附著于噴嘴板上的液滴和基板7接觸，在基板7 中，液滴附著于預(yù)定外的場所。進(jìn)而，在液滴附著于噴嘴周邊時，附著于噴嘴板上的液滴和噴出的液 滴接觸，噴出的液滴的軌道彎曲。因此，所涂覆的場所和要涂覆的預(yù)定場所不同。擦拭單元20通過擦拭噴嘴板，從而在基板7中防止液滴附著于 預(yù)定外的場所。重量測量裝置21中設(shè)置有12臺電子天平，各電子天平中配置有接受 器皿。3個電子天平排列為1列，形成于大致Y方向上，該電子天平列配 置有4歹i」。然后，液滴從液滴噴出頭14被噴向接受器皿，電子天平測量 液滴的重量。接受器皿具備海綿狀的吸引體，所噴出的液滴不會跳到接受 器皿之外。該電子天平在液滴噴出頭14噴出液滴前后測量接受器皿的重 量。然后，通過運(yùn)算噴出前后接受器皿的重量的差分，從而能夠測量所噴 出的液滴的重量。重量測量裝置21兩側(cè)配置有第一沖洗單元17與第二沖洗單元18。然 后，在測量從一部分液滴噴出頭14噴出的噴出量的期間內(nèi)，其他液滴噴 出頭14位于與第一沖洗單元17或第二沖洗單元18對置的場所，能夠噴 出液滴。液滴噴出裝置1的四角具備支柱22，在上部(圖中上側(cè))具有空氣控 制裝置23?？諝饪刂蒲b置23具備風(fēng)扇、過濾器、冷暖風(fēng)裝置、濕度調(diào)整 裝置等。風(fēng)扇(送風(fēng)機(jī))取入工廠內(nèi)的空氣，通過過濾器，從而除去空氣 內(nèi)的塵埃，提供凈化后的空氣。冷暖風(fēng)裝置是以將液滴噴出裝置1的氣氛溫度保持規(guī)定的溫度范圍的 方式對所提供的空氣的濕度進(jìn)行控制的裝置。濕度調(diào)整裝置是以將液滴噴 出裝置1的氣氛濕度保持規(guī)定的濕度范圍的方式對空氣進(jìn)行除濕、或加濕， 控制所提供的空氣的濕度的裝置。4根支柱22之間配置薄片24，以便切斷空氣的流通。從空氣控制裝 置23供給的空氣從空氣控制裝置23流向地面25 (圖中Z方向的相反方 向)，被薄片24包圍的空間內(nèi)的塵埃向地面25流動。由此，基板7上不 易附著塵埃。進(jìn)而，薄片24通過限制空氣的流通，從而被薄片24包圍的空間內(nèi)的 溫度與濕度難以受到薄片24外部的影響。然后，空氣控制裝置23容易控 制被薄片24包圍的空間內(nèi)的溫度與濕度。圖2 (a)是表示滑架的示意俯視圖。如圖2 (a)所示，1個滑架12 上，3個液滴噴出頭14排列為1列，形成于大致Y方向上，該液滴噴出頭列配置有2列。然后，在液滴噴出頭14的表面上，配置有噴嘴板30，噴嘴板30上形成有多個噴嘴31。噴嘴31的個數(shù)只要根據(jù)所噴出的圖案和 基板7的大小進(jìn)行設(shè)定即可，在本實(shí)施方式中，例如在1個噴嘴板30上 形成有2列噴嘴31的排列，各列配置有15個噴嘴31。圖2 (b)是表示滑架的示意側(cè)視圖。是從Y方向觀察圖2 (a)所示 的滑架的圖。如圖2 (b)所示，滑架12備有底板32。底板32的上側(cè)配 置有移動機(jī)構(gòu)33，收納有滑架12沿導(dǎo)向軌11移動用的機(jī)構(gòu)。底板32的下側(cè)隔著支撐部34而配置有驅(qū)動電路基板35。然后，驅(qū)動 電路基板35的下側(cè)配置有噴頭驅(qū)動電路36。進(jìn)而，底板32上隔著支撐部 37而配置有噴頭安裝板38，噴頭安裝板38的下表面配置有液滴噴出頭14。 通過未圖示的電纜來連接噴頭驅(qū)動電路36與液滴噴出頭14，噴頭驅(qū)動電 路36輸出的驅(qū)動信號被輸入液滴噴出頭14。底板32的下側(cè)配置供給裝置39，收納容器10與供給裝置39之間以 及供給裝置39與液滴噴出頭14之間通過未圖示的管道來連接。然后，從 收納容器10提供的功能液由供給裝置39提供給液滴噴出頭14。圖2 (c)是用于說明液滴噴出頭的結(jié)構(gòu)的主要部分示意剖視圖。如圖 2 (c)所示，液滴噴出頭14具備噴嘴板30，噴嘴板30上形成有噴嘴31。 在噴嘴板30的上側(cè)、即與噴嘴31相對的位置上形成有與噴嘴31連通的 空腔40。然后，向液滴噴出頭14的空腔40提供作為貯留于收納容器10 內(nèi)的液狀體的功能液41。空腔40的上側(cè)配設(shè)有在上下方向(Z方向)振動，并對空腔40內(nèi) 的容積進(jìn)行放大縮小的振動板42;在上下方向伸縮，并使振動板42振動 的壓電元件43。壓電元件43在上下方向伸縮，對振動板42進(jìn)行加壓使之 振動，振動板42對空腔40內(nèi)的容積進(jìn)行放大縮小，對空腔40進(jìn)行加壓。 由此，空腔40內(nèi)的壓力變動，提供給空腔40內(nèi)的功能液41通過噴嘴31 而被噴出。然后，若液滴噴出頭14接受用于控制驅(qū)動壓電元件43的噴嘴驅(qū)動信 號，則壓電元件43伸長，振動板42縮小空腔40內(nèi)的容積。結(jié)果，縮小 的容積份的功能液41被作為液滴而從液滴噴出頭14的噴嘴31噴出。在 從噴嘴31噴出液滴44時，為了噴出液滴44，施加給液滴噴出頭14的能量的一部分轉(zhuǎn)換為熱。然后，液滴噴出頭14被加熱，溫度上升。圖3是液滴噴出裝置的電氣控制框圖。在圖3中，液滴噴出裝置1具 有作為處理器而進(jìn)行各種運(yùn)算處理的CPU (運(yùn)算處理裝置)48;存儲各種信息的存儲器49。主掃描驅(qū)動裝置50、副掃描驅(qū)動裝置51、主掃描位置檢測裝置5、副 掃描位置檢測裝置13、驅(qū)動液滴噴出頭14的噴頭驅(qū)動電路36經(jīng)由輸入輸 出接口 52及數(shù)據(jù)總線53而與CPU48連接。進(jìn)而，輸入裝置54、顯示器 裝置55、重量測量裝置21、第一沖洗單元17、第二沖洗單元18、壓蓋單 元19、擦拭單元20也經(jīng)由輸入輸出接口 52及數(shù)據(jù)總線53而與CPU48連 接。同樣，在清洗單元15中，驅(qū)動維修臺面16的維修臺面驅(qū)動裝置56 以及檢測維修臺面16的位置的維修臺面位置檢測裝置57也經(jīng)由輸入輸出 接口 52及數(shù)據(jù)總線53而與CPU48連接。主掃描驅(qū)動裝置50是控制臺面4的移動的裝置，副掃描驅(qū)動裝置51 是控制滑架12的移動的裝置。主掃描位置檢測裝置5識別臺面4的位置， 主掃描驅(qū)動裝置50通過控制臺面4的移動，從而能夠?qū)⑴_面4移動并停 止在所希望的位置上。同樣，副掃描位置檢測裝置13識別滑架12的位置， 副掃描驅(qū)動裝置51通過控制滑架12的移動，從而能夠?qū)⒒?2移動并 停止在所希望的位置上。輸入裝置54是輸入噴出液滴44的各種加工條件的裝置，例如是從未 圖示的外部裝置接收并輸入向基板7噴出液滴44的坐標(biāo)的裝置。顯示器 裝置55是顯示加工條件或作業(yè)狀況的裝置，操作者以顯示器裝置55所顯 示的信息為基礎(chǔ)，利用輸入裝置54進(jìn)行操作。重量測量裝置21具備電子天平和接受器皿，是測量液滴噴出頭14噴 出的液滴44、和接受液滴44的接受器皿的重量的裝置。測量噴出液滴44 前后的接受器皿的重量，并將測量值發(fā)送到CPU48。維修臺面驅(qū)動裝置56是從第一沖洗單元17、第二沖洗單元18、壓蓋 單元19、擦拭單元20、重量測量裝置21中選擇一個裝置使其位于與液滴 噴出頭14對置的場所的方式移動維修臺面16的裝置。然后，維修臺面位 置檢測裝置57檢測出維修臺面16的位置后，維修臺面驅(qū)動裝置56移動 維修臺面16，從而所希望的裝置或單元能夠可靠地移動到與液滴噴出頭14對置的場所。存儲器49是包含RAM、 ROM等所謂的半導(dǎo)體存儲器、或硬盤、CD —ROM等所謂的外部存儲裝置的概念。在功能上來說，設(shè)定存儲描述液 滴噴出裝置1中的動作的控制順序的程序軟件58的存儲區(qū)域。進(jìn)而，也 設(shè)定用于存儲噴出位置數(shù)據(jù)59、即基板7內(nèi)的噴出位置的坐標(biāo)數(shù)據(jù)的存儲 區(qū)域。另外，在液滴噴出頭14的暖機(jī)驅(qū)動中，設(shè)定驅(qū)動次數(shù)數(shù)據(jù)等暖機(jī)驅(qū) 動數(shù)據(jù)60。再有，在測量從噴嘴31噴出的液滴44的重量時，設(shè)定用于存 儲驅(qū)動壓電元件43的測量用驅(qū)動數(shù)據(jù)61的存儲區(qū)域。進(jìn)而，設(shè)定用于存儲使基板7向主掃描方向(Y方向)移動的主掃描 移動量、和使滑架12向副掃描方向(X方向)移動的副掃描移動量的存 儲區(qū)域；或CPU48用的工作區(qū)域或作為臨時文件等起作用的存儲區(qū)域或者其他各種存儲區(qū)域。CPU48根據(jù)存儲于存儲器49內(nèi)的程序軟件58，進(jìn)行使功能液成為液 滴44后噴向基板7的表面的規(guī)定位置用的控制。作為具體的功能實(shí)現(xiàn)部 分，具有進(jìn)行用于實(shí)現(xiàn)重量測量的運(yùn)算的重量測量運(yùn)算部62。還包括運(yùn) 算清洗液滴噴出頭14的定時的清洗運(yùn)算部63;或在對液滴噴出頭14進(jìn)行 暖機(jī)驅(qū)動時，進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動的液滴噴出頭14的選擇或暖機(jī)驅(qū)動時間的控 制的暖機(jī)控制運(yùn)算部64。另外，具有進(jìn)行由液滴噴出頭14噴出液滴44的運(yùn)算用的噴出運(yùn)算部 65等。若詳細(xì)分割運(yùn)算部65，則具有用于向液滴噴出用的初始位置設(shè)置 液滴噴出頭14的噴出開始位置運(yùn)算部66。進(jìn)而，噴出運(yùn)算部65具有主掃 描控制運(yùn)算部67，其對使基板7以規(guī)走的速度向主掃描方向(Y方向)掃 描移動用的控制進(jìn)行運(yùn)算。進(jìn)而，噴出運(yùn)算部65具有副掃描控制運(yùn)算部 68，其對使液滴噴出頭14以規(guī)定的副掃描量向副掃描方向(X方向)移 動用的控制進(jìn)行運(yùn)算。再有，噴出運(yùn)算部65具有噴嘴噴出控制運(yùn)算部69 等所謂的各種功能運(yùn)算部，其進(jìn)行用于控制使液滴噴出頭14內(nèi)的多個噴 嘴中的哪一個噴嘴噴出功能液的運(yùn)算。 (噴出方法)接著，用圖4 圖9，對使用上述的液滴噴出裝置1向基板7噴出功能液并進(jìn)行涂覆的噴出方法進(jìn)行說明。圖4是表示向基板噴出液滴并進(jìn)行 涂覆的制造工序的流程圖。圖5 圖9是說明利用液滴噴出裝置的噴出方 法的圖。步驟Sl相當(dāng)于調(diào)整順序設(shè)定工序，是設(shè)定對液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整的順序的工序。接著，移至步驟S2。步驟S2相當(dāng)于噴出前待機(jī)工 序，是對液滴噴出頭進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動的工序。接著，移至步驟S3。步驟S3 相當(dāng)于移動工序，是使液滴噴出頭移動到與重量測量裝置對置的場所的工 序。接著，移至步驟S4。步驟S4相當(dāng)于測量用噴出工序，是從噴嘴向重 量測量裝置的接受器皿進(jìn)行規(guī)定次數(shù)的噴出的工序。接下來移至步驟S5。 步驟S5相當(dāng)于測量工序，計量重量測量裝置的接受器皿的重量。然后， 是運(yùn)算每一次噴出的噴出量的工序。由步驟S2 步驟S5的步驟構(gòu)成步驟 S21的第一測量工序。接著，移至步驟S6。步驟S6相當(dāng)于判斷噴出量是否達(dá)到了目標(biāo)噴出量的工序，是對步驟 S5中測出的噴出量和作為調(diào)整目標(biāo)的目標(biāo)噴出量進(jìn)行比較，判斷噴出量與 目標(biāo)噴出量之差是否比規(guī)定值小的工序。在噴出量與目標(biāo)噴出量之差大于 規(guī)定值時(否的時候)，移至步驟S7。在步驟S6中，在噴出量與目標(biāo)噴 出量之差小于規(guī)定值時(是的時候)，移至步驟S8。步驟S7相當(dāng)于第一 調(diào)整工序，對從液滴噴出頭噴出的噴出量進(jìn)行調(diào)整的工序。接著移至步驟 S4。步驟S8相當(dāng)于判斷是否對調(diào)整預(yù)定的噴頭一起進(jìn)行調(diào)整的工序，是 在步驟Sl中設(shè)定為進(jìn)行調(diào)整的液滴噴出頭中判斷是否一起進(jìn)行了調(diào)整的 工序。在調(diào)整的預(yù)定液滴噴出頭中，存在未調(diào)整噴出量的液滴噴出頭時(否 的時候)，移至步驟S3。在步驟S8中，對所調(diào)整的預(yù)定液滴噴出頭中的 全部液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了調(diào)整時(是的時候)，移至步驟S9。由步 驟S2 步驟S8的步驟構(gòu)成步驟S22的第一噴出量調(diào)整工序。步驟S9相當(dāng)于移動工序，是使液滴噴出頭從與第二沖洗單元及重量 測量裝置對置的場所向與第一沖洗單元對置的場所移動的工序。接著，移 至步驟SIO。步驟S10相當(dāng)于噴出前待機(jī)工序，使對液滴噴出頭進(jìn)行暖機(jī) 驅(qū)動的工序。接著移至步驟Sll。步驟S11相當(dāng)于移動工序，是將液滴噴 出頭移動到與重量測量裝置對置的場所的工序。接下來移至步驟S12。步驟S12相當(dāng)于測量用噴出工序，是從噴嘴向重量測量裝置的接受器皿進(jìn)行 規(guī)定次數(shù)的噴出的工序。接著移至步驟S13。步驟S13相當(dāng)于測量工序， 計量重量測量裝置的接受器皿的重量。然后，是運(yùn)算每次噴出的噴出量。由步驟S10 步驟S13的步驟構(gòu)成步驟S23的第二測量工序。接著，移至 步驟S14。步驟S14相當(dāng)于判斷噴出量是否達(dá)到目標(biāo)噴出量的工序，是對步驟 S13中測出的噴出量和作為所調(diào)整的目標(biāo)的目標(biāo)噴出量進(jìn)行比較，判斷噴 出量與目標(biāo)噴出量之差是否小于規(guī)定值的工序。在噴出量與目標(biāo)噴出量之 差大于規(guī)定值時(否的時候)，移至步驟S15。在步驟S14中，在噴出量 與目標(biāo)噴出量之差小于規(guī)定值時(是的時候)，移至步驟S16。步驟S15 相當(dāng)于第二調(diào)整工序，是對從液滴噴出頭噴出的噴出量進(jìn)行調(diào)整的工序。 接著，移至步驟S12。步驟S16相當(dāng)于判斷是否對調(diào)整預(yù)定的噴頭一起進(jìn)行調(diào)整的工序，是 判斷步驟Sl中設(shè)定為調(diào)整的液滴噴出頭中是否一起進(jìn)行調(diào)整的工序。在 所調(diào)整的預(yù)定液滴噴出頭中，存在未調(diào)整噴出量的液滴噴出頭時(否的時 候)，移至步驟Sll。在步驟S16中，對所調(diào)整的預(yù)定液滴噴出頭中的全 部液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了調(diào)整時(是的時候)，移至步驟S17。由步 驟S10 步驟S16的步驟構(gòu)成步驟S24的第二噴出量調(diào)整工序。步驟S17相當(dāng)于涂覆工序，是向基板噴出并涂覆液滴的工序。如上所 述，結(jié)束向基板噴出并涂覆功能液的制造工序。接著，利用圖5 圖9，對與圖4所示的步驟對應(yīng)，精度優(yōu)良地調(diào)整 從液滴噴出頭噴出的噴出量，在工件上進(jìn)行涂覆的制造方法進(jìn)行詳細(xì)說 明。圖5是與步驟Sl對應(yīng)的圖，是用于說明對液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行 調(diào)整的順序進(jìn)行說明的圖。然后，如圖5 (a)所示，滑架12由第一滑架 12a 第六滑架12f等六個滑架構(gòu)成。然后，第一滑架12a具備第一噴頭列 71及第二噴頭列72。然后，第一噴頭列71及第二噴頭列72是各3個液 滴噴出頭14相對于Y方向傾斜排列配置而成。同樣，第二滑架12b具備第三噴頭列73及第四噴頭列74，第三滑架 12c具備第五噴頭列75及第六噴頭列76。然后，第四滑架12d具備第七噴頭列77及第八噴頭列78，第五滑架12e具備第九噴頭列79及第十噴頭 列80。同樣，第六滑架12f具備第十一噴頭列81及第十二噴頭列82。然 后，第三噴頭列73 第十二噴頭列82與第一噴頭列71同樣，是各3個液 滴噴出頭14相對于Y方向傾斜排列配置而成。該第一噴頭列71 第十二 噴頭列82各自成為液滴噴頭列。在步驟S22的第一噴出量調(diào)整工序中，將滑架12分為3組進(jìn)行調(diào)整。 第一，組合第一滑架12a與第二滑架12b后設(shè)定為第一組83，第二，組合 第三滑架12c與第四滑架12d后設(shè)定為第二組84。然后，第三，組合第五 滑架12e與第六滑架12f后設(shè)定為第三組85。在第一組83中，調(diào)整第一噴頭列71 第三噴頭列73中的液滴噴出頭 14的噴出量。然后，在第二組84中，調(diào)整第六噴頭列76及第七噴頭列 77中的液滴噴出頭14的噴出量。在第三組85中，調(diào)整第十噴頭列80 第十二噴頭列82中的液滴噴出頭14的噴出量。圖5 (b)是用于說明步驟S24的第二噴出量調(diào)整工序中的調(diào)整液滴噴 出頭的噴出量的順序的圖。如圖5 (b)所示，在步驟S24的第二噴出量調(diào) 整工序中，將滑架12分為2組進(jìn)行調(diào)整。第一，組合第二滑架12b與第 三滑架12c后設(shè)定為第四組86，第二，組合第四滑架12d與第五滑架12e 后設(shè)定為第五組87。在第四組86中，調(diào)整第四噴頭列74及第五噴頭列75中的液滴噴出 頭14的噴出量。然后，在第五組87中，調(diào)整第八噴頭列78及第九噴頭 列79中的液滴噴出頭14的噴出量。在以上的設(shè)定中，通過進(jìn)行步驟S22及步驟S24，從而可以測量第一 噴頭列71 第十二噴頭列82的全部噴頭列中的液滴噴出頭14的噴出量。圖6 (a)是與步驟S2對應(yīng)的圖。如圖6(a)所示，將第一滑架12a 第六滑架12f移動到與第一沖洗單元17對置的場所。然后，通過將非噴出 驅(qū)動波形90輸入到第一噴頭列71 第十二噴頭列82的液滴噴出頭l4， 從而將壓電元件43驅(qū)動到從第一噴頭列71 第十二噴頭列82的液滴噴出 頭14不噴出液滴的程度。然后，通過驅(qū)動壓電元件43，從而進(jìn)行使液滴 噴出頭14暖機(jī)的暖機(jī)驅(qū)動。然后，第一噴頭列71 第十二噴頭列82的液 滴噴出頭14由于被加熱，故液滴噴出頭14的溫度上升。另外，待機(jī)的液滴噴出頭14以規(guī)定的間隔進(jìn)行將液滴44噴出到第一沖洗單元17的沖洗，從而可以防止噴嘴31干燥。圖6 (b)是與步驟S3對應(yīng)的圖。如圖6 (b)所示，將第一滑架12a 及第二滑架12b移動到與重量測量裝置21對置的場所。然后第一噴頭列 71 第四噴頭列74的液滴噴出頭14位于與重量測量裝置21對置的場所。 此時，第三滑架12c 第六滑架12f所搭載的第五噴頭列75 第十二噴頭 列82的液滴噴出頭14 一邊在與第一沖洗單元17對置的場所待機(jī)， 一邊 進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動與沖洗。圖6 (c) 圖7 (c)是與步驟S4對應(yīng)的圖。如圖6 (c)所示，通過 向第一噴頭列71 第四噴頭列74的液滴噴出頭14輸入噴出驅(qū)動波形91， 從而從噴嘴31向重量測量裝置21噴出液滴44。圖7 (a)及圖7 (b)是表示液滴噴出頭的驅(qū)動波形的時間圖。圖7 (a)是從液滴噴出頭14連續(xù)噴出液滴44時的一例，顯示噴頭驅(qū)動電路 36驅(qū)動壓電元件43的3個噴出驅(qū)動波形91。圖中的橫軸表示時間92的 經(jīng)過，縱軸表示驅(qū)動電壓93的變化。噴出驅(qū)動波形91形成為大致梯形的 波形形狀，作為噴出時的驅(qū)動電壓的峰值的噴出電壓94及噴出脈沖寬度 95被設(shè)定為規(guī)定的電壓及時間。然后，作為噴出驅(qū)動波形91的周期的噴 出波形周期96也以規(guī)定的時間間隔形成。噴出電壓94、噴出脈沖寬度95 及噴出波形周期96需要根據(jù)壓電元件43或振動板42的動特性來設(shè)定。 因此，希望實(shí)施實(shí)際噴出的預(yù)備試驗(yàn)，導(dǎo)出最佳的噴出條件。圖7 (b)表示3個非噴出驅(qū)動波形90，即通過以從液滴噴出頭14不 噴出液滴44的方式進(jìn)行驅(qū)動，從而進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動時的一例。非噴出驅(qū)動 波形90形成為大致梯形的波形形狀，作為非噴出時的驅(qū)動電壓的峰值的 非噴出電壓97在不噴出液滴44的范圍內(nèi)使壓電元件43大幅度振動為佳。 在本實(shí)施方式中，例如，非噴出電壓97采用噴出電壓94的大約三分之一 左右的電壓。作為非噴出時的脈沖寬度的非噴出脈沖寬度98采用與噴出 脈沖寬度95相同的值。然后，作為非噴出驅(qū)動波形90的波形周期的非噴 出波形周期99設(shè)定為壓電元件43振動的間隔。非噴出波形周期99在本 實(shí)施方式中例如采用與噴出波形周期96同樣的時間間隔。圖7 (c)是表示連續(xù)驅(qū)動液滴噴出頭時的驅(qū)動噴出次數(shù)和噴頭溫度的C)中，橫軸表示噴出液滴44的次數(shù)、即噴出次數(shù)100的經(jīng)過，縱軸表示噴頭溫度101的變化。在外噴頭溫度曲線102及 內(nèi)噴頭溫度曲線103表示連續(xù)驅(qū)動壓電元件43并噴出液滴44時的噴頭溫 度101相對于噴出次數(shù)100的經(jīng)過的推移。外噴頭溫度曲線102是圖6(c) 中的第一噴頭列71及第四噴頭列74的液滴噴出頭14的溫度，內(nèi)噴頭溫 度曲線103是第二噴頭列72及第三噴頭列73的液滴噴出頭14的溫度。開始噴出時的噴出開始點(diǎn)102a中的外噴頭溫度曲線102伴隨于噴出 次數(shù)100的經(jīng)過，噴頭溫度101上升。在溫度上升區(qū)域102b的期間內(nèi)， 伴隨噴出次數(shù)100的經(jīng)過，噴頭溫度101上升。然后，移至即使噴出次數(shù)IOO經(jīng)過噴頭溫度101也不會上升的溫度平 衡區(qū)域102c。在溫度平衡區(qū)域102c內(nèi)，成為液晶噴出頭14釋放出的熱能 與因噴出而產(chǎn)生的熱能相等的平衡狀態(tài)。若噴頭溫度101上升，則噴頭溫 度101和包圍液滴噴出頭14周邊的氣體(以下稱為周邊氣體)的溫度差 增大。噴頭溫度IOI與周邊氣體的溫度之差越大，則從液滴噴出頭14釋 放出的熱能越增大。因此，噴頭溫度101不會上升，在某一噴頭溫度IOI 處穩(wěn)定。將該溫度設(shè)為平衡噴頭溫度102d。同樣，即使在內(nèi)噴頭溫度曲線103中，在溫度上升區(qū)域103b的期間 內(nèi)，隨著噴出次數(shù)IOO從噴出開始點(diǎn)103a開始增加，噴頭溫度101上升。 然后，在溫度平衡區(qū)域103c中，噴頭溫度101在平衡噴頭溫度103d處穩(wěn) 定。第二噴頭列72及第三噴頭列73的液滴噴出頭14因?yàn)楸坏谝粐婎^列 71及第四噴頭列74夾持，故難以向周邊氣體釋放熱量。因此，內(nèi)噴頭溫 度曲線103推移到比外噴頭溫度曲線102高的噴頭溫度101。然后，平衡 噴頭溫度103d在高于平衡噴頭溫度102d的溫度處穩(wěn)定。在步驟S5中，測量第一噴頭列71 第三噴頭列73的液滴噴出頭14 中的噴出量。第一噴頭列71在步驟S17中位于外側(cè)的列進(jìn)行噴出，因此 在步驟S4中，以與步驟S17大致相同的配置條件進(jìn)行噴出。同樣，第二 噴頭列72及第三噴頭列73在步驟S17中位于內(nèi)側(cè)的列，被第一噴頭列71 及第四噴頭列74夾持并進(jìn)行噴出。也就是說，第一噴頭列71 第三噴頭 列73的液滴噴出頭14在步驟S4中，以與步驟S17大致相同的配置條件進(jìn)行噴出。另一方面，第四噴頭列74在步驟S17中因?yàn)槲挥趦?nèi)側(cè)的列后進(jìn)行噴出，故在步驟S4中，以不同于步驟S17的配置條件進(jìn)行噴出。然 后，在步驟S4與步驟S17中，測量以大致相同的配置條件噴出的第一噴 頭列71 第三噴頭列73的液滴噴出頭14中的噴出量。噴出量的測量是以所噴出的次數(shù)除以步驟S4中噴出的液滴44的重量 后進(jìn)行計算的。進(jìn)行噴出的次數(shù)只要是對每次的噴出量的偏差進(jìn)行平均化 后能計量的次數(shù)即可，例如在本實(shí)施方式中，采用100次。然后，按照每 個液滴噴出頭14測量噴出量。圖7 (d)是對應(yīng)于步驟S7的圖，是表示驅(qū)動液滴噴出頭時的驅(qū)動電 壓與噴出量的關(guān)系的曲線圖。在圖7 (d)中，橫軸表示驅(qū)動電壓93，右 側(cè)為比左側(cè)高的電壓。然后，縱軸表示液滴噴出頭噴出的噴出量104，上 側(cè)表示比下側(cè)大的量。然后，電壓噴出量曲線105表示在改變驅(qū)動電壓93 時噴出量104變化的關(guān)系。如電壓噴出量曲線105所示，若增大驅(qū)動電壓93，則噴出量104增大。 并且，在使驅(qū)動電壓93變化時，將噴出量104變化的電壓范圍作為驅(qū)動 電壓范圍105a，以噴出電壓94進(jìn)入該范圍的方式設(shè)計液滴噴出頭14。該 電壓噴出量曲線105是一例，通過使噴頭溫度101變動，從而電壓噴出量 曲線105也變動。在步驟S7中，對被設(shè)為目標(biāo)的噴出量104、即目標(biāo)噴出量106和步驟 S5中測出的噴出量104進(jìn)行比較。然后，計算相當(dāng)于目標(biāo)噴出量106與所 測出的噴出量104之差的驅(qū)動電壓93的差。然后，在所測出的噴出量104 比目標(biāo)噴出量106小的時候，將噴出電壓94提高相當(dāng)于驅(qū)動電壓93的差 的電壓量。另一方面，在所測出的噴出量104比目標(biāo)噴出量106大時，將 噴出電壓94降低相當(dāng)于驅(qū)動電壓93的差的電壓量。然后，通過反復(fù)進(jìn)行步驟S4 步驟S7，從而使得噴出量104接近目 標(biāo)噴出量106。在步驟S6中，在目標(biāo)噴出量106與所測出的噴出量104 之差與規(guī)定值相比變小時，結(jié)束第一噴頭列71 第四噴頭列74的液滴噴 出頭14中的噴出量104的調(diào)整。圖8 (a)及圖8 (b)是對應(yīng)于步驟S22的圖。如圖8 (a)所示，在 步驟S3中，將第一滑架12a及第二滑架12b從與重量測量裝置21對置的場所開始向與第二沖洗單元18對置的場所移動。然后，將第三滑架12c及第四滑架12d從與第一沖洗單元17對置的場所向與重量測量裝置21對 置的場所移動。第五滑架12e及第六滑架12f在與第一沖洗單元17對置的 場所待機(jī)。在步驟S4中，向第一噴頭列71 第四噴頭列74及第九噴頭列79 第十二噴頭列82的液滴噴出頭14輸入非噴出驅(qū)動波形90后進(jìn)行暖機(jī)驅(qū) 動。然后，從第一噴頭列71 第四噴頭列74的液滴噴出頭14向第二沖洗 單元18噴出液滴44后，進(jìn)行沖洗動作。同樣，從第九噴頭列79 第十二 噴頭列82的液滴噴出頭14向第一沖洗單元17噴出液滴44后，進(jìn)行沖洗 動作。向第五噴頭列75 第八噴頭列78的液滴噴出頭14輸入噴出驅(qū)動波形 91，向重量測量裝置21噴出規(guī)定次數(shù)份的液滴44。然后，在步驟S5中， 測量所噴出的液滴44的重量。此時，測量從被第五噴頭列75與第八噴頭 列78夾持的第六噴頭列76及第七噴頭列77的液滴噴出頭14噴出的液滴 44的重量。然后，以所噴出的次數(shù)進(jìn)行除法運(yùn)算，計算噴出量。接著，在步驟S7 中進(jìn)行調(diào)整。反復(fù)進(jìn)行步驟S4 步驟S7，在目標(biāo)噴出量106與所測出的 噴出量104之差小于規(guī)定值時，結(jié)束第六噴頭列76及第七噴頭列77的液 滴噴出頭14中的噴出量的調(diào)整。接著，如圖8 (b)所示，在步驟S3中，將第三滑架12c及第四滑架 12d從與重量測量裝置21對置的場所向與第二沖洗單元18對置的場所移 動。然后，將第五滑架12e及第六滑架12f從與第一沖洗單元17對置的場 所向與重量測量裝置21對置的場所移動。第一滑架12a及第二滑架12b 在與第二沖洗單元18對置的場所繼續(xù)待機(jī)。在步驟S4中，向第一噴頭列71 第八噴頭列78的液滴噴出頭14輸 入非噴出驅(qū)動波形90，進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動。然后，定期地從第一噴頭列71 第八噴頭列78的液滴噴出頭14向第二沖洗單元18噴出液滴44，進(jìn)行沖 洗動作。向第九噴頭列79 第十二噴頭列82的液滴噴出頭14輸入噴出驅(qū)動波 形91，向重量測量裝置21噴出液滴44規(guī)定次數(shù)份。然后，在步驟S5中，測量所噴出的液滴44的重量。此時，測量從被第九噴頭列79與第十二噴 頭列82夾持的第十噴頭列80及第十一噴頭列81的液滴噴出頭14噴出的 液滴44的重量。進(jìn)而，測量從右端的第十二噴頭列82的液滴噴出頭14 噴出的液滴44的重量。然后，以所噴出的次數(shù)進(jìn)行除法運(yùn)算，計算噴出量。接著，在步驟S7 中進(jìn)行調(diào)整。反復(fù)進(jìn)行步驟S4 步驟S7，在目標(biāo)噴出量106與所測出的 噴出量104之差小于規(guī)定值時，結(jié)束第十噴頭列80 第十二噴頭列82的 液滴噴出頭14中的噴出量的調(diào)整。圖8 (c)是對應(yīng)于步驟S9及步驟S10的圖。如圖8 (c)所示，將第 五滑架12e及第六滑架12f從與重量測量裝置21對置的場所向與第一沖洗 單元17對置的場所移動。然后，將第一滑架12a 第四滑架12d從與第二 沖洗單元18對置的場所向與第一沖洗單元17對置的場所移動。接著，在步驟S10中，向第一噴頭列71 第十二噴頭列82的液滴噴 出頭14輸入非噴出驅(qū)動波形90，進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動。然后，定期地從第一噴 頭列71 第十二噴頭列82的液滴噴出頭14向第一沖洗單元17噴出液滴 44，進(jìn)行沖洗動作。圖9 (a)及圖9 (b)是對應(yīng)于步驟S24的圖。如圖9 (a)所示，在 步驟Sll中，將第一滑架12a從與第一沖洗單元17對置的場所開始向與 第二沖洗單元18對置的場所移動。然后，將第二滑架12b及第三滑架12c 從與第一沖洗單元17對置的場所向與重量測量裝置21對置的場所移動。 第四滑架12d 第六滑架12f在與第一沖洗單元17對置的場所待機(jī)。在步驟S12中，向第一噴頭列71、第二噴頭列72及第七噴頭列77 第十二噴頭列82的液滴噴出頭14輸入非噴出驅(qū)動波形90后進(jìn)行暖機(jī)驅(qū) 動。然后，定期地從第一噴頭列71、第二噴頭列72的液滴噴出頭14向第 二沖洗單元18噴出液滴44后，進(jìn)行沖洗動作。同樣，定期地從第七噴頭 列77 第十二噴頭列82的液滴噴出頭14向第一沖洗單元17噴出液滴44后，進(jìn)行沖洗動作。向第三噴頭列73 第六噴頭列76的液滴噴出頭14輸入噴出驅(qū)動波形 91，向重量測量裝置21噴出規(guī)定次數(shù)份的液滴44。然后，在步驟S13中， 測量所噴出的液滴44的重量。此時，測量從被第三噴頭列73與第六噴頭列76夾持的第四噴頭列74及第五噴頭列75的液滴噴出頭14噴出的液滴 44的重量。然后，以所噴出的次數(shù)進(jìn)行除法運(yùn)算，計算噴出量。接著，在步驟S15 中進(jìn)行調(diào)整。反復(fù)進(jìn)行步驟S12 步驟S15，在目標(biāo)噴出量106與所測出 的噴出量104之差小于規(guī)定值時，結(jié)束第四噴頭列74及第五噴頭列75的 液滴噴出頭14中的噴出量的調(diào)整。接著，如圖9 (b)所示，在步驟Sll中，將第二滑架12b及第三滑架 12c從與重量測量裝置21對置的場所向與第二沖洗單元18對置的場所移 動。然后，將第四滑架12d及第五滑架12e從與第一沖洗單元17對置的 場所向與重量測量裝置21對置的場所移動。第一滑架12a在與第二沖洗 單元18對置的場所待機(jī)，第六滑架12f在與第一沖洗單元17對置的場所 待機(jī)。在步驟S12中，向第一噴頭列71 第六噴頭列76、第十一噴頭列81 及第十二噴頭列82的液滴噴出頭14輸入非噴出驅(qū)動波形90，進(jìn)行暖機(jī)驅(qū) 動。然后，定期地從第一噴頭列71 第六噴頭列76的液滴噴出頭14向第 二沖洗單元18噴出液滴44，進(jìn)行沖洗動作。同樣，定期地從第十一噴頭 列81及第十二噴頭列82的液滴噴出頭14向第一沖洗單元17噴出液滴44 后，進(jìn)行沖洗動作。向第七噴頭列77 第十噴頭列80的液滴噴出頭14輸入噴出驅(qū)動波形 91，向重量測量裝置21噴出液滴44規(guī)定次數(shù)份。然后，在步驟S13中， 測量所噴出的液滴44的重量。此時，測量從被第七噴頭列77與第十噴頭 列80夾持的第八噴頭列78及第九噴頭列79的液滴噴出頭14噴出的液滴 44的重量。然后，以所噴出的次數(shù)進(jìn)行除法運(yùn)算，計算噴出量。接著，在步驟S15 中進(jìn)行調(diào)整。反復(fù)進(jìn)行步驟S12 步驟S15，在目標(biāo)噴出量106與所測出 的噴出量104之差小于規(guī)定值時，結(jié)束第八噴頭列78及第九噴頭列79的 液滴噴出頭14中的噴出量的調(diào)整。通過以上工序，第二噴頭列72 第十一噴頭列81的液滴噴出頭14 在被相鄰的液滴噴出頭14夾持的狀態(tài)下，測量了噴出液滴44時的噴出量 后，進(jìn)行噴出量的調(diào)整。這成為與步驟S17中進(jìn)行噴出時的液滴噴出頭14的形態(tài)相同的形態(tài)。然后，第一噴頭列71及第十二噴頭列82的液滴噴出頭14在未被液滴噴出頭14夾持的狀態(tài)下測量了噴出液滴44時的噴出量 后，進(jìn)行噴出量的調(diào)整。這也成為與步驟S17中進(jìn)行噴出時的液滴噴出頭 14的形態(tài)相同的形態(tài)。也就是說，在與步驟S17中進(jìn)行噴出時的液滴噴出 頭14的形態(tài)相同的形態(tài)下，進(jìn)行噴出量的調(diào)整。圖9 (c)是對應(yīng)于步驟S17的圖。如圖9 (c)所示，移動滑架12及 臺面4，以液滴噴出頭14與基板7對置的方式移動液滴噴出頭14與基板 7。接著，根據(jù)規(guī)定的描繪圖案，噴出液滴44，并涂覆在基板7上。涂覆 預(yù)定的描繪圖案，結(jié)束步驟S17，結(jié)束向基板7噴出液滴并進(jìn)行涂覆的制 造工序。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，具有以下效果。(1) 根據(jù)本實(shí)施方式，將噴出量的測量分為步驟S21的第一測量工 序和步驟S23的第二測量工序后進(jìn)行測量。然后，在步驟S21中，測量從 屬于被其他液滴噴出頭列夾持的狀態(tài)下的液滴噴出頭列的液滴噴出頭14 噴出時的噴出量。也就是說，測量從屬于第二噴頭列72、第三噴頭列73、 第六噴頭列76、第七噴頭列77、第十噴頭列80、第十一噴頭列81的液滴 噴出頭14噴出時的噴出量。然后，在步驟S23中，用其他液滴噴出頭列夾持在步驟S21中未被其 他液滴噴出頭列夾持的液滴噴出頭列，并噴出液狀體后，測量噴出量。然 后，測量從屬于第四噴頭列74、第五噴頭列75、第八噴頭列78、第九噴 頭列79的液滴噴出頭14噴出時的噴出量。也就是說，在步驟S21及步驟 S23中，測量從屬于被其他液滴噴出頭列夾持的狀態(tài)下的液滴噴出頭列的 液滴噴出頭14噴出時的噴出量。因此，第二噴頭列72 第十一噴頭列81 的液滴噴出頭14可以測量大致相同溫度下的噴出量。結(jié)果，可以精度優(yōu)(2) 根據(jù)本實(shí)施方式，在步驟S2及步驟S10的噴出前待機(jī)工序中， 液滴噴出頭通過進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動，從而使得液滴噴出頭14的溫度上升。然 后，測量液滴噴出頭的溫度高的狀態(tài)下的噴出量。在向基板7噴出液滴44 時，液滴噴出頭M噴出液滴44，因此液滴噴出頭14的溫度上升。也就是 說，液滴噴出頭14通過進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動，從而可以測量與向基板7噴出液滴44時大致相同的溫度下的噴出量。因此，可以精度優(yōu)良地測量向基板7噴出液滴44時的噴出量。(3) 根據(jù)本實(shí)施方式，暖機(jī)驅(qū)動到從液滴噴出頭14的噴嘴31不噴 出液滴44的程度為止。因此，因?yàn)橐旱?4不會被浪費(fèi)地噴出，故可以成 為節(jié)省資源的噴出量測量方法。(4) 根據(jù)本實(shí)施方式，在步驟S7的第一調(diào)整工序中對步驟S21的第 一測量工序中測量的液滴噴出頭14進(jìn)行了調(diào)整后，在步驟S15的第二調(diào) 整工序中對步驟S23的第二測量工序中測量的液滴噴出頭14進(jìn)行調(diào)整。 然后，根據(jù)步驟S21及步驟S23中精度優(yōu)良地對噴出量進(jìn)行測量的測量結(jié) 果，在步驟S7及步驟S15中，調(diào)整噴出量。因此，在步驟S7及步驟S15 中，可以精度優(yōu)良地調(diào)整噴出量。(5) 根據(jù)本實(shí)施方式，具有步驟S22的第一噴出量調(diào)整工序與步驟 S24的第二噴出量調(diào)整工序。并且，在步驟S22中，根據(jù)步驟S21的第一 測量工序中測出的噴出量的測量結(jié)果，在步驟S7的第一調(diào)整工序中進(jìn)行 噴出量的調(diào)整。接著，通過反復(fù)進(jìn)行步驟S21與步驟S7，從而使得噴出 量接近目標(biāo)噴出量。因此，與僅進(jìn)行一次步驟S7的方法相比，可以精度 優(yōu)良地調(diào)整噴出量。而且，即使在步驟S24中，由于同樣地進(jìn)行，故與僅進(jìn)行一次步驟 S15的第二調(diào)整工序的方法相比，可以精度優(yōu)良地調(diào)整噴出量。結(jié)果，可 以成為能夠精度優(yōu)良地對噴出量進(jìn)行調(diào)整的方法。(第二實(shí)施方式)在本實(shí)施方式中，利用圖4及圖5，說明對液滴噴出裝置的噴出量進(jìn) 行調(diào)整的特征性調(diào)整方法的一個實(shí)施方式。該實(shí)施方式與第一實(shí)施方式的不同之處在于在第一噴出量調(diào)整工序 中調(diào)整全部液滴噴出頭14的噴出量。艮P,在圖4中，除了步驟S22的步驟S7及步驟S24中的步驟S15以 外，均與第一實(shí)施方式相同，省略說明。而且，在步驟S7中，對屬于圖5 所示的第一噴頭列71 第十二噴頭列82的液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào) 整。因此，屬于第四噴頭列74、第五噴頭列75、第八噴頭列78、第九噴 頭列79的液滴噴出頭14在未被其他液滴噴出頭列夾持的狀態(tài)下進(jìn)行噴出 后，利用測量的噴出量，通過與目標(biāo)噴出量106吻合而對噴出量進(jìn)行調(diào)整。在步驟S15中，進(jìn)行與第一實(shí)施方式同樣的調(diào)整。因此，屬于第四噴 頭列74、第五噴頭列75、第八噴頭列78、第九噴頭列79的液滴噴出頭 14在步驟S7及步驟S15等兩個步驟中被進(jìn)行噴出量的調(diào)整。在步驟S24中，在反復(fù)進(jìn)行噴出與調(diào)整時，屬于第四噴頭列74、第五 噴頭列75、第八噴頭列78、第九噴頭列79的液滴噴出頭14在步驟S22 中被進(jìn)行一次調(diào)整，因此有時可以以少的反復(fù)次數(shù)完成調(diào)整。然后，在進(jìn) 行了調(diào)整后，在步驟S17中，根據(jù)規(guī)定的描繪圖案，噴出液滴44并涂覆 在基板7上。涂覆預(yù)定的描繪圖案后結(jié)束步驟S17，結(jié)束向基板7噴出液 滴并進(jìn)行涂覆的制造工序。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，除了第一實(shí)施方式中的效果(1) (5) 以外，還具有以下效果。(1)根據(jù)本實(shí)施方式，在步驟S21的第一測量工序中，屬于未被其 他液滴噴出頭列夾持的液滴噴出頭列的液滴噴出頭14在步驟S22的第一 噴出量調(diào)整工序中，進(jìn)行一次噴出量的調(diào)整。因此，該液滴噴出頭14的 噴出量被調(diào)整為接近目標(biāo)噴出量，故在步驟S24的第二噴出量調(diào)整工序中， 液滴噴出頭14的溫度即使上升得比步驟S22的溫度還要高，也可以以較 少的反復(fù)次數(shù)進(jìn)行調(diào)整。結(jié)果，可以成為生產(chǎn)率較佳的調(diào)整方法。(第三實(shí)施方式)在本實(shí)施方式中，利用圖10對調(diào)整液滴噴出裝置的噴出量的特征性 調(diào)整方法的一個實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖10是表示向基板噴出液滴并進(jìn)行 涂覆的制造工序的流程圖。該實(shí)施方式與第一實(shí)施方式的不同之處在于，在第一噴出量調(diào)整工序 與第二噴出量調(diào)整工序中分為粗調(diào)整與微調(diào)整后對噴出量進(jìn)行調(diào)整。在圖10中，步驟S31 步驟S33是與圖4所示的步驟Sl 步驟S3對 應(yīng)的步驟，省略說明。步驟S34相當(dāng)于噴出測量工序，從噴嘴向重量測量 裝置的接受器皿進(jìn)行規(guī)定次數(shù)的噴出。例如，進(jìn)行100次的噴出。然后計量重量測量裝置的接受器皿的重量。而且，是運(yùn)算每次噴出的噴出量的工 序。接著移至步驟S35。步驟S35相當(dāng)于判斷噴出量是否達(dá)到了目標(biāo)噴出量的工序，是對步驟S34中測出的噴出量與作為調(diào)整目標(biāo)的目標(biāo)噴出量進(jìn)行比較，判斷噴出量與目標(biāo)噴出量之差是否小于規(guī)定值的工序。在噴出量與目標(biāo)噴出量之差大于規(guī)定值時(否的時候)，移至步驟S36。在步驟S35 中，在噴出量與目標(biāo)噴出量之差小于規(guī)定值時(是的時候)，移至步驟S37。 步驟S36相當(dāng)于調(diào)整工序，是對從液滴噴出頭噴出的噴出量進(jìn)行調(diào)整的工 序。接著移至步驟S34。由步驟S34 步驟S36的步驟構(gòu)成步驟S61的粗 調(diào)整工序。步驟S37相當(dāng)于噴出測量工序，從噴嘴向重量測量裝置的接受器皿進(jìn) 行規(guī)定次數(shù)的噴出。在該步驟中，進(jìn)行比步驟S34中的噴出次數(shù)多的噴出。 例如進(jìn)行1000次的噴出。因此，該步驟中的噴出量進(jìn)行比步驟S34中的 噴出量多的噴出。然后，計量重量測量裝置的接受器皿的重量。而且，是 對每次噴出的噴出量進(jìn)行運(yùn)算的工序。然后移至步驟S38。步驟S38相當(dāng) 于判斷噴出量是否達(dá)到了目標(biāo)噴出量的工序，是對步驟S37中測出的噴出 量與作為調(diào)整目標(biāo)的目標(biāo)噴出量迸行比較，判斷噴出量與目標(biāo)噴出量之差 是否小于規(guī)定值的工序。該規(guī)定值設(shè)定為比步驟S35中的規(guī)定值窄的范圍。而且，在噴出量與目標(biāo)噴出量之差大于規(guī)定值時(否的時候)，移至步驟 S39。在步驟S38中，在噴出量與目標(biāo)噴出量之差小于規(guī)定值時(是的時 候)，移至步驟S40。步驟S39相當(dāng)于調(diào)整工序，是對從液滴噴出頭噴出 的噴出量進(jìn)行調(diào)整的工序。在該工序中調(diào)整的噴出量的變化量設(shè)定為比步 驟S36中的調(diào)整的變化量小的值。接著移至步驟S37。由步驟S37 步驟 S39的步驟構(gòu)成步驟S62的微調(diào)整工序。步驟S40相當(dāng)于判斷是否為調(diào)整預(yù)定的噴頭全部進(jìn)行了調(diào)整的工序， 是在步驟S31中設(shè)定為進(jìn)行調(diào)整的液滴噴出頭中判斷是否全部進(jìn)行了調(diào)整 的工序。在所調(diào)整的預(yù)定液滴噴出頭中存在未對噴出量進(jìn)行調(diào)整的液滴噴 出頭時(否的時候)，移至步驟S34。在步驟S40中，在對所調(diào)整的預(yù)定液滴噴出頭中的全部液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了調(diào)整時(是的時候)，移 至步驟S41。由步驟S32 步驟S40的步驟構(gòu)成步驟S63的第一噴出量調(diào)整工序。步驟S41相當(dāng)于移動工序，是使液滴噴出頭從與第二沖洗單元及重量 測量裝置對置的場所向與第一沖洗單元對置的場所移動的工序。接著，移至步驟S42。步驟S42相當(dāng)于噴出前待機(jī)工序，是對液滴噴出頭進(jìn)行暖機(jī) 驅(qū)動的工序。接著移至步驟S43。步驟S43相當(dāng)于移動工序，是將液滴噴 出頭移動到與重量測量裝置對置的場所的工序。接下來移至步驟S44。步 驟S44相當(dāng)于噴出測量工序，從噴嘴向重量測量裝置的接受器皿進(jìn)行規(guī)定 次數(shù)的噴出。例如進(jìn)行100次的噴出。然后計量重量測量裝置的接受器皿 的重量。而且，是對每次噴出的噴出量進(jìn)行運(yùn)算的工序。接著移至步驟S45。 步驟S45相當(dāng)于判斷噴出量是否達(dá)到了目標(biāo)噴出量的工序，是對步驟S44 中測出的噴出量與作為調(diào)整目標(biāo)的目標(biāo)噴出量進(jìn)行比較，判斷噴出量與目 標(biāo)噴出量之差是否小于規(guī)定值的工序。在噴出量與目標(biāo)噴出量之差大于規(guī) 定值時(否的時候)，移至步驟S46。在步驟S45中，在噴出量與目標(biāo)噴 出量之差小于規(guī)定值時(是的時候)，移至步驟S47。步驟S46相當(dāng)于調(diào) 整工序，是對從液滴噴出頭噴出的噴出量進(jìn)行調(diào)整的工序。接著移至步驟 S44。由步驟S44 步驟S46的步驟構(gòu)成步驟S64的粗調(diào)整工序。步驟S47相當(dāng)于噴出測量工序，從噴嘴向重量測量裝置的接受器皿進(jìn) 行規(guī)定次數(shù)的噴出。在該步驟中，進(jìn)行比步驟S44中的噴出次數(shù)多的噴出。 例如進(jìn)行1000次的噴出。因此，該步驟中的噴出量進(jìn)行比步驟S44中的 噴出量多的噴出。然后計量重量測量裝置的接受器皿的重量。而且，是對 每次噴出的噴出量進(jìn)行運(yùn)算的工序。然后移至步驟S48。步驟S48相當(dāng)于 判斷噴出量是否達(dá)到了目標(biāo)噴出量的工序，是對步驟S47中測出的噴出量 與作為調(diào)整目標(biāo)的目標(biāo)噴出量進(jìn)行比較，判斷噴出量與目標(biāo)噴出量之差是 否小于規(guī)定值的工序。該規(guī)定值設(shè)定為比步驟S45中的規(guī)定值窄的范圍。 而且，在噴出量與目標(biāo)噴出量之差大于規(guī)定值時(否的時候)，移至步驟 S49。在步驟S48中，在噴出量與目標(biāo)噴出量之差小于規(guī)定值時(是的時 候)，移至步驟S50。步驟S49相當(dāng)于調(diào)整工序，是對從液滴噴出頭噴出 的噴出量進(jìn)行調(diào)整的工序。在該工序中調(diào)整的噴出量的變化量設(shè)定為比步 驟S46中的調(diào)整的變化量小的值。接著移至步驟S47。由步驟S47 步驟 S49的步驟構(gòu)成步驟S65的微調(diào)整工序。步驟S50相當(dāng)于判斷是否為調(diào)整預(yù)定的噴頭全部進(jìn)行了調(diào)整的工序，是在步驟S31中設(shè)定為進(jìn)行調(diào)整的液滴噴出頭中判斷是否全部進(jìn)行了調(diào)整 的工序。在所調(diào)整的預(yù)定液滴噴出頭中存在未對噴出量進(jìn)行調(diào)整的液滴噴出頭時(否的時候)，移至步驟S44。在步驟S40中，在對所調(diào)整的預(yù)定液滴噴出頭中的全部液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了調(diào)整時(是的時候)，移至步驟S51。由步驟S42 步驟S50的步驟構(gòu)成步驟S66的第二噴出量調(diào) 整工序。步驟S51相當(dāng)于涂覆工序，是向基板噴出液滴并進(jìn)行涂覆的工序。如 上所述，結(jié)束向基板噴出功能液并進(jìn)行涂覆的制造工序。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，除了第一實(shí)施方式的效果(1) (5) 以外，還具有以下的效果。(1) 根據(jù)本實(shí)施方式，進(jìn)行步驟S61及步驟S64中的粗調(diào)整工序、 步驟S62及步驟S65中的微調(diào)整工序。此時，與反復(fù)進(jìn)行微調(diào)整，每次少 量調(diào)整噴出量的情況相比，組合通過粗調(diào)整使得噴出量大幅度變化的工序 和微調(diào)整工序來進(jìn)行的方法可以以較少的次數(shù)，調(diào)整為作為目標(biāo)的噴出 量。因此，可以生產(chǎn)率良好地進(jìn)行調(diào)整。(2) 根據(jù)本實(shí)施方式，在步驟S61及步驟S64的粗調(diào)整工序中，與 步驟S62及步驟S65中的微調(diào)整工序相比，以較少的噴出量進(jìn)行噴出量的 測量。因此，可以減少所噴出的液狀體的消耗量。結(jié)果，可以作為節(jié)省資 源的調(diào)整方法。(第四實(shí)施方式)在本實(shí)施方式中，利用圖10對調(diào)整液滴噴出裝置的噴出量的特征性 調(diào)整方法的一個實(shí)施方式進(jìn)行說明。該實(shí)施方式與第三實(shí)施方式的不同之 處在于，在粗調(diào)整工序與微調(diào)整工序中使單位時間內(nèi)噴出的次數(shù)為不同的 次數(shù)。艮P，在圖10中，在步驟S34、步驟S37、步驟S44、步驟S47的各噴 出測量工序中，將所噴出的噴出次數(shù)設(shè)為相同的次數(shù)，例如設(shè)為100次。 而且，在步驟S51中，例如在1秒內(nèi)噴出5次，涂覆功能液41時，在屬 于微調(diào)整工序的步驟S37及步驟S47中，l秒內(nèi)噴出5次。接著，在屬于 粗調(diào)整工序的步驟S34及步驟S44中，例如1秒內(nèi)噴出10次，進(jìn)行測量。也就是說，在粗調(diào)整工序中與微調(diào)整工序相比，增多每單位時間內(nèi)的噴出 次數(shù)，在短時間內(nèi)進(jìn)行噴出。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，除了第一實(shí)施方式中的效果(1) (5) 及第三實(shí)施方式中的效果(1)以外，具有以下的效果。(1)根據(jù)本實(shí)施方式，在屬于粗調(diào)整工序的步驟S34及步驟S44中，與微調(diào)整工序相比，增多單位時間內(nèi)噴出的次數(shù)。在粗調(diào)整工序及微調(diào)整 工序中，進(jìn)行相同次數(shù)的噴出，在對噴出量進(jìn)行測量時，粗調(diào)整工序在短 時間內(nèi)可以進(jìn)行噴出。因此，可以生產(chǎn)率優(yōu)良地進(jìn)行調(diào)整。(第五實(shí)施方式)在本實(shí)施方式中，利用圖4及圖5對調(diào)整液滴噴出裝置的噴出量的特 征性調(diào)整方法的一個實(shí)施方式進(jìn)行說明。該實(shí)施方式與第二實(shí)施方式的不 同之處在于，在第一噴出量調(diào)整工序中，以使未被夾持的噴頭列的噴出量 小于被夾持的噴頭列的噴出量的方式對噴出量進(jìn)行調(diào)整。艮口，在圖4所示的步驟S6中，進(jìn)行噴出量與目標(biāo)噴出量的比較。此 時，在圖5 (a)所示的第一組83中，第一噴頭列71、第二噴頭列72、第 三噴頭列73的目標(biāo)噴出量設(shè)為在步驟S17中進(jìn)行噴出時的目標(biāo)噴出量。 而且，第四噴頭列74的目標(biāo)噴出量設(shè)定為比步驟S17中進(jìn)行噴出時的目 標(biāo)噴出量少。然后，在步驟S7中以成為各目標(biāo)噴出量的方式對噴出量進(jìn) 行調(diào)整。同樣，在第二組84中，第六噴頭列76及第七噴頭列77的目標(biāo)噴出 量設(shè)為步驟S17中進(jìn)行噴出時的目標(biāo)噴出量。然后，第五噴頭列75及第 八噴頭列78的目標(biāo)噴出量設(shè)定為比步驟S17中進(jìn)行噴出時的目標(biāo)噴出量 少。在第三組85中，第十噴頭列80、第十一噴頭列81、第十二噴頭列82 的目標(biāo)噴出量設(shè)為在步驟S17中進(jìn)行噴出時的目標(biāo)噴出量。而且，第九噴 頭列79的目標(biāo)噴出量設(shè)定為比步驟S17中進(jìn)行噴出時的目標(biāo)噴出量少。接著，在步驟S14中進(jìn)行噴出量與目標(biāo)噴出量的比較。此時，在圖5 (b)所示的第四組86中，第四噴頭列74及第五噴頭列75被第三噴頭列 73及第六噴頭列76夾持，因此液滴噴出頭14的溫度上升，與步驟S4中 的噴出量相比增加。但是，在步驟S6中，將目標(biāo)噴出量設(shè)定為比步驟S17中進(jìn)行噴出時的目標(biāo)噴出量少，因此在步驟S14中，噴出量大多成為與步驟S17中進(jìn)行噴出時的目標(biāo)噴出量接近的噴出量。同樣，即使在第五組87 中，第八噴頭列78及第九噴頭列79的噴出量大多為與步驟S17中進(jìn)行噴 出時的目標(biāo)噴出量接近的噴出量。因此，可以減少反復(fù)步驟S12 步驟S15 的次數(shù)。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，除了第一實(shí)施方式中的效果(1) (5) 以外，具有以下的效果。(l)根據(jù)本實(shí)施方式，在步驟S7中，以從未被液滴噴出頭列夾持的 液滴噴出頭噴出的液狀體的噴出量比步驟S17中噴出的目標(biāo)噴出量少的方 式進(jìn)行調(diào)整。因此，在被其他液滴噴出頭夾持對噴出量進(jìn)行測量時，可以 從使噴出量與步驟S17中噴出的噴出量的目標(biāo)接近的噴出量開始進(jìn)行調(diào) 整。結(jié)果，因?yàn)榭梢砸暂^少的調(diào)整次數(shù)進(jìn)行調(diào)整，故可以生產(chǎn)率良好地進(jìn) 行調(diào)整。(第六實(shí)施方式)在本實(shí)施方式中，利用圖4及圖5對調(diào)整液滴噴出裝置的噴出量的特 征性調(diào)整方法的一個實(shí)施方式進(jìn)行說明。該實(shí)施方式與第二實(shí)施方式的不 同之處在于，在第一噴出量調(diào)整工序中，在第二噴出量調(diào)整工序的測量用 噴出工序點(diǎn)進(jìn)行將未被夾持的噴頭列的噴出量設(shè)定為小于被夾持的噴頭 列的噴出量的工序。艮P，圖4所示的步驟Sl 步驟Sll與第二實(shí)施方式同樣地實(shí)施。然 后，在步驟S12中，相對于步驟S7中調(diào)整后的噴出量，變更噴出量。詳 細(xì)內(nèi)容為，以比步驟S22中設(shè)定的噴出量少的噴出量進(jìn)行噴出的方式對圖 5所示的第四組86的第四噴頭列74及第五噴頭列75的噴出量進(jìn)行設(shè)定變 更后進(jìn)行噴出。第四噴頭列74及第五噴頭列75因?yàn)楸坏谌龂婎^列73及第六噴頭列 76夾持，故液滴噴出頭14的溫度上升，比步驟S22中的噴出量增加。但 是，在步驟S12中，由于將噴出量設(shè)定為小于步驟S22中進(jìn)行噴出時的目 標(biāo)噴出量，故噴出量大多成為與步驟S17中進(jìn)行噴出時的目標(biāo)噴出量接近 的噴出量。因此，可以減少反復(fù)步驟S12 步驟S15的次數(shù)。同樣，在第五組87中，也將第八噴頭列78及第九噴頭列79的噴出 量在步驟S12中以比步驟S22中設(shè)定的噴出量少的噴出量進(jìn)行噴出的方式 變更設(shè)定后進(jìn)行噴出。結(jié)果，可以減少反復(fù)步驟S12 步驟S15的次數(shù)。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，除了第一實(shí)施方式的效果(1) (5) 以外，具有以下的效果。(O根據(jù)本實(shí)施方式，在步驟S22中，未被液滴噴出頭列夾持的液 滴噴出頭14以在步驟S12中減少噴出量的方式進(jìn)行調(diào)整。因此，在步驟 S12中被其他液滴噴出頭夾持對噴出量進(jìn)行測量時，可以從使噴出量與步 驟S17中進(jìn)行噴出的噴出量的目標(biāo)接近的噴出量開始進(jìn)行調(diào)整。結(jié)果，因 為可以以較少的調(diào)整次數(shù)進(jìn)行調(diào)整，故可以生產(chǎn)率良好地進(jìn)行調(diào)整。(第七實(shí)施方式)在本實(shí)施方式中，利用圖11及圖12對調(diào)整液滴噴出裝置的噴出量的 特征性調(diào)整方法的一個實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖11是表示液滴噴出裝置的 構(gòu)成的概略立體圖，圖12是表示向基板噴出液滴并進(jìn)行涂覆的制造工序 的流程圖。該實(shí)施方式與第二實(shí)施方式的不同之處在于在液滴噴出頭的 排列中的行數(shù)比重量測量裝置多時，對同一滑架內(nèi)的液滴噴出頭的噴出量 進(jìn)行測量后，測量其他滑架內(nèi)的液滴噴出頭的噴出量。艮卩，如圖11所示，液滴噴出裝置108中，重量測量裝置109在X方 向上4個配置為1行。而且，如圖5所示，第一滑架12a 第六滑架12f 中，在作為行的第一噴頭行110、第二噴頭行111、第三噴頭行112的3 行配置有液滴噴出頭14。也就是說，說明相對于重量測量裝置109—次能 測量的液滴噴出頭14的行數(shù)而言滑架12搭載的液滴噴出頭14的行數(shù)較 多時的調(diào)整順序。在圖12的流程圖中，步驟S71相當(dāng)于調(diào)整順序設(shè)定工序，是設(shè)定對 液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整的順序的工序。接著移至步驟S72。步驟S72 相當(dāng)于移動工序，是移動滑架，將要測量的液滴噴出頭向與重量測量裝置 對置的場所移動的工序。接著，移至步驟S73。步驟S73相當(dāng)于第一噴出 量調(diào)整工序，是從l行液滴噴出頭噴出功能液后測量噴出量，調(diào)整噴出量 的工序。接著移至步驟S74。步驟S74相當(dāng)于判斷在同一滑架內(nèi)是否對調(diào)整預(yù)定的噴頭全部進(jìn)行了 調(diào)整的工序，是判斷是否對3行所有的液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了調(diào)整的工序。在存在未進(jìn)行調(diào)整的行時(否的時候)，移至步驟S72。在步驟S74 中，對3行所有的液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了調(diào)整時(是的時候)，移至 步驟S75。步驟S75相當(dāng)于判斷是否對調(diào)整預(yù)定的噴頭全部進(jìn)行了調(diào)整的 工序，是在步驟S71中設(shè)定為調(diào)整的液滴噴出頭中判斷是否全部進(jìn)行了調(diào) 整的工序。在調(diào)整的預(yù)定液滴噴出頭中，存在未對噴出量進(jìn)行調(diào)整的液滴 噴出頭時(否的時候)，移至步驟S72。在步驟S75中，在對調(diào)整預(yù)定的 液滴噴出頭中所有的液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了調(diào)整時(是的時候)，移 至步驟S76。步驟S76相當(dāng)于移動工序，是移動滑架，將要測量的液滴噴出頭向與 重量測量裝置對置的場所移動的工序。接著，移至步驟S77。步驟S77相 當(dāng)于第二噴出量調(diào)整工序，是在設(shè)為與步驟S73中不同的噴頭列的配置后， 從1行液滴噴出頭噴出功能液，測量噴出量，對噴出量進(jìn)行調(diào)整的工序。 接著移至步驟S78。步驟S78相當(dāng)于判斷是否對同一滑架內(nèi)調(diào)整預(yù)定的噴 頭全部進(jìn)行了調(diào)整的工序，是判斷是否對3行所有的液滴噴出頭的噴出量 進(jìn)行了調(diào)整的工序。在存在未進(jìn)行調(diào)整的行時(否的時候)，移至步驟S76。 在步驟S78中，在對3行所有的液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了調(diào)整時(是的 時候)，移至步驟S79。步驟S79是判斷是否對調(diào)整預(yù)定的噴頭全部進(jìn)行 了調(diào)整的工序，是在步驟S71中設(shè)定為調(diào)整的液滴噴出頭中判斷是否全部 進(jìn)行了調(diào)整的工序，在調(diào)整預(yù)定的液滴噴出頭中存在未對噴出量進(jìn)行調(diào)整 的液滴噴出頭時(否的時候)，移至步驟S76。在步驟S79中，在對調(diào)整 預(yù)定的液滴噴出頭中的全部液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了調(diào)整時(是的時 候)，移至步驟S80。步驟S80相當(dāng)于涂覆工序，是向基板噴出液滴并進(jìn) 行涂覆的工序。如上所述，結(jié)束向基板噴出功能液并進(jìn)行涂覆的制造工序。接著，利用圖5，詳細(xì)說明與圖12所示的步驟對應(yīng)，且精度優(yōu)良地對 液滴噴出頭噴出的噴出量進(jìn)行調(diào)整，并向工件涂覆的制造方法。步驟S71 與圖4所示的步驟S1同樣，省略說明。在步驟S72中，將第一組83的第 一噴頭行110的液滴噴出頭14向與重量測量裝置21對置的場所移動。然 后在步驟S73中，對從第一組83的第一噴頭行110的液滴噴出頭14噴出的功能液41的噴出量進(jìn)行調(diào)整。而且，在步驟S74及步驟S72中，將第 一組73的第二噴頭行111向與重量測量裝置21對置的場所移動。然后， 在步驟S73中，對從第一組83的第二噴頭行111的液滴噴出頭14噴出的 功能液41的噴出量進(jìn)行調(diào)整。經(jīng)過同樣的步驟，對從第一組83的第三噴 頭行112的液滴噴出頭14噴出的功能液41的噴出量進(jìn)行調(diào)整。接著，在步驟S75及步驟S72中，將第二組84的第一噴頭行110向 與重量測量裝置21對置的場所移動。然后在步驟S73中，對從第二組84 的第一噴頭行110的液滴噴出頭14噴出的功能液41的噴出量進(jìn)行調(diào)整。 而且，通過反復(fù)步驟S72 步驟S74，從而對從第二組84的第二噴頭行 111及第三噴頭行112的液滴噴出頭14噴出的功能液41的噴出量進(jìn)行調(diào) 整。接著，經(jīng)過同樣的步驟，對從第三組85的第一噴頭行110 第三噴頭 行112的液滴噴出頭14噴出的功能液41的噴出量進(jìn)行調(diào)整。接下來，在步驟S76中，將第四組86的第一噴頭行110向與重量測 量裝置21對置的場所移動。然后，在步驟S77中，對從第四組86的第一 噴頭行110的液滴噴出頭14噴出的功能液41的噴出量進(jìn)行調(diào)整。此時， 對第四噴頭列74及第五噴頭列75的液滴噴出頭14中的噴出量進(jìn)行調(diào)整。 而且，通過反復(fù)步驟S76 步驟S78，從而可以對從第四組86的第二噴頭 行111及第三噴頭行112的液滴噴出頭14噴出的功能液41的噴出量進(jìn)行 調(diào)整。接著，經(jīng)過同樣的步驟，對從第五組87的第一噴頭行110 第三噴 頭行112的液滴噴出頭14噴出的功能液41的噴出量進(jìn)行調(diào)整。而且，在進(jìn)行了調(diào)整后，在步驟S80中，根據(jù)規(guī)定的描繪圖案，噴出 液滴44，并涂覆在基板7上。涂覆預(yù)定的描繪圖案，結(jié)束步驟S80，結(jié)束 向基板7噴出液滴并進(jìn)行涂覆的制造工序。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，除了第一實(shí)施方式的效果(1) (5) 以外，具有以下的效果。(1)根據(jù)本實(shí)施方式，對一個滑架12所搭載的液滴噴出頭14中的 噴出量全部進(jìn)行測量后，順次改變滑架12，對各滑架12所搭載的上述液 滴噴出頭14中的噴出量進(jìn)行測量及調(diào)整。因此，可以減少滑架12的移動 量，進(jìn)行測量及調(diào)整。結(jié)果，可以成為節(jié)省資源的測量方法及調(diào)整方法。(第八實(shí)施方式)在本實(shí)施方式中，利用圖5及圖13對調(diào)整液滴噴出裝置的噴出量的 特征性調(diào)整方法的一個實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖13是表示向基板噴出液滴 并進(jìn)行涂覆的制造工序的流程圖。該實(shí)施方式與第七實(shí)施方式的不同之處 在于按照液滴噴出頭組的每一行進(jìn)行調(diào)整。在圖13的流程圖中，步驟S91相當(dāng)于調(diào)整順序設(shè)定工序，是對調(diào)整液滴噴出頭的噴出量的順序進(jìn)行設(shè)定的工序。接著移至步驟S92。步驟S9 相當(dāng)于移動工序，是移動滑架，將要測量的液滴噴出頭移動到與重量測量 裝置對置的場所的工序。接下來移至步驟S93。步驟S93相當(dāng)于第一噴出 量調(diào)整工序，是從一行液滴噴出頭噴出功能液，測量噴出量，對噴出量進(jìn) 行調(diào)整的工序。接著移至步驟S94。步驟S94相當(dāng)于移動工序，是移動滑 架，將所測量的液滴噴出頭移動到與重量測量裝置對置的場所。接著移至 步驟S95。步驟S95相當(dāng)于第二噴出量調(diào)整工序，是在成為與步驟S93不 同的噴頭列的配置之后，從1行液滴噴出頭噴出功能液并測量噴出量，對 噴出量進(jìn)行調(diào)整的工序。接著移至步驟S96。步驟S96相當(dāng)于判斷在同一行內(nèi)是否對調(diào)整預(yù)定的噴頭全部進(jìn)行了調(diào) 整的工序，是判斷是否對12列的全部液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了調(diào)整的 工序。在存在未調(diào)整的列時(否的時候)，移至步驟S92。在步驟S96中， 在對12列的全部液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了調(diào)整時(是的時候)，移至 步驟S97。步驟S97相當(dāng)于判斷是否對調(diào)整預(yù)定的噴頭全部進(jìn)行了調(diào)整的 工序，是在步驟S91中設(shè)定為調(diào)整的全部行的液滴噴出頭判斷是否進(jìn)行了 調(diào)整的工序。在調(diào)整預(yù)定的液滴噴出頭中存在未對噴出量進(jìn)行調(diào)整的液滴 噴出頭時(否的時候)，移至步驟S92。在步驟S97中，在對調(diào)整預(yù)定的 液滴噴出頭中所有的液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了調(diào)整時(是的時候)，移 至步驟S98。步驟S98相當(dāng)于涂覆工序，是向基板噴出液滴并進(jìn)行涂覆的 工序。如上所述，結(jié)束向基板噴出功能液并進(jìn)行涂覆的制造工序。接著，利用圖5，詳細(xì)說明與圖13所示的步驟對應(yīng)，精度優(yōu)良地對從 液滴噴出頭噴出的噴出量進(jìn)行調(diào)整并涂覆在工件上的制造方法。步驟S91 與圖4所示的步驟S1同樣，省略說明。在步驟S92中，將第一組83的第 一噴頭行110移動到與重量測量裝置21對置的場所。而且，在步驟S93中，對從第一組83的第一噴頭行110的液滴噴出頭14噴出的功能液41 的噴出量進(jìn)行調(diào)整。然后在步驟S94中，將第四組86的第一噴頭行110 移動到與重量測量裝置21對置的場所。然后在步驟S95中，對從第四組 86的第一噴頭行110的液滴噴出頭14噴出的功能液41的噴出量進(jìn)行調(diào) 整。此時，對第四噴頭列74及第五噴頭列75的液滴噴出頭14的噴出量 進(jìn)行調(diào)整。接著，在步驟S96及步驟S92中，將第二組84的第一噴頭行110移 動到與重量測量裝置21對置的場所。然后在步驟S93 步驟S95中，對 從第二組84及第五組87的第一噴頭行110的液滴噴出頭14噴出的功能 液41的噴出量進(jìn)行調(diào)整。接下來，在步驟S96及步驟S92中，將第三組85的第一噴頭行110 移動到與重量測量裝置21對置的場所。然后在步驟S92中，對從第三組 85的第一噴頭行110的液滴噴出頭14噴出的功能液41的噴出量進(jìn)行調(diào) 整。然后在步驟S94及步驟S95中，由于沒有需要進(jìn)行調(diào)整的液滴噴出頭 14，故省略步驟，移至步驟S97。通過以上的步驟，對從第一噴頭列71 第十二噴頭列82的第一噴頭行110中的液滴噴出頭14噴出的功能液41的噴出量進(jìn)行調(diào)整。接著，在步驟S97中，確認(rèn)對第一噴頭行110的液滴噴出頭14全部進(jìn)行了調(diào)整，判斷是否移至第二噴頭行111的液滴噴出頭14的調(diào)整。然 后在步驟S92中，將第一組83的第二噴頭行111的液滴噴出頭14移動到 與重量測量裝置21對置的場所。然后，反復(fù)進(jìn)行步驟S92 步驟S97，進(jìn) 行第二噴頭行U1的液滴噴出頭14的調(diào)整。此時，按照第一組83、第四 組86、第二組84、第五組87、第三組85的順序進(jìn)行液滴噴出頭14的調(diào) 整。接著，移至第三噴頭行112，按照同樣的順序進(jìn)行從液滴噴出頭14 噴出的功能液41的噴出量的調(diào)整。并且，調(diào)整之后在步驟S98中，根據(jù)規(guī)定的描繪圖案，噴出液滴44， 并涂覆在基板7上。涂覆預(yù)定的描繪圖案，結(jié)束步驟S98，結(jié)束向基板7 噴出液滴并進(jìn)行涂覆的制造工序。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，除了第一實(shí)施方式的效果(1) (5) 以外，具有以下的效果。(1) 根據(jù)本實(shí)施方式，在調(diào)整了 1個液滴噴出頭14的噴出量之后， 對位于該調(diào)整后的液滴噴出頭14附近的液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整。 因此，即使在周圍的溫度變化時，在同一行中較近位置的液滴噴出頭14 也可以利用大致相同溫度的影響所產(chǎn)生的誤差來調(diào)整噴出量。
(2) 根據(jù)本實(shí)施方式，因?yàn)橥恍械南噜徫恢玫囊旱螄姵鲱^14可以
利用大致相同溫度的影響所產(chǎn)生的誤差來調(diào)整噴出量，故可以調(diào)整為大致
相同的噴出量。結(jié)果，在液滴噴出頭14的掃描方向(圖5的Y方向)上 可以進(jìn)行涂覆，而不會形成縱線。
(第九實(shí)施方式)
在本實(shí)施方式中，利用圖5及圖14對調(diào)整液滴噴出裝置的噴出量的 特征性調(diào)整方法的一個實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖14是表示向基板噴出液滴 并進(jìn)行涂覆的制造工序的流程圖。該實(shí)施方式與第八實(shí)施方式的不同之處 在于在同一行內(nèi)，在全部進(jìn)行了第一噴出工序后，進(jìn)行第二噴出工序， 按照液滴噴出頭組的每一行進(jìn)行調(diào)整。
在圖14的流程圖中，步驟S101相當(dāng)于調(diào)整順序設(shè)定工序，是對調(diào)整
液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整的順序進(jìn)行設(shè)定的工序。接著移至步驟 S102。步驟S102相當(dāng)于移動工序，是移動滑架，將所測量的液滴噴出頭 移動到與重量測量裝置對置的場所的工序。接著移至步驟S103。步驟S103 相當(dāng)于第一噴出量調(diào)整工序，是從一行的液滴噴出頭噴出功能液并測量噴 出量，對噴出量進(jìn)行調(diào)整的工序。接著移至步驟S104。步驟S104相當(dāng)于 判斷在同一行內(nèi)是否對調(diào)整預(yù)定的噴頭全部進(jìn)行了調(diào)整的工序，是判斷是 否對第一組、第二組、第三組的所有液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了調(diào)整的工 序。在存在未進(jìn)行調(diào)整的液滴噴出頭組時(否的時候)，移至步驟S102。 在步驟S104中，對第一組、第二組、第三組的所有液滴噴出頭的噴出量 進(jìn)行了調(diào)整時(是的時候)，移至步驟S105。步驟S105相當(dāng)于移動工序， 是移動滑架，將測量的液滴噴出頭移動到與重量測量裝置對置的場所的工 序。接著移至步驟S106。步驟S106相當(dāng)于第二噴出量調(diào)整工序，是對第 四組及第五組的所有液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整的工序。接著移至步驟 S107。步驟S107相當(dāng)于判斷同一行內(nèi)是否對調(diào)整預(yù)定的噴頭全部進(jìn)行了調(diào) 整的工序，是判斷是否對第四組及第五組的同一行內(nèi)的液滴噴出頭的噴出 量全部進(jìn)行了調(diào)整的工序。在存在未進(jìn)行調(diào)整的液滴噴出頭組時(否的時
候)，移至步驟S105。在步驟S107中，在對第四組及第五組的同一行內(nèi) 的所有液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了調(diào)整時(是的時候)，移至步驟S108。 步驟S108相當(dāng)于判斷是否對調(diào)整預(yù)定的噴頭全部進(jìn)行了調(diào)整的工序，是 判斷在步驟S101中設(shè)定為調(diào)整的全部行的液滴噴出頭中是否進(jìn)行了調(diào)整 的工序。在調(diào)整預(yù)定的液滴噴出頭中，存在未對噴出量進(jìn)行調(diào)整的液滴噴 出頭時(否的時候)，移至步驟S102。在步驟S108中，在對調(diào)整預(yù)定的 液滴噴出頭中的全部液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了調(diào)整時(是的時候)，移 至步驟S109。步驟S109相當(dāng)于涂覆工序，是向基板噴出液滴并進(jìn)行涂覆 的工序。如上所述，結(jié)束向基板噴出功能液并進(jìn)行涂覆的制造工序。
接著，利用圖5詳細(xì)說明以下制造方法，即與圖14所示的步驟對應(yīng)， 精度優(yōu)良地對從液滴噴出頭噴出的噴出量進(jìn)行調(diào)整并在工件上進(jìn)行涂覆 的制造方法。步驟SIOI與圖4所示的步驟S1同樣，故省略說明。在步驟 S102中，將第一組83的第一噴頭行110移動到與重量測量裝置21對置的 場所。然后在步驟S103中，對從第一組83的第一噴頭行UO的液滴噴出 頭14噴出的功能液41的噴出量進(jìn)行調(diào)整。
然后在步驟S104中，將第二組84設(shè)定為接下來要調(diào)整的液滴噴出頭 組。接著在步驟S102中，將第二組84的第一噴頭行110移動到與重量測 量裝置21對置的場所。然后在步驟S103中，對從第二組84的第一噴頭 行110的液滴噴出頭14噴出的功能液41的噴出量進(jìn)行調(diào)整。然后在步驟 S104中將第三組85設(shè)定為接下來要調(diào)整的液滴噴出頭組。然后在步驟 S102及步驟S103中，對從第三組85的第一噴頭行110的液滴噴出頭14 噴出的功能液41的噴出量進(jìn)行調(diào)整。在接下來的步驟S104中，確認(rèn)第一 組83、第二組84、第三組85的第一噴頭行110的調(diào)整已經(jīng)結(jié)束。
接著在步驟S105中，將第四組86的第一噴頭行110移動到與重量測 量裝置21對置的場所。然后在步驟S106中，對從第四組86的第一噴頭 行110的液滴噴出頭14噴出的功能液41的噴出量進(jìn)行調(diào)整。接著在步驟 S107中，將第五組87設(shè)定為接著要調(diào)整的液滴噴出頭組。在步驟S105中，將第五組87的第一噴頭行110移動到與重量測量裝置21對置的場所。 然后在步驟S106中，對從第五組87的第一噴頭行110的液滴噴出頭14 噴出的功能液41的噴出量進(jìn)行調(diào)整。接著在步驟S107中確認(rèn)第四組86 及第五組87的調(diào)整已經(jīng)結(jié)束。
接著在步驟S108中，確認(rèn)第一噴頭行110的液滴噴出頭14的調(diào)整己 經(jīng)全部進(jìn)行，判斷是否移至第二噴頭行111的液滴噴出頭14的調(diào)整。而 且，反復(fù)進(jìn)行步驟S102 步驟S108，進(jìn)行第二噴頭行111的液滴噴出頭 14的調(diào)整。此時，按照第一組83、第二組84、第三組85、第四組86、第 五組87的順序進(jìn)行液滴噴出頭14的調(diào)整。接著，移至第三噴頭行112， 按照同樣的順序進(jìn)行從液滴噴出頭14噴出的功能液41的噴出量的調(diào)整。
而且在調(diào)整后，在步驟S109中，根據(jù)規(guī)定的描繪圖案，噴出液滴44, 在基板7上進(jìn)行涂覆。涂覆預(yù)定的描繪圖案，結(jié)束步驟S109，結(jié)束向基板 7噴出液滴并進(jìn)行涂覆的制造工序。
如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，除了第一實(shí)施方式的效果(1) (5) 以外，具有以下的效果。
(1) 根據(jù)本實(shí)施方式，在屬于同一行的液滴噴出頭14中，在測量了 位于鄰近場所的液滴噴出頭14的噴出量后，順次改變行進(jìn)行測量。在測 量液滴噴出頭14的噴出量時，在溫度被管理的環(huán)境內(nèi)測量液滴噴出頭14。 此時，溫度大多以大的周期變動。此時，繼續(xù)對某一液滴噴出頭的行內(nèi)且 位于附近的液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整。因此，同一行內(nèi)鄰近的液滴噴 出頭14可以利用大致相同溫度的影響所產(chǎn)生的誤差來調(diào)整噴出量。
(2) 根據(jù)本實(shí)施方式，因?yàn)橥恍械南噜徫恢玫囊旱螄姵鲱^14可以 利用大致相同溫度的影響所產(chǎn)生的誤差來調(diào)整噴出量，故可以調(diào)整為大致 相同的噴出量。結(jié)果，在液滴噴出頭14的掃描方向上可以進(jìn)行涂覆，而 不會形成縱線。
(3) 根據(jù)本實(shí)施方式，在步驟S103中在對第一組83的液滴噴出頭 14的噴出量進(jìn)行調(diào)整時，第二組84的液滴噴出頭14與接下來要調(diào)整的滑 架12并列配置。而且，接下來要測量的第五噴頭列75 第八噴頭列78 以與測量時同樣的順序排列待機(jī)。此時，第六噴頭列76及第七噴頭列77 即使在待機(jī)時也被第五噴頭列75及第八噴頭列78夾持。因此，第六噴頭列76及第七噴頭列77可以以溫度變化少的方式從待機(jī)狀態(tài)移至調(diào)整工 序。結(jié)果，液滴噴出頭14可以在溫度變化少的狀態(tài)下進(jìn)行調(diào)整，因此可 以精度優(yōu)良地進(jìn)行調(diào)整。
(第十實(shí)施方式)
接著，利用圖15對應(yīng)用上述記載的噴出方法來制造液晶顯示裝置的 一個實(shí)施方式進(jìn)行說明。
首先，對作為具備濾色器的電光裝置的一種的液晶顯示裝置進(jìn)行說 明。圖15是表示液晶顯示裝置的結(jié)構(gòu)的概略分解立體圖。
如圖15所示，作為電光裝置的液晶顯示裝置120具備透過型的液晶 顯示面板121、對液晶顯示面板121進(jìn)行照明的照明裝置123。液晶顯示 面板121配置為以作為第一基板的元件基板124與作為第二基板的對置基 板125夾持液晶122。而且，元件基板124中的下側(cè)表面上配置由下偏振 片126，在對置基板125中的上側(cè)表面上配置有上偏振片127。
元件基板124具備由具有光透過性的材料構(gòu)成的基板128，基板128 的上側(cè)形成有絕緣膜129。在絕緣膜129上，作為電極的像素電極130形 成為矩陣狀，各像素電極130上形成有作為具有開關(guān)功能的半導(dǎo)體的TFT (Thin Film Transistor)元件131。而且，TFT元件131的漏極端子連接有 像素電極130。
包圍各像素電極130及TFT元件131且作為布線的掃描線132及作為 布線的數(shù)據(jù)線133形成為格子狀。而且，掃描線132與TFT元件131的柵 極端子連接，數(shù)據(jù)線133與TFT元件131的源極端子連接。
而且，在由像素電極130、 TFT元件131、掃描線132、數(shù)據(jù)線133 等構(gòu)成的元件層134的液晶122側(cè)形成有取向膜135。
對置基板125具備由具有光透過性的材料構(gòu)成的基板137。在基板137 的下側(cè)，由具有遮光性的材料構(gòu)成的下層圍堰138形成為格子狀，下層圍 堰138的下側(cè)形成有由有機(jī)化合物等構(gòu)成的上層圍堰139。而且，由下層 圍堰138及下層圍堰139構(gòu)成隔壁部分140。
在被隔壁部分140劃分為矩陣狀的凹部中，作為著色層141，形成有 紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)的濾色器141R、 141G、 141B。而且，形成有作為覆蓋隔壁部分140和濾色器141R、 141G、 141B的平坦化層的外涂 層142。以覆蓋該外涂層142的方式形成有由ITO (Indium Tin Oxide)等 透明導(dǎo)電膜構(gòu)成且作為電極的對置電極143。進(jìn)而在對置電極143的液晶 122側(cè)形成有取向膜144。在取向膜144與取向膜135上，溝槽狀的凹凸 排列形成，液晶122沿凹凸排列形成。
液晶122具有以下性質(zhì)，即在夾持該液晶122的像素電極130與對置 電極143上施加電壓，則液晶122的傾斜角度變化，通過TFT元件131 的開關(guān)動作，控制施加在液晶122上的電壓，控制液晶122的傾斜角度， 按照每個像素進(jìn)行使光透過或遮斷光的動作。這樣，通過TFT的開關(guān)動作， 通過使液晶122作為快門動作，從而按照每個像素控制光的透過，通過使 像素亮滅，從而可以顯示視頻。
像素電極130與TFT元件131的漏極端子電連接，通過使TFT僅在 一定期間內(nèi)為導(dǎo)通狀態(tài)，從而從數(shù)據(jù)線133供給的像素信號以規(guī)定的定時 被提供給各像素電極130。這樣，提供給像素電極130的規(guī)定強(qiáng)度的像素 信號的電壓電平在對置基板125的對置電極143與像素電極130之間被維 持，根據(jù)像素信號的電壓電平，液晶122的光透過量變化。
照明裝置123具備光源，備有可以向液晶顯示面板121射出來自該光 源的光的導(dǎo)光板或擴(kuò)散板、反射板等。光源可以采用白色的LED、 EL、 冷陰極射線管等，在本實(shí)施方式中采用冷陰極射線管。
再有，下偏振片126及上偏振片127也可以組合用于改善視角依存性 等的相位差薄膜等光學(xué)功能性薄膜。液晶顯示面板121，作為有源元件并 未限于TFT元件，也可以具有TFD (Thin Film Diode)元件，也可以是配
置為構(gòu)成像素的電極互相交叉的無源型的液晶顯示裝置。
在形成對置基板125的濾色器141R、 141G、 141B的工序中，采用第 一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法。具體是，在基板137上形成下 層圍堰138及上層圍堰139，形成隔壁部分140。隔壁部分140的形成方 法是公知的，故省略說明。而且，通過將濾色器141R、 141G、 141B的材 料溶解在溶劑中或分散在分散劑中，從而制造各種顏色的彩墨。接著，利 用液晶噴出裝置1或液滴噴出裝置108，向被隔壁部分140包圍的凹部噴 出該彩墨并進(jìn)行涂覆。此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及 第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后， 進(jìn)行彩墨的噴出并進(jìn)行涂覆。然后，通過加熱干燥所涂覆的彩墨并使之固
化，從而形成濾色器141R、 141G、 141B。
進(jìn)而，在對置基板125中，在外涂層142的下側(cè)形成對置電極143的 工序中，采用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法。具體是，通過 將對置電極143的材料溶解在溶劑中或分散在分散劑中，從而制造電極膜 的材料液體。接著，利用液滴噴出裝置1或液滴噴出裝置108，向外涂層 142的表面噴出該電極膜的材料液體并進(jìn)行涂覆。
此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及 第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后， 進(jìn)行電極膜的材料液體的噴出并進(jìn)行涂覆。然后，通過加熱干燥所涂覆的 電極膜的材料液體并使之固化，從而形成對置電極143。
然后，在對置基板125中，在對置電極143的下側(cè)形成取向膜144的 工序中采用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法。具體是，通過將 取向膜144的材料溶解在溶劑中或分散在分散劑中，從而制造取向膜的材 料液體。接著，利用液滴噴出裝置1或液滴噴出裝置108，向?qū)χ秒姌O143 的下側(cè)噴出該取向膜的材料液體并進(jìn)行涂覆。
此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及 第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后， 進(jìn)行取向膜的材料液體的噴出并進(jìn)行涂覆。然后，通過加熱干燥所涂覆的 取向膜的材料液體并使之固化，從而形成取向膜144。
還有，在元件基板124的元件層134上形成掃描線132及數(shù)據(jù)線133 的布線的工序中，采用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法。具體 是，用絕緣膜形成圍堰，使形成布線的場所成為凹部。而且，通過將布線 的材料溶解在溶劑中或分散在分散劑中，從而制造布線的材料液體。接著，
利用液滴噴出裝置1或液滴噴出裝置108，向形成于圍堰之間的凹部噴出 該布線的材料液體并進(jìn)行涂覆。
此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及 第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后，進(jìn)行布線的材料液體的噴出并進(jìn)行涂覆。然后，通過加熱干燥所涂覆的布 線的材料液體并使之固化，從而形成掃描線132及數(shù)據(jù)線133。
進(jìn)而，在元件基板124中，在元件層134上形成TFT元件131的工序 中，采用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法。具體是，用絕緣膜 形成圍堰，使形成TFT元件131的場所成為凹部。而且通過將硅等TFT 元件的材料溶解在溶劑中或分散在分散劑中，從而制造TFT元件的材料液 體。接著，利用液滴噴出裝置1或液滴噴出裝置108，向形成于圍堰之間 的凹部噴出該TFT元件的材料液體并進(jìn)行涂覆。
此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及 第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后， 進(jìn)行TFT元件的材料液體的噴出并進(jìn)行涂覆。然后，加熱干燥所涂覆的 TFT元件的材料液體并使之固化、結(jié)晶化。然后在離子摻雜后通過形成絕 緣膜及端子，從而形成TFT元件131。
再有，在元件基板124中，在元件層134的表面形成像素電極130的 工序中，采用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法。具體是，通過 將像素電極130的材料溶解在溶劑中或分散在分散劑中，從而制造電極膜 的材料液體。接著，利用液滴噴出裝置1或液滴噴出裝置108，向元件層 134的表面噴出該電極膜的材料液體并進(jìn)行涂覆。
此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及 第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后， 進(jìn)行電極膜的材料液體的噴出并進(jìn)行涂覆。然后，通過加熱干燥所涂覆的 電極膜的材料液體并使之固化，從而形成像素電極130。
然后，在元件基板124中，在元件層134的上側(cè)形成取向膜135的工 序中采用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法。具體是，通過將取 向膜135的材料溶解在溶劑中或分散在分散劑中，從而制造取向膜的材料 液體。接著，利用液滴噴出裝置1或液滴噴出裝置108，向元件層134的 上側(cè)噴出該取向膜的材料液體并進(jìn)行涂覆。
此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及 第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后， 進(jìn)行取向膜的材料液體的噴出并進(jìn)行涂覆。然后，通過加熱干燥所涂覆的取向膜的材料液體并使之固化，從而形成取向膜135。
進(jìn)而，為了使元件基板124與對置基板125夾持液晶122，在元件基 板124上涂覆液晶122的工序中，采用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的 噴出方法。具體是，利用液滴噴出裝置1或液滴噴出裝置108，向取向膜 135的上側(cè)噴出該液晶的材料液體并進(jìn)行涂覆。
此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及 第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后， 迸行液晶的材料液體的噴出并進(jìn)行涂覆。
如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，具有以下效果。
(1) 根據(jù)本實(shí)施方式，在制造濾色器141R、 141G、 141B的工序中， 通過采用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法，從而可以以使彩墨 的噴出量精度優(yōu)良的方式進(jìn)行噴出、涂覆。因此，可以制造以使彩墨的涂 覆量精度優(yōu)良的方式被涂覆的濾色器141R、 141G、 141B。
(2) 根據(jù)本實(shí)施方式，在制造取向膜I35、 144的工序中，通過采用 第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法，從而可以以使取向膜的材料 的噴出量精度優(yōu)良的方式進(jìn)行噴出、涂覆。因此，可以制造以使取向膜的 材料的涂覆量精度優(yōu)良的方式被涂覆的取向膜B5、 144。
(3) 根據(jù)本實(shí)施方式，在涂覆液晶的工序中，通過采用第一實(shí)施方 式 第九實(shí)施方式中的噴出方法，從而可以以使液晶的噴出量精度優(yōu)良的 方式進(jìn)行噴出、涂覆。因此，可以制造以使液晶的涂覆量精度優(yōu)良的方式 被涂覆的液晶顯示裝置120。
(4) 根據(jù)本實(shí)施方式，在制造像素電極130及對置電極143的工序 中，通過采用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法，從而可以以使 電極材料的噴出量精度優(yōu)良的方式進(jìn)行噴出、涂覆。因此，可以制造以使 電極材料的涂覆量精度優(yōu)良的方式被涂覆的像素電極130及對置電極 143。
(5) 根據(jù)本實(shí)施方式，在制造掃描線132及數(shù)據(jù)線133的工序中， 通過采用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法，從而可以以使布線 材料的噴出量精度優(yōu)良的方式進(jìn)行噴出、涂覆。因此，可以制造以使布線 材料的涂覆量精度優(yōu)良的方式被涂覆的掃描線132及數(shù)據(jù)線133。(6)根據(jù)本實(shí)施方式，在制造TFT元件131的工序中，通過采用第
一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法，從而可以以使半導(dǎo)體材料的噴 出量精度優(yōu)良的方式進(jìn)行噴出、涂覆。因此，可以制造以使半導(dǎo)體材料的
涂覆量精度優(yōu)良的方式被涂覆的TFT元件131。
(第十一實(shí)施方式)
接著，利用圖16，對應(yīng)用上述記載的噴出方法制造有機(jī)EL裝置的一 個實(shí)施方式進(jìn)行說明。
首先，對作為電光裝置的一種的有機(jī)EL裝置進(jìn)行說明。圖16是表示 有機(jī)EL裝置的結(jié)構(gòu)的概略分解立體圖。
如圖16所示，作為電光裝置的有機(jī)EL裝置147具備基板148?；?148的上側(cè)形成有絕緣膜149。在絕緣膜149上，接觸電極150形成為矩 陣狀，在與各接觸電極150鄰接的場所，形成有作為具有開關(guān)功能的半導(dǎo) 體的TFT元件151。而且，TFT元件151的漏極端子上連接有接觸電極150。
作為布線的掃描線152及作為布線的數(shù)據(jù)線153以包圍各接觸電極 150及TFT元件151的方式形成為格子狀。而且，掃描線152與TFT元件 151的柵極端子連接，數(shù)據(jù)線153與TFT元件151的源極端子連接。
并且，形成有由接觸電極150、 TFT元件151、掃描線152、數(shù)據(jù)線 153等構(gòu)成的元件層154。元件層154的上側(cè)形成絕緣膜155,在絕緣膜 155的上側(cè)，圍堰156形成為格子狀。
在由圍堰156形成的凹狀區(qū)域的各底部，形成作為電極的像素電極 157，像素電極157與接觸電極150電連接。在像素電極157的上表面形 成作為發(fā)光元件的空穴輸送層158，在空穴輸送層158的上面形成有作為 發(fā)光元件的發(fā)光層159R、 159G、 159B。而且，由空穴輸送層158與發(fā)光 層159R、 159G、 159B形成作為發(fā)光元件的功能層160。
發(fā)光層159R是由發(fā)出紅色光的有機(jī)發(fā)光材料等構(gòu)成的發(fā)光層，作為 發(fā)光元件的發(fā)光層159G是由發(fā)出綠色光的有機(jī)發(fā)光材料等構(gòu)成的發(fā)光 層。同樣，作為發(fā)光元件的發(fā)光層159B是由發(fā)出藍(lán)色光的有機(jī)發(fā)光材料 構(gòu)成的發(fā)光層。
在功能層160及圍堰156上側(cè)的整個面上，形成有由具有光透過性的導(dǎo)電性材料等構(gòu)成且作為電極的陰極161。在本實(shí)施方式中，陰極161例 如采用ITO。在陰極161的上表面上，形成由具有光透過性的材料等構(gòu)成的密封膜 162，防止陰極161及功能層160被空氣中的氧氣氧化。在像素電極157與陰極161之間施加電壓時，空穴輸送層158僅流動 空穴。而且，發(fā)光層159R、 159G、 159B具有利用從空穴輸送層158供給 的空穴和從陰極161供給的電子結(jié)合時的能量發(fā)光的性質(zhì)。TFT元件151 進(jìn)行開關(guān)動作，控制施加在功能層160上的電壓，從而控制發(fā)光層159R、 159G、 159B發(fā)出的光量。這樣，通過控制發(fā)光層159R、 159G、 159B發(fā) 出的光量，從而可以按照每個像素來控制光量，通過使像素亮滅，從而可 以顯示視頻。像素電極157與TFT元件151的漏極端子電連接，通過使TFT僅在 一定期間為導(dǎo)通狀態(tài)，從而從數(shù)據(jù)線153供給的像素信號以規(guī)定的定時向 各像素電極157提供。這樣，提供給像素電極157的規(guī)定強(qiáng)度的像素信號 的電壓電平在陰極161與像素電極157之間被維持，根據(jù)像素信號的電壓 電平，發(fā)光層159R、 159G、 159B發(fā)出的光量變化。在元件層154上形成掃描線152及數(shù)據(jù)線153的布線的工序中，采用 第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法。具體是，用絕緣膜形成圍堰， 使形成布線的場所成為凹部。而且通過將布線的材料溶解在溶劑中或分散 在分散劑中，從而制造布線的材料液體。接著，利用液滴噴出裝置l或液 滴噴出裝置108，向形成于圍堰之間的凹部噴出該布線的材料液體并進(jìn)行此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及 第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后， 進(jìn)行布線的材料液體的噴出并進(jìn)行涂覆。然后，通過加熱干燥所涂覆的布 線的材料液體并使之固化，從而形成掃描線152及數(shù)據(jù)線153。進(jìn)而，在元件層154上形成TFT元件151的工序中，采用第一實(shí)施方 式 第九實(shí)施方式中的噴出方法。具體是，用絕緣膜形成圍堰，使形成 TFT元件151的場所成為凹部。而且通過將硅等TFT元件的材料溶解在溶 劑中或分散在分散劑中，從而制造TFT元件的材料液體。接著，利用液滴噴出裝置1或液滴噴出裝置108，向形成于圍堰之間的凹部噴出該TFT元 件的材料液體并進(jìn)行涂覆。此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及 第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后， 進(jìn)行TFT元件的材料液體的噴出并進(jìn)行涂覆。然后，加熱干燥所涂覆的 TFT元件的材料液體并使之固化、結(jié)晶化。然后在離子摻雜后通過形成絕 緣膜及端子，從而形成TFT元件151。再有，在絕緣膜155的表面形成像素電極157的工序中，采用第一實(shí) 施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法。具體是，通過將像素電極157的材 料溶解在溶劑中或分散在分散劑中，從而制造電極膜的材料液體。接著， 利用液滴噴出裝置1或液滴噴出裝置108，向絕緣膜155的表面噴出該電 極膜的材料液體并進(jìn)行涂覆。此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及 第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后， 進(jìn)行電極膜的材料液體的噴出并進(jìn)行涂覆。然后，通過加熱干燥所涂覆的 電極膜的材料液體并使之固化，從而形成像素電極157。然后，在像素電極157的表面形成空穴輸送層158的工序中采用第一 實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法。具體是，通過將作為發(fā)光元件形 成材料的空穴輸送層158的材料溶解在溶劑中或分散在分散劑中，從而制 造空穴輸送層的材料液體。接著，利用液滴噴出裝置1或液滴噴出裝置 108，向像素電極157的表面噴出該空穴輸送層的材料液體并進(jìn)行涂覆。此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及 第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后， 進(jìn)行空穴輸送層的材料液體的噴出并進(jìn)行涂覆。然后，通過加熱干燥所涂 覆的空穴輸送層的材料液體并使之固化，從而形成空穴輸送層158。進(jìn)而，在空穴輸送層158的表面形成發(fā)光層159R、 159G、 159B的工 序中采用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法。具體是，通過將作 為發(fā)光元件形成材料的發(fā)光層159R、 159G、 159B的材料溶解在溶劑中或 分散在分散劑中，從而制造發(fā)光層的材料液體。接著，利用液滴噴出裝置 1或液滴噴出裝置108，向空穴輸送層158的表面噴出該發(fā)光層的材料液6體并進(jìn)行涂覆。此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及 第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后， 進(jìn)行發(fā)光層的材料液體的噴出并進(jìn)行涂覆。然后，通過加熱干燥所涂覆的發(fā)光層的材料液體并使之固化，從而形成發(fā)光層159R、 159G、 159B。再有，在功能層160及圍堰156的上表面形成陰極161的工序中，采 用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法。具體是，通過將陰極161 的材料溶解在溶劑中或分散在分散劑中，從而制造陰極的材料液體。接著， 利用液滴噴出裝置1或液滴噴出裝置108，向功能層160及圍堰156的上 表面噴出該陰極的材料液體并進(jìn)行涂覆。此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及 第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后， 進(jìn)行陰極的材料液體的噴出并進(jìn)行涂覆。然后，通過加熱干燥所涂覆的陰 極的材料液體并使之固化，從而形成陰極161。 如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，具有以下效果。(1) 根據(jù)本實(shí)施方式，在制造掃描線152及數(shù)據(jù)線153的工序中， 通過采用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法，從而可以以使布線 材料的噴出量精度優(yōu)良的方式進(jìn)行噴出、涂覆。因此，可以制造以使布線 材料的涂覆量精度優(yōu)良的方式被涂覆的掃描線152及數(shù)據(jù)線153。(2) 根據(jù)本實(shí)施方式，在制造TFT元件151的工序中，通過采用第 一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法，從而可以以使半導(dǎo)體材料的噴 出量精度優(yōu)良的方式進(jìn)行噴出、涂覆。因此，可以制造以使半導(dǎo)體材料的 涂覆量精度優(yōu)良的方式被涂覆的TFT元件151。(3) 根據(jù)本實(shí)施方式，在制造像素電極157及陰極161的工序中， 通過采用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法，從而可以以使電極 材料的噴出量精度優(yōu)良的方式進(jìn)行噴出、涂覆。因此，可以制造以使電極 材料的涂覆量精度優(yōu)良的方式被涂覆的像素電極157及陰極161。(4) 根據(jù)本實(shí)施方式，在制造功能層160的工序中，通過采用第一 實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法，從而可以以使發(fā)光元件形成材料 的噴出量精度優(yōu)良的方式進(jìn)行噴出、涂覆。因此，可以制造以使發(fā)光元件形成材料的涂覆量精度優(yōu)良的方式被涂覆的功能層160。(第十二實(shí)施方式) 接著，利用圖17對應(yīng)用上述記載的噴出方法制造表面電場顯示裝置 的一個實(shí)施方式進(jìn)行說明。首先，對作為電光裝置的一種的表面電場顯示裝置進(jìn)行說明。圖17是表示表面電場顯示裝置的結(jié)構(gòu)的概略分解立體圖。如圖17所示，作為電光裝置的表面電場顯示裝置163主要由元件基 板164與對置基板165構(gòu)成。而且，元件基板164具備基板166。基板166 之上形成有絕緣膜167。在絕緣膜167上，成對的大致圓形且作為電極的 電子發(fā)射元件168形成為矩陣狀，在一方電子發(fā)射元件168不起作用時， 另一方電子發(fā)射元件168動作。作為布線的掃描線169及作為布線的數(shù)據(jù) 線170以包圍各電子發(fā)射元件168的對的方式形成為格子狀。 一對數(shù)據(jù)線 170配置于電子發(fā)射元件168的對之間。電子發(fā)射元件168被通過中心的線一分為二，電子發(fā)射元件168的一 方與掃描線169連接。而且，電子發(fā)射元件168的另一方與數(shù)據(jù)線170連 接。由該電子發(fā)射元件168、掃描線169、數(shù)據(jù)線170等構(gòu)成元件層171。對置基板165具備由光透過性材料構(gòu)成的基板172。而且，在基板172 的下側(cè)，形成有由光透過性材料構(gòu)成且作為電極的陽極173。陽極173的 下表面形成有作為發(fā)光元件的彩色熒光膜174，以覆蓋彩色熒光膜174與 陽極173的方式形成有保護(hù)膜175。元件基板164與對置基板165隔著未圖示的襯墊接合，元件基板164 與對置基板165之間被脫氣而成為大致真空的狀態(tài)。在電極被一分為二的電子發(fā)射元件168中，在兩個電極間施加電壓時， 由于電極間的間隙變窄，故微小的電子通過兩個電極間。而且，通過在電 子發(fā)射元件168與陽極173之間施加電壓，從而在形成電場時，電磁力對 通過兩個電極間的電子起作用，從而電子向陽極173移動。向陽極173移動的電子的一部分與彩色熒光膜174碰撞。彩色熒光膜 174因?yàn)閷㈦娮拥呐鲎伯a(chǎn)生的能量轉(zhuǎn)換為光而發(fā)光。表面電場顯示裝置163 具備未圖示的數(shù)據(jù)電壓驅(qū)動電路與掃描電壓驅(qū)動電路，數(shù)據(jù)電壓驅(qū)動電路及掃描電壓驅(qū)動電路控制施加在電子發(fā)射元件168上的電壓。由于施加在電子發(fā)射元件168上的電壓和彩色熒光膜174發(fā)出的光量存在正的相關(guān)， 故數(shù)據(jù)電壓驅(qū)動電路及掃描電壓驅(qū)動電路能控制彩色熒光膜174發(fā)出的光而且，數(shù)據(jù)電壓驅(qū)動電路及掃描電壓驅(qū)動電路通過按照每個像素控制 光量，使像素亮滅，從而可以顯示視頻。彩色熒光膜174中配置有發(fā)出紅 色、藍(lán)色、綠色各種顏色光的各種顏色熒光膜，數(shù)據(jù)電壓驅(qū)動電路及掃描 電壓驅(qū)動電路通過選擇并控制所發(fā)出的光的顏色，從而可以顯示彩色圖 像。在元件層171上形成掃描線169及數(shù)椐線170的布線的工序中，采用 第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法。具體是，用絕緣膜形成圍堰， 使形成布線的場所成為凹部。而且通過將布線的材料溶解在溶劑中或分散 在分散劑中，從而制造布線的材料液體。接著，利用液滴噴出裝置l或液 滴噴出裝置108，向形成于圍堰之間的凹部噴出該布線的材料液體并進(jìn)行 涂覆。此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及 第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后， 進(jìn)行布線的材料液體的噴出并進(jìn)行涂覆。然后，通過加熱干燥所涂覆的布 線的材料液體并使之固化，從而形成掃描線169及數(shù)據(jù)線170。進(jìn)而，在元件層171上形成電子發(fā)射元件168的工序中，采用第一實(shí) 施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法。具體是，通過將電子發(fā)射元件168 中的電極的材料溶解在溶劑中或分散在分散劑中，從而制造電極膜的材料 液體。接著，利用液滴噴出裝置1或液滴噴出裝置108，向絕緣膜167的 表面噴出該電極膜的材料液體并進(jìn)行涂覆。此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及 第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后， 進(jìn)行電極膜的材料液體的噴出并進(jìn)行涂覆。然后，通過加熱干燥所涂覆的 電極膜的材料液體并使之固化，從而形成電子發(fā)射元件168中的電極。然后，在基板172的表面形成陽極173的工序中采用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法。具體是，通過將陽極173中的電極的材料溶解在溶劑中或分散在分散劑中，從而制造電極膜的材料液體。接著，利用 液滴噴出裝置1或液滴噴出裝置108，向基板172的表面噴出該電極膜的 材料液體并進(jìn)行涂覆。此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及 第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后， 進(jìn)行電極膜的材料液體的噴出并進(jìn)行涂覆。然后，通過加熱干燥所涂覆的電極膜的材料液體并使之固化，從而形成陽極173。進(jìn)而，在陽極173的表面形成彩色熒光膜174的工序中采用第一實(shí)施 方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法。具體是，通過將作為發(fā)光元件形成材 料的彩色熒光膜的材料溶解在溶劑中或分散在分散劑中，從而制造彩色熒 光膜的材料液體。接著，利用液滴噴出裝置1或液滴噴出裝置108，向陽 極173的表面噴出該電極膜的材料液體并進(jìn)行涂覆。此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及 第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后， 進(jìn)行彩色熒光膜的材料液體的噴出并進(jìn)行涂覆。然后，通過加熱干燥所涂 覆的彩色熒光膜的材料液體并使之固化，從而形成彩色熒光膜174。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，具有以下效果。(1) 根據(jù)本實(shí)施方式，在制造掃描線169及數(shù)據(jù)線170的工序中， 通過采用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法，從而可以以使布線 材料的噴出量精度優(yōu)良的方式進(jìn)行噴出、涂覆。因此，可以制造以使布線 材料的涂覆量精度優(yōu)良的方式被涂覆的掃描線169及數(shù)據(jù)線170。(2) 根據(jù)本實(shí)施方式，在制造電子發(fā)射元件168及陽極173的工序 中，通過采用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法，從而可以以使 電極材料的噴出量精度優(yōu)良的方式進(jìn)行噴出、涂覆。因此，可以制造以使 電極材料的涂覆量精度優(yōu)良的方式被涂覆的電子發(fā)射元件168及陽極 173。(3) 根據(jù)本實(shí)施方式，在制造彩色熒光膜174的工序中，通過采用 第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法，從而可以以使彩色熒光膜形 成材料的噴出量精度優(yōu)良的方式進(jìn)行噴出、涂覆。因此，可以制造以使彩 色熒光膜形成材料的涂覆量精度優(yōu)良的方式被涂覆的彩色熒光膜174。接著，利用圖18對采用上述記載的噴出方法制造等離子顯示裝置的 一個實(shí)施方式進(jìn)行說明。首先，對作為電光裝置的一種的等離子顯示裝置進(jìn)行說明。圖18是 表示等離子顯示裝置的結(jié)構(gòu)的概略分解立體圖。如圖18所示，作為電光裝置的等離子顯示裝置178主要由背面板179 與前面板180構(gòu)成。背面板179備有基板181。基板181的上表面形成有 絕緣膜182，在絕緣膜182的上表面上，作為電極的地址電極183與絕緣 膜184形成為條紋狀。而且，地址電極183及絕緣膜184的上表面形成有電介質(zhì)層185。電 介質(zhì)層185的上表面形成有格子狀的棱186，在被棱186包圍而形成的凹 狀區(qū)域的各底部，形成有由熒光體等形成的紅色(R)、綠色(G)、藍(lán) 色(B)的作為發(fā)光元件的發(fā)光層187R、 187G、 187B。而且，該發(fā)光層 187R、 187G、 187B形成于與地址電極183對置的場所。前面板180具備由光透過性材料構(gòu)成的基板188，基板188的下表面 形成有絕緣膜189。并且，絕緣膜189的下表面，在與地址電極183延伸 存在的方向正交的方向上，形成有作為電極的總線電極190。在與總線電 極190相鄰且與發(fā)光層187R、 187G、 187B對置的場所中，形成由光透過 性材料構(gòu)成、矩形的作為電極的維持電極191，總線電極190與維持電極 191電連接。維持電極191的下表面形成電介質(zhì)層192，總線電極190的下表面形 成由非光透過性絕緣材料構(gòu)成的絕緣膜193。而且，接合背面板179與前 面板180，在背面板179與前面板180之間被脫氣而成為大致真空狀態(tài)后， 封入氤氣等氣體。在地址電極183與維持電極191之間施加脈沖電壓時，在電介質(zhì)層185 與電介質(zhì)層192之間產(chǎn)生等離子體。等離子體發(fā)出紫外線，所發(fā)出的紫外 線激勵發(fā)光層187R、 187G、 187B所包含的熒光體，從而發(fā)出紅色、綠色、 藍(lán)色的可見光。等離子顯示裝置178備有對施加在地址電極183與維持電極191之間的脈沖電壓進(jìn)行控制的驅(qū)動電路。該驅(qū)動電路通過控制脈沖電壓的電壓值 與定時，從而控制每個像素發(fā)出的光量，通過使像素亮滅，從而可以顯示 視頻。在背面板179的絕緣膜182的表面形成地址電極183的工序中，采用 第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法。具體是，在絕緣膜182上形 成圍堰狀的絕緣膜184。接著通過將地址電極183的材料溶解在溶劑中或 分散在分散劑中，從而制造電極膜的材料液體。接著，利用液滴噴出裝置 1或液滴噴出裝置108，向由絕緣膜184形成的凹部噴出該電極膜的材料 液體并進(jìn)行涂覆。此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及 第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后， 進(jìn)行電極膜的材料液體的噴出并進(jìn)行涂覆。然后，通過加熱干燥所涂覆的 電極膜的材料液體并使之固化，從而形成地址電極183。在前面板180的絕緣膜189的表面形成總線電極190及維持電極191 的工序中，采用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法。具體是，在 絕緣膜189上形成圍堰狀的絕緣膜193。接著通過將總線電極190及維持 電極191的材料溶解在溶劑中或分散在分散劑中，從而制造電極膜的材料 液體。接著，利用液滴噴出裝置1或液滴噴出裝置108，向由絕緣膜193 形成的凹部噴出該電極膜的材料液體并進(jìn)行涂覆。此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及 第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后，進(jìn)行電極膜的材料液體的噴出并進(jìn)行涂覆。然后，通過加熱干燥所涂覆的 電極膜的材料液體并使之固化，從而形成總線電極190及維持電極191。進(jìn)而，在電介質(zhì)層185的表面形成發(fā)光層187R、 187G、 187B的工序 中采用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法。具體是，通過將作為 發(fā)光元件形成材料的發(fā)光層187R、 187G、 187B的材料溶解在溶劑中或分 散在分散劑中，從而制造發(fā)光層的材料液體。接著，利用液滴噴出裝置1 或液滴噴出裝置108，向電介質(zhì)層185的表面噴出該發(fā)光層的材料液體并 進(jìn)行涂覆。此時，以與第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的第一噴出量調(diào)整工序及第二噴出量調(diào)整工序同樣的工序，對液滴噴出頭14的噴出量進(jìn)行調(diào)整后， 進(jìn)行發(fā)光層的材料液體的噴出并進(jìn)行涂覆。然后，通過加熱干燥所涂覆的發(fā)光層的材料液體并使之固化，從而形成發(fā)光層187R、 187G、 187B。 如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，具有以下效果。(1) 根據(jù)本實(shí)施方式，在制造地址電極183、總線電極190及維持電 極191的工序中，通過采用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法， 從而可以以使電極材料的噴出量精度優(yōu)良的方式進(jìn)行噴出、涂覆。因此， 可以制造以使電極材料的涂覆量精度優(yōu)良的方式被涂覆的地址電極183、 總線電極190及維持電極191。(2) 根據(jù)本實(shí)施方式，在制造發(fā)光層187R、 187G、 187B的工序中， 通過采用第一實(shí)施方式 第九實(shí)施方式中的噴出方法，從而可以以使發(fā)光 元件形成材料的噴出量精度優(yōu)良的方式進(jìn)行噴出、涂覆。因此，可以制造 以使發(fā)光層材料的涂覆量精度優(yōu)良的方式被涂覆的發(fā)光層187R、 187G、 187B。再有，實(shí)施方式并未限于上述的實(shí)施方式，也能增加各種變更或改良。 以下描述變形例。(變形例1)在上述第一實(shí)施方式中，液滴噴出裝置1或液滴噴出裝置108中配置 有6個滑架12，各滑架12中配置有2列的6個液滴噴出頭14。也可以根 據(jù)裝置的形態(tài)來設(shè)定滑架12的個數(shù)以及各滑架12所搭載的液滴噴出頭14 的個數(shù)。(變形例2)在上述第一實(shí)施方式中，對空腔40進(jìn)行加壓的加壓機(jī)構(gòu)采用壓電元 件43，但也可以是其他方法。例如，也可以利用線圈與磁鐵，使得振動板 42變形，進(jìn)行加壓。另外，也可以在空腔40內(nèi)配置加熱布線，使功能液 41所包含的氣體膨脹后進(jìn)行加壓。此外，還可利用靜電的引力和排斥力使 振動板42變形進(jìn)行加壓。無論在哪種情況下，通過對屬于被其他液滴噴 出頭列夾持的液滴噴出頭列的液滴噴出頭14所噴出的液滴44進(jìn)行測量并進(jìn)行調(diào)整，從而可以得到與上述第一實(shí)施方式同樣的效果。 (變形例3)在上述第一實(shí)施方式中，測量從噴嘴31噴出的液滴44的重量，并計 算噴出量，但也可以測量噴出量的體積，從而測量噴出量。例如，也可以通過在橫截面積恒定的管內(nèi)存留所噴出的液滴44，通過測量管內(nèi)的液體的長度，從而可以計量體積，推測噴出量。在為揮發(fā)性高的液體的情況下， 可以在難以揮發(fā)的狀態(tài)下進(jìn)行計量。(變形例4)在上述第一實(shí)施方式中，液滴噴出裝置1具備12個重量測量裝置21， 對從液滴噴出頭14噴出的液滴44的噴出量進(jìn)行測量。重量測量裝置21 的個數(shù)并未限于12個，也可以少于12個，也可以為12個以上。由于重 量測量裝置21的個數(shù)多，能夠同時測量的液滴噴出頭14的個數(shù)增多，故 可以生產(chǎn)率良好地測量噴出量。(變形例5)在上述第一實(shí)施方式中，在步驟S2及步驟S10的噴出前待機(jī)工序中， 將壓電元件43驅(qū)動到不噴出液滴44的程度為止，從而進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動，但 也可以噴出液滴44后進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動。與不噴出液滴44時相比，噴出液滴 44的方法可以在壓電元件43上施加大的能量，因此可以在短時間內(nèi)進(jìn)行 暖機(jī)驅(qū)動。(變形例6)在上述第一實(shí)施方式中，在步驟S22的第一噴出量調(diào)整工序與步驟 S24的第二噴出量調(diào)整工序這兩次調(diào)整工序中，對噴出量進(jìn)行了調(diào)整，但 也可以以在3次以上的調(diào)整工序中進(jìn)行的方式分割噴頭組后進(jìn)行調(diào)整。也 可以根據(jù)液滴噴出裝置1所具備的重量測量裝置21的個數(shù)來設(shè)計工序。(變形例7)在上述第一實(shí)施方式中，1個滑架12配置6個液滴噴出頭14。不限于此，也可以在1個滑架12中搭載小于6個和6個以上的液滴噴出頭14。 若所搭載的液滴噴出頭14的個數(shù)多，則可以使一次能噴出的功能液41的 量增加，因此可以生產(chǎn)率良好地進(jìn)行涂敷。而且，可以根據(jù)生產(chǎn)形態(tài)進(jìn)行 設(shè)定。(變形例8)在上述第三實(shí)施方式中，在步驟S34及步驟S44中，將噴出次數(shù)設(shè)為 100次，在步驟S37及步驟S47中將噴出次數(shù)設(shè)為1000次。噴出次數(shù)不 限于此，也可以設(shè)定為能夠精確地進(jìn)行測量的次數(shù)。而且，由于在步驟S37 及步驟S47中進(jìn)行微調(diào)整，故若次數(shù)比步驟S34及步驟S44中的噴出次數(shù) 多，則能精確地進(jìn)行測量，因此是優(yōu)選的。(變形例9)在上述第十實(shí)施方式中，液晶顯示面板121內(nèi)部備有濾色器141R、 141G、 141B。濾色器141R、 141G、 141B也可以不包括在液晶顯示面板 121內(nèi)部，而作為不同于液晶顯示面板121的零件來具備。通過組合在檢 查工序中選擇出的液晶顯示面板121的合格品和同樣在檢查工序中選擇出 的具備濾色器的零件的合格品，從而可以提高液晶顯示裝置120的成品率。
權(quán)利要求
1.一種噴出量測量方法，對從在多個滑架上排列并搭載有多個液滴噴出頭的液滴噴出頭列的、所述液滴噴出頭噴出的液狀體的噴出量進(jìn)行測量，該噴出量測量方法包括第一測量工序，排列多個所述液滴噴出頭列，從所述液滴噴出頭噴出所述液狀體，對從所述液滴噴出頭列中的、被所述液滴噴出頭列夾持的所述液滴噴出頭噴出的所述液狀體的噴出量進(jìn)行測量；和第二測量工序，在所述第一測量工序之后進(jìn)行，將所述第一測量工序中未被其他的所述液滴噴出頭列夾持的所述液滴噴出頭用其他的所述液滴噴出頭列夾持，并使其噴出所述液狀體后，對從所述液滴噴出頭噴出的所述液狀體的噴出量進(jìn)行測量。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴出量測量方法，其特征在于， 所述第一測量工序及所述第二測量工序包括測量所述噴出量的預(yù)定的所述液滴噴出頭待機(jī)的噴出前待機(jī)工序； 噴出所述液狀體的測量用噴出工序；和 對所噴出的所述液狀體的噴出量進(jìn)行測量的測量工序；在所述噴出前待機(jī)工序中，對所述液滴噴出頭進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴出量測量方法，其特征在于， 所述暖機(jī)驅(qū)動是在驅(qū)動到從所述液滴噴出頭不噴出所述液狀體的程度后進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴出量測量方法，其特征在于， 所述暖機(jī)驅(qū)動是在與所述測量用噴出工序中噴出所述液狀體的場所大致相同的場所進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的噴出量測量方法，其特征在于， 在所述第一測量工序中，對一個滑架所搭載的所述液滴噴出頭中的、預(yù)定測量的全部所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了測量后，對其他所述滑架 所搭載的所述液滴噴出頭中的、預(yù)定測量的全部所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量，從而順次對各所述滑架所搭載的預(yù)定測量的全部所述液滴噴出 頭的噴出量進(jìn)行測量，在所述第二測量工序中，對一個滑架所搭載的所述液滴噴出頭中的、 預(yù)定測量的全部所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了測量后，對其他所述滑架 所搭載的所述液滴噴出頭中的、預(yù)定測量的全部所述液滴噴出頭的噴出量 進(jìn)行測量，從而順次對各所述滑架所搭載的預(yù)定測量的全部所述液滴噴出 頭的噴出量進(jìn)行測量。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴出量測量方法，其特征在于， 由多個所述滑架所搭載的多個所述液滴噴出頭列形成所述液滴噴出頭的多行，在所述第一測量工序中，對一個滑架所搭載的預(yù)定測量的所述液滴噴 出頭中的、 一部分所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了測量后，對其他所述滑 架所搭載的所述液滴噴出頭中的屬于已經(jīng)測量了噴出量的所述液滴噴出 頭的行的所述液滴噴出頭、即位于與已經(jīng)進(jìn)行過測量的所述液滴噴出頭接 近的場所的所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量，從而順次對各所述滑架所 搭載的預(yù)定測量的所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量，在所述第二測量工序中，對一個滑架所搭載的預(yù)定測量的所述液滴噴 出頭中的、 一部分所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了測量后，對其他所述滑 架所搭載的所述液滴噴出頭中的屬于已經(jīng)測量了噴出量的所述液滴噴出 頭的行的所述液滴噴出頭、即位于與已經(jīng)進(jìn)行過測量的所述液滴噴出頭接 近的場所的所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量，從而順次對各所述滑架所 搭載的預(yù)定測量的所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量，反復(fù)進(jìn)行所述第一測量工序與所述第二測量工序，對預(yù)定測量的全部 行中的所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的噴出量測量方法，其特征在于， 由多個所述滑架所搭載的多個所述液滴噴出頭列形成所述液滴噴出頭的多行，在所述第一測量工序中，對一個滑架所搭載的預(yù)定測量的所述液滴噴 出頭中的、 一部分所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量，在所述第二測量工序中，對位于所述第一測量工序中測量過的所述液滴噴出頭附近且屬于所述液滴噴出頭的行的所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn) 行測量，反復(fù)進(jìn)行所述第一測量工序與所述第二測量工序，對屬于規(guī)定行的所 述液滴噴出頭中的、預(yù)定測量的全部所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量，切換到未測量的所述液滴噴出頭所屬的行，反復(fù)進(jìn)行所述第一測量工 序與所述第二測量工序，對所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行測量。
8. —種噴出量調(diào)整方法，對從在多個滑架上排列并搭載有多個液滴噴 出頭的液滴噴出頭列的、所述液滴噴出頭噴出的液狀體的噴出量進(jìn)行調(diào) 整，該噴出量調(diào)整方法包括第一測量工序，排列多個所述液滴噴出頭列，從所述液滴噴出頭噴出 所述液狀體，對從所述液滴噴出頭列中的、被所述液滴噴出頭列夾持的所 述液滴噴出頭噴出的所述液狀體的噴出量進(jìn)行測量；第一調(diào)整工序，對所述第一測量工序測出的所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整；第二測量工序，在所述第一調(diào)整工序之后進(jìn)行，將所述第一測量工序 中未被其他的所述液滴噴出頭列夾持的所述液滴噴出頭用其他的所述液 滴噴出頭列夾持，并使其噴出所述液狀體后，對從所述液滴噴出頭噴出的 所述液狀體的噴出量進(jìn)行測量；和第二調(diào)整工序，對在所述第二測量工序中測出的所述液滴噴出頭的噴 出量進(jìn)行調(diào)整。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的噴出量調(diào)整方法，其特征在于， 還包括第一噴出量調(diào)整工序，反復(fù)進(jìn)行所述第一測量工序與所述第一調(diào)整工 序，以使所述噴出量接近目標(biāo)噴出量；和第二噴出量調(diào)整工序，反復(fù)進(jìn)行所述第二測量工序與所述第二調(diào)整工 序，以使所述噴出量接近目標(biāo)噴出量。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的噴出量調(diào)整方法，其特征在于， 所述第一測量工序及所述第二測量工序包括.-測量所述噴出量的預(yù)定的所述液滴噴出頭待機(jī)的噴出前待機(jī)工序；噴出所述液狀體的測量用噴出工序；和 對所噴出的所述液狀體的噴出量進(jìn)行測量的測量工序； 在所述噴出前待機(jī)工序中，對所述液滴噴出頭進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的噴出量調(diào)整方法，其特征在于， 所述暖機(jī)驅(qū)動是在驅(qū)動到從所述液滴噴出頭不噴出所述液狀體的程度后進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動。
12. 根據(jù)權(quán)利要求IO所述的噴出量調(diào)整方法，其特征在于， 所述暖機(jī)驅(qū)動是在與所述測量用噴出工序中噴出所述液狀體的場所大致相同的場所進(jìn)行暖機(jī)驅(qū)動。
13. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的噴出量調(diào)整方法，其特征在于， 在所述第一噴出量調(diào)整工序中，對屬于被所述液滴噴出頭列夾持的所述液滴噴出頭列的所述液滴噴出頭、和屬于未被所述液滴噴出頭列夾持的 所述液滴噴出頭列的所述液滴噴出頭所噴出的所述液狀體的噴出量進(jìn)行 調(diào)整。
14. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的噴出量調(diào)整方法，其特征在于， 在由所述第一測量工序及所述第一調(diào)整工序構(gòu)成的工序、和由所述第二測量工序及所述第二調(diào)整工序構(gòu)成的工序中的至少一個工序中，多次進(jìn) 行測量工序及調(diào)整工序，所述調(diào)整工序包括粗調(diào)整工序與微調(diào)整工序。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的噴出量調(diào)整方法，其特征在于， 在所述粗調(diào)整工序之前進(jìn)行的測量工序中噴出的所述液狀體的量，比在所述微調(diào)整工序之前進(jìn)行的測量工序中噴出的所述液狀體的量少。
16. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的噴出量調(diào)整方法，其特征在于，在所述粗調(diào)整工序之前進(jìn)行的測量工序中單位時間內(nèi)從所述液滴噴 出頭噴出所述液狀體的次數(shù)，比在所述微調(diào)整工序之前進(jìn)行的測量工序中 單位時間內(nèi)從所述液滴噴出頭噴出所述液狀體的次數(shù)多。
17. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的噴出量調(diào)整方法，其特征在于， 在所述第一調(diào)整工序中，對一個滑架所搭載的所述液滴噴出頭中的、預(yù)定調(diào)整的全部所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了調(diào)整后，對其他所述滑架 所搭載的所述液滴噴出頭中的、預(yù)定調(diào)整的全部所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整，從而順次對各所述滑架所搭載的預(yù)定調(diào)整的全部所述液滴噴出 頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整，在所述第二調(diào)整工序中，對一個滑架所搭載的所述液滴噴出頭中的、 預(yù)定調(diào)整的全部所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了調(diào)整后，對其他所述滑架 所搭載的所述液滴噴出頭中的、預(yù)定調(diào)整的全部所述液滴噴出頭的噴出量 進(jìn)行調(diào)整，從而順次對各所述滑架所搭載的預(yù)定調(diào)整的全部所述液滴噴出 頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整。
18. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的噴出量調(diào)整方法，其特征在于， 由多個所述滑架所搭載的多個所述液滴噴出頭列形成所述液滴噴出頭的多行，在所述第一調(diào)整工序中，對一個滑架所搭載的預(yù)定調(diào)整的所述液滴噴 出頭中的、 一部分所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了調(diào)整后，對其他所述滑 架所搭載的所述液滴噴出頭中的、屬于已經(jīng)調(diào)整了噴出量的所述液滴噴出 頭的行的一部分所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整，從而順次對各所述滑 架所搭載的預(yù)定調(diào)整的所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整，在所述第二調(diào)整工序中，對一個滑架所搭載的預(yù)定調(diào)整的所述液滴噴 出頭中的、 一部分所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行了調(diào)整后，對其他所述滑 架所搭載的所述液滴噴出頭中的、屬于已經(jīng)調(diào)整了噴出量的所述液滴噴出 頭的行的一部分所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整，從而順次對各所述滑 架所搭載的預(yù)定調(diào)整的所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整，反復(fù)進(jìn)行所述第一調(diào)整工序與所述第二調(diào)整工序，從而對預(yù)定調(diào)整的 全部行中的所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整。
19. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的噴出量調(diào)整方法，其特征在于， 由多個所述滑架所搭載的多個所述液滴噴出頭列形成所述液滴噴出頭的多行，在所述第一調(diào)整工序中，對一個滑架所搭載的預(yù)定調(diào)整的所述液滴噴 出頭中的、 一部分所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整，在所述第二調(diào)整工序中，對位于所述第一調(diào)整工序中調(diào)整過的所述液 滴噴出頭附近且屬于所述液滴噴出頭的行的所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn) 行調(diào)整，反復(fù)進(jìn)行所述第一調(diào)整工序與所述第二調(diào)整工序，對屬于規(guī)定行的所 述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整，切換到未調(diào)整的所述液滴噴出頭所屬的行，反復(fù)進(jìn)行所述第一調(diào)整工 序與所述第二調(diào)整工序，對所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整。
20. —種噴出量調(diào)整方法，對從在多個滑架上排列并搭載有多個液滴 噴出頭的液滴噴出頭列的、所述液滴噴出頭噴出的液狀體的噴出量進(jìn)行調(diào) 整，該噴出量調(diào)整方法包括第一測量工序，排列多個所述液滴噴出頭列，從所述液滴噴出頭噴出 所述液狀體，對從所述液滴噴出頭列中的、被所述液滴噴出頭列夾持的所 述液滴噴出頭噴出的所述液狀體的噴出量進(jìn)行測量；第一調(diào)整工序，對所述第一測量工序測出的所述液滴噴出頭的噴出量 進(jìn)行調(diào)整；第二測量工序，在所述第一調(diào)整工序之后進(jìn)行，將所述第一測量工序 中未被其他的所述液滴噴出頭列夾持的所述液滴噴出頭用其他的所述液 滴噴出頭列夾持，并使其噴出所述液狀體后，對從所述液滴噴出頭噴出的所述液狀體的噴出量進(jìn)行測量；和第二調(diào)整工序，對在所述第二測量工序中測出的所述液滴噴出頭的噴出量進(jìn)行調(diào)整； 還包括第一噴出量調(diào)整工序，反復(fù)進(jìn)行所述第一測量工序與所述第一調(diào)整工序，以使所述噴出量接近目標(biāo)噴出量；和第二噴出量調(diào)整工序，反復(fù)進(jìn)行所述第二測量工序與所述第二調(diào)整工 序，以使所述噴出量接近目標(biāo)噴出量；在所述第一噴出量調(diào)整工序中，除了屬于被所述液滴噴出頭列夾持的 所述液滴噴出頭列的所述液滴噴出頭以外，還對屬于未被所述液滴噴出頭 列夾持的所述液滴噴出頭列的所述液滴噴出頭所噴出的所述液狀體的噴 出量進(jìn)行粗調(diào)整。
21. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的噴出量調(diào)整方法，其特征在于， 在所述第一噴出量調(diào)整工序中調(diào)整為未被所述液滴噴出頭列夾持的所述液滴噴出頭所噴出的所述液狀體的噴出量，比被所述液滴噴出頭列夾 持的所述液滴噴出頭所噴出的所述液狀體的噴出量少。
22. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的噴出量調(diào)整方法，其特征在于， 在所述第二測量工序中，以從被所述液滴噴出頭列夾持的所述液滴噴出頭噴出的所述液狀體的噴出量比所述第一噴出量調(diào)整工序中設(shè)定的噴 出量少的方式變更了設(shè)定后，噴出所述液狀體，在所述第二調(diào)整工序中，對噴出量進(jìn)行調(diào)整。
23. —種液狀體的噴出方法，從液滴噴出頭向工件噴出液狀體，該液狀體的噴出方法包括對噴出量進(jìn)行調(diào)整的噴出量調(diào)整工序；和向所述工件噴出液滴的涂敷工序；在所述噴出量調(diào)整工序中，采用權(quán)利要求8 22中任一項(xiàng)所述的噴出 量調(diào)整方法進(jìn)行調(diào)整。
24. —種濾色器的制造方法，包括在基板上涂敷彩墨而形成濾色器的 工序，采用權(quán)利要求23所述的液狀體的噴出方法，向所述基板噴出并涂敷 所述彩墨。
25. —種液晶顯示裝置的制造方法，包括以下工序，即在第一基板與 第二基板上形成取向膜，將液晶夾持在所述第一基板與所述第二基板之間 而形成所述液晶顯示裝置，采用權(quán)利要求23所述的液狀體的噴出方法，向所述第一基板與所述 第二基板中的至少一方噴出并涂敷所述取向膜的材料后，使其固化來形成 所述取向膜。
26. —種液晶顯示裝置的制造方法，包括以下工序，即在第一基板上 涂敷液晶后，將所述液晶夾持在所述第一基板與第二基板之間而形成所述 液晶顯示裝置，采用權(quán)利要求23所述的液狀體的噴出方法，向所述第一基板噴出并 涂敷所述液晶。
27. —種電光裝置的制造方法，具有在基板上涂敷發(fā)光元件形成材料 后通過使其固化而形成發(fā)光元件的工序，采用權(quán)利要求23所述的液狀體的噴出方法，向所述基板噴出并涂敷 所述發(fā)光元件形成材料。
28. —種電光裝置的制造方法，具有在基板上涂敷液狀體的電極材料 后通過使其固化而形成電極的工序，采用權(quán)利要求23所述的液狀體的噴出方法，向所述基板噴出并涂敷所述液狀體的所述電極材料。
29. —種電光裝置的制造方法，具有在基板上涂敷液狀體的布線材料 后通過使其固化而形成布線的工序，采用權(quán)利要求23所述的液狀體的噴出方法，向所述基板噴出并涂敷 所述液狀體的所述布線材料。
30. —種電光裝置的制造方法，具有以下工序，即在基板上涂敷液狀 體的半導(dǎo)體材料并使其固化后，通過進(jìn)行加熱來形成半導(dǎo)體，采用權(quán)利要求23所述的液狀體的噴出方法，向所述基板噴出并涂敷所述液狀體的所述半導(dǎo)體材料。
全文摘要
本發(fā)明提供一種噴出量測量方法、噴出量調(diào)整方法、液狀體的噴出方法、濾色器的制造方法、液晶顯示裝置的制造方法及電光裝置的制造方法。該噴出量測量方法對從在多個滑架(12)上排列并搭載有多個液滴噴出頭(14)的液滴噴出頭列的、液滴噴出頭(14)噴出的液滴(44)的噴出量進(jìn)行測量，包括第一測量工序，排列多個液滴噴出頭列，從液滴噴出頭(14)噴出所述液狀體，對從液滴噴出頭列中的、被液滴噴出頭列夾持的液滴噴出頭(14)噴出的液滴的噴出量進(jìn)行測量；和第二測量工序，用其他液滴噴出頭列夾持在第一測量工序中未被其他液滴噴出頭列夾持的液滴噴出頭并噴出液滴后，對從液滴噴出頭噴出的液滴的噴出量進(jìn)行測量。因此能精確地測量噴出量。
文檔編號G02B5/20GK101254692SQ20081008145
公開日2008年9月3日 申請日期2008年2月22日 優(yōu)先權(quán)日2007年2月22日
發(fā)明者小島健嗣 申請人:精工愛普生株式會社