液狀體的排出方法、濾色器以及有機el裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種液狀體的排出方法、濾色器以及有機EL裝置的制造方法，其減少向多個被排出區(qū)域排出的液狀體的偏倚，使在區(qū)域內(nèi)配置的薄膜的厚度的不均勻減輕。該液狀體的排出方法包括：排出工序，其邊使具有包括多個噴嘴52的噴嘴列52a的液滴排出頭50與具備多個大致矩形形狀的被排出區(qū)域103的基板B在與液滴排出頭50的配置方向大致正交的主掃描方向上相對移動，邊從噴嘴52向被排出區(qū)域103排出液狀體；其中，被排出區(qū)域103，包括排列方向大致正交且面積不同的第1被排出區(qū)域103r’、103g’、103b’和第2被排出區(qū)域103r、103g、103b；在前述排出工序中，將面積大的第1被排出區(qū)域103r’、103g’、103b’的長邊方向配置為沿著主掃描方向。
【專利說明】液狀體的排出方法、濾色器以及有機EL裝置的制造方法
[0001] 本申請是于2009年10月14日提交的申請?zhí)枮?00910204744. 4、名稱為"液狀體 的排出方法、濾色器以及有機EL裝置的制造方法"的專利申請的分案申請。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002] 本發(fā)明涉及從噴嘴排出液狀體的液狀體的排出方法、濾色器的制造方法以及有機 EL裝置的制造方法。

【背景技術(shù)】
[0003] 例如，在液晶顯示裝置等的濾色器、有機EL裝置的成膜等領(lǐng)域，將包含功能性材 料的液狀體排出的液狀體的排出方法被應(yīng)用。在該液狀體的排出方法中，應(yīng)用了液滴排出 裝置。液滴排出裝置，具有稱為液滴排出頭的液滴排出機構(gòu)。在該液滴排出頭中，規(guī)則性地 形成有多個噴嘴。在濾色器、有機EL裝置等的制造中，從這些噴嘴，將包含功能性材料的液 狀體在基板等上排出為液滴，從而形成包含功能性材料的薄膜。
[0004] 近年來，顯示裝置所應(yīng)用到的領(lǐng)域在擴大，從而各種尺寸的面板被提供出來。此 夕卜，也存在顯示裝置的高畫質(zhì)化的要求，為了響應(yīng)之，必須實現(xiàn)高精細、高密度的濾色器、有 機EL裝置的成膜。因此，對于各種尺寸的基板，高精細、高密度地排出液狀體變得重要。此 夕卜，顯示裝置的面板的需要在增加，為了使面板的生產(chǎn)率提高，還存在希望從一塊大型基板 制造出多塊面板的要求。在此情況下，為了追求獲取數(shù)的效率，或者，為了從一塊基板生產(chǎn) 出不同尺寸的面板，各種布局被研究出來。根據(jù)布局，像素區(qū)域的配置，有時會90度不同， 其中像素區(qū)域是被排出液狀體的最小單位的區(qū)域。
[0005] 作為在工作件（基板）上從液滴排出頭將液狀體排出為液滴從而進行圖案的描繪 的液滴排出裝置以及液滴排出方法，已知有這樣的液滴排出裝置以及液滴排出方法：使工 作件在第1方向以及與第1方向大致正交的第2方向上移動，從在多個托架上配設(shè)的液滴 排出頭的噴嘴，排出液狀體，從而進行圖案的描繪，其中多個托架沿著第2方向被預(yù)先確定 了位置（例如，參照專利文獻1)。
[0006] [專利文獻1]特開2006-187758號公報
[0007] 前述的液滴排出裝置，從被預(yù)先確定了位置的噴嘴將液狀體排出在基板的預(yù)定的 區(qū)域。而且，噴嘴以固定的間距構(gòu)成為列狀，像素區(qū)域形成為大致矩形形狀，像素區(qū)域是被 排出液狀體的最小單位的區(qū)域。因此，還為了使噴嘴的排出偏差分散，優(yōu)選地，使像素區(qū)域 的長邊與噴嘴列平行地配置，以便使盡可能多的噴嘴與像素區(qū)域相對。但是，若在基板上配 置方向不同的像素區(qū)域混合存在地構(gòu)成，則會存在相對于噴嘴列，短邊平行地配置的像素 區(qū)域。在此情況下，能夠在區(qū)域內(nèi)排出液狀體的噴嘴受到限制，從而有可能使液狀體被排出 在區(qū)域內(nèi)的偏倚的位置，在區(qū)域內(nèi)發(fā)生液狀體的排出量的偏倚。若發(fā)生液狀體的排出量的 偏倚，則有可能會發(fā)生在區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度的不均勻。在液晶顯示裝置等的濾色器、 有機EL裝置的功能膜等薄膜中，若發(fā)生膜厚度的不均勻，則會存在所制造的顯示裝置的圖 像品質(zhì)將會下降的問題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 本發(fā)明是為了解決上述問題的至少一部分而提出的，其可以實現(xiàn)為以下的方式或 者應(yīng)用例。
[0009] (應(yīng)用例1) 一種液狀體的排出方法，其特征在于，向在第1面板排列的大致矩形形 狀的第1被排出區(qū)域和在第2面板排列的面積比前述第1被排出區(qū)域小的大致矩形形狀的 第2被排出區(qū)域排出液狀體，包括：以使前述第1被排出區(qū)域的長邊方向和前述第2被排出 區(qū)域的長邊方向大致正交的方式，并且，以前述第1面板和前述第2面板不在前述第2被排 出區(qū)域的長邊方向并列的方式，配設(shè)前述第1面板和前述第2面板；排出工序，其邊使排出 前述液狀體的多個噴嘴在前述第2被排出區(qū)域的長邊方向配設(shè)為列狀而成的噴嘴列以及 前述第1面板和前述第2面板在前述第1被排出區(qū)域的長邊方向上相對移動，邊從前述噴 嘴排出前述液狀體；從前述噴嘴排出且配置在前述第1被排出區(qū)域中的前述液狀體的、前 述第1被排出區(qū)域的短邊方向的配置間隔，以前述噴嘴列相對于前述短邊方向具有角度的 方式配置。
[0010] 如果采用該方法，則能夠?qū)⒕哂袊娮炝械囊旱闻懦鲱^的配置方向，設(shè)定為與面積 大的第1被排出區(qū)域的大致矩形形狀的短邊方向以及面積小的第2被排出區(qū)域的大致矩形 形狀的長邊方向相同的方向。也就是說，能夠在面積大的第1被排出區(qū)域其大致矩形形狀 的短邊方向上，在面積小的第2被排出區(qū)域其大致矩形形狀的長邊方向上，配置噴嘴。因 此，即使面積不同的第1被排出區(qū)域以及第2被排出區(qū)域混合存在于同一基板內(nèi)，也能夠增 多能夠在各個被排出區(qū)域內(nèi)排出液狀體的噴嘴的數(shù)量。因而，能夠減少使液狀體被排出在 被排出區(qū)域內(nèi)的偏倚的位置、發(fā)生液狀體的排出量的偏倚的情況。其結(jié)果，能夠使在各個被 排出區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度的不均勻減輕。因而，能夠制造品質(zhì)穩(wěn)定的至少2種薄膜，能 夠有助于生廣率的提商。
[0011] (應(yīng)用例2)上述的液狀體的排出方法，在前述排出工序中，至少大于等于2個的前 述噴嘴與前述第1被排出區(qū)域的短邊方向的區(qū)域內(nèi)相對。
[0012] 如果采用該方法，則能夠?qū)τ诘?被排出區(qū)域，使多個噴嘴與之相對并排出液狀 體。因此，即使存在噴嘴的排出特性的偏差，也能夠通過使用多個噴嘴，使排出特性的偏差 分散。其結(jié)果，能夠使在被排出區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度的不均勻減輕。
[0013] (應(yīng)用例3)上述的液狀體的排出方法，從前述噴嘴排出且配置在前述第1被排出 區(qū)域中的前述液滴的、前述第1被排出區(qū)域的短邊方向的配置間隔，可通過將前述噴嘴列 配置為相對于前述短邊方向具有角度而進行調(diào)整。
[0014] 如果采用該方法，則通過將液滴排出頭的噴嘴列配置為相對于第1被排出區(qū)域的 短邊方向具有角度，能夠使配置在第1被排出區(qū)域的短邊方向上的液滴的配置間隔，實質(zhì) 上變窄。也就是說，能夠?qū)τ诘?被排出區(qū)域，使更多的噴嘴與之相對并排出液狀體。因此， 能夠減少使液狀體被排出在被排出區(qū)域內(nèi)的偏倚的位置、發(fā)生液狀體的排出量的偏倚的情 況。其結(jié)果，能夠使在被排出區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度的不均勻減輕。
[0015] (應(yīng)用例4)上述的液狀體的排出方法，前述排出工序，在前述液滴排出頭與前述 基板的前述主掃描方向的多次相對移動期間，使前述液滴排出頭與前述基板在與前述主掃 描方向大致正交的副掃描方向上相對移動。
[0016] 如果采用該方法，則在排出工序中，能夠邊使液滴排出頭與基板在與主掃描方向 大致正交的副掃描方向上相對移動、即進行改行工作，邊從噴嘴向被排出區(qū)域排出液狀體。 因此，能夠?qū)嵸|(zhì)上增多例如能夠配置在第1被排出區(qū)域的短邊方向上的液滴。因此，能夠減 少使液狀體被排出在被排出區(qū)域內(nèi)的偏倚的位置、發(fā)生液狀體的排出量的偏倚的情況。其 結(jié)果，能夠使在被排出區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度的不均勻減輕。。
[0017] (應(yīng)用例5) -種濾色器的制造方法，其在基板上的多個被排出區(qū)域形成多色的著 色層，多個前述被排出區(qū)域，包括配設(shè)方向相互正交的第1被排出區(qū)域和第2被排出區(qū)域； 該方法包括：排出工序，其使用上述的液狀體的排出方法，將包含著色層形成材料的多色的 液狀體排出在多個前述被排出區(qū)域；以及成膜工序，其使被排出的前述液狀體固化而形成 前述多色的著色層。
[0018] 如果采用該方法，則能夠使在配設(shè)方向相互正交的第1被排出區(qū)域以及第2被排 出區(qū)域內(nèi)形成的著色層的厚度的不均勻減輕，并且能夠以高的生產(chǎn)率制造著色層的排列方 向不同的至少2種濾色器。
[0019] (應(yīng)用例6) -種有機EL裝置的制造方法，該有機EL裝置具備多個有機EL元件， 該多個有機EL元件在基板上的多個被排出區(qū)域具有包含發(fā)光層的功能層，多個前述被排 出區(qū)域，包括配設(shè)方向相互正交的第1被排出區(qū)域和第2被排出區(qū)域；該方法包括：排出工 序，其使用上述的液狀體的排出方法，將包含發(fā)光層形成材料的液狀體排出在多個前述被 排出區(qū)域；以及成膜工序，其使被排出的前述液狀體固化而形成前述發(fā)光層。
[0020] 如果采用該方法，則能夠使在配設(shè)方向相互正交的第1被排出區(qū)域以及第2被排 出區(qū)域內(nèi)形成的發(fā)光層的厚度的不均勻減輕，并且能夠以高的生產(chǎn)率制造有機EL元件的 排列方向不同的至少2種有機EL裝置。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021] 圖1是示出液狀體排出裝置的結(jié)構(gòu)的概要立體圖；
[0022] 圖2是示出液滴排出頭的結(jié)構(gòu)的概要圖；
[0023] 圖3是示出頭單元中的液滴排出頭的配置的概要俯視圖；
[0024] 圖4是示出液狀體排出裝置的控制系統(tǒng)的框圖；
[0025] 圖5是示出濾色器的概要圖；
[0026] 圖6是示出濾色器的制造方法的流程圖；
[0027] 圖7示出濾色器的制造方法的概要剖面圖；
[0028] 圖8是示出頭單元與母基板的相對配置的概要俯視圖；
[0029] 圖9是示出液狀體的排出工序中的液滴的配置的概要俯視圖；
[0030] 圖10是示出第2實施例中的頭單元與母基板的相對配置的概要俯視圖；
[0031] 圖11是示出第2實施例中的液滴的配置的概要俯視圖；
[0032] 圖12是示出第3實施例中的液滴的配置的概要俯視圖；
[0033] 圖13是示出有機EL裝置的主要部分結(jié)構(gòu)的概要剖面圖；
[0034] 圖14是示出有機EL裝置的制造方法的流程圖；以及
[0035] 圖15是示出有機EL裝置的制造方法的概要剖面圖。
[0036] 符號說明
[0037] 4…控制部；9…頭單兀；9a···頭板；10···液狀體排出裝置；20…基板移動機構(gòu)； 30…頭移動機構(gòu)；50…液滴排出頭；52、52i···噴嘴；52a…噴嘴列；70…頭單兀旋轉(zhuǎn)機構(gòu)； 100…濾色器；103…著色層；1031"、1038、10313"*作為第2被排出區(qū)域的膜形成區(qū)域 ；1031·'、 103g'、103b'…作為第1被排出區(qū)域的膜形成區(qū)域；600…有機EL裝置；603…作為有機EL 兀件的發(fā)光兀件部；6171?、6176、61713*"發(fā)光層；6173*"正孔注入/輸送層；1^"母基板（基 板）；D、D1、D2、D3···液滴；E1···第1面板；E2···第2面板；P…噴嘴間距；P1···液滴配置間隔。

【具體實施方式】
[0038] 對于本發(fā)明，以在基板上、在區(qū)劃而成的多個像素區(qū)域具有多色的著色層的濾色 器的制造為例，進行說明。著色層，是像素構(gòu)成要素，其通過從多個噴嘴向像素區(qū)域，將包含 著色層形成材料的液狀體排出為液滴而形成。在將該液狀體排出為液滴時，使用以下說明 的液狀體排出裝置。
[0039](關(guān)于液狀體排出裝置的結(jié)構(gòu)）
[0040] 首先，關(guān)于具備排出液狀體的液滴排出頭的液狀體排出裝置，參照圖1進行說明。 圖1是示出液狀體排出裝置的結(jié)構(gòu)的概要立體圖。
[0041] 如圖1所示，液狀體排出裝置10具備：使具有被排出區(qū)域（膜形成區(qū)域）的基板 B在主掃描方向上移動的基板移動機構(gòu)20、使具有多個液滴排出頭的頭單元9在副掃描方 向上移動的頭移動機構(gòu)30。該液狀體排出裝置10,使基板B與頭單元9的相對位置發(fā)生變 化，并且從搭載在頭單元9上的多個液滴排出頭將液狀體排出為液滴，從而在基板B上用液 狀體形成預(yù)定的功能膜。此外，圖中的X方向表示基板B的移動方向、即主掃描方向，Y方 向表不頭單兀9的移動方向、即副掃描方向，Z方向表7^與X方向和Y方向正交的方向。
[0042] 在使用這樣的液狀體排出裝置10,制造具有例如紅、綠及藍3色的過濾元件的濾 色器的情況下，從液狀體排出裝置10的各個液滴排出頭，將紅、綠及藍3色的液狀體的任意 一種，在基板B的膜形成區(qū)域排出為液滴，從而形成紅、綠及藍3色的過濾元件。
[0043] 在此，關(guān)于液狀體排出裝置10的各結(jié)構(gòu)，進行說明。
[0044] 基板移動機構(gòu)20,具備：一對導(dǎo)軌21、沿著一對導(dǎo)軌21移動的移動臺22、在移動 臺22上可吸附固定地載置基板B的臺架5。移動臺22利用設(shè)置在導(dǎo)軌21的內(nèi)部的、未圖 不的氣動滑道和線性電動機，在X方向（主掃描方向）上移動。
[0045] 頭移動機構(gòu)30具備：一對導(dǎo)軌31、沿著一對導(dǎo)軌31移動的第1移動臺32。在第 1移動臺32上設(shè)置有托架8,在托架8上經(jīng)由頭單元旋轉(zhuǎn)機構(gòu)70安裝有頭單元9,頭單元9 搭載有多個液滴排出頭50 (參照圖2)。頭單元9,能夠利用頭單元旋轉(zhuǎn)機構(gòu)70,以圖1所示 的旋轉(zhuǎn)軸L為中心、在XY平面上旋轉(zhuǎn)。并且，第1移動臺32,能夠使托架8在Y方向（副掃 描方向）上移動，從而將頭單元9在Z方向上，空出預(yù)定的間隔地相對于基板B相對配置。
[0046] 液狀體排出裝置10,除了上述結(jié)構(gòu)之外，還具有維護機構(gòu)60,該維護機構(gòu)60進行 搭載在頭單元9上的多個液滴排出頭50的噴嘴的堵塞的消除等維護。此外，液狀體排出裝 置10設(shè)置有用于向液滴排出頭50供給液狀體的液狀體供給機構(gòu)、具有接受被液滴排出頭 50或者每一噴嘴排出的液狀體并計測其排出重量的電子天秤等計測器的排出量計測機構(gòu) 等。這各個機構(gòu)，由控制部4(參照圖4)進行控制。在圖1中，控制部4、液狀體供給機構(gòu)以 及排出量計測機構(gòu)，省略了圖示。
[0047](關(guān)于液滴排出頭）
[0048] 在此，關(guān)于具有多個噴嘴的液滴排出頭，參照圖2以及圖3進行說明。圖2是示出 液滴排出頭的結(jié)構(gòu)的概要圖。（a)是概要分解立體圖，（b)是示出噴嘴部的結(jié)構(gòu)的剖面圖。 圖3是示出頭單元中的液滴排出頭的配置的概要俯視圖。詳細地，是從與基板B相對的一 側(cè)看的圖。此外，圖3中所示的X方向、Y方向，表示與圖1中所示的X方向、Y方向相同的 方向。
[0049] 如圖2(a)及（b)所示，液滴排出頭50為噴嘴板51、空腔板53、振動板58按順序 疊層并接合而成的結(jié)構(gòu)，其中噴嘴板51具有排出液滴D的多個噴嘴52,空腔板53具有區(qū)劃 與多個噴嘴52分別連通的空腔55的間隔壁54,振動板58具有作為與各空腔55對應(yīng)的驅(qū) 動元件的振動器59。
[0050] 空腔板53具有區(qū)劃與噴嘴52連通的空腔55的間隔壁54、用于將液狀體填充到 空腔55中的流路56、57。流路57被噴嘴板51與振動板58所挾持，所形成的空間起到積 存液狀體的儲存器的作用。液狀體，從液狀體供給機構(gòu)通過配管供給，在通過設(shè)置在振動板 58上的供給孔58a而積存在儲存器中之后，通過流路56填充到各空腔55中。
[0051] 如圖2(b)所示，振動器59是由以下部件構(gòu)成的壓電元件：壓電元件59c、挾持壓 電元件59c的一對電極59a、59b。通過從外部對一對電極59a、59b施加作為驅(qū)動信號的驅(qū) 動波形，使所接合的振動板58變形。由此，由間隔壁54隔開的空腔55的體積增加，從而液 狀體從儲存器被吸引到空腔55中。并且，若驅(qū)動波形的施加停止，則振動板58恢復(fù)原樣， 從而對已填充的液狀體加壓。由此，成為能夠從噴嘴52將液狀體排出為液滴D的結(jié)構(gòu)。通 過控制向壓電元件59c施加的驅(qū)動波形，能夠?qū)τ诟鱾€噴嘴52進行液狀體的排出控制。
[0052] 如圖3所示，上述的液滴排出頭50,配置在頭單元9的頭板9a上。在頭板9a上， 搭載有：由3個液滴排出頭50構(gòu)成的頭組50A、同樣由3個液滴排出頭50構(gòu)成的頭組50B 合計6個液滴排出頭50。在此情況下，頭組50A的液滴排出頭50 (頭R1)和頭組50B的液 滴排出頭50(頭R2)排出同一種液狀體。對于其他的頭G1和頭G2、頭B1和頭B2,也是同 樣的。即，成為可排出3種不同的液狀體的結(jié)構(gòu)。
[0053] 各液滴排出頭50具有噴嘴列52a，該噴嘴列52a由以固定的噴嘴間距P配設(shè)的多 個（180個）噴嘴52構(gòu)成。因此，各個液滴排出頭50具有長度為L的排出寬度。頭R1和 頭R2,以從主掃描方向（X方向）看相鄰的噴嘴列52a在與主掃描方向正交的副掃描方向 (Y方向）上隔開1噴嘴間距P而連續(xù)的方式，在主掃描方向上并列地配設(shè)。因此，頭R1和 頭R2,具有長度為2L的排出寬度。
[0054] 此外，如前所述，頭單元9,能夠利用頭單元旋轉(zhuǎn)機構(gòu)70,以圖1中所示的旋轉(zhuǎn)軸L 為中心，在XY平面上旋轉(zhuǎn)。即，頭板9a，如圖3所示，能夠以旋轉(zhuǎn)軸L貫穿頭板9a而得到的 點1為中心，在XY平面上旋轉(zhuǎn)。此外，點1位于頭板9a的大致中心。
[0055] 在本實施例中，雖然關(guān)于1列的情況說明了噴嘴列52a，但是并不限于此。液滴排 出頭50,其多個噴嘴列52a也可以在圖中X方向上以固定的間隔、在Y方向上偏離1/2間距 (P/2)而排列。這樣，實質(zhì)上的噴嘴間距P變窄，從而能夠高精細地排出液滴D。
[0056](關(guān)于液滴排出裝置的控制系統(tǒng)）
[0057] 接著，關(guān)于液狀體排出裝置10的控制系統(tǒng)，參照圖4進行說明。圖4是示出液狀 體排出裝置的控制系統(tǒng)的框圖。
[0058] 如圖4所示，液狀體排出裝置10的控制系統(tǒng)，具備：驅(qū)動部46和控制部4,驅(qū)動部 46具有驅(qū)動液滴排出頭50、基板移動機構(gòu)20、頭移動機構(gòu)30等的各種驅(qū)動器，控制部4控 制包含驅(qū)動部46的液狀體排出裝置10。驅(qū)動部46具備：移動用驅(qū)動器47、頭驅(qū)動器48、頭 旋轉(zhuǎn)用驅(qū)動器68、維護用驅(qū)動器49、未圖示的排出量計測用驅(qū)動器，其中移動用驅(qū)動器47 對基板移動機構(gòu)20及頭移動機構(gòu)30的各線性電動機分別進行驅(qū)動控制，頭驅(qū)動器48對液 滴排出頭50進行排出控制，頭旋轉(zhuǎn)用驅(qū)動器68對使頭單元9旋轉(zhuǎn)的頭單元旋轉(zhuǎn)機構(gòu)70進 行控制，維護用驅(qū)動器49對維護機構(gòu)60的各維護用單元進行驅(qū)動控制，未圖示的排出量計 測用驅(qū)動器對排出量計測機構(gòu)進行控制。
[0059] 控制部4具備0?嘆1、1?0142、狀143、？-〇)財4，這些部件相互經(jīng)由總線45連接。在 P-C0N44上，連接著上位計算機11。R0M42,具有控制程序區(qū)域和控制數(shù)據(jù)區(qū)域，控制程序區(qū) 域存儲由CPU41處理的控制程序等，控制數(shù)據(jù)區(qū)域存儲用于進行描繪工作、功能恢復(fù)處理 等的控制數(shù)據(jù)等。
[0060] RAM43具有存儲在基板B上描繪圖案的圖案數(shù)據(jù)的圖案數(shù)據(jù)存儲部等各種存儲 部，其作為控制處理用的各種工作區(qū)域而被使用。在P-C0N44上，連接著驅(qū)動部46的各種 驅(qū)動器等，補充CPU41的功能，并且構(gòu)成并組入有用于處理與外圍電路的接口信號的邏輯 電路。因此，P-C0N44,將來自上位計算機11的各種指令等原樣或者進行處理后獲取到總線 45中，并且與CPU41協(xié)作地將從CPU41等輸出至總線45中的數(shù)據(jù)、控制信號等原樣或者進 行處理后輸出至驅(qū)動部46。
[0061] 并且，CPU41，在根據(jù)R0M42內(nèi)的控制程序，經(jīng)由P-C0N44輸入各種檢測信號、各種 指令、各種數(shù)據(jù)等，并且對RAM43內(nèi)的各種數(shù)據(jù)等進行處理之后，通過經(jīng)由P-C0N44輸出各 種控制信號至驅(qū)動部46等，來控制液狀體排出裝置10全體。例如，CPU41，控制液滴排出頭 50、基板移動機構(gòu)20以及頭移動機構(gòu)30,使頭單元9與基板B相對配置。并且，與頭單元 9和基板B的相對移動同步地，從搭載在頭單元9上的各液滴排出頭50的預(yù)定數(shù)量的噴嘴 52,在基板B上將液狀體排出為液滴D，從而形成圖案。
[0062] 在此情況下，將與基板B的向X方向的移動同步地排出液狀體的工作稱為主掃描， 將使頭單元9在Y方向上移動的工作稱為副掃描。本實施例的液狀體排出裝置10,能夠通 過組合主掃描和副掃描并重復(fù)多次，來排出液狀體。主掃描，并不限于基板B相對于液滴排 出頭50向一個方向的移動，而也能夠使基板B往返地進行移動。
[0063] 上位計算機11不僅將控制程序、控制數(shù)據(jù)等控制信息傳送至液狀體排出裝置10， 而且也能夠?qū)@些控制信息進行修正。此外，還具有作為配置信息生成部的功能，該配置信 息生成部根據(jù)噴嘴52的位置信息等，生成在基板B上的每一排出區(qū)域?qū)⑺枇康囊籂铙w配 置為液滴D的配置信息。配置信息，將進行排出的噴嘴52和待機的噴嘴52的分類以及排 出區(qū)域中的液滴D的排出位置（若換言之，則是基板B與噴嘴52的相對位置）、液滴D的 配置數(shù)（若換言之，則是每一噴嘴52的排出數(shù)、排出比例）、主掃描中的多個噴嘴52的開/ 關(guān)、排出定時等信息，例如表現(xiàn)為位圖。
[0064](液狀體的排出方法以及濾色器的制造方法）
[0065] 接著，關(guān)于應(yīng)用了本實施例的液狀體的排出方法的濾色器的制造方法，參照圖 5?圖9進行說明。圖5(a)是示出濾色器的概要俯視圖，圖5(b)是圖5(a)的C-C'剖面 圖。圖6是示出濾色器的制造方法的流程圖，圖7(a)?（d)是示出濾色器的制造方法的概 要剖面圖。
[0066] 如圖5(a)及（b)所示，濾色器100,在透明的玻璃等基板101上具有作為紅（R)、 綠（G)、藍（B) 3色的過濾元件的著色層103。作為被形成著色層103的矩形形狀的被排出 區(qū)域的膜形成區(qū)域103r、103g、103b，被間隔壁部104區(qū)劃為矩陣狀。本實施方式的濾色器 100,是同色的著色層103直線狀地排列的、所謂條紋方式的濾色器。
[0067] 如圖5(b)所示，間隔壁部104,成為由第1間隔壁部104a和第2間隔壁部104b構(gòu) 成的2層結(jié)構(gòu)。第1間隔壁部104a，例如由Cr、A1等金屬薄膜構(gòu)成，具有遮光性。第2間 隔壁部104b，例如由樹脂材料構(gòu)成。此外，并不限于二層結(jié)構(gòu)，而也可以是利用樹脂材料構(gòu) 成間隔壁部104的一層結(jié)構(gòu)，該樹脂材料包含具有遮光性的材料。
[0068] 著色層103由包含著色材料的透光性樹脂材料構(gòu)成。在本實施方式中，使用上述 的液狀體排出裝置10制造這樣的濾色器100。
[0069] 如圖6所示，本實施方式的濾色器100的制造方法，基本上具備形成間隔壁部104 的間隔壁部形成工序（步驟S1)、對形成了間隔壁部104的基板101的表面進行表面處理的 表面處理工序（步驟S2)、排出包含著色層形成材料的液狀體的液狀體的排出工序（步驟 S3)、使所排出的液狀體干燥從而形成著色層103的干燥工序（步驟S4)。
[0070] 在圖6的步驟S1，首先，在基板101的表面，進行Cr、Al等金屬薄膜的成膜。作為 成膜方法，舉出真空蒸鍍法、噴鍍法等。膜厚度，以得到遮光性的方式，設(shè)定為〇. ?μπι左右。 利用光刻法對之進行圖案形成，而形成開口了的、圖7所示的第1間隔壁部104a。接著，覆 蓋第1間隔壁部l〇4a而將感光性樹脂涂敷為厚度2 μ m左右，并同樣利用光刻法進行圖案 形成，從而在第1間隔壁部104a上形成第2間隔壁部104b。由此，如圖7(a)所示，形成在 基板101上開口 了的矩形形狀的膜形成區(qū)域103r、103g、103b。并且，前進至步驟S2。
[0071] 在圖6的步驟S2,以在之后的液狀體的排出工序中、被排出的液狀體著落于膜形 成區(qū)域103r、103g、103b并濡濕擴散的方式，對基板101的表面進行親液處理。此外，以即使 被排出的液狀體的一部分著落在了第2間隔壁部104b上，也收納到膜形成區(qū)域103r、103g、 l〇3b內(nèi)的方式，對第2間隔壁部104b的至少上表面部分進行抗液處理。
[0072] 作為表面處理方法，對于形成了間隔壁部104的基板101，進行以02為處理氣體 的等離子體處理和以氟類氣體為處理氣體的等離子體處理。即，對膜形成區(qū)域103r、103g、 103b進行親液處理，其后，對由感光性樹脂構(gòu)成的第2間隔壁部104b的上表面進行抗液處 理。此外，如果形成第2間隔壁部104b的材料自身具有抗液性，則也能夠省去后一種處理。 并且，前進至步驟S3。
[0073] 在圖6的步驟S3,在圖1所示的液狀體排出裝置10的臺架5上載置被進行了表面 處理的基板101。并且，從圖3所示的頭單元9的液滴排出頭50分別排出包含不同的著色 層形成材料的3色的液狀體。詳細地，如圖7(b)及（c)所示，與基板101與液滴排出頭50 的向主掃描方向的相對移動同步地，從液滴排出頭50的噴嘴52,將3色的液狀體的各個在 所希望的膜形成區(qū)域l〇3r、103g、103b排出為液滴D。排出在膜形成區(qū)域103r、103g、103b 中的液狀體的排出量，根據(jù)預(yù)先對于每一膜形成區(qū)域l〇3r、103g、103b所選擇的噴嘴52的 選擇圖案和液滴D的排出數(shù)等對于每一主掃描所設(shè)定的排出數(shù)據(jù)，從控制部4的CPU41向 頭驅(qū)動器48傳送適合的控制信號而被進行控制。由此，預(yù)定量的液狀體被排出在每一膜形 成區(qū)域103r、103g、103b中。并且，前進至步驟S4。
[0074] 在圖6的步驟S4,如圖7(d)所示，從被排出在基板101上的液狀體，使溶劑成分蒸 發(fā)，從而形成由著色層形成材料構(gòu)成的著色層103。在本實施方式中，將基板101放置在可 將溶劑的蒸汽氣壓固定而進行干燥的減壓干燥裝置中并進行減壓干燥，從而形成R、G、B這 3色的著色層103。此外，也可以將排出1色的液狀體并進行干燥的工序重復(fù)3次。在步驟 S3的液狀體的排出工序中，著色層103的膜厚度，可以按每一色進行設(shè)定，而未必3色是相 同的。根據(jù)所需的膜厚度的設(shè)定，只要將所需量的液狀體排出在對應(yīng)的膜形成區(qū)域l〇3r、 103g、103b 即可。
[0075] 被形成濾色器100的基板101的大小，取決于使用之的顯示裝置的大小。此外，即 使是同一大小的顯示裝置，在像素被高密度地配置的情況下，對于對應(yīng)的濾色器100的著 色層103的配置，也要求高密度的配置。
[0076] 作為有效地生產(chǎn)濾色器100的方法，一般采用在比基板101面積大的母基板B上 獲取多塊的方法。但是，在面積上有效的濾色器100的尺寸，由母基板B的大小來決定。若 獲取多塊在面積上非有效的尺寸的濾色器100,則會產(chǎn)生空閑空間。因此，考慮在該空閑空 間中拼版不同的尺寸的濾色器100,從而沒有浪費地利用母基板B。
[0077] 當(dāng)在母基板B上拼版不同的尺寸的濾色器100的情況下，有時膜形成區(qū)域103r、 103g、103b的排列方向、即條紋方向會相互正交。如前所述，膜形成區(qū)域103r、103g、103b中 的液滴的配置，通過在主掃描中根據(jù)排出定時排出液狀體而實現(xiàn)。從主掃描方向看的多個 噴嘴52,如前所述以固定的噴嘴間距P配設(shè)。因而，在母基板B上的矩形形狀的膜形成區(qū) 域103r、103g、103b的排列方向不同的情況下，有時會因排列方向而使與膜形成區(qū)域103r、 103g、103b相對的噴嘴52的數(shù)量受到限制。
[0078] 使用本實施方式的液狀體的排出方法的濾色器100的制造方法，根據(jù)母基板B上 的膜形成區(qū)域l〇3r、103g、103b的配置，提供適合的液狀體的排出方法。詳細地，參照實施 例進行說明。
[0079](第1實施例）
[0080] 在此，參照圖8以及圖9說明第1實施例的濾色器的制造方法。圖8是示出液狀 體的排出工序中的頭單元與母基板的相對配置的概要俯視圖，圖9(a)及（b)是示出液狀體 的排出工序中的液滴的配置的概要俯視圖。此外，圖8以及圖9中所示的X方向、Y方向， 表示與圖1中所示的X方向、Y方向相同的方向。
[0081] 如圖8所示，第1實施例中的母基板B，具有第2面板E2和第1面板E1，第2面板 E2沿著母基板B的長邊拼版有多個（7個），第1面板E1沿著長邊及短邊矩陣狀地拼版有 多個（4個）。第2面板E2的面積，比第1面板E1的面積小。
[0082] 在第2面板E2上，作為第2被排出區(qū)域的矩形形狀的膜形成區(qū)域103r、103g、103b 矩陣狀地排列多個。同樣，在第1面板El上，作為第1被排出區(qū)域的矩形形狀的膜形成區(qū)域 1031''、1038'、1031 3'矩陣狀地排列多個。在此，膜形成區(qū)域1031'、1038、10313的面積，比膜形 成區(qū)域103r'、103g'、103b'的面積小。膜形成區(qū)域103r、103g、103b和膜形成區(qū)域103r'、 103g'、103b'，其被排出同種（同色）的液狀體的條紋方向正交。此外，在各個膜形成區(qū)域， 排出預(yù)定量的所期望的液狀體，從而形成著色層103。
[0083] 在液狀體的排出工序中，使用圖1中所示的液狀體排出裝置10,以母基板B的長 邊，相對于頭移動機構(gòu)30中配置在副掃描方向（Y方向）上的多個頭單元9,成為大致平行 的方式，將母基板B定位在臺架5上。然后，在使臺架5在主掃描方向（X方向）上移動的 期間，從搭載在頭單元9上的液滴排出頭50,向母基板B排出液狀體。
[0084] 在此情況下，膜形成區(qū)域103r、103g、103b的長邊方向與副掃描方向（Y方向）一 致。膜形成區(qū)域1〇31"'、1038'、10313'的長邊方向與主掃描方向（乂方向）一致。此外，排列 在液滴排出頭50上的噴嘴列52a，利用頭單元旋轉(zhuǎn)機構(gòu)70,以與副掃描方向（Y方向）一致 的方式配置。其結(jié)果，如圖9 (a)所示，由多個噴嘴52構(gòu)成的噴嘴列52a，沿著矩形形狀的膜 形成區(qū)域103r、103g、103b的長邊方向配置。
[0085] 例如，在主掃描中（X方向上），在被排出紅色的液狀體的膜形成區(qū)域103r上，獲得 4個噴嘴52,并從各個噴嘴52排出液滴D1。由此，在膜形成區(qū)域103r上，分別涂敷4滴的 液滴D1。所著落的液滴D1，在膜形成區(qū)域1031內(nèi)濡濕擴散。此外，在主掃描方向上，通過 控制排出定時，能夠?qū)τ谀ば纬蓞^(qū)域l〇3r的任意一個，使液滴D1著落在任意的位置。副掃 描方向（Y方向）上的著落位置，根據(jù)膜形成區(qū)域l〇3r的副掃描方向上的配置間距與噴嘴 間距P的關(guān)系，對于每一膜形成區(qū)域103r，并不限定于必須相同。此外，在第2面板E2的其 他膜形成區(qū)域103g、103b，也同樣各排出4滴所期望的液狀體作為液滴D1。
[0086] 如圖9 (b)所示，在上述主掃描中，在例如相對于膜形成區(qū)域1031面積大且排列方 向正交的膜形成區(qū)域l〇3r'上，獲得2個噴嘴52。然后，從各個噴嘴52,在主掃描方向上排 出多個液滴D1。由此，在各膜形成區(qū)域103r'，涂敷液滴D1。在主掃描方向上，通過控制排 出定時，對于膜形成區(qū)域l〇3r'的任意一個，能夠使液滴D1著落在任意的位置。另一方面， 副掃描方向（Y方向）上的著落位置，根據(jù)膜形成區(qū)域l〇3r'的副掃描方向上的配置間距與 噴嘴間距P的關(guān)系，雖然在每一膜形成區(qū)域103r'上獲得2個噴嘴52,但是并不限定于必須 相同。此外，在第1面板E1的其他膜形成區(qū)域103g'、103b'，也同樣將所期望的液狀體排出 為液滴D1。
[0087] 如上所述，在第1實施例的排出工序中，以在相對于膜形成區(qū)域103r'、103g'、 103b'面積小的膜形成區(qū)域103r、103g、103b上，獲得更多的噴嘴52的方式，確定頭單元9 與母基板B的位置，能夠在各個膜形成區(qū)域103r、103g、103b和膜形成區(qū)域103r'、103g'、 103b'，排出液滴D1。
[0088] 以下，描述第1實施例的效果。
[0089] (1)如果采用本實施例的液狀體的排出方法，則能夠?qū)娮炝?2a的配置方向，設(shè) 定為與作為面積大的第1被排出區(qū)域的膜形成區(qū)域1〇31*'、1038'、10313'的短邊方向以及作 為面積小的第2被排出區(qū)域的膜形成區(qū)域103r、103g、103b的長邊方向相同的方向。也就 是說，能夠在面積大的膜形成區(qū)域103r'、103g'、103b'其短邊方向上，在面積小的膜形成區(qū) 域103r、103g、103b其長邊方向上，配置噴嘴52。因此，即使面積不同的第1被排出區(qū)域及 第2被排出區(qū)域混合存在于同一基板內(nèi)，也能夠較多地配置能夠在各個被排出區(qū)域內(nèi)排出 液狀體的噴嘴的數(shù)量。因而，能夠減少使液狀體被排出在被排出區(qū)域內(nèi)的偏倚的位置、發(fā)生 液狀體的排出量的偏倚的情況。其結(jié)果，能夠使在被排出區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度的不均 勻減輕。
[0090] (2)如果采用本實施例的液狀體的排出方法，則能夠使在排列方向相互正交的、面 積不同的膜形成區(qū)域l〇3r'、103g'、103b'及膜形成區(qū)域103r、103g、103b內(nèi)形成的著色層 103的厚度的不均勻減輕。也就是說，能夠以高的生產(chǎn)率制造著色層103的排列方向不同、 大小不同的至少2種濾色器100。
[0091] (第2實施例）
[0092] 在此，關(guān)于第2實施例的濾色器的制造方法，參照圖10及圖11進行說明。圖10 是示出第2實施例的液狀體的排出工序中的頭單元與母基板的相對配置的概要俯視圖，圖 11是示出第2實施例的液狀體的排出工序中的液滴的配置的概要俯視圖。此外，圖10及圖 11中所示的X方向、Y方向，表示與圖1中所示的X方向、Y方向相同的方向。此外，關(guān)于與 第1實施例相同的結(jié)構(gòu)及內(nèi)容，使符號相同并省略說明。
[0093] 第2實施例中的母基板，與第1實施例的母基板B同樣，具有7個第2面板E2和 4個第1面板E1。因而，在第2面板E2上，作為第2被排出區(qū)域的矩形形狀的膜形成區(qū)域 103r、103g、103b矩陣狀地排列多個，在第1面板E1上，作為第1被排出區(qū)域的矩形形狀的 膜形成區(qū)域l〇3r'、103g'、103b'矩陣狀地排列多個。
[0094] 在液狀體的排出工序中，使用圖1中所示的液狀體排出裝置10,以母基板B的長 邊，相對于頭移動機構(gòu)30中配置在副掃描方向（Y方向）上的多個頭單元9,成為大致平行 的方式，將母基板B定位在臺架5上。但是，在第2實施例中，如圖10所示，使用頭單元旋 轉(zhuǎn)機構(gòu)70,使頭單元9以點1為中心相對于Y方向旋轉(zhuǎn)α度。其結(jié)果，使排列在液滴排出 頭50上的噴嘴列52a也旋轉(zhuǎn)α度地配置。
[0095] 也就是說，如圖11(a)所示，由多個噴嘴52構(gòu)成的噴嘴列52a，從矩形形狀的膜形 成區(qū)域103r、103g、103b的長邊方向具有α度的角度地配置。然后，在使臺架5在主掃描 方向（X方向）上移動的期間，從搭載在頭單元9上的液滴排出頭50,向母基板Β排出液狀 體。在此情況下，噴嘴列52a，由于相對于Υ方向具有α度的角度，所以其對于膜形成區(qū)域 l〇3r的實質(zhì)的液滴的配置間隔PI (PXCos α )，比噴嘴列52a的噴嘴間距Ρ變窄。
[0096] 因此，在主掃描中（X方向上），在被排出紅色的液狀體的膜形成區(qū)域103r上，獲得 5個噴嘴52,并從各個噴嘴52排出液滴D1。由此，在膜形成區(qū)域103r上，分別涂敷5滴的 液滴D1。在主掃描方向上，通過控制排出定時，能夠?qū)τ谀ば纬蓞^(qū)域1031的任意一個，使液 滴D1著落在任意的位置。也就是說，能夠在膜形成區(qū)域1031的X方向的任意的位置，1列 地配置液滴。此外，在第2面板E2的其他膜形成區(qū)域103g、103b，也同樣各排出5滴所期望 的液狀體作為液滴D1。
[0097] 如圖11(b)所示，同樣，噴嘴列52a，由于相對于Y方向具有α度的角度，所以其對 于膜形成區(qū)域l〇3r'的實質(zhì)的液滴的配置間隔PI (PXCos α )，比噴嘴列52a的噴嘴間距Ρ 變窄，膜形成區(qū)域l〇3r'相對于膜形成區(qū)域1031面積大且排列方向正交。因而，在膜形成 區(qū)域103r'上，獲得3個噴嘴52。然后，從各個噴嘴52排出液滴D1。由此，在各膜形成區(qū) 域103r'的副掃描方向上，涂敷3滴的液滴D1。在主掃描方向上，通過控制排出定時，能夠 對于膜形成區(qū)域l〇3r'的任意一個，使液滴D1著落在任意的位置。此外，在第1面板E1的 其他膜形成區(qū)域l〇3g'、103b'，也同樣將所期望的液狀體排出為液滴D1。
[0098] 以下，描述第2實施例的效果。
[0099] (1)如果采用本實施例的液狀體的排出方法，則通過以相對于作為第1被排出區(qū) 域的膜形成區(qū)域l〇3r'、103g'、103b'的短邊方向具有角度α的方式配置噴嘴列52a，能夠 使配置在膜形成區(qū)域103r'、103g'、103b'的短邊方向上的液滴的配置間隔P1比噴嘴間距 P實質(zhì)上變窄。也就是說，能夠?qū)τ谀ば纬蓞^(qū)域l〇3r'、103g'、103b'，從更多的噴嘴52排出 液狀體。因此，能夠減少使液狀體被排出在被排出區(qū)域內(nèi)的偏倚的位置、發(fā)生液狀體的排出 量的偏倚的情況。其結(jié)果，能夠使在被排出區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度的不均勻減輕。
[0100] (2)如果采用本實施例的液狀體的排出方法，則能夠?qū)τ诒慌懦鰠^(qū)域，使更多的噴 嘴52與之相對并排出液狀體。因此，即使存在噴嘴52的排出特性的偏差，也能夠通過使用 更多的噴嘴52,使排出特性的偏差分散。其結(jié)果，能夠使在被排出區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度 的不均勻減輕。
[0101] (3)如果采用本實施例的液狀體的排出方法，則通過調(diào)整頭單元9的旋轉(zhuǎn)角度α， 能夠與噴嘴間距Ρ無關(guān)地任意地設(shè)定著落在被排出區(qū)域的液滴的配置間隔Ρ1。因此，能夠 與被排出區(qū)域的副掃描方向的尺寸無關(guān)地，從較多的噴嘴52將液狀體排出為液滴。因此， 能夠減少使液狀體被排出在被排出區(qū)域內(nèi)的偏倚的位置、發(fā)生液狀體的排出量的偏倚的情 況。此外，即使存在噴嘴52的排出特性的偏差，也能夠通過使用多個噴嘴52,使排出特性的 偏差分散。其結(jié)果，能夠使在被排出區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度的不均勻減輕。
[0102] (4)此外，由于能夠任意地設(shè)定著落在被排出區(qū)域的液滴的配置間隔Ρ1，所以能 夠?qū)τ诒慌懦鰠^(qū)域，高密度、高精細地排出液狀體。因此，能夠形成高密度、高精細的薄膜， 能夠有助于顯示裝置的高畫質(zhì)化。
[0103] (5)如果采用本實施例的液狀體的排出方法，則能夠使在排列方向相互正交且面 積不同的膜形成區(qū)域l〇3r'、103g'、103b'以及膜形成區(qū)域103r、103g、103b內(nèi)形成的著色 層103的厚度的不均勻減輕。也就是說，能夠以高的生產(chǎn)率制造著色層103的排列方向不 同、大小不同的至少2種濾色器100。
[0104] (第3實施例）
[0105] 在此，關(guān)于第3實施例的濾色器的制造方法，參照圖12進行說明。圖12是示出第 3實施例的液狀體的排出工序中的液滴的配置的概要俯視圖。并且，圖12中所示的X方向、 Y方向，表不與圖1中所不的X方向、Y方向相同的方向。此夕卜，關(guān)于與第1以及第2實施例 相同的結(jié)構(gòu)及內(nèi)容，使符號相同并省略說明。
[0106] 第3實施例中的母基板，與第1以及第2實施例的母基板B同樣，具有7個第2面 板E2和4個第1面板E1。因而，在第2面板E2上，作為第2被排出區(qū)域的矩形形狀的膜形 成區(qū)域103r、103g、103b矩陣狀地排列多個，在第1面板E1上，作為第1被排出區(qū)域的矩形 形狀的膜形成區(qū)域l〇3r'、103g'、103b'矩陣狀地排列多個。
[0107] 在液狀體的排出工序中，使用圖1中所示的液狀體排出裝置10,以母基板B的長 邊，相對于頭移動機構(gòu)30中配置在副掃描方向（Y方向）上的多個頭單元9,成為大致平行 的方式，將母基板B定位在臺架5上。然后，使臺架5在主掃描方向（X方向）上移動，并從 搭載在頭單元9上的液滴排出頭50向母基板B排出液狀體。
[0108] 此時，搭載在頭單元9上的液滴排出頭50的噴嘴列52a，既可以相對于副掃描方向 具有角度α，也可以配置在與副掃描方向相同的方向上。在本實施例中，以噴嘴列52a配 置在與副掃描方向相同的方向上的情況為例進行說明。此外，在本實施例中，為了說明的簡 便，以在作為第1被排出區(qū)域的膜形成區(qū)域103r'、103g'、103b'上排出液狀體的情況為例 進行說明。
[0109] 在此情況下，如圖12(a)所示，由多個噴嘴52i(i是從1至i的自然數(shù)）構(gòu)成的噴 嘴列52a，沿著膜形成區(qū)域103r'、103g'、103b'的短邊方向配置。在本實施例中，由于膜形 成區(qū)域103r'、103g'、103b'的短邊方向的寬度形成得較小，所以若例如從2個噴嘴52p522 同時在膜形成區(qū)域103r'上排出紅色的液狀體，則有可能會在相鄰的膜形成區(qū)域103g'上 混入紅色的液狀體。因此，對于被排出紅色的液狀體的膜形成區(qū)域103r'，需要僅使用1個 噴嘴52i。此外，同樣，對于馬賽克狀地配設(shè)的其他膜形成區(qū)域103r'，使用1個噴嘴52 6。
[0110] 若進行邊利用圖1中所示的臺架5使母基板B在圖12中X(+)方向上移動，邊從 噴嘴52^526排出液滴D1的第1次排出工作，則如圖12(a)所示，在膜形成區(qū)域103r'的圖 中左側(cè)，液滴D1配置為列狀。此外，通過控制排出定時，X方向的配置間隔能夠調(diào)整為任意 的間隔。
[0111] 接著，利用圖1中所示的頭移動機構(gòu)30,使頭單元9在圖12中γ(-)方向上微量 移動。通過調(diào)整移動距離，如圖12(b)所示，噴嘴52 2及噴嘴527與被排出紅色的液狀體的 膜形成區(qū)域l〇3r'相對。然后，若進行邊使母基板Β在圖12中Χ(-)方向上移動，邊從噴嘴 52 2、527排出液滴02的第2次排出工作，則在膜形成區(qū)域1031*'的圖中右側(cè)，液滴02配置 為列狀。
[0112] 這樣，通過在母基板Β的X方向（主掃描方向）的移動以及從噴嘴52i的液狀體的 排出期間進行頭單元9的Y方向（副掃描方向）的微量移動，能夠在膜形成區(qū)域103r'的 Y方向的不同位置，從不同的噴嘴52i將液狀體配置為液滴D。
[0113] 此外，在期望液狀體的排出量的調(diào)整或者更高密度的液滴的配置的情況下，如圖 12 (c)所示，在第2次排出工作之后，利用圖1中所示的頭移動機構(gòu)30使頭單元9在圖12中 Y(-)方向上進一步微量移動，使噴嘴522以及噴嘴527與由液滴D1以及液滴D2構(gòu)成的液滴 列的中間相對，并進行第3次排出工作，該第3次排出工作邊使母基板Β在圖12中Χ(+)方 向上移動，邊從噴嘴52 2、527排出液滴D3。由此，在膜形成區(qū)域103r'上，形成由液滴D1? D3構(gòu)成的3列液滴列。
[0114] 以下，描述第3實施例的效果。
[0115] (1)如果采用本實施例的液狀體的排出方法，則通過在母基板B的X方向（主掃描 方向）的移動以及從噴嘴52i的液狀體的排出期間進行頭單元9的Y方向（副掃描方向） 的微量移動，能夠在膜形成區(qū)域103的Y方向的不同位置，從不同的噴嘴52i將液狀體配置 為液滴D。因此，能夠?qū)嵸|(zhì)上增多能夠配置在膜形成區(qū)域103的液滴D。因此，能夠減少使 液狀體被排出在膜形成區(qū)域103內(nèi)的偏倚的位置、發(fā)生液狀體的排出量的偏倚的情況。其 結(jié)果，能夠使在被排出區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度的不均勻減輕。
[0116] (2)如果采用本實施例的液狀體的排出方法，則能夠?qū)τ谀ば纬蓞^(qū)域103使更多 的噴嘴52i與之相對并排出液狀體。因此，即使存在噴嘴52的排出特性的偏差，也能夠通 過使用更多的噴嘴52i，使排出特性的偏差分散。其結(jié)果，能夠使在膜形成區(qū)域103內(nèi)形成 的薄膜的厚度的不均勻減輕。
[0117] (3)如果采用本實施例的液狀體的排出方法，則通過調(diào)整利用頭移動機構(gòu)30所實 現(xiàn)的頭單元9的移動量，能夠與噴嘴間距P無關(guān)地任意地設(shè)定著落在被排出區(qū)域的液滴的 配置間隔。因此，能夠與被排出區(qū)域的副掃描方向的尺寸無關(guān)地，從較多的噴嘴52將液狀 體排出為液滴。因此，能夠減少使液狀體被排出在被排出區(qū)域內(nèi)的偏倚的位置、發(fā)生液狀體 的排出量的偏倚的情況。此外，即使存在噴嘴52的排出特性的偏差，也能夠通過使用多個 噴嘴52,使排出特性的偏差分散。其結(jié)果，能夠使在被排出區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度的不均 勻減輕。
[0118] (4)此外，由于能夠任意地設(shè)定著落在被排出區(qū)域的液滴的配置間隔，所以能夠?qū)?于被排出區(qū)域，高密度、高精細地排出液狀體。因此，能夠形成高密度、高精細的薄膜，能夠 有助于顯示裝置的高畫質(zhì)化。
[0119] (5)如果采用本實施例的液狀體的排出方法，則能夠使在排列方向相互正交且面 積不同的膜形成區(qū)域l〇3r'、103g'、103b'以及膜形成區(qū)域103r、103g、103b內(nèi)形成的著色 層103的厚度的不均勻減輕。也就是說，能夠以高的生產(chǎn)率制造著色層103的排列方向不 同、大小不同的至少2種濾色器100。
[0120] (第4實施例）
[0121] 接著，關(guān)于使用了前述的液狀體的配置方法的有機EL裝置的制造方法，進行說 明。
[0122] (有機EL裝置）
[0123] 圖13是示出有機EL裝置的主要部分結(jié)構(gòu)的概要剖面圖。如圖13所示，本實施方 式的作為電光裝置的有機EL裝置600,具備：元件基板601、密封基板620,元件基板601具 有作為有機EL元件的發(fā)光元件部603,密封基板620將元件基板601與空間622隔開并進 行密封固定。此外，元件基板601，在元件基板601上具備電路元件部602,發(fā)光元件部603 重疊形成在電路元件部602上并由電路元件部602進行驅(qū)動。在發(fā)光元件部603上，3色的 發(fā)光層617R、617G、617B形成在作為各個色要素區(qū)域的被排出區(qū)域Q，成為條紋狀。元件基 板601，其與3色的發(fā)光層617R、617G、617B對應(yīng)的3個被排出區(qū)域Q作為1組像素，該像素 在元件基板601的電路元件部602上矩陣狀地配置。本實施方式的有機EL裝置600,使從 發(fā)光元件部603發(fā)出的光出射至元件基板601偵k
[0124] 密封基板620,由玻璃或金屬構(gòu)成，經(jīng)由密封樹脂接合在元件基板601上，并且在 其被密封的內(nèi)側(cè)的表面上，粘貼有吸氣劑621。吸氣劑621，吸收侵入到元件基板601與密 封基板620之間的空間622中的水或氧氣，防止發(fā)光元件部603因所侵入的水或氧氣而劣 化。此外，該吸氣劑621也可以省略。
[0125] 本實施方式的元件基板601，在電路元件部602上具有多個被排出區(qū)域Q，并具備： 作為區(qū)劃多個被排出區(qū)域Q的間隔壁部的堤欄618、形成在多個被排出區(qū)域Q的電極613、 疊層在電極613上的正孔注入/輸送層617a。此外，具備作為色要素的發(fā)光兀件部603,該 作為色要素的發(fā)光元件部603具有在多個被排出區(qū)域Q內(nèi)提供包含發(fā)光層形成材料的3種 液狀體而形成的發(fā)光層617R、617G、617B。堤欄618包括下層堤欄618a和實質(zhì)上區(qū)劃被排 出區(qū)域Q的上層堤欄618b，下層堤欄618a以伸出至被排出區(qū)域Q的內(nèi)側(cè)的方式設(shè)置，并且 為了防止電極613與各發(fā)光層617R、617G、617B直接接觸從而電短路，下層堤欄618a由Si0 2 等無機絕緣材料形成。
[0126] 元件基板601由例如玻璃等透明的基板構(gòu)成，在元件基板601上形成有由氧化硅 膜構(gòu)成的基底保護膜606,在該基底保護膜606上形成有由多晶硅構(gòu)成的島狀的半導(dǎo)體膜 607。此外，在半導(dǎo)體膜607中，源區(qū)域607a及漏區(qū)域607b通過高濃度P離子注入而形成。 此外，未被導(dǎo)入P的部分成為溝道區(qū)域607c。進而，形成有覆蓋基底保護膜606及半導(dǎo)體膜 607的透明的柵絕緣膜608,在柵絕緣膜608上，形成有由Al、Mo、Ta、Ti、W等構(gòu)成的柵電極 609,在柵電極609及柵絕緣膜608上，形成有透明的第1層間絕緣膜611a和第2層間絕緣 膜611b。柵電極609設(shè)置在與半導(dǎo)體膜607的溝道區(qū)域607c對應(yīng)的位置處。此外，貫通第 1層間絕緣膜611a以及第2層間絕緣膜611b，形成有分別與半導(dǎo)體膜607的源區(qū)域607a、 漏區(qū)域607b連接的接觸孔612a、612b。并且，在第2層間絕緣膜611b上，由ITO(Indium Tin Oxide，氧化銦錫）等構(gòu)成的透明的電極613被圖案形成并配置為預(yù)定的形狀（電極形 成工序），并且一個接觸孔612a連接至該電極613。此外，另一個接觸孔612b連接至電源 線614。這樣，在電路元件部602上，形成有連接至各電極613的驅(qū)動用的薄膜晶體管615。 此外，在電路元件部602上，雖然也形成有保持電容和開關(guān)用的薄膜晶體管，但是在圖13中 省略了它們的圖示。
[0127] 發(fā)光元件部603,具備作為陽極的電極613以及順次疊層在電極613上的正孔注 入/輸送層617a、各發(fā)光層617R、617G、617B(總稱發(fā)光層617)以及以覆蓋上層堤欄618b 和發(fā)光層617b的形式疊層而成的陰極604。此外，如果陰極604、密封基板620以及吸氣劑 621由透明的材料構(gòu)成，則能夠從密封基板620側(cè)使發(fā)出的光出射。
[0128] 有機EL裝置600,具有與柵電極609連接的掃描線（圖示省略）和與源區(qū)域607a 連接的信號線（圖示省略），若利用傳送至掃描線的掃描信號將開關(guān)用的薄膜晶體管（圖示 省略）導(dǎo)通，則此時的信號線的電位被保持電容所保持，并且與該保持電容的狀態(tài)相應(yīng)地， 確定驅(qū)動用的薄膜晶體管615的導(dǎo)通、截止?fàn)顟B(tài)。并且，經(jīng)由驅(qū)動用的薄膜晶體管615的溝 道區(qū)域607c，從電源線614向電極613流過電流，進而經(jīng)由正孔注入/輸送層617a和發(fā)光 層617b向陰極604流過電流。發(fā)光層617b，與流過其的電流量相應(yīng)地發(fā)光。有機EL裝置 600,利用這樣的發(fā)光元件部603的發(fā)光機構(gòu)，能夠顯示所期望的文字、圖像等。
[0129] (有機EL裝置的制造方法）
[0130] 接著，關(guān)于本實施方式的有機EL裝置的制造方法，根據(jù)圖14以及圖15進行說明。 圖14是示出有機EL裝置的制造方法的流程圖，圖15是示出有機EL裝置的制造方法的概 要剖面圖。此外，在圖15(a)?（f)中，形成在元件基板601上的電路元件部602,省略了圖 /_J、1 〇
[0131] 如圖14所示，有機EL裝置的制造方法，包括：在元件基板601的與多個被排出 區(qū)域Q對應(yīng)的位置形成電極613的工序，在電極613上以一部分上搭的方式形成下層堤欄 618a、進而在下層堤欄618a上以實質(zhì)上區(qū)劃被排出區(qū)域Q的方式形成上層堤欄618b的堤 欄（間隔壁部）形成工序。此外，還包括：進行由上層堤欄618b所區(qū)劃的被排出區(qū)域Q的 表面處理的工序、在表面處理后的被排出區(qū)域Q提供包含正孔注入/輸送層形成材料的液 狀體從而排出描繪正孔注入/輸送層617a的工序、使所排出的液狀體干燥從而使正孔注入 /輸送層617a成膜的工序。此外，還包括：對形成了正孔注入/輸送層617a的被排出區(qū)域 Q進行表面處理的工序、作為色要素描繪工序的發(fā)光層描繪工序、使所排出的3種液狀體干 燥從而使發(fā)光層617b成膜的工序，其中作為色要素描繪工序的發(fā)光層描繪工序在表面處 理后的被排出區(qū)域Q提供包含作為色要素形成材料的發(fā)光層形成材料的3種液狀體從而排 出描繪發(fā)光層617b。進而，還包括：以覆蓋上層堤欄618b和發(fā)光層617b的方式形成陰極 604的工序。各液狀體對于被排出區(qū)域Q的提供，使用液狀體排出裝置10來進行。
[0132] 圖14的步驟S11，是電極（陽極）形成工序。在步驟S11，如圖15(a)所示，在已 經(jīng)形成了電路元件部602的元件基板601的、與被排出區(qū)域Q對應(yīng)的位置，形成電極613。 作為形成方法，例如舉出如下方法：在元件基板601的表面，使用ΙΤ0等透明電極材料，在真 空中用噴鍍法或蒸鍍法形成透明電極膜，其后，用光刻法僅使所需的部分殘留來進行蝕刻， 從而形成電極613。此外，也可以是以下的方法：用光致抗蝕劑預(yù)先覆蓋元件基板601，并以 使形成電極613的區(qū)域開口的方式進行曝光、顯影，然后，在開口部中形成ITO等透明電極 膜，并且除去殘存的光致抗蝕劑。然后，前進至步驟S12。
[0133] 圖14的步驟S12,是堤欄（間隔壁部）形成工序。在步驟S12,如圖15(b)所示， 以覆蓋元件基板601的多個電極613的一部分的方式，形成下層堤欄618a。作為下層堤欄 618a的材料，使用作為無機材料的絕緣性的Si0 2 (氧化硅）。作為下層堤欄618a的形成方 法，例如舉出如下方法：與后面形成的發(fā)光層617b對應(yīng)地，使用抗蝕劑等對各電極613的表 面進行掩蔽，然后，將掩蔽后的元件基板601投入到真空裝置中，通過以Si0 2作為靶子或者 原料進行噴鍍、真空蒸鍍等，而形成下層堤欄618a?？刮g劑等的掩蔽，在之后剝離。此外，下 層堤欄618a，由于利用Si0 2形成，所以如果其膜厚度小于等于200nm，則將具有充分的透明 性，從而即使在后面疊層正孔注入/輸送層617a以及發(fā)光層617b，也不會妨礙發(fā)光。
[0134] 接著，以實質(zhì)上區(qū)劃各被排出區(qū)域Q的方式，在下層堤欄618a上形成上層堤欄 618b。作為上層堤欄618b的材料，期望對于后述的包含發(fā)光層形成材料的3種液狀體84R、 84G、84B的溶劑具有耐久性，進而，優(yōu)選：通過以氟類氣體為處理氣體的等離子體處理能夠 四氟乙烯化，例如丙烯酸樹脂、環(huán)氧樹脂、感光性聚酰亞胺等這樣的有機材料。作為上層堤 欄618b的形成方法，例如舉出如下方法：在形成了下層堤欄618a的元件基板601的表面， 用輥涂法、旋涂法等涂敷感光性的前述有機材料，使之干燥從而形成厚度大體為2 μ m的感 光性樹脂層，然后，通過使掩模在預(yù)定的位置與元件基板601相對并進行曝光、顯影，來形 成上層堤欄618b，其中該掩模以與被排出區(qū)域Q對應(yīng)的大小設(shè)置了開口部。由此，形成作為 具有下層堤欄618a和上層堤欄618b的間隔壁部的堤欄618。然后，前進至步驟S13。
[0135] 圖14的步驟S13,是對被排出區(qū)域Q進行表面處理的工序。在步驟S13,對形成了 堤欄618的元件基板601的表面，首先以0 2氣為處理氣體，進行等離子體處理。由此，使電 極613的表面、下層堤欄618a的伸出部以及上層堤欄618b的表面（包含壁面）活性化從 而進行親液處理。接著，以CF 4等氟類氣體為處理氣體進行等離子體處理。由此，僅對由作 為有機材料的感光性樹脂構(gòu)成的上層堤欄618b的表面，氟類氣體發(fā)生反應(yīng)從而進行抗液 處理。然后，前進至步驟S14。
[0136] 圖14的步驟S14,是正孔注入/輸送層形成工序。在步驟S14,如圖15(c)所示， 將包含正孔注入/輸送層形成材料的液狀體82提供在被排出區(qū)域Q。作為提供液狀體82 的方法，使用前述的液狀體排出裝置10。從液滴排出頭50排出的液狀體82,作為液滴著落 在元件基板601的電極613上并濡濕擴散。液狀體82,與被排出區(qū)域Q的面積對應(yīng)地作為 液滴被排出所需量，并且因表面張力而成為隆起的狀態(tài)。由于利用液狀體排出裝置10,排出 并描繪1種液狀體82,所以可利用至少1次主掃描實現(xiàn)排出描繪。然后，前進至步驟S15。
[0137] 圖14的步驟S15,是干燥、成膜工序。在步驟S15,通過用例如燈退火等方法對元 件基板601進行加熱，使液狀體82的溶劑成分干燥并除去，在電極613的由下層堤欄618a 所區(qū)劃的區(qū)域形成正孔注入/輸送層617a。在本實施方式中，作為正孔注入/輸送層形成 材料，使用PEDOT (Polyethylene Dioxy Thiophene,聚乙烯二氧噻吩）。此外，在此情況下， 雖然在各被排出區(qū)域Q形成了由相同材料構(gòu)成的正孔注入/輸送層617a，但是也可以與后 面的發(fā)光層的形成材料對應(yīng)地對于每一被排出區(qū)域Q改變正孔注入/輸送層617a的材料。 然后，前進至步驟S16。
[0138] 圖14的步驟S16,是對形成了正孔注入/輸送層617a的元件基板601進行表面處 理的工序。在步驟S16,在使用上述的正孔注入/輸送層形成材料而形成了正孔注入/輸送 層617a的情況下，由于其表面對于在下面的步驟S17中使用的3種液狀體84R、84G、84B具 有抗液性，所以至少對被排出區(qū)域Q的區(qū)域內(nèi)進行表面處理，以便再次具有親液性。作為表 面處理的方法，涂敷在3種液狀體84R、84G、84B中使用的溶劑并使之干燥。作為溶劑的涂 敷方法，舉出噴濺法、旋涂法等方法。然后，前進至步驟S17。
[0139] 圖14的步驟S17,是RGB發(fā)光層描繪工序。在步驟S17,如圖15(d)所示，應(yīng)用前述 的液狀體的配置方法，從液狀體排出裝置10的不同液滴排出頭50,在多個被排出區(qū)域Q提 供包含發(fā)光層形成材料的3種液狀體84R、84G、84B。液狀體84R包含形成發(fā)光層617R (紅 色）的材料，液狀體84G包含形成發(fā)光層617G (綠色）的材料，液狀體84B包含形成發(fā)光層 617B (藍色）的材料。所著落的各液狀體841?、846、848，在被排出區(qū)域〇濡濕擴散，其剖面 形狀隆起為圓弧狀。然后，前進至步驟S18。
[0140] 圖14的步驟S18,是干燥、成膜工序。在步驟S18,如圖15(e)所示，使所排出描繪 的各液狀體84R、84G、84B的溶劑成分干燥并除去，以在各被排出區(qū)域Q的正孔注入/輸送 層617a上疊層各發(fā)光層617R、617G、617B的方式進行成膜化。作為被排出描繪了各液狀體 84R、84G、84B的元件基板601的干燥方法，優(yōu)選可將溶劑的蒸發(fā)速度設(shè)定為大致固定的減 壓干燥。然后，前進至步驟S19。
[0141] 圖14的步驟S19,是陰極形成工序。在步驟S19,如圖15(f)所示，以覆蓋元件基板 601的各發(fā)光層617R、617G、617B和上層堤欄618b的表面的方式，形成陰極604。作為陰極 604的材料，優(yōu)選將Ca、Ba、Al等金屬、LiF等氟化物組合來使用。特別地，優(yōu)選在與發(fā)光層 近的一側(cè)形成功率函數(shù)小的Ca、Ba、LiF膜，在遠的一側(cè)形成功率函數(shù)大的A1等膜。此外， 也可以在陰極604上疊層Si0 2、SiN等保護層。如果這樣，則能夠防止陰極604的氧化。作 為陰極604的形成方法，舉出蒸鍍法、噴鍍法、CVD法等。特別地，在能夠防止因發(fā)光層的熱 而引起的損傷這一點上，優(yōu)選蒸鍍法。使用這樣形成的元件基板601制造有機EL裝置600。
[0142] 以下，描述第4實施方式的效果。
[0143] (1)如果采用本有機EL裝置600的制造方法，則在發(fā)光層描繪工序中，能夠在面積 不同并且排列方向相互正交的元件基板601的2種被排出區(qū)域Q，使用前述的液狀體的排 出方法排出3種液狀體84R、84G、84B，從而形成作為3種色要素的發(fā)光層617R、617G、617B。 并且，能夠使在2種被排出區(qū)域Q內(nèi)形成的發(fā)光層617R、617G、617B的厚度的不均勻減輕， 并且以高的生產(chǎn)率制造作為有機EL元件的發(fā)光元件部603的排列方向不同的至少2種有 機EL裝置600。
[0144] 以上，雖然關(guān)于本發(fā)明的實施方式進行了說明，但是對于上述實施方式，能夠在不 脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)加以各種變形。例如，上述實施方式以外的變形例，如以下所 述。
[0145] (變形例1)
[0146] 在上述實施方式中說明的母基板B中的第1面板E1以及第2面板E2的布局，僅 是一實施例，而并不限定于此。第1面板E1以及第2面板E2,在母基板B中，只要具有某一 規(guī)則性地進行配置即可。此外，在本實施方式中說明的第1被排出區(qū)域以及第2被排出區(qū) 域的布局，雖然是關(guān)于所謂的條紋方式的情況進行說明的，但是并不限定于此。也可以是所 謂的馬賽克方式或三角形（夕）方式的布局。
[0147] (變形例2)
[0148] 在上述實施方式中，雖然是以第1被排出區(qū)域以及第2被排出區(qū)域的面積不同的 情況為例進行說明的，但是并不限定于此。例如，在第1被排出區(qū)域以及第2被排出區(qū)域是 相同面積而排列方向不同的情況下，也能夠?qū)Χ踢叿较蜓刂鴩娮炝?2a的被排出區(qū)域，應(yīng) 用在上面說明的液狀體的排出方法，從而更多地設(shè)定在被排出區(qū)域的短邊方向上獲得的噴 嘴52的數(shù)量。因此，能夠減少使液狀體被排出在被排出區(qū)域內(nèi)的偏倚的位置、發(fā)生液狀體 的排出量的偏倚的情況。
【權(quán)利要求】
1. 一種液狀體的排出方法，其特征在于，向在第1面板排列的大致矩形形狀的第1被排 出區(qū)域和在第2面板排列的面積比前述第1被排出區(qū)域小的大致矩形形狀的第2被排出區(qū) 域排出液狀體，包括： 以使前述第1被排出區(qū)域的長邊方向和前述第2被排出區(qū)域的長邊方向大致正交的 方式，并且，以前述第1面板和前述第2面板不在前述第2被排出區(qū)域的長邊方向并列的方 式，配設(shè)前述第1面板和前述第2面板； 排出工序，其邊使排出前述液狀體的多個噴嘴在前述第2被排出區(qū)域的長邊方向配設(shè) 為列狀而成的噴嘴列以及前述第1面板和前述第2面板在前述第1被排出區(qū)域的長邊方向 上相對移動，邊從前述噴嘴排出前述液狀體； 從前述噴嘴排出且配置在前述第1被排出區(qū)域中的前述液狀體的、前述第1被排出區(qū) 域的短邊方向的配置間隔，以前述噴嘴列相對于前述短邊方向具有角度的方式配置。
2. 按照權(quán)利要求1所述的液狀體的排出方法，其特征在于： 在前述排出工序中，至少大于等于2個的前述噴嘴與前述第1被排出區(qū)域的短邊方向 的區(qū)域內(nèi)相對。
3. 按照權(quán)利要求1或2所述的液狀體的排出方法，其特征在于： 前述排出工序，在前述第1被排出區(qū)域的長邊方向的多次相對移動期間，使具有噴嘴 列的液滴排出頭與前述第1面板和前述第2面板在與前述第1被排出區(qū)域的長邊方向的主 掃描方向大致正交的副掃描方向上相對移動。
4. 一種濾色器的制造方法，其在前述第1被排出區(qū)域和前述第2被排出區(qū)域形成多色 的著色層，其特征在于： 該方法包括： 排出工序，其使用權(quán)利要求1?3中的任意一項所述的液狀體的排出方法，將包含著色 層形成材料的多色的液狀體排出在前述第1被排出區(qū)域和前述第2被排出區(qū)域；以及 成膜工序，其使被排出的前述液狀體固化而形成前述多色的著色層。
5. -種有機EL裝置的制造方法，該有機EL裝置具備多個有機EL元件，該多個有機 EL元件在前述第1被排出區(qū)域和前述第2被排出區(qū)域具有包含發(fā)光層的功能層，其特征在 于： 該方法包括： 排出工序，其使用權(quán)利要求1?3中的任意一項所述的液狀體的排出方法，將包含發(fā)光 層形成材料的液狀體排出在前述第1被排出區(qū)域和前述第2被排出區(qū)域；以及 成膜工序，其使被排出的前述液狀體固化而形成前述發(fā)光層。
【文檔編號】G02B5/20GK104118211SQ201410345605
【公開日】2014年10月29日 申請日期:2009年10月14日 優(yōu)先權(quán)日:2008年10月16日
【發(fā)明者】篠原亨 申請人:精工愛普生株式會社