專利名稱：：感光性樹脂組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種感光性樹脂組合物。
背景技術(shù)：
：液晶顯示裝置和觸摸屏等中，在構(gòu)成顯示裝置的濾色器和陣列基板之間，為了保持兩基板的間隔而設(shè)有間隔物。目前，作為該間隔物使用的是玻璃珠、塑料珠等球形顆粒。但是，如果使用這樣的球形顆粒，則由于該球形顆粒在玻璃基板上無規(guī)則地散布，會對TFT元件和電極等造成損傷，另外，如果該球形顆粒存在于透過像素部內(nèi)，則由于入射光的散射，液晶顯示元件的對比度會下降。由此，有人提出了用感光性樹脂組合物形成間隔物來代替球形顆粒的方法。應(yīng)用該方法時，由于可以在任意的場所形成間隔物，所以可以解決上述問題。作為這樣的感光性樹脂組合物，已知的是含有作為粘合劑樹脂的具有羧基和縮水甘油醚基的丙烯酸系共聚物、作為光聚合性化合物的二季戊四醇六丙烯酸酯(日本化藥(株)制KAYARADDPHA，不飽和雙鍵當量105g/eq)的組合物(參考專利文獻1)，并且公開了當使用該組合物形成間隔物圖案時，可以獲得耐溶劑性、耐熱性優(yōu)異的間隔物圖案。[專利文獻l]特開平11—133600號公報但是，當使用該感光性樹脂組合物在ITO(銦一錫氧化物)等透明導(dǎo)電膜上形成間隔物圖案時，如果是微細圖案，則在顯影、水洗工序中因圖案脫落而導(dǎo)致表面平滑性下降的問題。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種即使在ITO(銦一錫氧化物)等透明導(dǎo)電膜上也可以形成微細線寬圖案的感光性樹脂組合物。本發(fā)明人等對能夠解決上述課題的感光性樹脂組合物進行了研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)當感光性樹脂組合物中含有不飽和雙鍵當量在一定范圍內(nèi)的光聚合性化合物時，可以形成微細線寬的圖案。艮口，本發(fā)明提供了以下的[1]一[5]。[l].一種感光性樹脂組合物，其中含有粘合劑樹脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引發(fā)劑(C)和溶劑(D)，該粘合劑樹脂(A)是不飽和羧酸和/或不飽和羧酸酐(Al)、脂肪族多環(huán)式環(huán)氧化合物(A2)以及不同于(Al)和(A2)的可以與(Al)和(A2)共聚的單體(A3)的共聚物，而且光聚合性化合物(B)含有不飽和雙鍵當量為120—400g/eq的化合物。[2].如[1]中記載的感光性樹脂組合物，其中不飽和雙鍵當量為120—400g/eq的化合物是以式(BA)表示的化合物。CH20—RGCH20—RdRb-OCH2——C一CH2—O——CH2—C——CH20—Re(BA)CHO—R3CH20—Rf[式(BA)中，Ra—Rf分別獨立地表示氫原子或者式(BA—l)(BA一3)表示的任何一種基團，O<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>Ra—Rf中至少四個基是式(BA—1)(BA—3)所示的任何一種基，Ra—Rf中至少一個基是式(BA—2)或式(BA—3)所示的基團。][3].如[1]或[2]中記載的感光性樹脂組合物，其中具有脂肪族多環(huán)式環(huán)氧基的單體(A2)是選自式(I)表示的化合物和式(II)表示的化合物中的至少一種化合物。[式(I)和式(II)中，R分別獨立地表示氫原子或者可以被羥基取代的碳原子數(shù)1一4的烷基，X分別獨立地表示單鍵或者可以含有雜原子的碳原子數(shù)l一6的亞垸[4].一種圖案，其是使用[1]一[3]中記載的感光性樹脂組合物形成的。[5].—種顯示器，其中含有[4]中記載的圖案。具體實施方式下面，對本發(fā)明進行詳細說明。本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，含有粘合劑樹脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引發(fā)劑(C)和溶劑(D)。本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，通常粘合劑樹脂(A)、光聚合性化合物(B)和光聚合引發(fā)劑(C)以及任選的其它添加劑(F)溶解或分散于溶劑(D)中。本發(fā)明的感光性樹脂組合物優(yōu)選主要用作圖案形成材料。本發(fā)明中使用的粘合劑樹脂(A)是不飽和羧酸和/或不飽和羧酸酐(Al)、脂肪族多環(huán)式環(huán)氧化合物(A2)以及不同于(Al)和(A2)但可以與(Al)和(A2)共聚的單體(A3)的共聚物。粘合劑樹脂(A)優(yōu)選具有堿溶解性。作為上述不飽和羧酸和/或不飽和羧酸酑(Al)，具體地講，可列舉丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸等不飽和單羧酸類；基。]馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸(甲基富馬酸)、衣康酸等不飽和二羧酸類；和上述的不飽和二羧酸類酸酐；琥珀酸單[2—(甲基)丙烯酰氧基乙酯]、鄰苯二甲酸單[2—(甲基)丙烯酰氧基乙酯]等2元以上的多元羧酸的不飽和單[(甲基)丙烯酰氧基烷基頂旨類；a—(羥甲基)丙烯酸之類的在同一分子中含有羥基和羧基的不飽和丙烯酸酯類等。它們中，出于共聚合反應(yīng)性、對堿性水溶液的溶解性的考慮，優(yōu)選使用丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸酐等。它們可以單獨使用或?qū)?種以上組合使用。上述的脂肪族多環(huán)式環(huán)氧化合物(A2)是在脂肪族多環(huán)式化合物的環(huán)狀上具有環(huán)氧基的化合物，上述的脂肪族多環(huán)式環(huán)氧化合物(A2)優(yōu)選為在脂肪族多環(huán)式化合物的環(huán)狀上具有環(huán)氧基、而且具有不飽和鍵的化合物。作為該脂肪族多環(huán)式化合物，可列舉例如二環(huán)戊烷、三環(huán)癸垸等。作為脂肪族多環(huán)式環(huán)氧化合物(A2)，優(yōu)選列舉選自(I)表示的化合物和式(II)表示的化合物的至少一種化合物。式(I)和式(II)中，R分別獨立地表示氫原子或者可以被羥基取代的碳原子數(shù)1一4的烷基，X分別獨立地表示單鍵或者可以含有雜原子的碳原子數(shù)l一6的亞垸基。作為R，具體地，可列舉氫原子、甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基等烷基；羥甲基、l一羥乙基、2—羥乙基、l一羥基一正丙基、2—羥基一正丙基、3—羥基一正丙基、l一羥基一異丙基、2一羥基一異丙基、l一羥基一正丁基、2—羥基—正丁基、3—羥基一正丁基、4一羥基一正丁基等含有羥基的烷基。其中，優(yōu)選列舉氫原子、甲基、羥甲基、l一羥乙基、2—羥乙基，更優(yōu)選列舉氫原子、甲基。作為X，具體地，可列舉單鍵；亞甲基、亞乙基、亞丙基等亞烷基；氧代亞甲基、氧代亞乙基、氧代亞丙基、硫代亞甲基、硫代亞乙基、硫代亞丙基、氨基亞甲基、氨基亞乙基、氨基亞丙基等含有雜原子的亞垸基等。其中，優(yōu)選列舉單鍵、亞甲基、亞乙基、氧代亞甲基、氧代亞乙基，更優(yōu)選列舉單鍵、氧代亞乙基。作為式(I)表示的化合物，可列舉例如式(I一l)式(1一15)表示的化合物等，優(yōu)選列舉式(I一l)、式(I一3)、式(I一5)、式(I一7)、式(1—9)、式(I一ll)式(1—15)，更優(yōu)選列舉式(I一l)、式(I一7)、式(1—9)、式(1—15)。H,C-C_C一0—C,H4—N'作為式(ii)表示的化合物，可列舉例如式(n—i)式(n—i5)表示的化合物等，優(yōu)選列舉式(n—1)、式(n—3)、式(n—5)、式ai—7)、式(U—9)、式(II—11)式(11—15)，更優(yōu)選列舉式(11—1)、式(II一7)、式(11—9)、式(11—15)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>城")選自式(I)表示的化合物和式(II)表示的化合物的至少一種化合物可以分別單獨使用，也可以以任意的比率混合使用。混合時，其混合比率以摩爾比計，優(yōu)選式(I):式(II)為5:9595:5，更優(yōu)選為10:卯90:10，進一步優(yōu)選為20:8080:20。作為上述的不同于(Al)和(A2)但是可以與(Al)和(A2)共聚的單體(A3)，可列舉例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯等(甲基)丙烯酸垸基酯類；丙烯酸甲酯、丙烯酸異丙酯等丙烯酸烷基酯類；(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸2—甲基環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸三環(huán)癸烷一8基酯(在該
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中，作為其常用名，稱為(甲基)丙烯酸二環(huán)戊酯)、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊基氧基乙基酯、(甲基)丙烯酸異冰片(^乂求口二々)酯等(甲基)丙烯酸環(huán)狀垸基酯類；丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸2—甲基環(huán)己酯、丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷—8基酯(在該
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中，作為其常用名，稱為丙烯酸二環(huán)戊酯)、丙烯酸二環(huán)戊基氧基乙基酯、丙烯酸異冰片酯等丙烯酸環(huán)狀垸基酯類；(甲基)丙烯酸苯基酯、(甲基)丙烯酸芐基酯等(甲基)丙烯酸芳基酯類；丙烯酸苯基酯、丙烯酸芐基酯等丙烯酸芳基酯類；馬來酸二乙基酯、富馬酸二乙基酯、衣康酸二乙基酯等二羧酸二酯；(甲基)丙烯酸2—羥乙酯、(甲基)丙烯酸2—羥丙酯等羥基烷基酯類；二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5—甲基二環(huán)[2,2.1]庚一2一烯、5—乙基二環(huán)[2.2.1]庚—2—烯、5—羥基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5—羧基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5—羥基甲基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5—(2，一羥乙基)二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5—甲氧基二環(huán)[2,2.1]庚一2—烯、5—乙氧基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5，6—二羥基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5，6—二羧基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5，6—二(羥甲基)二環(huán)[2,2.1]庚一2—烯、5，6—二(2，一羥乙基)二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5,6—二甲氧基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5，6—二乙氧基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5—羥基一5—甲基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5—羥基一5—乙基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5—羧基一5一甲基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5—羧基一5—乙基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5一羥甲基一5—甲基二環(huán)[2,2.1]庚一2—烯、5—羧基一6—甲基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5—羧基一6—乙基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5，6—二羧基二環(huán)[2.2.1]庚—2—烯酐(降冰片烯二羧酸酐)、5—叔丁氧基羰基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5—環(huán)己基氧基羰基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5—苯氧基羰基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5，6—二(叔丁氧基羰基)二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5，6一二(環(huán)己基氧基羰基)二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯等二環(huán)不飽和化合物類；N—苯基馬來酰亞胺、N—環(huán)己基馬來酰亞胺、N—芐基馬來酰亞胺、N—琥珀酰亞胺基一3—馬來酰亞胺苯甲酸酯、N—琥珀酰亞胺基一4一馬來酰亞胺丁酸酯、N—琥珀酰亞胺基一6—馬來酰亞胺己酸酯、N—琥珀酰亞胺一3—馬來酰亞胺丙酸酯、N—(9一吖啶基)馬來酰亞胺等二羰基亞胺衍生物類；苯乙烯、a—甲基苯乙烯、間一甲基苯乙烯、對甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對甲氧基苯乙烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、醋酸乙烯酯、1，3—丁二烯、異戊二烯、2，3—二甲基一l，3—丁二烯、丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、a—乙基丙烯酸縮水甘油酯、a—正丙基丙烯酸縮水甘油酯、a—正丁基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸一3，4一環(huán)氧基丁酯、甲基丙烯酸一3，4一環(huán)氧基丁酯、丙烯酸一6，7—環(huán)氧基庚酯、甲基丙烯酸一6，7—環(huán)氧基庚酯、a一乙基丙烯酸一6，7—環(huán)氧基庚酯、鄰一乙烯基芐基縮水甘油醚、間—乙烯基芐基縮水甘油醚、對一乙烯基芐基縮水甘油醚等。在這些物質(zhì)中，從共聚中的反應(yīng)性和對堿性水溶液的溶解性來考慮，優(yōu)選使用苯乙烯、N—苯基馬來酰亞胺、N—環(huán)己基馬來酰亞胺、N—芐基馬來酰亞胺、二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯等。這些物質(zhì)可以單獨使用或?qū)?種以上組合使用。本發(fā)明中使用的粘合劑樹脂(A)是使(Al)、(A2)和(A3)共聚得到的聚合物，衍生自它們的構(gòu)成成分的比例，以相對于構(gòu)成上述共聚物的構(gòu)成成分的總摩爾數(shù)的摩爾百分比計，優(yōu)選在下面的范圍內(nèi)。由(Al)衍生的結(jié)構(gòu)單元240摩爾Q^由(A2)衍生的結(jié)構(gòu)單元295摩爾％由(A3)衍生的結(jié)構(gòu)單元165摩爾％另外，更優(yōu)選上述構(gòu)成成分的比例在下面的范圍內(nèi)。由(Al)衍生的結(jié)構(gòu)單元535摩爾。％由(A2)衍生的結(jié)構(gòu)單元580摩爾Q/6由(A3)衍生的結(jié)構(gòu)單元160摩爾％如果上述構(gòu)成比例在上述范圍內(nèi)，則感光性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性、由該組合物得到的圖案的顯影性、耐溶劑性、耐熱性和機械強度有變好的傾向。上述粘合劑樹脂(A)可以參考例如文獻"高分子合成的實驗方法"(大津隆行著發(fā)行所公司化學(xué)同人第1版第1次印刷1972年3月1日發(fā)行)中記載的方法和該文獻中記載的引用文獻來制備。具體地說，在反應(yīng)容器中加入規(guī)定量的獲得共聚物各結(jié)構(gòu)單元(Al)、(A2)和(A3)的各化合物、聚合引發(fā)劑和溶劑，并用氮氣置換氧氣，由此在沒有氧氣的存在下進行攪拌、加熱、保溫，從而可以獲得聚合物。另外，獲得的共聚物可以直接使用反應(yīng)后的溶液，也可以使用濃縮或稀釋后的溶液，也可以使用由再沉淀等方法作為固體(粉末)取出的物質(zhì)。上述粘合劑樹脂(A)的聚苯乙烯換算的重均分子量優(yōu)選為3000100000，更優(yōu)選為500050000。如果粘合劑樹脂(A)的重均分子量在上述范圍內(nèi)，則在涂布性有變好的傾向，且在顯影時很難產(chǎn)生膜縮減，顯影時非像素部分的脫離性良好，因而是優(yōu)選的。粘合劑樹脂(A)的分子量分布[重均分子量(Mw)/數(shù)均分子量(Mn)]優(yōu)選為1.16.0，更優(yōu)選為1.24.0。如果分子量分布在上述范圍內(nèi)，貝U有顯影性優(yōu)良的傾向，因而是優(yōu)選的。本發(fā)明的感光性樹脂組合物中使用的粘合劑樹脂(A)的含量相對于感光性樹脂組合物中的固體成分(在組合物的成分中，指在25'C為固體的物質(zhì))，以重量百分率計，優(yōu)選為590重量％，更優(yōu)選為1070重量％。如果粘合劑樹脂(A)的含量在上述范圍內(nèi)，對顯影液的溶解性充分，在非像素部分的基板上不易產(chǎn)生顯影殘渣，此外，在顯影時不易產(chǎn)生曝光部位像素部分的膜縮減，非像素部分的脫離性有變好的傾向，因而是優(yōu)選的。本發(fā)明中使用的光聚合性化合物(B)含有不飽和雙鍵當量為120—400g/叫的化合物。作為不飽和雙鍵當量為120—400g/eq的化合物，優(yōu)選使用以式(BA)表示的化合物。CH20—RcCH20—RdRb—OCH2——C——CH2——O——CH2——C——CH20—Re(BA)IICH20—RaCH20—Rf式(BA)中，Ra—Rf分別獨立地表示氫原子或者式(BA—l)(BA一3)表示的任何一種基，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>Ra—Rf中至少四個基是式(BA—1)(BA—3)表示的任何一種基，Ra—Rf中至少一個基是式(BA—2)或式(BA—3)表示的基。作為式(BA)表示的化合物，優(yōu)選Ra—Rf之中，兩個是氫原子、三個是式(BA—1)表示的基、一個是式(BA—2)表示的基的化合物；兩個是氫原子、三個是式(BA—1)表示的基、一個是式(BA—3)表示的基的化合物；兩個是氫原子、兩個是式(BA—1)表示的基、兩個是式(BA一2)表示的基的化合物；兩個是氫原子、兩個是式(BA—1)表示的基、一個是式(BA—2)表示的基、一個是式(BA—3)表示的基的化合物；兩個是氫原子、兩個是式(BA—1)表示的基、兩個是式(BA—3)表示的基的化合物；兩個是氫原子、一個是式(BA—1)表示的基、三個是式(BA—2)表示的基的化合物；兩個是氫原子、一個是式(BA—1)表示的基、兩個是式(BA—2)表示的基、一個是式(BA—3)表示的基的化合物；兩個是氫原子、一個是式(BA—1)表示的基、一個是式(BA—2)表示的基、兩個是式(BA—3)表示的基的化合物；兩個是氫原子、一個是式(BA—1)表示的基、三個是式(BA—3)表示的基的化合物；兩個是氫原子、四個是式(BA—2)表示的基的化合物；兩個是氫原子、三個是式(BA—2)表示的基、一個是式(BA—3)表示的基的化合物；兩個是氫原子、兩個是式(BA—2)表示的基、兩個是式(BA—3)表示的基的化合物；兩個是氫原子、一個是式(BA—2)表示的基、三個是式(BA一3)表示的基的化合物；兩個是氫原子、四個是式(BA—3)表示的基的化合物；一個是氫原子、四個是式(BA—1)表示的基、一個是式(BA一2)表示的基的化合物；一個是氫原子、四個是式(BA—1)表示的基、一個是式(BA—3)表示的基的化合物；一個是氫原子、三個是式(BA一l)表示的基、兩個是式(BA—2)表示的基的化合物；一個是氫原子、三個是式(BA—1)表示的基、一個是式(BA—2)表示的基、一個是式(BA—3)表示的基的化合物；一個是氫原子、三個是式(BA—1)表示的基、兩個是式(BA—3)表示的基的化合物；一個是氫原子、兩個是式(BA—1)表示的基、三個是式(BA—2)表示的基的化合物；一個是氫原子、兩個是式(BA—1)表示的基、兩個是式(BA—2)表示的基、一個是式(BA—3)表示的基的化合物；一個是氫原子、兩個是式(BA—1)表示的基、一個是式(BA—2)表示的基、兩個是式(BA—3)表示的基的化合物；一個是氫原子、兩個是式(BA—1)表示的基、三個是式(BA一3)表示的基的化合物；一個是氫原子、一個是式(BA—1)表示的基、四個是式(BA—2)表示的基的化合物；一個是氫原子、一個是式(BA一l)表示的基、三個是式(BA—2)表示的基、一個是式(BA—3)表示的基的化合物；一個是氫原子、一個是式(BA—1)表示的基、兩個是式(BA—2)表示的基、兩個是式(BA—3)表示的基的化合物；一個是氫原子、一個是式(BA—1)表示的基、一個是式(BA—2)表示的基、三個是式(BA—3)表示的基的化合物；一個是氫原子、一個是式(BA—1)表示的基、四個是式(BA—3)表示的基的化合物；一個是氫原子、五個是式(BA—2)表示的基的化合物；一個是氫原子、四個是式(BA—2)表示的基、一個是式(BA—3)表示的基的化合物；一個是氫原子、三個是式(BA—2)表示的基、兩個是式(BA—3)表示的基的化合物；一個是氫原子、兩個是式(BA—2)表示的基、三個是式(BA—3)表示的基的化合物；一個是氫原子、一個是式(BA—2)表示的基、四個是式(BA一3)表示的基的化合物；一個是氫原子、五個是式(BA—3)表示的基的化合物；五個是式(BA—1)表示的基、一個是式(BA—2)表示的基的化合物；五個是式(BA—1)表示的基、一個是式(BA—3)表示的基的化合物；四個是式(BA—1)表示的基、兩個是式(BA—2)表示的基的化合物；四個是式(BA—1)表示的基、一個是式(BA—2)表示的基、一個是式(BA—3)表示的基的化合物；四個是式(BA—1)表示的基、兩個是式(BA—3)表示的基的化合物；三個是式(BA—1)表示的基、三個是式(BA—2)表示的基的化合物；三個是式(BA—1)表示的基、兩個是式(BA—2)表示的基、一個是式(BA—3)表示的基的化合物；三個是式(BA—1)表示的基、一個是式(BA—2)表示的基、兩個是式(BA—3)表示的基的化合物；三個是式(BA—1)表示的基、三個是式(BA—3)表示的基的化合物；兩個是式(BA—1)表示的基、四個是式(BA—2)表示的基的化合物；兩個是式(BA—1)表示的基、三個是式(BA—2)表示的基、一個是式(BA—3)表示的基的化合物；兩個是式(BA—1)表示的基、兩個是式(BA—2)表示的基、兩個是式(BA—3)表示的基的化合物；兩個是式(BA—1)表示的基、一個是式(BA—2)表示的基、三個是式(BA—3)表示的基的化合物；兩個是式(BA—1)表示的基、四個是式(BA—3)表示的基的化合物；一個是式(BA—1)表示的基、五個是式(BA—2)表示的基的化合物；一個是式(BA—1)表示的基、四個是式(BA—2)表示的基、一個是式(BA—3)表示的基的化合物；一個是式(BA—1)表示的基、三個是式(BA—2)表示的基、兩個是式(BA—3)表示的基的化合物；一個是式(BA—1)表示的基、兩個是式(BA--2)表示的基、三個是式(BA—-3)表示的基的化合物；一個是式(BA--1)表示的基、一個是式(BA--2)表示的基、四個是式(BA—3)表示的基的化合物；一個是式(BA--1)表示的基、五個是式(BA—3)表示的基的化合物；六個是式(BA--2)表示的基的化合物；五個是式(BA--2)表示的基、一個是式(BA--3)表示的基的化合物；四個是式(BA--2)表示的基、兩個是式(BA--3)表示的基的化合物；三個是式(BA--2)表示的基、三個是式(BA--3)表示的基的化合物；兩個是式(BA--2)表示的基、四個是式(BA--3)表示的基的化合物；一個是式(BA--2)表示的基、五個是式(BA--3)表示的基的化合物；六個是式(BA--3)表示的基的化合物等其中，更優(yōu)選列舉不飽和雙鍵當量為200—350g/叫的化合物，作為該化合物，可列舉六個基是式(BA—2)表示的基的化合物、六個基是式(BA一3)表示的基的化合物。作為式(BA)表示的化合物，可列舉Ra—Rf之中，兩個是式(BA—2)表示的化合物的KAYARADDPCA-20、三個是式(BA—2)表示的化合物的KAYARADDPCA-30、六個是式(BA—2)表示的化合物的KAYARADDPCA-60、六個是式(BA—3)表示的化合物的KAYARADDPCA-120(都是日本化藥(株)制)等市售的物質(zhì)。作為光聚合性化合物(B)中包含的除了式(BA)表示的化合物以外的光聚合性化合物，可列舉3官能以上的多官能單體。作為3官能以上的多官能單體的具體例子，可列舉三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、四(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、五(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯、六(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯、三(甲基)丙烯酸季戊四醇酯和酸酐的反應(yīng)物、五(甲基)丙烯酸二季戊四醇和酸酐的反應(yīng)物等。在這些物質(zhì)中，優(yōu)選使用4官能以上的多官能單體。這些光聚合性化合物可以單獨使用，或?qū)⒍N以上結(jié)合使用。光聚合性化合物(B)的含量相對于粘合劑樹脂(A)和光聚合性化合物(B)的總量，以重量百分率計，優(yōu)選為170重量％，更優(yōu)選為560重量％。如果光聚合性化合物(B)的含量在上述范圍內(nèi)，則像素部分的強度和平滑性、可靠性有變好的傾向，因而是優(yōu)選的。另外，式(BA)表示的化合物的含量相對于式(BA)表示的化合物和除了式(BA)表示的化合物以外的光聚合性化合物的總量，以重量百分率計，通常為3100重量％，優(yōu)選為370重量％，更優(yōu)選為3—50重量％，進一步優(yōu)選為5—40重量％。式(BA)表示的化合物的含量在上述范圍內(nèi)，則感光度和顯影粘合性的平衡有變好的傾向，因而是優(yōu)選的。作為本發(fā)明的感光性樹脂組合物中含有的光聚合引發(fā)劑(C)，可列舉例如苯乙酮類、聯(lián)二咪唑類、肟類、三嗪類、?；⒀趸镱愐l(fā)劑。通過將這些光聚合引發(fā)劑(C)與光聚合引發(fā)助劑(C一l)結(jié)合使用，可使得獲得的感光性樹脂組合物具有更高的感光性，因此如果結(jié)合使用光聚合引發(fā)助劑(C一l)形成圖案，則能提高圖案的生產(chǎn)性，因而是優(yōu)選的。作為上述的苯乙酮類化合物，可列舉例如二乙氧基苯乙酮、2—羥基一2—甲基一1一苯基丙垸一1一酮、芐基二甲基縮酮、2—羥基一1一[4一(2一羥基乙氧基)苯基]一2—甲基丙垸一1一酮、l一羥基環(huán)己基苯基酮、2—甲基一l一(4—甲基硫代苯基)一2—嗎啉代丙烷一1一酮、2—芐基一2一二甲基氨基一1一(4一嗎啉代苯基)丁烷一1一酮、2—(2—甲基芐基)一2—二甲基氨基一1一(4—嗎啉代苯基)一丁酮、2—(3—甲基芐基)一2—二甲基氨基一1一(4一嗎啉代苯基)一丁酮、2—(4一甲基芐基)—2—二甲基氨基一1一(4一嗎啉代苯基)一丁酮、2—(2—乙基芐基)一2—二甲基氨基一1一(4一嗎啉代苯基)一丁酮、2—(2—丙基芐基)一2—二甲基氨基一1一(4一嗎啉代苯基)_丁酮、2—(2—丁基芐基)一2—二甲基氨基—l一(4--嗎啉代苯基)一丁酮、2--(2，3—:二甲基芐基)—2-一二甲基氨基一l一(4一嗎啉代苯基)一丁酮、2—(2，4—二-甲基卞基)—2—二甲基氨基--l一(4一嗎啉代苯基)—-丁酮、2—(2—氯代芐基)一2—二甲基氨基--1—(4一嗎啉代苯基)_-丁酮、2—(2—溴代芐基)一2—二甲基氨基--1—(4一嗎啉代苯基)一-丁酮、2—(3—氯代芐基)一2—二甲基氨基--l一(4一嗎啉代苯基)一-丁酮、2—(4—飄代芐基)一2—二甲基氨基--l一(4一嗎啉代苯基)一-丁酮、2—(3—溴代芐基)—2—二甲基氨基--l一(4一嗎啉代苯基)—-丁酮、2-(4—溴代芐基)一2—二甲基氨基--1—(4一嗎啉代苯基)一-丁酮、2—(2—甲氧基芐基)一2—二甲基氨基一1一(4一嗎啉代苯基)一丁酮、2—(3—甲氧基節(jié)基)一2—二甲基氨基一1一(4一嗎啉代苯基)一丁酮、2—(4一甲氧基芐基)一2—二甲基氨基一1一(4一嗎啉代苯基)一丁酮、2—(2一甲基一4一甲氧基芐基)一2—二甲基氨基一1一(4一嗎啉代苯基)一丁酮、2—(2—甲基一4一溴代芐基)一2—二甲基氨基一1一(4一嗎啉代苯基)一丁酮、2—(2—溴代一4—甲氧基芐基)一2—二甲基氨基一1一(4一嗎啉代苯基)一丁酮、2—羥基一2—甲基一1一[4一(l一甲基乙烯基)苯基]丙垸一1—酮的寡聚物等。作為上述聯(lián)二咪唑化合物，可列舉例如2，2'—雙(2—氯代苯基)一4，4'一5，5'—四苯基聯(lián)二咪唑、2，2，一雙(2，3—二氯代苯基)一4，4，，5，5'—四苯基聯(lián)二咪唑(例如參見特開平6—75372號公報、特開平6—75373號公報等)、2，2'—雙(2—氯代苯基)一4，4，，5，5'—四苯基聯(lián)二咪唑、2，2'—雙(2—氯代苯基)—4，4，，5，5，一四(垸氧基苯基)聯(lián)二咪唑、2，2'—雙(2—氯代苯基)一4，4'，5，5'—四(二烷氧基苯基)聯(lián)二咪唑、2，2，—雙(2—氯代苯基)一4，4，，5，5'—四(三烷氧基苯基)聯(lián)二咪唑(例如參見特公昭48—38403號公報、特開昭62—174204號公報等)、4，4，，5，5'—位的苯基被垸氧羰基取代的咪唑化合物(例如參見特開平7—10913號公報等)等，優(yōu)選2，2'—雙(2—氯代苯基)一4，4'，5，5，一四苯基聯(lián)二咪唑、2，2，一雙(2，3—二氯代苯基)一4，4，，5，5，一四苯基聯(lián)二咪唑。17作為上述的肟化合物，可列舉例如O—乙氧基羰基一a—躬基一！一苯基丙垸一l一酮、用式(3)表示的化合物、用式(4)表示的化合物等。作為上述的三嗪類化合物，可列舉例如2，4一雙(三氯甲基)一6—(4一甲氧基苯基)一l，3，5—三嗪、2，4—雙(三氯甲基)一6—(4—甲氧基萘基)一1，3，5—三嗪、2，4一雙(三氯甲基)一6—胡椒基一1，3，5—三嗪、2，4—雙(三氯甲基)一6—(4—甲氧基苯乙烯基)一l，3，5—三嗪、2，4—雙(三氯甲基)一6—[2—(5—甲基呋喃一2—基)乙烯基]一l，3，5—三嗪、2，4一雙(三氯甲基)一6—[2—(呋喃一2—基)乙烯基]一l，3,5—三嗪、2，4—雙(三氯甲基)一6—[2—(4一二乙基氨基一2—甲基苯基)乙烯基]一l，3，5—三嗪、2，4一雙(三氯甲基)一6—[2—(3，4一二甲氧基苯基)乙烯基]一l，3，5—三嗪等。作為上述?；⒀趸镱愐l(fā)劑，能列舉有例如2，4，6—三甲基苯甲酰二苯基膦氧化物等。另外，只要不損害本發(fā)明效果的程度，就可以進一步結(jié)合使用該領(lǐng)域內(nèi)常用的光聚合引發(fā)劑等。作為該光聚合引發(fā)劑，可列舉例如苯偶姻類化合物、二苯甲酮類化合物、噻噸酮類化合物、蒽類化合物等。更具體的可列舉下面的化合物，它們可以單獨或2種以上結(jié)合使用。作為上述苯偶姻類化合物，可列舉例如苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙基醚、苯偶姻異丁基醚等。作為上述二苯甲酮類化合物，可列舉例如二苯甲酮、鄰一苯甲酰苯甲酸甲酯、4一苯基二苯甲酮、4一苯甲酰一4'—甲基二苯基硫化物、3，3'，4，4，一四(叔丁基過氧化羰基)二苯甲酮、2，4，6—三甲基二苯甲酮等。作為上述噻噸酮類化合物，能列舉有例如2—異丙基噻噸酮、4一異丙基噻噸酮、2，4一二乙基噻噸酮、2，4一二氯代噻噸酮、l一氯一4一丙氧基噻噸酮等。作為上述蒽類化合物，能列舉有例如9，IO—二甲氧基蒽、2—乙基一9，IO—二甲氧基蒽、9，IO—二乙氧基蒽、2-乙基-9，10-二乙氧基蒽等。另外，還可以列舉10-丁基一2—氯代吖啶酮、2—乙基蒽醌、苯偶酰、9、IO—菲醌、樟腦醌、苯基乙醛酸甲酯、鈦茂化合物等作為光聚合引發(fā)劑。此外，作為具有引起鏈轉(zhuǎn)移的基團的光聚合引發(fā)劑，還可以使用特表2002—544205號公報中記載的光聚合引發(fā)劑。作為上述具有引起鏈轉(zhuǎn)移的基團的光聚合引發(fā)劑，可列舉例如式(5)(10)的光聚合引發(fā)劑。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula>上述具有引起鏈轉(zhuǎn)移的基團的光聚合引發(fā)劑還可以用作上述共聚物的構(gòu)成成分(A3)。此外，獲得的共聚物可以用作本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的粘合劑樹脂，還可以和粘合劑樹脂結(jié)合使用。另外，在光聚合引發(fā)劑中，還可以組合使用光聚合引發(fā)助劑(C一l)。作為光聚合引發(fā)助劑，優(yōu)選使用胺化合物和羧酸化合物，作為胺化合物優(yōu)選使用芳香族胺化合物。作為光聚合引發(fā)助劑的具體例子，可列舉三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三異丙醇胺等脂肪族胺化合物、4一二甲基氨基苯甲酸甲酯、4一二甲基氨基苯甲酸乙酯、4—二甲基氨基苯甲酸異戊酯、4一二甲基氨基苯甲酸2—乙基己基酯、苯甲酸2—二甲基氨基乙酯、N,N—二甲基對甲苯胺、4，4，一雙(二甲基氨基)二苯甲酮(通常稱為米希勒酮)、4，4，一雙(二乙基氨基)二苯甲酮等芳香族胺化合物。作為上述羧酸化合物，可列舉例如苯基硫代醋酸、甲基苯基硫代醋酸、乙基苯基硫代醋酸、甲基乙基苯基硫代醋酸、二甲基苯基硫代醋酸、甲氧基苯基硫代醋酸、二甲氧基苯基硫代醋酸、氯苯基硫代醋酸、二氯苯基硫代醋酸、N—苯基甘氨酸、苯氧基醋酸、萘基硫代醋酸、N—萘基甘氨酸、萘氧基醋酸等芳香族雜醋酸類。光聚合引發(fā)劑(C)的含量相對于粘合劑樹脂(A)和光聚合性化合物(B)的總量，以重量百分率計優(yōu)選為0.140重量％，更優(yōu)選為130重量％。并且，光聚合引發(fā)助劑(C一l)的含量，以與上述相同基準計，優(yōu)選為0.0150重量％，更優(yōu)選為0.140重量％。如果光聚合引發(fā)劑(C)的總量在上述范圍內(nèi)，則感光性樹脂組合物感光度變高，使用上述感光性樹脂組合物形成的像素部分的強度和上述像素表面的平滑性有變好的傾向，因而是優(yōu)選的。除了上面所述的以外，如果光聚合引發(fā)助劑(C一l)的量在上述范圍內(nèi)，則獲得的感光性樹脂組合物的感光度能進一步變高，使用這種感光性樹脂組合物形成的圖案基板的生產(chǎn)性有提高的傾向，因而是優(yōu)選的。作為本發(fā)明中使用的溶劑(D)，可列舉感光性樹脂組合物的領(lǐng)域內(nèi)通常使用的各種有機溶劑。作為溶劑(D)的具體例子，可列舉乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丙醚、乙二醇單丁醚等乙二醇單烷基醚類；二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇二丙醚、二甘醇二丁醚等二甘醇二烷基醚類；甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯等乙二醇烷基醚乙酸酯類；丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單丙醚乙酸酯、甲氧基丁基乙酸酯、甲氧基戊基乙酸酯等亞烷基二醇烷基醚乙酸酯類；苯、甲苯、二甲苯、均三甲苯等芳香族烴類；甲乙酮、丙酮、甲基戊基酮、甲基異丁基酮、環(huán)己酮等酮類；乙醇、丙醇、丁醇、己醇、環(huán)己醇、乙二醇、甘油等醇類；3—乙氧基丙酸乙酯、3—甲氧基丙酸甲酯等酯類；Y—丁內(nèi)酯等環(huán)狀酯類等。上述溶劑中，從涂布性、干燥性來考慮，優(yōu)選使用上述溶劑中沸點在100200。C的有機溶劑，更優(yōu)選使用亞烷基二醇烷基醚乙酸酯類、酮類、3—乙氧基丙酸乙酯、3—甲氧基丙酸甲酯等酯類，進一步優(yōu)選使用丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、環(huán)己酮、3—乙氧基丙酸乙酯、3—甲氧基丙酸甲酯。這些溶劑(D)可以單獨使用或?qū)?種以上混合使用。本發(fā)明的感光性樹脂組合物中溶劑(D)的含量相對于感光性樹脂組合物，以重量百分率計優(yōu)選為6090重量％，更優(yōu)選為7085重量％。如果溶劑(D)的含量在上述范圍內(nèi)，則在使用旋涂器、縫隙&旋涂器、縫隙涂布器(也稱為模涂布器、簾式涂布器)、噴墨等涂布裝置涂布時能顯示出良好的涂布性能，因而是優(yōu)選的。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，根據(jù)需要還可以結(jié)合使用填充劑、其他高分子化合物、顏料分散劑、粘合促進劑、防氧化劑、紫外線吸收劑、防凝集材料、鏈轉(zhuǎn)移劑等添加劑(F)。作為上述填充劑，可以列舉玻璃、二氧化硅、氧化鋁、顏料等。作為其他高分子化合物，可以列舉環(huán)氧樹脂、馬來酰亞胺樹脂等固化性樹脂和聚乙烯醇、聚丙烯酸、聚乙二醇單烷基醚、聚氟代垸基丙烯酸酯、聚酯、聚氨酯等熱塑性樹脂等。21作為顏料分散劑，可以使用市售的表面活性劑，例如有聚酮類、氟類、酯類、陽離子類、陰離子類、非離子類、兩性等表面活性劑等，他們可以單獨使用或?qū)?種以上結(jié)合使用。作為上述表面活性劑，可列舉例如聚氧乙烯烷基醚類、聚氧乙烯烷基苯基醚類、聚乙二醇二酯類、脫水山梨糖醇脂肪酸酯類、脂肪酸改性聚酯類、叔胺改性聚氨酯類、聚吖丙啶等，此外還有商品名為KP(信越化學(xué)工業(yè)公司制造)、寶理弗羅(水'j7口一，共榮化學(xué)公司制造)、阿弗特普(工7卜'7-)(特卡木普羅德茲(卜一少a7。口夕'夕、7)公司制造)、玫咖發(fā)可(乂力'77'7夕，大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制造)、弗羅拉德(7a，—卜"，住友3M公司制造)、朝日家德(7卄匕力'一卜")、灑弗龍(廿一7口>，以上為旭硝子公司制造)、索羅斯帕司(乂a;^"—》，澤內(nèi)卡(七對、力)公司制造)、意弗卡(EFKA，意弗卡化學(xué)公司制造)、PB821(味之素公司制造)等。作為粘合促進劑，可列舉例如乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2—甲氧基乙氧基)硅烷、N—(2—氨基乙基)一3—氨基丙基甲基二甲氧基硅垸、N—(2—氨基乙基)一3—氨基丙基三甲氧基硅烷、3—氨基丙基三乙氧基硅垸、3—環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3一環(huán)氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2—(3，4一環(huán)氧基環(huán)己基)乙基三甲氧基硅垸、3—氯代丙基甲基二甲氧基硅烷、3—氯代丙基三甲氧基硅垸、3—甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅垸、3—巰基丙基三甲氧基硅垸等。作為防氧化劑，可列舉例如2，2'—硫代雙(4一甲基一6—叔丁基苯酚)、2，6—二叔丁基一4一甲基苯酚等。作為紫外線吸收劑，可列舉例如2—(3—叔丁基一2—羥基一5—甲基苯基)一5—氯代苯并三唑、垸氧基二苯甲酮等。作為防凝集材料，可列舉例如聚丙烯酸鈉等。另外，作為鏈轉(zhuǎn)移劑，可列舉例如月桂基硫醇、2，4一二苯基一4一甲基一l一戊烯等。感光性樹脂組合物可以例如通過下述步驟涂布在基材上，進行光固化和顯影，從而形成圖案。首先，在基板(通常是玻璃)或預(yù)先形成的由感光性樹脂組合物的固體成分制得的層上，或者形成有ITO(銦一錫氧化物)或IZO(銦一鋅氧化物)的基板上涂布該組合物，得到涂布的感光性樹脂組合物層，通過預(yù)焙燒該感光性樹脂組合物層，除去溶劑等揮發(fā)成分，得到平滑的涂膜。此時涂膜的厚度通常約為16um。在這樣獲得的涂膜上22通過用于形成目標圖案的掩膜進行紫外線照射。此時，對全部曝光部分均勻地照射平行光線，且將掩膜和基板放置于正確的位置，為了達到這樣的要求，優(yōu)選使用掩膜對準器和分檔器等裝置。然后，將結(jié)束固化的涂膜與堿性水溶液接觸，溶解非曝光部分，經(jīng)顯影，可以得到目標的圖案形狀。顯影方法可以是液流法(液盛O法)、浸漬法、噴灑法等的任何一種。此外，在顯影時還可以將基板傾斜任意的角度。'在圖案曝光后的顯影中使用的顯影液通常是包含堿性化合物和表面活性劑的水溶液。堿性化合物可以是無機和有機的堿性化合物的任何一種。作為無機堿性化合物的具體例子，可列舉氫氧化鈉、氫氧化鉀、磷酸氫二鈉、磷酸二氫鈉、磷酸氫二銨、磷酸二氫銨、磷酸二氫鉀、硅酸鈉、硅酸鉀、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鈉、碳酸氫鉀、硼酸鈉、硼酸鉀、氨水等。并且，作為有機堿性化合物的具體例子，可列舉四甲基銨氫氧化物、2一羥基乙基三甲基銨氫氧化物、單甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單異丙基胺、二異丙基胺、乙醇胺等。這些無機和有機堿性化合物可以單獨使用或?qū)?種以上結(jié)合使用。堿性顯影液中堿性化合物的濃度優(yōu)選為0.0110重量％，更優(yōu)選為0.035重量％。堿性顯影液中的表面活性劑可以使用非離子類表面活性劑、陰離子類表面活性劑、陽離子類表面活性劑的任何一種。作為非離子類表面活性劑的具體例子，可列舉聚氧乙烯垸基醚、聚氧乙烯芳基醚、聚氧乙烯烷基芳基醚、以及其他聚氧乙烯衍生物、環(huán)氧乙烷/環(huán)氧丙烷嵌段共聚物、脫水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧乙烯脫水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基胺等。作為陰離子類表面活性劑的具體例子，可列舉月桂醇硫酸酯鈉、油醇硫酸酯鈉等高級醇硫酸酯鹽類、月桂基硫酸鈉、月桂基硫酸銨等烷基硫酸鹽類、月桂基苯磺酸鈉、月桂基萘磺酸鈉等烷基芳基磺酸鹽類等。作為陽離子類表面活性劑的具體例子，可列舉硬脂胺鹽酸鹽、月桂基三甲基銨氯化物等胺鹽或季胺鹽等。這些表面活性劑可以單獨使用或?qū)?種以上結(jié)合使用。堿性顯影液中表面活性劑的濃度優(yōu)選為0.0110重量％，更優(yōu)選為0.058重量％，更優(yōu)選為0.15重量％。顯影后進行水洗，進而根據(jù)需要還可以在150230'C下進行1060分鐘的后焙燒。使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物，經(jīng)過上述各步驟，可以在基板上或濾色器基板上形成圖案。該圖案能可用作液晶顯示裝置中使用的光間隔物。并且，在對干燥涂膜進行圖案形成曝光時，只要使用形成空穴用的光掩膜就可以形成空穴，并用作層間絕緣膜。作為光掩膜的圖案設(shè)計，形狀、大小、間距可以任意改變。進而，對干燥涂膜曝光時，可以不使用光掩膜進行全部曝光和加熱固化或僅加熱固化來形成透明膜，該透明膜作為保護膜是有用的，另外，也可以用于觸摸屏。通過將這樣獲得的圖案裝入液晶顯示裝置等顯示裝置，可以高產(chǎn)率地制造具有優(yōu)良品質(zhì)的顯示裝置。本發(fā)明的感光性樹脂組合物即使在ITO(銦一錫氧化物)等透明導(dǎo)電膜上，也可以不脫落地形成微細線寬的圖案，該圖案的耐溶劑性和耐熱性也優(yōu)異。本發(fā)明的感光性樹脂組合物適合用于形成構(gòu)成濾色器的一部分的透明膜，例如，用于形成保護層、光間隔物、絕緣膜、液晶取向控制用突起、用于配合著色圖案的膜厚的涂覆層等透明膜，得到的透明膜可適用于濾色器、具備該濾色器的顯示裝置。實施例下面，基于實施例來更詳細地說明本發(fā)明，但本發(fā)明并不受這些實施例的限制。實施例中，表示含量或使用量的％和份沒有特別說明的話，就是指重量基準。合成例1在帶有回流冷卻器、滴液漏斗和攪拌機的1L的燒瓶中，以0.02L/分鐘流入氮氣作成氮氣氛圍，加入200重量份的3—甲氧基一1一丁醇和105重量份的乙酸3—甲氧基丁酯，邊攪拌邊加熱到70。C。接著，在140重量份的乙酸3—甲氧基丁酯中溶解55重量份的甲基丙烯酸、175重量份的丙烯酸3，4—環(huán)氧三環(huán)[5.2丄016]癸酯(將式(1—1.)表示的化合物和式(II一l)表示的化合物以摩爾比50:50混合。)和70重量份的N—環(huán)己基馬來酰亞胺，制備溶液，將該溶液使用滴加泵在4小時內(nèi)滴加到保溫在70"C下的燒瓶內(nèi)。另一方面，在225重量份的乙酸3—甲氧基丁酯中溶解30重量份的聚合引發(fā)劑2，2'—偶氮二(2,4-二甲基戊腈)，將該形成的溶液使用另一滴加泵在5小時內(nèi)滴加到燒瓶內(nèi)。聚合引發(fā)劑的溶液滴加終止后，在7(TC下保持4小時，然后冷卻到室溫，得到粘度(23°C)114mPa*s、固體成分32.6重量％、酸值34.3mg—KOH/g的共聚物(樹脂Aa)的溶液。得到的樹脂Aa的重均分子量(Mw)為13600，分散度為2.54。另外，共聚物溶液的粘度用B型粘度計測量。上述粘合劑聚合物的重均分子量(Mw)和數(shù)均分子量(Mn)的測定是使用GPC法在下面條件下進行的。裝置K2479(島津制作所制造)柱SHIMADZUShim—packGPC—80M柱溫40°C溶劑THF(四氫呋喃)流速1.0mL/分鐘檢測器RI將上述獲得的聚苯乙烯換算的重均分子量和數(shù)均分子量的比作為分散度(Mw/Mn)。實施例1<感光性樹脂組合物的調(diào)制〉在包含通過合成例1獲得的樹脂Aa的樹脂溶液部分(換算成固體分為55份)中,混合40份的六丙烯酸二季戊四醇酯(日本化藥(株)制KAYARADDPHA)、5份己內(nèi)酯改性多官能丙烯酸酯(日本化藥(株)制KAYARADDPCA—120)、6份2—甲基一2—嗎啉代(4一硫代甲基苯基)丙烷一1一酮、53份丙二醇單甲醚乙酸酯、20份3—乙氧基乙基丙酸酯、37份3—甲氧基一1一丁醇和87份乙酸3—甲氧基丁酯，得到感光性樹脂組合物l。<圖案的形成〉用中性溶劑、水和乙醇依次清洗在邊長2英寸的方形玻璃基板(#1737，3一二>夕'公司制造)上形成有ITO膜(膜厚1500A，電阻值10Q/sq)的基板后，迸行干燥。在該玻璃基板上旋涂感光性樹脂組合物1，使得以100mJ/cm2的曝光量(365nm)對感光性樹脂組合物1進行曝光、顯影、水洗、后焙燒各個工序后的膜厚為3.5ym，接著在電熱板中，在75。C進行2鐘的預(yù)焙燒。冷卻后，使涂布有該感光性樹脂組合物的基板和石英玻璃制的光掩膜之間的間隔為10um，使用曝光機(TME—150RSK;卜-^乂公司制造)，在大氣氛圍氣下，用100mJ/cW的曝光量(365nm基準)進行光照射。另外，作為光掩膜，使用了下面的圖案在同一平面上形成的光掩膜。*具有5600個邊長為7lim的正方形透光部分(圖案)，該正方形的間隔為100ym的光掩膜光照射后，在包含0.12%的非離子類表面活性劑和0.05%的氫氧化鉀的水類顯影液中，在23'C下浸漬上述涂膜80秒鐘來進行顯影，用超聲波洗滌機(頻率38kHz)水洗20分鐘后，在烘箱中在230"C下進行后焙燒20分鐘。放置冷卻后，使用膜厚測定裝置(DEKTAK3，日本真空技術(shù)公司制造)測定膜厚。<保存穩(wěn)定性>測量上述得到的感光性樹脂組合物1的粘度。然后，將感光性樹脂組合物1封入遮光容器中，將該容器在23匸的恒溫槽中保存2周。測量保存后的感光性樹脂組合物1的粘度?；谙率鍪角蟪龅恼扯茸兓?00%。粘度變化=[在23。C下保存2周后的感光性樹脂組合物的粘度]/[保存前的感光性樹脂組合物的粘度]X100(%)粘度變化越小，例如為100—103%的范圍時，越好。另外，粘度測量如下進行。粘度是使用粘度計(VISCOMETERTV-30;東機產(chǎn)業(yè)(株)制)，在23'C下進行測量。<透過率>除了在上述形成圖案的曝光工序中，不使用光掩膜并且使膜厚為2.9一3.1um以外，進行和上述一樣的操作，制備固化膜，其膜厚用膜厚測定裝置(DEKTAK3，日本真空技術(shù)公司制造)來測定。接著，使用顯微分光測光裝置(OSP—SP200;OLYMPUS公司制造)測定得到的固化膜在400nm下的透過率(％)，該透過率換算成膜厚為3.0ym下的透過率時，是96.3%。<表面平滑性>除了使用感光性樹脂組合物1，不使用光掩膜以外，與上述相同地制備固化膜。得到的固化膜按照表2所示的項目進行評價。將得到的固化膜的表面，使用掃描式電子顯微鏡(S—4000，日立制作所制造)觀察。把固化膜的表面為平滑的情況評價為O，有凹凸的情況評價為X。<圖案形狀>將在表面平滑性測量中使用的圖案線寬，使用掃描式電子顯微鏡(S一4000，日立制作所制造)測量，結(jié)果是7.9um。從正側(cè)面觀察圖案形狀。當下底的線寬比上底大時視為順錐形，當上底和下底的線寬相等時視為矩形，當下底的線寬比上底小時視為逆錐形。如果圖案形狀是矩形，則顯影粘合性有變好的傾向，所以優(yōu)選。<顯影粘合性>在上述的圖案形成工序中，在加入純水500mi的1L玻璃燒杯中浸漬顯影后的基板，在23—25。C的條件下，用超聲波洗滌機(US—4，測量頻率38kHz，(株)SND社制)水洗10分鐘和20分鐘后，計算5600個中圖案剝離的個數(shù)。剝離的個數(shù)都是O個，則完全沒有剝離。一般認為剝離的個數(shù)越少，顯影粘合性越好。<機械特性(總位移量和回復(fù)率)>對在上述的圖案形成中得到的一個固化圖案，使用動態(tài)超微小硬度計(DUH-W201;(株)島津制作所制)，測量總位移量(ym)和彈性位移量(um)，并計算出回復(fù)率(％)。一測量條件一試驗方法負荷一除負荷試驗試驗力20mN負荷速度4.4mN/s保持時間5s壓頭圓錐臺壓頭(直徑50um)回復(fù)率(％):[彈性位移量(um)/總位移量(urn)]XIOO作為機械特性，一般認為膜厚為3—5!xm且線寬為7—10ym時，總27位移量為0.90um以上，而且回復(fù)率為45%以上的圖案好。<耐溶劑性〉除了在上述圖案形成的曝光工序中，不使用光掩膜以外，進行同樣的操作，制備涂膜，測定膜厚和透過率。將制備的涂膜在30'C的N—甲基吡咯烷酮中浸漬30分鐘，測定浸漬后的膜厚和透過率，由下式求出其變化。膜厚變化(％):(浸漬后的膜厚"m)/浸漬前的膜厚(iim))X100透過率變化(％):(浸漬后的透過率(％)/浸漬前的透過率(％))x謂一般認為膜厚變化和透過率變化分別為90—103%時良好。耐溶劑粘合性在耐溶劑性實驗中浸漬后的涂膜上，使用市售的小刀裁成100個邊長為lmm的正方形。使用市售的玻璃帶進行剝離實驗，按照以下的數(shù)值進行評價。[(未剝離而殘留在基板上的正方形的數(shù)目)/100]一般認為數(shù)值大的粘合性優(yōu)良，比較好。<耐熱性>除了在上述圖案形成的曝光工序中，不使用光掩膜以外，進行同樣的操作，制備涂膜。在240。C的凈化爐中放置制備的涂膜1小時，測定加熱前后的膜厚和透過率(測定波長400nm)，根據(jù)下式求出其變化。該結(jié)果，膜厚變化是92.4%。另外，透過率變化是96.3%。膜厚變化(％):(加熱后的膜厚(Pm)/加熱前的膜厚(um))X100透過率變化(％):(加熱后的透過率(％)/加熱前的透過率(％))xioo一般認為膜厚變化和透過率變化分別為90—103%時良好。耐熱粘合性在耐熱性實驗中加熱后的涂膜上，使用市售的小刀裁成100個邊長為lmm的正方形。使用市售的玻璃帶進行剝離實驗，按照以下的數(shù)值進行評價。[(未剝離而殘留在基板上的正方形的數(shù)目)AOO]一般認為數(shù)值大的粘合性優(yōu)良，比較好。<table>tableseeoriginaldocumentpage29</column></row><table>乙酸3—甲氧基丁酯87878787實施例2根據(jù)表1所示的組成，與實施例1一樣獲得感光性樹脂組合物2，對其進行評價。結(jié)果示于表2中。實施例3根據(jù)表1所示的組成，與實施例1一樣獲得感光性樹脂組合物3，對其進行評價。結(jié)果示于表2中。比較例1根據(jù)表1所示的組成，與實施例1一樣獲得感光性樹脂組合物4，對其進行評價。結(jié)果示于表2中。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage30</column></row><table>從表2所示的實施例13的結(jié)果可見，使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物的話，即使是在形成微細的圖案時，也可以形成顯影粘合性優(yōu)異的圖案，所以工藝界限廣。此外，可以獲得圖案形狀、表面平滑性、機械特性、耐熱性、耐溶劑性優(yōu)良的圖案和涂膜。另一方面，不含有不飽和雙鍵當量120—400g/eq的化合物的比較例1的感光性樹脂組合物僅能獲得顯影粘合性變差的圖案和涂膜。工業(yè)上的可利用性本發(fā)明的感光性樹脂組合物其保存穩(wěn)定性優(yōu)良，并且可以形成圖案形狀、表面平滑性、機械特性、耐熱性、耐溶劑性優(yōu)良的圖案和涂膜，可以適用于形成保護層、光間隔物、絕緣膜、液晶取向控制用突起、用于配合著色圖案的膜厚的涂覆層等顯示裝置中使用的透明膜。權(quán)利要求1.一種感光性樹脂組合物，其中含有粘合劑樹脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引發(fā)劑(C)和溶劑(D)，該粘合劑樹脂(A)是不飽和羧酸和/或不飽和羧酸酐(A1)、脂肪族多環(huán)式環(huán)氧化合物(A2)以及不同于(A1)和(A2)的可以與(A1)和(A2)共聚的單體(A3)的共聚物，而且光聚合性化合物(B)含有不飽和雙鍵當量為120-400g/eq的化合物。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中不飽和雙鍵當量為120一400g/eq的化合物是式(BA)所示的化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>式(BA)中，Ra—Rf分別獨立地表示氫原子或者式(BA—1)(BA一3)所示的任一種基團，O<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>Ra—Rf中至少四個基團是式(BA—1)(BA—3)所示的任一種基團，Ra—Rf中至少一個基團是式(BA—2)或式(BA—3)所示的基團。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中具有脂肪族多環(huán)式環(huán)氧基的單體(A2)是選自式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物中的至少一種化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>式(I)和式(II)中，R分別獨立地表示氫原子或者未取代的碳原子數(shù)為l一4的垸基或者被羥基取代的碳原子數(shù)為l一4的烷基，X分別獨立地表示單鍵或者含有或不含有雜原子的碳原子數(shù)為1—6的亞烷基。4.一種圖案，其是使用權(quán)利要求1—3中記載的感光性樹脂組合物形成的。5.—種顯示裝置，其中包含有權(quán)利要求4中記載的圖案。全文摘要本發(fā)明涉及一種感光性樹脂組合物，其中含有粘合劑樹脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引發(fā)劑(C)和溶劑(D)，該粘合劑樹脂(A)是不飽和羧酸和/或不飽和羧酸酐(A1)、脂肪族多環(huán)式環(huán)氧化合物(A2)以及不同于(A1)和(A2)的可以與(A1)和(A2)共聚的單體(A3)的共聚物，而且光聚合性化合物(B)含有不飽和雙鍵當量為120-400g/eq的化合物。利用該感光性樹脂組合物，在ITO(銦—錫氧化物)等透明導(dǎo)電膜上也可以形成微細線寬圖案。文檔編號G03F7/028GK101261447SQ20071019437公開日2008年9月10日申請日期2007年12月26日優(yōu)先權(quán)日2006年12月28日發(fā)明者武部和男申請人:住友化學(xué)株式會社