專利名稱：光學(xué)式外觀檢查方法以及光學(xué)式外觀檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光學(xué)式外觀檢查方法以及光學(xué)式外觀檢查裝置，尤其涉及用于檢查印刷基板和薄膜掩膜等的柔性的薄板基板的光學(xué)式外觀檢查方法以及光學(xué)式外觀檢查裝置。
背景技術(shù)：
眾所周知，要在安裝有電子部件等的印刷基板的表面上，構(gòu)成規(guī)定的電路所需要的導(dǎo)體配線由圖形形成。而對印刷基板等的配線圖形是否存在缺陷的檢查，例如可以按照下面的方式進(jìn)行。首先，將形成作為檢查對象的圖形的那個面作為上側(cè)，而將印刷基板承載在承載臺上。在承載臺上所承載的印刷基板的上方，配置CCD(電荷耦合裝置Charged Coupled Device)攝像機(jī)等的攝影攝像機(jī)。然后，使承載臺在主掃描方向上水平移動。這樣用攝影攝像機(jī)對通過攝影攝像機(jī)的下方的印刷基板的區(qū)域進(jìn)行攝像。而且，每完成一次主掃描方向的掃描，攝影攝像機(jī)就向副掃描方向順序移位，最后得到印刷基板的檢查區(qū)域整體的圖像數(shù)據(jù)。對該圖像數(shù)據(jù)施加圖形匹配法等的處理，檢測出圖形的缺陷。
如上所述，為了將作為檢查對像物的基板承載在承載臺上而進(jìn)行檢查，需要將基板固定在承載板上，使得攝像中等基板不發(fā)生偏移。作為這種基板固定方法，現(xiàn)有技術(shù)中采用的是這樣的方法，即例如將基板的端部部分的非檢查部用夾緊單元等固定在承載臺上(例如日本專利申請?zhí)亻_2002-368378號公報(bào))。但是，檢查對像物是形成有配線圖形的薄膜掩膜或柔性的薄板基板那樣的硬度低的基板的情況下，將該薄膜掩膜等承載在承載臺上時，在承載臺和薄膜掩膜等之間有產(chǎn)生空氣層的情況。因此，無論怎樣將非檢查部壓緊，在關(guān)鍵的檢查對像部因?yàn)榭諝鈱佣鴷a(chǎn)生撓度和彎曲。結(jié)果，即使是為了檢測出配線圖形的缺陷而用配置在檢查對像物的上方的攝影攝像機(jī)對上述薄膜掩膜等進(jìn)行攝影，也存在這樣的問題，即由于上述撓度和彎曲導(dǎo)致焦距(焦點(diǎn))發(fā)生偏移，導(dǎo)致缺陷檢出精度降低。
對于這樣的問題，現(xiàn)有技術(shù)中一般采用這樣的方法，即在檢查對像物的上方設(shè)置位移傳感器，在檢查之前計(jì)測承載在承載臺上的薄膜掩膜等的上表面的位移，或者在計(jì)測薄膜掩膜等的上表面的位移的同時，對應(yīng)于該位移傳感器的檢出結(jié)果而使攝影攝像機(jī)上下移動，在將焦距調(diào)整為最適當(dāng)?shù)耐瑫r，對薄膜掩膜等進(jìn)行掃描。
另外，還提出有這樣一種基板檢查裝置，通過用靜電吸力將印刷基板保持在承載臺上，并將圓筒狀的輥轉(zhuǎn)過印刷基板的表面，使印刷基板緊密貼附在承載臺上，排除了空氣層，從而避免上述的撓度和彎曲而進(jìn)行檢查(例如，日本專利申請?zhí)亻_2002-76569號公報(bào))。
然而，在上述這樣的采用了位移傳感器的方法中，尤其在對薄膜掩膜這樣的透明的薄板基板的檢查中，存在下列問題。也就是說，一般的位移傳感器，是向薄膜掩膜進(jìn)行光照射，根據(jù)其反射光來檢查薄膜掩膜的上表面的位移，而在采用了分辨能力較低的位移傳感器的情況下，在薄膜掩膜的掃描中，當(dāng)存在薄膜掩膜的彎曲時，從掃描的中途誤將薄膜掩膜的下表面誤分辨為上表面，而將下表面的位移作為檢出結(jié)果輸出的情況屢見不鮮。因此，為了防止這樣的誤檢出，需要使用具有非常高的分辨能力的位移傳感器。但是，具有高分辨能力的傳感器其成本也很高，其成為導(dǎo)致檢查裝置自身的價格上升的主要原因。而且，由于位移傳感器的分辨能力和測定范圍一般是相反的關(guān)系，因此在使用具有高分辨能力的位移傳感器的情況下，在薄膜掩膜的浮起較大的部位薄膜掩膜上表面的位移會超出位移傳感器的測量范圍，結(jié)果，導(dǎo)致不能實(shí)現(xiàn)滿意的計(jì)測。
而且，雖然也有用真空吸附力使薄膜掩膜的整個下表面與承載臺緊密附著的方法，但為了進(jìn)行真空吸附而需要在承載面上形成大量的吸引孔和槽。因此，在用透射光對薄膜掩膜這樣的透明的薄板基板進(jìn)行檢查時，用于攝影的透射光通過吸引孔和槽而產(chǎn)生折射，不能進(jìn)行正確的攝影。結(jié)果，給圖像處理帶來惡劣的影響，產(chǎn)生缺陷檢查精度低的問題。此外，在提高了吸附力等的情況下，薄膜掩膜的與吸引孔接觸的部分發(fā)生變形，也會產(chǎn)生該部分的缺陷檢查精度低的問題。
另一方面，在上述日本專利申請?zhí)亻_2002-76569號公報(bào)中揭示的基板檢查裝置，對基板上的配線的線寬度比較粗的情況比較有效。但是，近年來，隨著基板上的配線的高密度化，也不能忽視這方面的缺陷。換句話說，在上述日本專利申請?zhí)亻_2002-76569號公報(bào)中揭示的基板檢查裝置中，存在輥在基板上造成微細(xì)的傷痕，或者附在輥上的微細(xì)的垃圾對基板附著的可能性，而高精密的配線的檢查中，這樣的微細(xì)的傷痕和垃圾也會對檢查結(jié)果產(chǎn)生惡劣的影響。
發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種使用便宜的裝置也能夠進(jìn)行正確的檢查的光學(xué)式外觀檢查方法以及光學(xué)式外觀檢查裝置。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用下述的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的第1方面是一種光學(xué)式外觀檢查方法，檢查印刷基板和薄膜掩膜等的柔性的薄板基板，其特征在于，具有承載步驟，將薄板基板承載在承載臺上；攝像步驟，利用攝像裝置對承載在承載臺上的薄板基板進(jìn)行掃描并攝像；空氣噴出步驟，與攝像步驟的掃描并行，向薄板基板的掃描位置附近噴出空氣。
第2方面的特征在于，在上述第1方面中，還具有凈化空氣的凈化步驟，空氣噴出步驟，噴出由凈化步驟凈化的空氣。
第3方面的特征在于，在上述第1方面中，還具有非檢查區(qū)域固定步驟，將該薄板基板的非檢查區(qū)域的一部分固定在承載臺上，使得在承載步驟中承載在承載臺上的薄板基板相對于承載臺不產(chǎn)生偏移。
第4方面的特征在于，在上述第1方面中，攝像步驟基于表示承載臺的基板承載面的起伏的數(shù)據(jù)，將攝像裝置和承載臺的承載面保持為等距離的同時，對薄板基板進(jìn)行掃描。
第5方面是一種光學(xué)式外觀檢查裝置，檢查印刷基板和薄膜掩膜等的柔性的薄板基板，其特征在于，具有承載臺，其承載薄板基板；攝像裝置，其對承載在承載臺上的薄板基板進(jìn)行攝像；驅(qū)動裝置，其使攝像裝置移動，從而對承載在承載臺上的薄板基板進(jìn)行掃描；空氣噴出裝置，其追隨攝像裝置而移動，向攝像裝置掃描的薄板基板的掃描位置附近噴出空氣。
第6方面的特征在于，在上述第5方面中，還具有凈化空氣用的過濾器，空氣噴出裝置噴出透過過濾器的空氣。
第7方面的特征在于，在上述第5方面中，還具有非檢查區(qū)域固定裝置，其將該薄板基板的非檢查區(qū)域的一部分固定在承載臺上，使得薄板基板相對于承載臺不產(chǎn)生偏移。
第8方面的特征在于，在上述第5方面中，還具有起伏數(shù)據(jù)存儲裝置，其存儲表示承載臺的承載面的起伏的起伏數(shù)據(jù)，驅(qū)動裝置基于基板起伏數(shù)據(jù)，將攝像裝置和承載臺的承載面保持為等距離的同時，使攝像裝置移動。
第9方面的特征在于，在上述第5方面中，空氣噴出裝置固定在攝像裝置上。
根據(jù)上述第1方面，由于通過空氣(風(fēng)壓)將薄板基板緊密附著在承載臺上，不會像現(xiàn)有技術(shù)那樣，由于與輥等的接觸導(dǎo)致傷痕。此外，即使在薄板基板和承載臺之間產(chǎn)生了空氣層，由于通過風(fēng)壓能夠除去該空氣層而將薄板基板緊密附著在承載臺上，所以可以實(shí)現(xiàn)高精度的檢查。此外，由于不需要高性能的位移傳感器，可以控制整個裝置的成本。
根據(jù)第2方面，通過噴出凈化了的空氣，能夠除去薄板基板等之上的垃圾。結(jié)果，在缺陷檢查等中，降低了由薄板基板等上的垃圾導(dǎo)致的誤檢查。
根據(jù)第3方面，通過將薄板基板的非檢查部分固定在承載臺上，能夠排除在向薄板基板噴出空氣時薄板基板整體發(fā)生平面移動的可能性。
根據(jù)第4方面，通過攝像步驟在與承載臺的平面程度保持等距離的同時進(jìn)行掃描，可以使攝像的焦距相對于與承載臺緊密附著的薄板基板保持一定，可以實(shí)現(xiàn)更加正確的缺陷檢查。此外，由于承載臺的平面程度固定，所以事先準(zhǔn)備好承載臺自身的平面程度的位移數(shù)據(jù)，不用在每次檢查中都測定承載臺自身的平面程度，可以縮短缺陷檢查等需要的時間。尤其，由于不需要如現(xiàn)有技術(shù)那樣計(jì)測薄板基板等的平面程度的位移測定步驟，該部分就可以降低檢查方法所消耗的成本和時間。
此外，根據(jù)第5～第8方面，可以得到與上述第1-第4方面相同的效果。
根據(jù)第9方面，由于將空氣噴出裝置固定在攝像裝置上，不必另外設(shè)置用于移動空氣噴出裝置的位置的驅(qū)動裝置，可以降低裝置的成本。此外，由于空氣噴出位置和讀取位置之間的相對位置固定，可以更加可靠的用空氣抵押讀取位置的附近。
本發(fā)明的這些以及其它的目的、特征、方面、效果，參照附圖，從下面的詳細(xì)說明可更加清楚。
圖1是模式化的表示本發(fā)明實(shí)施形式的光學(xué)式外觀檢查機(jī)的整體構(gòu)成的側(cè)面圖。
圖2是模式化的表示本發(fā)明實(shí)施形式的光學(xué)式外觀檢查機(jī)的整體構(gòu)成的平面圖。
圖3是模式化的表示攝像部3、空氣噴出部件6、和噴嘴7的結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖4是模式化的表示攝像部3、空氣噴出部件6、和噴嘴7的結(jié)構(gòu)的仰視圖。
圖5是模式化的表示線傳感器10、與讀取位置11之間的位置關(guān)系的立體圖。
具體實(shí)施例方式
下面，對本發(fā)明的實(shí)施形式，參照附圖進(jìn)行說明。這里，為了使得說明具體，以對形成有配線圖形的薄膜掩膜進(jìn)行檢查的情況為例進(jìn)行說明。該實(shí)施例不是用來對本發(fā)明進(jìn)行限定。即，本發(fā)明不限于薄膜掩膜的檢查，對柔性的薄板基板的檢查都是有效的。
圖1是模式化的表示本發(fā)明實(shí)施形式的光學(xué)式外觀檢查裝置的整體構(gòu)成的側(cè)面圖。圖2是從裝置上方觀察圖1的結(jié)構(gòu)的平面圖。圖1和圖2中，光學(xué)式外觀檢查裝置由承載臺2、攝像部3、Z軸基座4、X軸基座5、空氣噴出部件6、以及噴嘴7構(gòu)成。
圖2中，承載臺2形成為在矩形框架8中安裝有玻璃板9的結(jié)構(gòu)。在該玻璃板9的上表面上承載薄膜掩膜1，并由該玻璃板9支撐著。承載臺2，由未圖示的馬達(dá)等驅(qū)動，沿著主掃描方向Y水平移動。此外，在上述玻璃板9的下方，配置有未圖示的透射照明用光源。上述透射照明用光源，將照明光通過玻璃板9照射到薄膜掩膜1的下表面。
攝像部3由線式CCD攝像機(jī)實(shí)現(xiàn)，該攝像機(jī)由線傳感器(圖3的10)和未圖示的線CCD用透鏡構(gòu)成。攝像部3(的線傳感器10)將入射的光轉(zhuǎn)換成表示其顏色和強(qiáng)度的電信號。如圖1所示，攝像部3，配置在承載臺2的承載面的上方。而且，從上述透射照明用光源照射到薄膜掩膜1上的透射光由攝像部3進(jìn)行光接收。
攝像部3，利用X軸基座5可以在副掃描方向X上移動。通過在固定了攝像部3的X方向的位置的狀態(tài)下使承載臺2在主掃描方向Y上移動而進(jìn)行主掃描，每當(dāng)從薄膜掩膜1的檢查區(qū)域的一端到另一端的主掃描結(jié)束，攝像部3沿副掃描方向僅移動規(guī)定距離。結(jié)果，能夠得到關(guān)于薄膜掩膜1的整個檢查區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)。而且攝像部3通過Z軸基座4可以在圖1的Z方向上移動。Z軸基座4，可以對應(yīng)于承載臺2的承載面的起伏使得攝像部3在Z方向上適當(dāng)移動。本實(shí)施形式中，利用從噴嘴7噴出的空氣使得薄膜掩膜1緊密附著而接觸于承載臺2的承載面。而且，薄膜掩膜1的厚度相同。因此，如果得到有關(guān)承載臺2承載面的起伏的數(shù)據(jù)和有關(guān)薄膜掩膜1的厚度的數(shù)據(jù)，則Z軸基座4可以對攝像部3的Z軸方向的位置進(jìn)行控制，使得在掃描薄膜掩膜1的期間，攝像部3的聚焦位置始終在薄膜掩膜1的上表面上。而且，關(guān)于承載臺2承載面的起伏的數(shù)據(jù)，可以在制造承載臺2的階段進(jìn)行核對并存儲在非易失性的存儲裝置中，也可以每次在檢查薄膜掩膜之前進(jìn)行核并存儲在易失性的存儲裝置中。而且，在制造好之后再進(jìn)行準(zhǔn)備的情況下，由于不需要每次在檢查薄膜掩膜之前都進(jìn)行核對，具有不需要核查承載面的起伏的傳感器的優(yōu)點(diǎn)。另一方面，在每次檢查薄膜掩膜之前進(jìn)行核對的情況下，具有這樣的優(yōu)點(diǎn)，即使在制造好之后萬一承載臺2產(chǎn)生了變形，也能對應(yīng)于該變形對聚焦位置進(jìn)行適當(dāng)?shù)目刂啤?br>
圖3是模式化的表示攝像部3、空氣噴出部件6、和噴嘴7的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖4是模式化的表示攝像部3、空氣噴出部件6、和噴嘴7的結(jié)構(gòu)的仰視圖。圖5是模式化的表示攝像部3的線傳感器10、與薄膜掩膜1上的讀取位置11之間的位置關(guān)系的立體圖。
圖3中，空氣噴出部件6安裝在攝像部3的下部凸緣上，從而不會遮擋住攝像部3的線傳感器10和讀取位置11(即線傳感器10的掃描位置)之間的透射光。噴嘴7，安裝在空氣噴出部件6上，從而能夠相對于薄膜掩膜1的上表面垂直地噴出空氣。此外，噴嘴7安裝在從空氣噴出部件6噴出的空氣所直接接觸的薄膜掩膜1的上表面的位置成為讀取位置11的附近的位置上。空氣噴出部件6得到來自未圖示的空氣供給部的空氣的供給。而且，空氣噴出部件6經(jīng)由噴嘴7噴出預(yù)先設(shè)定的、具有使薄膜掩膜1緊密附著在玻璃板9上的充足的壓力和風(fēng)力的空氣。上述空氣的風(fēng)壓和風(fēng)力的設(shè)定，可以由使用者利用未圖示的空氣調(diào)整裝置任意設(shè)定。
然后，對本實(shí)施形式中進(jìn)行的光學(xué)式外觀檢查方法進(jìn)行說明。首先，將事先準(zhǔn)備好的關(guān)于承載臺2的承載面的起伏的數(shù)據(jù)，輸入到未圖示的攝像動作控制部。該攝像動作控制部通過Z軸基座4以及X軸基座5，控制攝像部3自身向X方向和Z方向的移動。而且，攝像部3在進(jìn)行圖像獲取處理時，根據(jù)在關(guān)于上述起伏的數(shù)據(jù)中考慮了薄膜掩膜1的厚度的數(shù)據(jù)，設(shè)定上述攝像動作控制部，使其在Z方向上適當(dāng)移動。這樣，攝像部3，能夠相應(yīng)于在Y方向上水平移動的玻璃板9自身的表面的起伏而向Z方向適當(dāng)移動。這里，通過從噴嘴7噴出空氣，能夠保證將薄膜掩膜1緊密附著在玻璃板9上，所以，攝像部3能夠在從薄膜掩膜1的表面一直保持等距離的狀態(tài)下進(jìn)行攝像。
上述的攝像動作控制部的設(shè)定結(jié)束之后，將成為檢查對象的薄膜掩膜1承載在承載臺2上。然后，將薄膜掩膜1的非檢查部的一部分(一般是在薄膜掩膜的端部部分)用配備在承載臺2上的未圖示的真空吸附裝置進(jìn)行真空吸附。這樣，能夠固定薄膜掩膜1使得它在平面方向上不能移動。而且，非檢查部的固定裝置，還可以使用夾緊裝置進(jìn)行壓緊和靜電吸附裝置。而且，上述非檢查部的固定結(jié)束之后，從設(shè)置在承載臺2上的上述透射照明用光源向薄膜掩膜1照射照明光。
上述照明光照射之后，攝像部3移動到規(guī)定的圖像讀取開始位置。然后，空氣噴出部件6將具有預(yù)先設(shè)定的壓力、風(fēng)量的空氣通過噴嘴7噴出。這樣使得薄膜掩膜1上的空氣噴出地點(diǎn)附近與承載臺2緊密接觸。由于噴嘴7的空氣噴出地點(diǎn)在讀取位置11的附近，所以讀取位置11也緊密的與承載臺2相接觸。而且，本實(shí)施形式的光學(xué)式外觀檢查裝置，可以在用未圖示的Y軸傳送結(jié)構(gòu)使承載臺2在Y方向上水平移動的同時，利用攝像部3進(jìn)行圖像讀取處理。換句話說，上述光學(xué)式外觀檢查裝置，可以在利用從噴嘴7噴出的空氣將作為攝像部3的現(xiàn)在的圖像讀取對象的讀取位置11與承載臺2緊密接觸的同時，進(jìn)行圖像讀取處理。也就是說，攝像部3馬上要讀取的薄膜掩膜1上的讀取對像位置(讀取位置11)，在攝像部3的讀取時間點(diǎn)總是處于與玻璃板9緊密接觸的狀態(tài)。而且，如上所述，由于薄膜掩膜1的厚度是一樣的，所以只要將薄膜掩膜1緊密的接觸在玻璃板9的表面上，攝像部3的聚焦位置就總是在薄膜掩膜1的上表面上。結(jié)果，攝像部3可以進(jìn)行焦距不發(fā)生偏離的高精度的圖像讀取。
如上所述，通過使得承載臺2在主掃描方向Y上水平移動，攝像部3從薄膜掩膜1的檢查區(qū)域的一端到另一端進(jìn)行圖像讀取。當(dāng)上述圖像讀取結(jié)束時，攝像部3沿副掃描方向僅移動規(guī)定的距離。然后，由于承載臺2沿與上次相反的方向的Y方向上水平移動，攝像部3與之前相同而從薄膜掩膜1的檢查區(qū)域的一端到另一端進(jìn)行圖像讀取。本實(shí)施形式的光學(xué)式外觀檢查裝置，就是重復(fù)進(jìn)行上述的圖像讀取處理直到檢查區(qū)域整體的圖像讀取結(jié)束。
這樣，配合攝像部3的圖像讀取，從噴嘴7向作為攝像部3的圖像讀取位置的讀取位置11的附近噴出空氣而對薄膜掩膜1進(jìn)行抵押，可以消除在薄膜掩膜1和承載臺2之間產(chǎn)生空氣層(撓度、彎曲)。結(jié)果，可以使讀取位置11緊密的接觸在承載臺2上，避免焦距發(fā)生混亂，可正確的進(jìn)行圖像讀取。此外，由于噴出空氣而對薄膜掩膜1進(jìn)行抵押(即非接觸式)，也避免了與薄膜掩膜1的表面發(fā)生接觸而產(chǎn)生傷痕。因此，可以正確的讀取薄膜掩膜1的配線圖形，結(jié)果能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的檢查。
而且，從噴嘴7噴出的空氣，也可以是例如通過空氣過濾器等的、成為清潔度很高的空氣(凈化的空氣)。而且，還可以用離子發(fā)生器等進(jìn)行靜電除去處理。通過噴出高清潔度的空氣，對薄膜掩膜1進(jìn)行抵押，可以吹走薄膜掩膜1表面上的垃圾。結(jié)果，可以防止附著在薄膜掩膜1的表面上的垃圾導(dǎo)致的誤檢查。而且用上述高清潔度的空氣吹走垃圾，不僅在柔性的薄板基板中，還比如在將玻璃干板等作為檢查對象時也是有效的。
此外，噴嘴7不限于相對薄膜掩膜1而垂直，也可以將它安裝在空氣噴出部件6上，使得能夠從傾斜的角度噴出空氣。如上所述，從噴嘴垂直的噴出空氣的情況下，很容易將垃圾向正上方吹走，結(jié)果，吹走的垃圾有可能附著在攝像部3的線式CCD用透鏡上。因此，通過從傾斜的角度噴出空氣，可以將附著在薄膜掩膜1上的垃圾向傾斜方向吹走。這樣，與垂直的噴出空氣時相比，能夠減少朝向攝像部3的線式CCD用透鏡的垃圾的附著。此外，假如攝像部3和薄膜掩膜1之間的間隔很狹窄，難以將噴嘴7設(shè)置在攝像部3的下部凸緣的下方上時，如果將噴嘴7設(shè)置在下部凸緣的側(cè)面，將來自噴嘴7的空氣向讀取位置11的附近傾斜噴出，也可以用空氣使讀取位置11的附近緊密附著。
此外，本實(shí)施形式中雖然采用了一個攝像部3對薄膜掩膜1進(jìn)行掃描，但是本發(fā)明不限于此，例如可以在副掃描方向(X方向)上并列設(shè)置兩個攝像部，本實(shí)施形式的兩次的掃描，可以用兩個攝像部同時進(jìn)行。這時，優(yōu)選對兩個攝像部分別設(shè)置噴嘴。攝像部在設(shè)置3個以上時也相同。
此外，本實(shí)施形式中雖然是通過移動承載臺2來進(jìn)行主掃描，但是本發(fā)明不限于此，還可以通過使攝像部3在主掃描方向上移動來進(jìn)行主掃描。同樣，代替使攝像部3在副掃描方向上移動，還可以使承載臺2在副掃描方向上移動。
雖然本實(shí)施形式中噴嘴7固定在攝像部3上，但是本發(fā)明不限于此，還可以另外設(shè)置噴嘴驅(qū)動裝置，使噴嘴7能夠獨(dú)立于攝像部3進(jìn)行移動。
如上所述，對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明，前述的說明在所有的點(diǎn)上都應(yīng)該被認(rèn)為是本發(fā)明的例示，而不是對其范圍的限定。不言而明在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下可以進(jìn)行各種改良和變形。
權(quán)利要求
1.一種光學(xué)式外觀檢查方法，檢查印刷基板和薄膜掩膜等的柔性的薄板基板，其特征在于，具有承載步驟，將上述薄板基板承載在承載臺上；攝像步驟，利用攝像裝置對承載在上述承載臺上的上述薄板基板進(jìn)行掃描并攝像；空氣噴出步驟，與上述攝像步驟的掃描并行，向上述薄板基板的掃描位置附近噴出空氣。
2.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)式外觀檢查方法，其特征在于，還具有凈化空氣的凈化步驟，上述空氣噴出步驟，噴出由上述凈化步驟凈化的空氣。
3.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)式外觀檢查方法，其特征在于，還具有非檢查區(qū)域固定步驟，將該薄板基板的非檢查區(qū)域的一部分固定在上述承載臺上，使得在上述承載步驟中承載在上述承載臺上的上述薄板基板相對于上述承載臺不產(chǎn)生偏移。
4.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)式外觀檢查方法，其特征在于，上述攝像步驟基于表示上述承載臺的基板承載面的起伏的數(shù)據(jù)，將上述攝像裝置和上述承載臺的承載面保持為等距離的同時，對上述薄板基板進(jìn)行掃描。
5.一種光學(xué)式外觀檢查裝置，檢查印刷基板和薄膜掩膜等的柔性的薄板基板，其特征在于，具有承載臺，其承載上述薄板基板；攝像裝置，其對承載在上述承載臺上的上述薄板基板進(jìn)行攝像；驅(qū)動裝置，其使上述攝像裝置移動，從而對承載在上述承載臺上的上述薄板基板進(jìn)行掃描；空氣噴出裝置，其追隨上述攝像裝置而移動，向上述攝像裝置掃描的上述薄板基板的掃描位置附近噴出空氣。
6.如權(quán)利要求5所述的光學(xué)式外觀檢查裝置，其特征在于，還具有凈化空氣用的過濾器，上述空氣噴出裝置噴出透過上述過濾器的空氣。
7.如權(quán)利要求5所述的光學(xué)式外觀檢查裝置，其特征在于，還具有非檢查區(qū)域固定裝置，其將該薄板基板的非檢查區(qū)域的一部分固定在上述承載臺上，使得上述薄板基板相對于上述承載臺不產(chǎn)生偏移。
8.如權(quán)利要求5所述的光學(xué)式外觀檢查裝置，其特征在于，還具有起伏數(shù)據(jù)存儲裝置，其存儲表示上述承載臺的承載面的起伏的起伏數(shù)據(jù)，上述驅(qū)動裝置基于上述基板起伏數(shù)據(jù)，將上述攝像裝置和上述承載臺的承載面保持為等距離的同時，使上述攝像裝置移動。
9.如權(quán)利要求5所述的光學(xué)式外觀檢查裝置，其特征在于，上述空氣噴出裝置固定在上述攝像裝置上。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種光學(xué)式外觀檢查方法以及光學(xué)式外觀檢查裝置，是將薄膜掩膜(1)承載在承載臺(2)上，從以追隨攝像部(3)的形式而安裝著的空氣噴出部件(6)通過噴嘴(7)向攝像部(3)的掃描位置的附近噴出空氣。利用向掃描位置的附近噴出的空氣，在使薄膜掩膜(1)上的掃描位置周邊與承載臺(2)緊密接觸的同時，由攝像部(3)對薄膜掩膜(1)進(jìn)行掃描，對薄膜掩膜(1)的檢查區(qū)域進(jìn)行攝像。這樣，能夠使用便宜的裝置對薄膜掩膜等的柔性的薄板基板進(jìn)行正確的檢查。
文檔編號G03F1/84GK1690698SQ20051005263
公開日2005年11月2日 申請日期2005年3月7日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月23日
發(fā)明者山本正昭, 小堀由高 申請人:大日本網(wǎng)目版制造株式會社