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光學(xué)式外觀檢查方法以及光學(xué)式外觀檢查裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2779527

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本發(fā)明涉及光學(xué)式外觀檢查方法以及光學(xué)式外觀檢查裝置,尤其涉及用于檢查印刷基板和薄膜掩膜等的柔性的薄板基板的光學(xué)式外觀檢查方法以及光學(xué)式外觀檢查裝置。背景技術(shù) 眾所周知,要在安裝有電子部件等的印刷基板的表面上,構(gòu)成規(guī)定的電路所需要的導(dǎo)體配線由圖形形成。而對印刷基板等的配線圖形是否存在缺陷的檢查,例如可以按照下面的方式進(jìn)行。首先,將形成作為檢查對象的圖形的那個面作為上側(cè),而將印刷基板承載在承載臺上。在承載臺上所承載的印刷基板的上方,配置CCD(電荷耦合裝置Ch...
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