專利名稱:具有不可見電極的透明基板及結(jié)合其的器件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及至少在一面具有透明電極的透明基板,所述電極的結(jié)構(gòu)是這樣,它們的輪廓對(duì)于在可見光波長(zhǎng)范圍內(nèi)的觀察者是不可見的。
本發(fā)明還涉及這樣的器件,一般為電子裝置,包括一個(gè)或多個(gè)具有不可見電極的透明基板,其中,所述電極具有命令器或電能控制器的功能,本發(fā)明尤其涉及一種設(shè)置在電子裝置的顯示器上的器件,在所述裝置上可以從所述顯示器讀取數(shù)據(jù),而不受所述電極的結(jié)構(gòu)和設(shè)置的干擾。
本發(fā)明還涉及一種方法,用于經(jīng)濟(jì)和高精度地將電極設(shè)置在任何透明電極上,而在電極之間提供光學(xué)補(bǔ)償以使它們的輪廓不可見。
背景技術(shù):
已經(jīng)提出方案,使由設(shè)置在顯示器和觀察者之間的電極形成的界面保持盡可能地周到,并避免破壞電子裝置的美觀,尤其在鐘表的情況下。例如,公知的是,在手表中,玻璃的內(nèi)面包括電極,所述電極通過電容性或電阻性效應(yīng)可以觸摸控制時(shí)間或跟時(shí)間無關(guān)的功能,如在美國(guó)專利4,228,534和歐洲專利0 674 247、1 207 439中以非限制方式所公開的。所述玻璃還可以用由兩個(gè)具有透明電極的基板形成的單元代替或完成,所述基板之間放置有活性材料,例如以形成光電單元,所述光電單元形成能源,如在WO專利93/19479中所述,或者形成液晶單元,其可以具有透明狀態(tài)、或用于顯示對(duì)在數(shù)字盤上的顯示的補(bǔ)充的數(shù)據(jù)或與其不同的數(shù)據(jù)的狀態(tài),如在WO專利99/32945中所述。
為形成電極,以已知的方式使用透明導(dǎo)電氧化物(TCO),即,在可見范圍中的既是良導(dǎo)體又透明的材料,例如錫和銦的氧化物、摻雜銻的In2O3或SnO2。透明導(dǎo)電聚合物也可以用作構(gòu)成電極的導(dǎo)電膜,所述聚合物是具有共軛雙鍵的有機(jī)組分,其導(dǎo)電性可以通過化學(xué)或電化學(xué)摻雜得到提高。所述聚合物可以是例如聚乙炔或聚苯胺,如Ormecon。這些在50到100nm量級(jí)的膜,通過大量已知技術(shù),直接設(shè)置在透明基板上或中間層上,所述技術(shù)例如陰極濺鍍、蒸發(fā)、溶膠-凝膠技術(shù)、以及化學(xué)氣相淀積(CVD),其中激光輔助化學(xué)氣相淀積(LICVD)是受關(guān)注的。
關(guān)于構(gòu)成電極,也有各種已知的方法,所述方法利用至少對(duì)應(yīng)于電極的輪廓的掩模,或者通過用UV激光照射使溶膠-凝較膜局部結(jié)晶而淀積TCO、或者通過在連續(xù)TCO膜上進(jìn)行化學(xué)蝕刻或用具有充分通量的UV激光照射局部消除。所述透明基板、玻璃或塑料的性質(zhì),從技術(shù)和經(jīng)濟(jì)的觀點(diǎn)來看,對(duì)于將應(yīng)用的工藝的選擇,顯然是決定性的因素。通過UV激光使溶膠-凝較膜局部結(jié)晶很難應(yīng)用在例如塑料基板,如PMMA中,因?yàn)樗鲞^程是光熱反應(yīng)過程。
而且,在選擇性蝕刻方法中使用的腐蝕性很強(qiáng)的化學(xué)組分,將損壞所述基板或夾在所述基板和TCO膜之間的中間層,從而,無論用什么方法填充電極之間的不導(dǎo)電間隔,該不導(dǎo)電間隔仍然可以被肉眼看到,這些不導(dǎo)電間隔可以被肉眼看到的還一個(gè)原因是,如果需要分別為蝕刻和填充使用兩個(gè)互補(bǔ)掩模,則難于在填充所述間隔時(shí)不形成偏移光線的凸起或凹陷。
為了克服上述缺點(diǎn),在本申請(qǐng)人的歐洲專利申請(qǐng)03005615.4中提出了一種方法,其在此引用作為參考,所述方法是使用應(yīng)用激光照射的單個(gè)掩模,所述激光照射的特征(通量、脈沖數(shù)、頻率)根據(jù)用于兩個(gè)連續(xù)步驟的兩個(gè)不同模式進(jìn)行調(diào)節(jié)。第一步是完全消除在不導(dǎo)電間隔中的TCO,第二步是在所述間隔中淀積具有合適的折射率和厚度的材料。實(shí)際上,明顯地,只有通過除去在隔離兩個(gè)電極的間隔中的任何導(dǎo)電材料,才可以使靠近的兩個(gè)電極電絕緣。
然而,意外的是,已發(fā)現(xiàn)在不除去TCO的情況下,可以使導(dǎo)電性降低到足以使兩個(gè)靠近的電極能夠電絕緣的程度,這樣可以保持初始的光學(xué)性質(zhì),從而無論從哪個(gè)角度觀測(cè)由透明基板承載的所述電極,都可以使所述電極的輪廓不可見。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明因此涉及具有不可見電極的透明基板,包括其上淀積有透明導(dǎo)電膜的透明支持物,其中電極的結(jié)構(gòu)是,具有被不導(dǎo)電間隔隔開的輪廓。所述基板的特征在于,位于所述不導(dǎo)電間隔上的導(dǎo)電膜包括納米裂紋或裂縫,大部分裂紋穿過導(dǎo)電膜的整個(gè)厚度,斷開相鄰電極之間的導(dǎo)電性,而不以肉眼可見的方式改變光學(xué)路徑。這些裂紋或裂縫的邊緣最多分開幾微米,而不會(huì)被觀察者看到,所述觀察者在近距離觀測(cè)下(20-30cm),其視覺靈敏度不能使其分辨出小于1/10毫米的物體。
所述導(dǎo)電膜可以是透明導(dǎo)電氧化物(TCO),還可以是透明導(dǎo)電聚合物。然而,在下文中將主要參考TCO,這是用于制造透明電極的最常見的產(chǎn)品。
在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,優(yōu)選地,一旦淀積TCO膜,所述透明支持物則覆蓋上硬透明不導(dǎo)電材料(硬涂層)的膜,該膜有助于形成納米裂紋。
根據(jù)另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例,在構(gòu)成電極后,基板的全部表面,即,電極和不導(dǎo)電間隔,可以除電極的接觸區(qū)以外,都覆蓋上保護(hù)膜,所述膜還可以具有增透性,該膜有助于長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)固納米裂紋。
通過激光源的UV照射獲得TCO膜中的納米裂紋。為了實(shí)現(xiàn)這點(diǎn),所述方法包括以下步驟將所述基板放置到具有進(jìn)氣管和泵排氣管的密封室中,所述基板由支持物和TCO膜形成,所述TCO膜可以淀積在中間層上;在UV照射源和所述基板之間插入包括對(duì)UV照射透明的窗口的掩模,所述窗口模擬了希望的所述不導(dǎo)電間隔的輪廓;以及根據(jù)用于形成基板的材料、所述材料的厚度以及對(duì)發(fā)光源的選擇的作用,調(diào)節(jié)照射的特征,在TCO膜上形成納米裂紋而不除去物質(zhì)。
關(guān)于所述源的選擇,優(yōu)選地使用脈沖受激準(zhǔn)分子激光器,其主要在紫外范圍發(fā)光,其作用已知為進(jìn)行光致消除或標(biāo)記。其可以是例如具有短脈沖(20ns)的受激準(zhǔn)分子KrF(λ=248nm),或者是具有長(zhǎng)脈沖(250ns)的受激準(zhǔn)分子XeF(λ=308nm)?!罢丈涮卣鳌敝竿俊⒚}沖數(shù)及其頻率。
必須在下限和上限之間對(duì)這些特征進(jìn)行調(diào)節(jié),其中,在所述下限,可以觀測(cè)到裂紋,但是沒有充分的降低導(dǎo)電性,在所述上限,導(dǎo)致對(duì)TCO膜的消除,使電極的輪廓可見,假設(shè)電極之間的通常的絕緣間隔是幾十毫米的量級(jí)。顯然,如上述歐洲專利申請(qǐng)03005615.4所述,可以用透明電介質(zhì)材料填充這些間隔,從而可以獲得光學(xué)補(bǔ)償。
根據(jù)本發(fā)明的方法則具有不需要上述步驟的優(yōu)點(diǎn),從而更經(jīng)濟(jì)。所述方法也不需要在給定所述TCO膜的特定特征(折射率和厚度)的情況下,困難地選擇具有適于獲得滿意的光學(xué)補(bǔ)償?shù)恼凵渎屎秃穸鹊碾娊橘|(zhì)材料。
在構(gòu)成電極后,有利的是,仍然將基板放置在密封室中,用另一個(gè)掩模代替上述掩模,通過在所述密封室中引入前體氣體,所述另一個(gè)掩模的UV透明窗口可以在整個(gè)基板上淀積透明保護(hù)膜,即,電極和不導(dǎo)電間隔,可以除電極的接觸區(qū)以外。優(yōu)選地,使用性質(zhì)和厚度可以產(chǎn)生增透性的材料形成保護(hù)膜。該膜還具有長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)固所述納米裂紋的優(yōu)點(diǎn)。
從而,可以在上文提到的所有應(yīng)用中使用具有不可見電極的透明基板,所述透明基板對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的已知產(chǎn)品提供較高質(zhì)量的透明性和均勻性。
下面參考附圖,通過對(duì)說明性的和非限制性的示例的描述,將會(huì)看到本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點(diǎn),其中圖1是獲得根據(jù)本發(fā)明的具有不可見電極的透明基板的器件的示意圖;圖2和3示出了第一實(shí)施例的制造步驟;圖4、5和6示出了第二實(shí)施例的制造步驟;圖7示出了用于進(jìn)行電測(cè)量的裝配圖;圖8示出了根據(jù)本發(fā)明的具有納米裂紋的電介質(zhì)區(qū);
圖9對(duì)應(yīng)于圖8中在UV照射特征不充分時(shí)的情況;圖10對(duì)應(yīng)于圖8中在UV照射特征相反地過剩時(shí)的情況;圖11是參考圖8的納米裂紋的AFM圖。
具體實(shí)施例方式
圖1示意地示出了這樣的器件,它主要包括由激光源形成的UV照射源14、一種光學(xué)系統(tǒng),包括用于減少激光束的截面以增加其通量的凸透鏡16和凹透鏡18、包括UV照射透明區(qū)12的掩模10、以及密封室2。密封室2包括對(duì)UV照射透明的窗口8、進(jìn)氣管4以及泵排氣管6。密封室2還可以包括對(duì)前體氣體的媒介氣體(vector gas)的附加的進(jìn)氣管(未示出)。密封室2中放置有基板,在該示例中,所述基板包括已經(jīng)覆蓋有TCO膜5的透明基底。當(dāng)然也可以直接在密封室2中形成TCO膜,例如通過LICVD,但由于其能量損耗將增大到100倍,其在經(jīng)濟(jì)上受到較少關(guān)注,。
UV照射源由受激準(zhǔn)分子激光器產(chǎn)生,例如具有長(zhǎng)脈沖(250ns)的XeF激光器(308nm),其提供的最大能量是150mJ/脈沖,矩形光束為1.9×2.5cm2;或者具有短脈沖(20ns)的KrF激光器(280nm),其提供的最大能量是180mJ/脈沖,矩形光束為1.5×4cm2。當(dāng)然還可以使用其它激光器,例如三倍頻或四倍頻Nd:YAG激光器,如果他們的特征能適合所希望的目的。
圖2和圖3示出了最簡(jiǎn)單的實(shí)施例,其中由透明材料形成的支持物1覆蓋有連續(xù)TCO膜,例如錫和銦的氧化物(ITO),在該示例中,其厚度為70nm。當(dāng)然可以使用其它TCO,例如摻雜有Sb的In2O3或SnO2,并可以具有不同的厚度,例如可以在50和100nm之間,優(yōu)選地在65和75nm之間。如圖3所示,經(jīng)過密封室2中的UV照射后,納米裂紋11穿過ITO膜,并使電極7和接觸區(qū)15電隔離,從而形成不導(dǎo)電間隔9。為了得到這些裂紋而不消除在這些電間隔9中的ITO,必須將UV照射的特征調(diào)節(jié)到一定范圍內(nèi),從而納米裂紋的深度可以充分地?cái)嚅_導(dǎo)電性,以使相鄰的電極電絕緣,并不因此導(dǎo)致對(duì)ITO膜的消除,這在對(duì)應(yīng)圖4到6在第二實(shí)施例中將作更詳細(xì)的說明。
圖4示出了由支持物1形成的基板,在該示例中,支持物1由PMMA形成,其上淀積有硬不導(dǎo)電透明材料(硬涂層)的中間層3。該中間層保護(hù)PMMA,并有助于在形成納米裂紋后穩(wěn)固ITO基底,其由例如結(jié)合SiO2的樹脂形成,厚度在20μm的數(shù)量級(jí)上。該基板被放置到密封室2中,然后,通過掩膜10受到來自源14的UV照射。在下文的示例中,所述源由具有長(zhǎng)脈沖(250ns)的XeF受激準(zhǔn)分子激光器(λ=308nm)形成,其照度特征為5Hz 20個(gè)脈沖,照射面積為3×4nm2,而同時(shí)變化所述通量。
圖5示意性地示出了納米裂紋11的形成,所述納米裂紋產(chǎn)生隔離電極7和接觸區(qū)15的不導(dǎo)電間隔9。
圖6示出一個(gè)可選步驟,其中基板仍保留在密封室2中,但是其中由另一個(gè)掩模代替掩模10,所述另一個(gè)掩模的照射透明窗口限定上述透明基板的有效輪廓。然后,通過進(jìn)氣管4將前體氣體引入密封室,從而在重新調(diào)節(jié)UV照射特征時(shí)淀積保護(hù)膜13。膜13由例如均勻厚度的SiO2和TiO2的淀積形成,其厚度可以改變使其具有增透性。另外,一方面,膜13還可以使納米裂紋11長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)固,另一方面,膜13通過填充納米裂紋之間的間隔使電極更加不可見。
圖7到11以例子示出了如何調(diào)節(jié)UV照射特征。在改變通量時(shí)使用了三個(gè)相同的樣品,所述樣品包括厚度為20μm、其上淀積有70nm厚的ITO膜的中間層,用具有5Hz20個(gè)脈沖的308nm的長(zhǎng)脈沖受激準(zhǔn)分子激光器照射3×4mm的表面。
圖7所示的電路圖示出了用于測(cè)量在照射區(qū)中的樣品的電氣特征的安裝設(shè)置。發(fā)電器17向電路傳輸1.77伏的正弦電壓,所述電路包括串聯(lián)的可以在2.2kΩ和570kΩ之間校準(zhǔn)的電阻器19和樣品部分23,其中通過用伏特表21測(cè)量電阻器19(Rech.=(Vgen.-V)/I)兩端的電壓,可以導(dǎo)出在0.7mA到0.2μA之間的電流值。如圖8所示,“樣品部分”23取自于分別在納米裂紋的兩側(cè)的、距離為0.3到0.5mm的兩點(diǎn)之間。還可以使用環(huán)形端點(diǎn)(未示出),即柔化的觸點(diǎn),以防止端點(diǎn)破壞ITO膜。
當(dāng)樣品還沒有受到UV照射,端點(diǎn)之間的電阻是180Ω,通過樣品的電流是1.5mA,校準(zhǔn)電阻為670Ω。
圖8示出了在受到具有上述特征并且通量為65mJ/cm2的激光束照射后,在放大率大約為15的反射型顯微鏡下觀察到的圖像??梢钥吹?,納米裂紋的數(shù)量很多。通過進(jìn)行與對(duì)未照射樣品進(jìn)行的相同的電測(cè)量,其中測(cè)量端點(diǎn)之間的距離相同,得出所述交流電不再是可測(cè)的(<<0.2μA),這意味著,位于裂紋11兩側(cè)的ITO點(diǎn)得到了充分的電絕緣。
這由圖11所示的通過納米裂紋的AFM成像證實(shí)??梢钥吹?,納米裂紋最大的深度為75nm,即,所述裂紋的底部非常輕微地滲入絕緣硬涂層3,從而納米裂紋較深處的兩邊大約電氣分開70nm。還可以看到,在上部,納米裂紋11的最大寬度大約是500nm的量級(jí),即,肉眼完全觀測(cè)不到的極小寬度。
使第二樣品受到同樣的、只是通量更低,即60mJ/cm2的照射,也得到了裂紋,如圖9所示,但是在電氣特征方面有些微小變化。初始電阻為670Ω,觀測(cè)到端點(diǎn)間的電阻是800Ω,及電流是1.19mA,意味著,裂紋中仍然存在顯著的導(dǎo)電性。通過AFM成圖(未示出),可以實(shí)際確定,裂紋的最大深度是66nm,即在裂紋底部仍然保留了導(dǎo)電聯(lián)結(jié)。
相反地,通過參考圖10,可以看到,通過將65mJ/cm2的通量增加到70mJ/cm2,形成其中除去了充分寬度的ITO膜的區(qū)22,從而使隔離所述電極的所述區(qū)變?yōu)槿庋劭梢姷?。電極的導(dǎo)電性顯然得到斷開,但是然后必須進(jìn)行例如根據(jù)在上述歐洲專利03005615.4中提出的方法的補(bǔ)充制造步驟,以獲得光學(xué)補(bǔ)償。
顯而易見,本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以根據(jù)TCO膜的性質(zhì)、以及甚至中間層的性質(zhì)及其各自的厚度,根據(jù)所用激光源定義UV照射特征,從而找到在對(duì)導(dǎo)電性的斷開不充分的下限和TCO膜被撕去的上限之間的位置。
從而,當(dāng)照射區(qū)的表面積是1×4mm2、通量是85mJ/cm2時(shí),可以在與參考圖8所描述的相同的測(cè)量條件下,獲得相同的關(guān)于導(dǎo)電性的結(jié)果。
通過利用248nm短脈沖激光器,也可以獲得與圖8相同的結(jié)果,其中樣品為2×8mm2,所述激光器具有5Hz 50個(gè)脈沖,并且通量為50mJ/cm2。
根據(jù)使用的激光源,不限于受激準(zhǔn)分子激光器,本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以容易地通過一些初步的努力,確定用于不除去物質(zhì)、但充分地?cái)嚅_電極間的導(dǎo)電性地形成納米裂紋的最佳條件。
權(quán)利要求
1.具有不可見電極的透明基板,包括透明支持物(1),其上淀積有透明導(dǎo)電膜(5),其中電極(7)及其接觸區(qū)(15)的結(jié)構(gòu)為,其輪廓被不導(dǎo)電間隔(9)分開,所述透明基板的特征在于,位于所述不導(dǎo)電間隔(9)的位置上的導(dǎo)電膜(5)包括納米裂紋(11),用于斷開相鄰電極間的導(dǎo)電性,而不以肉眼可見的方式改變光線路徑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的基板,其特征在于,所述透明導(dǎo)電膜(5)是透明導(dǎo)電氧化物,選自于包括錫和銦的氧化物(ITO)、摻雜Sb的In2O3以及SnO2的組。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的基板,其特征在于,所述透明導(dǎo)電膜(5)是選自于聚乙炔和聚苯胺中的具有共軛雙鍵的摻雜導(dǎo)電聚合物。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的基板,其特征在于,所述支持物(1)和所述導(dǎo)電膜(5)之間夾有由透明不導(dǎo)電硬材料或硬涂層形成的中間層(3)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的基板,其特征在于,所述中間層(3)由結(jié)合SiO2的樹脂形成,其厚度至少是20μm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的基板,其特征在于,大部分所述納米裂紋(11)穿過所述整個(gè)導(dǎo)電膜。
7.根據(jù)權(quán)利要求2的基板,其特征在于,所述導(dǎo)電膜(5)是厚度在50到100nm之間、優(yōu)選在65到75nm之間的ITO膜。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的基板,其特征在于,所述支持物(1)由選自于聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和聚碳酸酯(PC)的材料形成。
9.根據(jù)以上權(quán)利要求之一的基板,其特征在于,所述電極(7)和所述不導(dǎo)電間隔(9)上還覆蓋有還可以具有增透性的保護(hù)膜(13)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的基板,其特征在于,所述保護(hù)膜(13)不覆蓋所述電極(7)的所述接觸區(qū)(15)。
11.根據(jù)權(quán)利要求1的基板,其特征在于,所述基板形成用于集成電子裝置中的觸摸型控制屏。
12.根據(jù)權(quán)利要求1的基板,其特征在于,所述基板形成至少一個(gè)閉合板,用于電子裝置的液晶顯示單元或光電單元中。
13.一種制造具有不可見電極的透明基板的方法,所述基板包括透明支持物(1),其上淀積有透明導(dǎo)電膜(5),其中,電極(7)的結(jié)構(gòu)為,其輪廓由不導(dǎo)電間隔(9)隔離,由照射源(14)對(duì)所述基板進(jìn)行UV照射,所述方法的特征在于以下步驟將所述基板放置到具有進(jìn)氣管(4)和泵排氣管(6)的密封室(2)中,所述基板由所述支持物(1)和所述導(dǎo)電膜(5)形成,所述導(dǎo)電膜(5)可以淀積在由透明不導(dǎo)電硬材料形成的中間層(3)上;在所述UV照射源(14)和所述基板之間插入包括對(duì)UV照射透明的窗口(12)的掩模(10),所述窗口對(duì)應(yīng)于不導(dǎo)電介質(zhì)(9);以及根據(jù)用于所述基板的材料和所述發(fā)光源(14)的選擇,調(diào)節(jié)UV照射的特征,導(dǎo)致在所述照射區(qū)的所述導(dǎo)電膜(5)中產(chǎn)生納米裂紋,而不除去任何物質(zhì)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的方法,其特征在于,其還包括用相同的UV源(14)、但是用另一種掩模代替所述掩模(10)從前體氣體淀積可以增透的導(dǎo)電膜(13)的步驟,所述另一種掩模對(duì)應(yīng)透明基板的希望有效的表面,而使所述電極(7)的所述接觸區(qū)(15)可見。
15.根據(jù)權(quán)利要求13的方法,其特征在于,所述透明導(dǎo)電膜(5)是選自于包括錫和銦的氧化物(ITO)、摻雜Sb的In2O3以及SnO2的組中的透明導(dǎo)電氧化物(TOC)。
16.根據(jù)權(quán)利要求13的方法,其特征在于所述透明導(dǎo)電膜(5)是選自于聚乙炔和聚苯胺中的摻雜導(dǎo)電聚合物。
17.根據(jù)權(quán)利要求13的方法,其特征在于,所述源(14)由選自于XeF長(zhǎng)脈沖激光器和KrF短脈沖激光器中的受激準(zhǔn)分子激光器形成。
全文摘要
一種具有不可見電極的透明基板及結(jié)合其的器件。所述電極(7)和所述接觸區(qū)(15)的結(jié)構(gòu)設(shè)置在透明導(dǎo)電氧化物(TCO)膜中,所述氧化物膜淀積在可以覆蓋有中間膜(3)的透明支持物(1)上,而由電介質(zhì)間隔(9)隔離,所述間隔(9)由通過UV照射獲得的、并穿過所述TCO膜的納米裂紋(11)形成。所述電極(7)和所述電介質(zhì)間隔(9)上可以覆蓋有保護(hù)膜(13)。
文檔編號(hào)G02F1/1343GK1624609SQ20041009553
公開日2005年6月8日 申請(qǐng)日期2004年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月1日
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