專利名稱：防水性部件及油墨噴頭的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及玻璃、陶瓷、塑料或金屬等的基材表面用有防水性的膜被覆的防水性部件的制造方法、以及油墨噴頭的制造方法。
為了使之具有這樣的表面特性，過去采用了以下的三種方法。
第一種方法是通過噴砂清理或蝕刻等將玻璃、塑料、金屬等的基材表面粗面化，再用等離子體等處理后，涂布含有聚四氟乙烯(PTFE)等的含氟樹脂粒子的涂料。干燥后在350°～400℃進行燒結(jié)處理，在基材表面涂布含氟樹脂的方法。
第二種方法是采用真空蒸鍍法、濺射法等，在玻璃、塑料、金屬等的基材上形成聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物等氟系樹脂的方法。
第三種方法是如特開本4-283268號公報所公開的，把分子量8000～10000左右的聚四氟乙烯低聚物分散在鍍液中，使低聚物共析在鍍膜上形成防水性金屬復(fù)合體的方法。
這些是在基材上將防水性高的物質(zhì)成膜、賦予防水性等表面特性的方法，但周知的是防水性不僅受形成材質(zhì)的防水特性而且受表面狀態(tài)極大的影響。
因此，嘗試了要求更高的防水性、利用防水面表面存在的微小突起使實際的表面積比表觀表面積大，增大與水的表觀接觸角。
例如，特開平4-239633號公報公開了利用硅氧烷鏈使有微粒子及硅酸鹽玻璃混合所致凹凸層與含氟碳基及硅氧烷基的聚合物膜層進行化學(xué)結(jié)合，表面形成凹凸的防水性膜的方法。
然而，氟系樹脂的被膜雖然防水性好，但耐擦傷性不夠充分，不能作為硬涂層被膜利用。
因此，作為具備耐擦傷性的防水性被膜，特開平3-153859號公報公開了在塑料基材上以金屬氧化物為底層，在該金屬氧化物上形成金屬氧化物與氟樹脂的混合層的被膜。
根據(jù)該公報，在塑料基材上，作為底層采用真空蒸鍍法形成金屬氧化物層，在該底層上，用金屬氧化物與氟系樹脂組成的靶，采用濺射法形成金屬氧化物與氟系樹脂的混合層構(gòu)成的被膜。
然而，如上述的以往技術(shù)的情況，產(chǎn)生如下述的問題。
過去第一種方法，必須合成含有聚四氟乙烯(PTFE)等含氟樹脂粒子的涂料，還必須進行涂布、干燥、燒結(jié)處理，工序復(fù)雜。
第三種方法，把分子量8000～10000左右的聚四氟乙烯低聚物分散在鍍液中，使低聚物共析在鍍膜上形成防水性的金屬復(fù)合體的方法，必須使聚四氟乙烯分散在鍍液中，材料受到限制。
另外，過去的第一、第二、第三種方法，被膜由于用氟系樹脂單一層覆蓋，雖然防水性好，但耐擦力性不夠充分。
因此，為了獲得耐擦傷性好的被膜，有在基材上以金屬氧化物層為底層、在該金屬氧化物上形成金屬氧化物與氟樹脂的混合層的方法、但在底層上，用金屬氧化物與氟系樹脂組成的靶、采用濺射法形成金屬氧化物與氟系樹脂的混合層組成的被膜時，為了用相同的投入電力濺射氟系樹脂和金屬氧化物，由于一般選擇性地進行比金屬氧化物有大的成膜速度的氟系樹脂，所以混合膜的組成控制(被膜中的金屬氧化物與氟樹脂的含有量)難，很難獲得一定水平的防水性和耐擦傷性。
因此，要求容易形成有一定水平的防水性和耐擦傷性的被膜的方法。
本發(fā)明的目的在于提供不受材料的限制，對必要的表面不經(jīng)掩遮等的工序而用簡單的工序制造防水特性且耐久性好的、用有防水性的膜被覆的防水性部件的方法。
此外，本發(fā)明的目的在于提供具備提高防油墨性能的孔板的油墨噴頭的制造方法。
本發(fā)明的防水性部件的制造方法，是有基材和被覆前述基材表面的防水性膜的防水性部件的制造方法，其特征在于具有利用氣體輸送有防水性物質(zhì)的粒子的工序，和由噴嘴噴射所輸送的前述粒子而噴涂在基材上，在基材表面形成防水性膜的工序。
另外，本發(fā)明的油墨噴頭的制造方法，是具備表面有防油墨性孔板的油墨噴頭的制造方法，其特征在于前述孔板的形成有利用氣體輸送有防油墨性物質(zhì)的粒子的工序，和由噴嘴噴射所輸送的前述粒子噴涂在基材上，在基材表面形成防油墨性膜的工序。
圖2是有關(guān)第1實施例的微粒子膜形成裝置的模式圖。
圖3是有關(guān)第2實施例的微粒子膜形成裝置的模式圖。
圖4是表示第2實施例中防水性膜表面的AFM觀察結(jié)果的圖。
圖5是第3實施例的微粒子膜形成裝置的模式圖。
圖6是第4實施例的微粒子膜形成裝置的模式圖。
圖7是第5實施例的微粒子膜形成裝置的模式圖。
圖8是說明油墨噴頭構(gòu)成的概略圖。
圖9是第6～第8實施例的微粒子膜形成裝置的模式圖。
最佳實施方案本發(fā)明的防水性部件的制造方法，是有基材和被覆前述基材表面的防水性膜的防水性部件的制造方法，其特征在于具有利用氣體輸送有防水性物質(zhì)的粒子的工序，和由噴嘴噴射所輸送的前述粒子而噴涂在基材上，在基材表面形成防水性膜的工序。
另外，上述本發(fā)明的防水性部件的制造方法，還有通過加熱有防水性的物質(zhì)而生成前述所輸送粒子的工序。
另外，上述加熱采用電弧放電加熱、高頻感應(yīng)加熱、或電阻加熱。
另外，還有將前述輸送的粒子氣溶膠化的工序。
另外，前述氣溶膠化通過加熱有防水性的物質(zhì)、使之蒸發(fā)、使惰性氣體與有蒸發(fā)的該防水性的物質(zhì)接觸而完成。
另外，前述氣溶膠化通過將前述輸送的粒子與氣體進行混合而完成。
另外，對前述基材噴涂的粒子，由多種的粒子構(gòu)成。
另外，前述輸送的粒子是多種的粒子，前述多種的粒子分別在同一室內(nèi)生成。
另外，前述輸送的粒子是多種的粒子，還有在同一室內(nèi)將前述多種類的粒子氣溶膠化的工序。
另外，前述所輸送的粒子是多種的粒子，還有在彼此不同的室內(nèi)將前述多種的粒子氣溶膠化的工序，對前述基材的噴涂，采用由彼此不同的噴嘴噴射該多種的粒子的方法進行。
另外，前述所輸送的粒子是多種的粒子，還有在彼此不同的室內(nèi)將前述多種的粒子氣溶膠化的工序，對前述基材的噴涂，采用混合該多種的粒子，由同一個噴嘴噴射的方法進行。
另外，有前述防水性的物質(zhì)的粒子，其粒子徑是0.5μm以下。
另外，有前述防水性的物質(zhì)的粒子，至少由含碳原子及氟原子的樹脂組成。
另外，有前述防水性的物質(zhì)的粒子，至少由含硅原子的樹脂組成。
另外，前述多種的粒子，含有至少由含碳原子及氟原子的樹脂組成的粒子，和由金屬或金屬氧化物組成的粒子。
另外，前述多種的粒子，含有至少由含硅原子的樹脂組成的粒子，和由金屬或金屬氧化物組成的粒子。
另外，前述金屬是鎳、鈦、金、銀、銅的任一種。
另外，前述金屬氧化物的金屬是鋁、鈦、硅的任一種。
另外，對基材噴涂前述粒子中或噴涂后，加熱基材表面的防水性膜使之熔融。
作為更優(yōu)選的方案包括以上的條件。
這里，簡單地說明有關(guān)以上本發(fā)明優(yōu)選實旋方案用的氣相沉積法。
氣相沉積法，根據(jù)氣溶膠形成方法的不同，有使材料蒸發(fā)生成粒子后形成氣溶膠的蒸發(fā)方法，和材料是粒子時，由其粒子形成氣溶膠的氣溶膠法。


圖1表示作為氣溶膠形成方法，采用蒸發(fā)法的膜形成裝置的模式圖。
如圖所示，用蒸發(fā)法使材料在粒子生成室(真空室)4內(nèi)蒸發(fā)，使該蒸發(fā)原子與導(dǎo)入生成室4內(nèi)的惰性氣體沖撞、急冷，使蒸發(fā)原子彼此結(jié)合，進行粒子化。用該粒子生成室4內(nèi)的蒸發(fā)源生成的材料蒸汽通過電弧加熱電極6等的加熱機構(gòu)加熱而生成。再者，作為加熱用的機構(gòu)(加熱方式)，可以采用電弧熔解，高頻感應(yīng)加熱、電阻加熱、電子束、通電加熱、等離子體噴槍、激光束加熱等。另外，11是將多余的粒子進行排氣的多余粒子排氣機構(gòu)。
這樣形成的粒子的尺寸按導(dǎo)入的氣體量或種類而變，一般具有數(shù)nm～數(shù)μm的平均粒子直徑，但優(yōu)選0.5μm以下。
此外，將這樣地在粒子生成室4內(nèi)生成的粒子通過粒子輸送管7與氣體一起導(dǎo)入粒子膜形成室3，在粒子膜形成室3內(nèi)，從安裝在粒子輸送管7前端的噴嘴2與氣體一起高速噴射，在作為膜形成對象物的基板1上形成膜。膜形成時，若預(yù)先加熱基板1則提高膜的粘附性。另外，采用成膜中或成膜后加熱膜使之熔融的方法也可以提高膜的粘附性。
氣溶膠法中，振蕩加入粒子的容器進行氣溶膠化，以氦或氮氣等作為載氣輸送該氣溶膠，導(dǎo)入膜形成室，通過從連接在輸送管端部的噴嘴噴射而描繪形成膜。
用以上的方法形成防水性膜時，由于防水材料等組成的粒子使粒徑為0.5μm以下，所以微粒子燒結(jié)，結(jié)合，可以用微粒子覆蓋防水性部件膜的表面。
如上所述，通過采用氣相沉積法、通過將金屬、氧化物、氟系樹脂等的防水材料粒子化或氣溶膠化、輸送、噴射、成膜這些工序，可以直接將防水材料被膜化、可以容易地形成有一定水平以上的防水性和耐擦傷性的被膜。
以下，參照附圖，列舉本發(fā)明的最佳實施方案與實施例詳細地進行說明。但是，該實施方案所述的構(gòu)成部件的尺寸、材質(zhì)、其相對配置等，只要沒有特殊的說明，則不是把本發(fā)明的范圍只限定于這些的意思。再者，有關(guān)本發(fā)明實施方案的超微粒子膜形成裝置整體的基本構(gòu)成，由于與解決上述課題的方法項目中說明的圖1所示的情況相同，故省略其詳細的說明，只對本實施方案或?qū)嵤├刑卣餍缘臉?gòu)成等詳細地進行說明。
本發(fā)明實施方案的防水性部件，其特征是用粒徑0.5μm以下的微粒子形成防水性部件表面。
另外，本發(fā)明實施方案的防水性部件的制造方法，在將微粒子氣溶膠化，通過與輸送氣體一起噴涂在基板上形成薄膜的氣相沉積法中，氣溶膠化的材料使用至少含C(碳原子)及下F(氟原子)或Si(硅原子)的樹脂組成的微粒子，而微粒子使用至少含C及F或Si的樹脂組成的微粒子及金屬氧化物組成的微粒子。
以下，敘述防水性部件。
采用氣相沉積法形成防水性部件時，在微粒生成室或氣溶膠形成室形成的微粒子的粒徑如果是0.5μm以下，則在膜形成室基材上形成防水性膜時，從噴嘴噴出的粒子對基材的粘附性更好。
本實施方案中，微粒子的粒徑為0.5μm以下，形成防水性部件表面的微粒子的粒徑為0.5μm以下。
以下，敘述有關(guān)防水性部件的制造方法，氣溶膠化的材料是含C及F或Si的材料，單一的材料時，將材料微粒子化使之氣溶膠化時，使該材料在填充惰性氣體的微粒子生成室微粒子化、氣溶膠化，另外，預(yù)先是微粒子的情況，在氣溶膠形成室振蕩加入微粒子的容器使微粒子氣溶膠化。
這里，作為使含C及F或Si的材料在微粒子生成室微粒子化的方法，可以列舉在惰性氣體環(huán)境氣氛中電阻加熱、高頻感應(yīng)加熱、激光加熱等，可以使用任一種方法。
另外，在氣溶膠形成室使微粒子氣溶膠化時，可列舉振蕩加入微粒子的容器、利用超聲波等各種方法，可以使用任一種方法。
通過氣體輸送、輸送管，將以上含微粒子生成室或氣溶膠形成室氣溶膠化的C及F或Si的氣溶膠導(dǎo)入膜形成室，從噴嘴使之高速噴射描繪在基材上，通過用防水性膜被覆基材表面形成防水性部件。
以下，對在防水性部件的基材上形成被覆防水性膜的材料采用2種以下的物質(zhì)形成的情況進行說明。
使含形成防水性膜的C及F或Si的材料(以下，稱第一材料)氣溶膠化時，進行微?；那闆r在填充惰性氣體的微粒子生成室使該材料微粒子化、氣溶膠化。另外，第一材料預(yù)先是微粒子時，在氣溶膠形成室使被填充的微粒子氣溶膠化。
使含形成防水性膜的C及F或Si的材料，或金屬氧化物(以下，稱第二材料)氣溶膠化時，進行微粒子化的情況在填充惰性氣體的微粒子生成室使該材料微粒子化、氣溶膠化、另外，第二材料預(yù)先是微粒子時，在氣溶膠形成室使被填充的微粒子氣溶膠化。
在氣體輸送途中，使含這些第一材料和第二材料的氣溶膠合流，形成第一材料和第二材料的混合氣溶膠，通過輸送管導(dǎo)入膜形成室，使之從噴嘴高速噴出、描繪在基材上，在基材表面形成防水性膜。
使這些第一材料、第二材料在各個微粒子生成室或氣溶膠形成室形成氣溶膠在輸送管途中合流形成混層流。
在輸送管途中使第一材料、第二材料的氣溶膠合流時，只調(diào)整各個流體的流量可形成任意混合比的防水性膜。
此外，對膜厚方向有任意混合比分布的防水性膜也利用只調(diào)整該流量即可形成膜。
通過利用該方法可進一步提高與基材的粘附性。
形成防水性膜的材料，3種以上的情況也同樣地在各微粒子生成室或氣溶膠形成室形成氣溶膠、也可在輸送管途中合流形成混合氣體。
這些是在輸送管途中使各氣溶膠合流形成混合氣體的方法。
作為其他的方法也可列舉形成防水性膜的材料是兩種以上的情況。同樣采用在微粒子生成室加熱各材料的方法生成各各微粒子。在微粒子生成室形成微粒子分散的混合氣體，進行氣溶膠化。另外，材料預(yù)先是微粒子時、在氣溶膠形成室內(nèi)使微粒子混合、氣溶膠化、氣體輸送這些的氣溶膠，通過輸送管導(dǎo)入膜形成室，從噴嘴高速噴出，描繪在基材上，在基材表面形成防水性膜。
此外，作為其他的方法，形成防水性膜的材料是兩種以上時，使含形成防水性膜的C及F或Si的材料(第一材料)氣溶膠化時，進行微粒子化的情況在填充惰性氣體的微粒子生成室使該材料微粒子化、氣溶膠化，另外，預(yù)先是微粒子時，在氣溶膠形成室使被填充的微粒子成氣溶膠狀。
使含形成防水性膜的C及F或Si的材料、或金屬氧化物(第二材料)氣溶膠化時，進行微粒子的情況，在填充惰性氣體的微粒子生成室使該材料微粒子化、氣溶膠化，另外，預(yù)先是微粒子時，在氣溶膠形成室使被填充的微粒子氣溶膠化。
將以上的微粒子生成室或氣溶膠形成室氣溶膠化的兩種類的氣溶膠用各輸送管氣體輸送，導(dǎo)入膜形成重從各噴嘴高速噴出在即將形成膜之前使材料混合，形成防水性膜。
另外，作為利用上述防水性部件制造方法的更具體的例子，敘述有關(guān)油墨噴頭的制造方法。
首先，油墨噴射記錄裝置，將油墨等的液體供給油墨噴頭，通過根據(jù)與記錄信息或圖像信息對應(yīng)的驅(qū)動信號驅(qū)動設(shè)在油墨噴頭上的壓電元件或電熱變換元件等的噴出能量發(fā)生元件噴出液滴進行印字記錄或圖象形成等，周知的是在低噪音、高速記錄方面為良好的記錄裝置。
這里，上述油墨噴頭，如圖8所例示，由形成油墨噴出手段(噴出能量發(fā)生元件)的元件基板102、在元件基板102上隔開形成液體流路106用的液體流路壁104、與形成把液體供給液體流路106的液室覆蓋液體流路106上面形成的蓋板105組成，備有通過液體流路壁104將元件基板102與蓋板105接合構(gòu)成的頭基板101，和有與液體流路106相對應(yīng)的油墨噴出口的孔板110，利用膠粘劑使孔板110與頭基板101的液體流路開口面露出的108粘接而構(gòu)成。另外，孔板110的表面有防油墨性，因此，油墨噴出時可防止油墨滯留在油墨噴出口110周邊，提高噴出穩(wěn)定性。
這里所述的利用上述防水性部件制造方法的油墨噴頭的制造方法，其特征是采用與上述的防水性部件的制造方法相同的方法制造上述孔板。
但是，在上述的防水性部件的制造方法中的防水性膜，在油墨噴頭的制造方法中，必須是防油墨性膜，因此可使用的粒子也應(yīng)是有防油墨性物質(zhì)的粒子。另外，有防油墨性的物質(zhì)的粒子，平均粒子直徑更優(yōu)選是1μm以下、上述的金屬或金屬氧化物的粒子更優(yōu)選是0.1μm以下。
除以上的方面外，油墨噴頭制造方法中，也完全優(yōu)選使用上述防水性部件制造方法中所述的同樣的方案。
以下，通過實施例說明本發(fā)明，但本發(fā)明不受這些實施例的任何限制。
(第1實施例)參照圖2，說明有關(guān)第1實施例的微粒子膜形成方法及微粒子膜形成裝置。圖2是本發(fā)明的第1實施例的微粒子膜形成裝置的模式圖。
本實施例，對形成防水性膜的材料是單一材料，材料在沒有進行微粒子化的情況進行說明。
首先，在微粒子生成室4內(nèi)的坩堝12中加滿作為材料5的四氟乙烯樹脂，用20kW高頻感應(yīng)加熱電源8加熱，使四氟乙烯樹脂熔解充滿坩堝12內(nèi)。
然后，繼續(xù)加熱使四氟乙烯樹脂氣化，生成粒徑3nm～500nm的四氟乙烯超微細粒子。
將該氣化的四氟乙烯樹脂的蒸氣置于He載氣中成氣溶膠狀，借助壓差輸送到微粒子膜形成室3形成四氟乙烯樹脂組成的超微細粒子膜。
由于微粒子輸送管7被固定，故用掃描基板1的方法形成帶狀的防水性膜。再者，基板1的移動速度是0.1mm/s。
用接觸式膜厚計測定這樣形成的膜的厚度，結(jié)果是50μm左右。
再者，成膜條件是噴嘴直徑φ1mm、玻璃基板、基板不加熱、超微細粒子生成重壓力500torr(66500Pa)、He氣流量10L/分、膜形成室壓力0.1torr(13.3Pa)。此外，通過在300℃將基板1的超微細粒子膜加熱10分鐘，提高超微細粒子膜的粘附性。
(第2實施例)參照圖3，對第2實施例的微粒子膜形成方法及微粒子膜形成裝置進行說明。圖3是本發(fā)明第2實施例的微粒子膜形成裝置的模式圖。
本實施例對形成防水性膜的材料是單一材料、材料微粒子化的情況進行說明。
首先，在氣溶膠形成室9內(nèi)的容器中、加滿作為材料5、粒徑0.2μm的四氟乙烯組成的微細子，用氣體輸送管將He氣導(dǎo)入該容器內(nèi)、使微粒子氣溶膠化。
把該氣溶膠化的微粒子置于He的載氣中，由微粒子輸送管7借助壓差輸送到微粒子膜形成室3，從安裝在微粒輸送管7前端的噴嘴2高速噴射，在基板1上形成四氟乙烯樹脂組成的超微細粒子膜。
用AFM(原子間力顯微鏡)觀察所形成膜的結(jié)果示于圖4。
由圖4可以看出，膜表面結(jié)合約0.2μm粒子的樣子。其他與第1
(第3實施例)參照圖5，對第3實施例的微粒子膜形成方法及微粒子膜形成裝置進行說明。圖5是本本發(fā)的第3實施例的微粒子膜形成裝置的摸式圖。
本實施例是對形成防水性膜的材料是兩種、兩種材料均是微粒子，此外在同一個氣溶膠化形成室將各微粒子進行氣溶膠化的情況進行說明。
首先，在氣溶膠形成室9內(nèi)的容器中加滿四氟乙烯組成的微粒子(材料5a)及Al2O3組成的微粒子(材料5b)。用氣體輸送管10將He氣導(dǎo)入該容器內(nèi)，使四氟乙烯的微粒子及Al2O3的微粒子氣溶膠化、混合。
把這些氣溶膠化的微粒子置于He的載氣中，用微粒子輸送管借助壓差輸造到微粒子膜形成室、從安裝在微粒子輸送管7前端的噴嘴2高速噴射，在基板1上形成四氟乙烯與Al2O3組成的超微細粒子膜。其他與第1實施例相同。
(第4實施例)參照圖6，對第4實施例的微粒子膜形成方法及微粒子膜形成裝置進行說明，圖6是本發(fā)明的第4實施例的微粒子膜形成裝置的模式圖。
本實施例對形成防水性膜的材料是兩種，其中一種材料已微粒子化，在另外的室內(nèi)氣溶膠化，各從噴嘴噴射在基材板上同一個地方的情況進行說明。
首先，在氣溶膠形成室9內(nèi)的容器中加滿四氟乙烯組成的微粒子(材料5a)、用氣體輸送管10把He氣導(dǎo)入該容器內(nèi)、使四氟乙烯的微粒子氣溶膠化。
另外，在微粒子生成室4內(nèi)的坩堝12中加滿Ni(材料5b)、用25kW高頻感應(yīng)加熱電源8進行加熱，使Ni熔解充滿坩堝12內(nèi)。
然后，繼續(xù)加熱，使Ni氣化。把該Ni的蒸氣置于He的載氣中成氣溶膠狀。
用各個的微粒子輸送管7氣體輸送這兩種(四氟乙烯、Ni)的氣溶膠導(dǎo)入微粒子膜形成室3，各從噴嘴2高速噴射、在基板上形成四氟乙烯與Ni組成的超微細粒子膜。其他與第1實施例相同。
(第5實施例)
參照圖7對第5實施例的微粒子膜形成方法及微粒子膜形成裝置進行說明。圖7是本發(fā)明的第5實施例的微粒子膜形成裝置的模式圖。
本實施例對形成防水性膜的材料是2種，材料已微粒子化，在另外的室內(nèi)氣溶膠化，在輸送管途中合流從噴嘴噴射到基板上的情況進行說明。
首先，在氣溶膠形成室9a內(nèi)的容器中加滿Si樹脂組成的微粒子(材料5a)、用氣體輸送管10a把He氣導(dǎo)入該容器內(nèi)，使Si樹脂的微粒子氣溶膠化。
另外，在另一個的氣溶膠形成室9b內(nèi)的容器中加滿Al2O3組成的微粒(材料5b)，用氣體輸送管10b把He導(dǎo)入該容器內(nèi)，使Al2O3的微粒子氣溶膠化。
分別用輸送管7a、7b氣體輸送這兩種氣溶膠、在輸送管的中途合流形成混層流。
把該混相流導(dǎo)入微粒子膜形成室從噴嘴2高速噴射，在基板1上形成Si樹脂與Al2O3組成的超微細粒子膜。其他與第1實施例相同。
(第6實施例)在厚度75μm的Ni板上開直徑30μm的噴孔、噴孔間距為100μm，將其用作孔板的基材。
作為孔板的基材，除了金屬以外，也可以用玻璃或樹脂。
把該Ni板浸漬在丙酮中，進行超聲波洗滌5分鐘。
把洗滌、干燥后的Ni板基板21設(shè)置在圖9所示的氣相沉積裝置的膜形成室23的掃描臺上。
作為防油墨材料的微粒子使用大金工業(yè)公司制PTFE(商品名ルブロンL5-F)，通過掃描型電子顯微鏡(SEM)觀察粒徑的結(jié)果大約是0.2μm。將該微粒子加到容器(氣溶膠形成室28)中振蕩進行氣溶膠化。
在表1所示的條件下輸送超微細粒子，從安裝在輸送管27前端的直徑1mm的噴嘴22噴射PTFE微粒子，在Ni板21上成膜。
表1

成膜后，用環(huán)境氣氛爐在350℃將基板加熱處理1小時。
測定這樣制作的孔板的外表面與水的接觸角結(jié)果是119°。為了評價耐久性進行摩擦試驗。摩擦試驗是在孔板上滴下打印機用的油墨或水、用旭化成公司制ベンコツト，摩擦次數(shù)為3000次。試驗后測定接觸角，結(jié)果是110°。另外，符號29表示向容器(氣溶膠形式室28)內(nèi)導(dǎo)入He氣體的氣體輸送管。
(第7實施例)與實施例6同樣地用Ni的孔板基材。
將該孔板浸漬在丙酮中，進行超聲波洗滌5分鐘。
把洗滌、干燥后的Ni板設(shè)置于圖9所示的氣相沉積裝置的掃描臺上。作為超微細粒子的發(fā)生室，設(shè)金屬用的和防油墨材料用的2室、作為金屬微粒子的發(fā)生室24，用電弧加熱手段26通過電弧放電加熱Ni材料，制得Ni的超微細粒子。用掃描型電子顯微鏡(SEM)觀察這時制的Ni的超微細粒子，粒徑大約是50nm。另外，用氦氣將該Ni的微粒子氣溶膠化。制Ni的超微細粒子也可以用高頻感應(yīng)加熱、電阻加熱，作為金屬微粒子還可以用鈦、金、銀、銅。
作為防油墨材料，用大金工業(yè)公司制PTFE(商品名ルブロンL5-F)，把該材料加到容器(氣溶膠形成室28)中，振蕩進行氣溶膠化。
在表2所示的條件下輸送超微細粒子、從安裝在輸送管27前端的直徑1mm的噴嘴22噴射Ni超微細粒子與PTFE微粒子的混合物在Ni板21成膜。
表2

成膜后，用環(huán)境氣氛爐在330℃將基板熱處理1小時。
測定這樣制作的孔板的外表面與水的接觸角，結(jié)果是115°。為了評價耐久性進行與實施例6同樣的摩擦試驗。試驗后，測定接觸角，結(jié)果是108°。另外，符號30表示排氣多余粒子的多余粒子排氣機構(gòu)。
(第8實施例)與第6實施例同樣地用Ni的孔板基材。
把該Ni板浸漬在丙酮中，進行超聲波洗滌5分鐘。
把洗滌、干燥后的Ni板設(shè)置在圖9所示的氣相沉積裝置的掃描臺上。作為超微細粒子的發(fā)生室，設(shè)金屬氧化物用的和防油墨材料用的2室。
作為金屬氧化物微粒子，用Al2O3，把Al2O3加到容器(氣溶膠形成室28)中振蕩進行氣溶膠化。作為金屬氧化物微粒子，作為金屬還可以用鈦或硅的氧化物。
作為防油墨材料，用大金工業(yè)公司制PTFE(商品名ルブロンL5-F)；把該材料加到容器[氣溶膠形成室(沒有圖示但與28相同)]。振蕩進行氣溶膠化。
以氦為載氣輸送這些超微細粒子，從安裝在輸送管27前端的直徑1mm的噴嘴22噴射Al2O3超微細粒子和PTFE微粒子的混合物，在Ni板21上成膜。
成膜后，用環(huán)境氣氛爐在330℃將基板熱處理1小時。
測定這樣制作的孔板的外表面與水的接觸角，結(jié)果是118°。為了評價耐久性，進行與實施例6同樣的摩擦試驗。試驗后測定接觸角，結(jié)果是111°。
如以上說明，根據(jù)本發(fā)明，可用于產(chǎn)業(yè)機器、電子儀器等的各種制品的、賦予防水性、耐候性或防污性等特性的防水性部件，通過采用氣相沉積法在基材上形成防水性膜、沒有材料的限制，不經(jīng)掩遮等的工序而用簡單的工序便可只在需要的表面均勻在形成防水特性且耐久性好的防水膜。
另外，如上述說明，根據(jù)本發(fā)明，油墨噴頭的孔板，通過采用氣相沉積漬形成防油墨層，可獲得高的防油墨性和高耐久性，可以高精度且穩(wěn)定的噴出。
采用氣相沉積法制作的油墨噴頭的孔板是涉及今后要求的印象速度的高速化以及噴出穩(wěn)定化、高耐久化，發(fā)揮良好性能的部件，可在照相或圖像的高速打印或產(chǎn)業(yè)用途方面開展應(yīng)用。
權(quán)利要求
1.防水性部件的制造方法，是有基材和被覆前述基材表面的防水性膜的防水性部件的制造方法，其特征在于有用氣體輸送有防水性物質(zhì)的粒子的工序，和由噴嘴噴射所輸送的前述粒子噴涂在基材上，在基材表面形成防水性膜的工序。
2.權(quán)利要求1所述的防水性部件的制造方法，其特征在于還有加熱有防水性的物質(zhì)生成前述所輸送粒子的工序。
3.權(quán)利要求1所述的防水性部件的制造方法，其特征在于還有將前述所輸送的粒子進行氣溶膠化的工序。
4.權(quán)利要求3所述的防水性部件的制造方法，其特征在于前述氣溶膠化通過加熱有防水性的物質(zhì)、使之蒸發(fā)，使惰性氣體與蒸發(fā)的有該防水性的物質(zhì)接觸而完成。
5.權(quán)利要求3所述的防水性部件的制造方法，其特征在于前述氣溶膠化通過將前述所輸送的粒子與氣體混合而完成。
6.權(quán)利要求1所述的防水性部件的制造方法，其特征在于對前述基材噴涂的粒子由多種的粒子構(gòu)成。
7.權(quán)利要求1所述的防水性部件的制造方法，其特征在于前述所輸送的粒子是多種的粒子，前述多種的粒子分別在同一個室內(nèi)生成。
8.權(quán)利要求1所述的防水性部件的制造方法，其特征在于前述所輸送的粒子是多種的粒子，還有在同一個室將將前述多種的粒子氣溶膠化的工序。
9.權(quán)利要求1所述的防水性部件的制造方法，其特征在于前述所輸送的粒子是多種的粒子，還有在彼此不同的室將前述多種的粒子氣溶膠化的工序，對前述基材的噴涂通過彼此不同的噴嘴噴射該多種的粒子進行。
10.權(quán)利要求1所述的防水性部件的制造方法，其特征在于前述所輸送的粒子是多種的粒子，還有在彼此不同的室將前述多種的粒子進行氣溶膠化的工序，對前述基材的噴涂、通過混合多種的粒子，由同一個噴嘴進行噴射。
11.權(quán)利要求1所述的防水性部件的制造方法，其特征在于有前述防水性的物質(zhì)的粒子，其粒子徑是0.5μm以下。
12.權(quán)利要求1所述的防水性部件的制造方法，其特征在于有前述防水性的物質(zhì)的粒子，由至少含碳原子及氟原子的樹脂組成。
13.權(quán)利要求1所述的防水性部件的制造方法，其特征在于在前述防水性的物質(zhì)的粒子，由至少含硅原子的樹脂組成。
14.權(quán)利要求6所述的防水性部件的制造方法，其特征在于前述多種的粒子，含有由至少含碳原子及氟原子的樹脂組成的粒子，和由金屬或金屬氧化物組成的粒子。
15.權(quán)利要求6所述的防水性部件的制造方法，其特征在于前述多種的粒子含有由至少含硅原子的樹脂組成的粒子，在由金屬或金屬氧化物組成的粒子。
16.權(quán)利要求1所述的防水性部件的制造方法，其特征在于基材上噴涂前述粒子中或噴涂后，加熱基材表面的防水性膜使之熔融。
17.油墨噴頭的制造方法，是備有表面有防油墨性的孔板的油墨噴頭的制造方法，其特征在于前述孔板的形成有用氣體輸送有防油墨性的物質(zhì)的粒子的工序，和由噴嘴噴射所輸送的前述粒子噴涂在基材上，在基材表面形成防油墨性膜的工序。
全文摘要
通過用氣體輸送有防水性的物質(zhì)的粒子、由噴嘴噴射所輸送的前述粒子噴涂在基材上，在基材表面形成防水性膜，提供用簡單的工序制造防水特性且耐久性好、有防水性膜被覆的防水性部件的方法。
文檔編號B41J2/135GK1438076SQ031044
公開日2003年8月27日 申請日期2003年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2002年2月15日
發(fā)明者齋藤康行, 石倉淳理, 青山和弘 申請人:佳能株式會社