專利名稱：用于列印裝置的噴墨頭及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于列印裝置的噴墨頭及其制造方法，特別是指一種利用光蝕刻方式形成噴孔的方法，該方法可使噴墨頭的制造良率提升及降低生產(chǎn)成本。
傳統(tǒng)的熱氣泡(Thermal Bubble)式噴墨頭是利用加熱裝置產(chǎn)生高溫，將位于加熱裝置上墨水腔內(nèi)的墨水瞬間加熱產(chǎn)生氣泡，借由氣泡的壓力將墨水由噴墨頭的噴墨孔推出，并使墨滴附著于所欲列印的底材(如紙張)上，以達(dá)到列印的目的。然而為了使加熱所產(chǎn)生的氣泡能將其所產(chǎn)生的壓力充分地用來將墨水?dāng)D出并形成墨滴，因此，噴墨頭的設(shè)計(jì)必須將墨水局限于其內(nèi)的墨水腔內(nèi)，讓墨水沿著特定的噴墨孔噴出。
另一種壓電(Piezo)式噴墨頭是利用壓電材料作為驅(qū)動(dòng)方式用于噴墨，即利用電極的改變透過薄膜施壓于墨水，使該點(diǎn)的墨水經(jīng)由噴嘴噴出，并附著于待列印的基材上。
習(xí)知的一種熱氣泡式噴墨列印裝置的噴墨頭，其噴墨孔是以電鑄成形的方式形成于噴孔片上，再將噴孔片以精密對位方式貼合于厚膜光阻上。
這樣，其在組裝時(shí)，必需很精確地以精密對位的方式將噴孔片上的噴墨孔分別與墨水腔對準(zhǔn)，使墨水腔內(nèi)經(jīng)加熱裝置加熱的墨水由該噴墨孔噴出。因此，此種制程所耗的成本相當(dāng)高，包括精密對位所需的機(jī)具費(fèi)用，且若對位組裝及貼合不良將降低產(chǎn)品的制造良率。
另一種熱氣泡式噴墨列印裝置的噴墨頭，如美國專利第5,537,133號(hào)，其在TAB(軟性電路板)上以鐳射打洞方式形成噴墨孔，再以精密對位方式將TAB貼合于基板上，使噴墨孔與墨水腔精密對準(zhǔn)。
然而，以鐳射打洞方式于TAB上形成噴墨孔，其設(shè)備費(fèi)用相當(dāng)昂貴，將使整個(gè)噴墨頭的制造成本大幅提高，且其也存在有因精密對位及組裝不良所產(chǎn)生產(chǎn)品良率降低的情況。
有鑒于此，發(fā)明人本于精益求精、創(chuàng)新突破的精神，致力于噴墨頭的研究發(fā)展，發(fā)明出本發(fā)明用于列印裝置的噴墨頭及其制造方法，其可改進(jìn)目前習(xí)知噴墨頭制造上設(shè)備成本高昂及產(chǎn)品制作良率低的缺點(diǎn)，以達(dá)到更為實(shí)用的目的。
本發(fā)明的主要目的在于提供一種用于列印裝置的噴墨頭及其制造方法，其具有減化噴墨頭制程的功效，以達(dá)到節(jié)省設(shè)備支出費(fèi)用及提高產(chǎn)品良率的目的。
本發(fā)明的又一目的在于提供一種用于列印裝置的噴墨頭及其制造方法，其具有精密對位及貼合準(zhǔn)確的功效，可達(dá)到提高產(chǎn)品良率及減化制程的目的。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種用于列印裝置的噴墨頭及其制造方法，其在形成噴孔制程中，不會(huì)使墨水槽的結(jié)構(gòu)受損，以達(dá)到提升產(chǎn)品良率的目的。
本發(fā)明的再一目的在于提供一種用于列印裝置的噴墨頭及其制造方法，其可使訊號(hào)傳輸裝置與基板有效地接觸及固定。
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明用于列印裝置的噴墨頭及其制造方法的特征于提供一基板，其上形成有多個(gè)噴嘴元件；提供一第一感光薄膜于該基板上；于該第一感光薄膜上定義出多個(gè)墨水槽圖案；提供一正光阻形式的第二感光薄膜于第一感光薄膜上；于該第二感光薄膜上定義出多個(gè)噴孔；蝕刻該第二感光薄膜上噴孔圖案及第一感光薄膜上墨水槽圖案，以形成多個(gè)噴孔及墨水槽；提供一訊號(hào)傳輸裝置，其一端連接于該基板上，用以將訊號(hào)傳遞至多個(gè)噴嘴元件上。
于是，即可達(dá)到上述本發(fā)明的功效及目的。
為使本發(fā)明的目的、特征及其優(yōu)點(diǎn)能更明了易懂，特舉出一較佳實(shí)施例，作一詳細(xì)說明如下。


圖1為本發(fā)明用于列印裝置的噴墨頭制造方法的第一制程圖。
圖2為本發(fā)明用于列印裝置的噴墨頭制造方法的第二制程圖。
圖3為本發(fā)明用于列印裝置的噴墨頭制造方法的第三制程圖。
圖4為本發(fā)明用于列印裝置的噴墨頭制造方法的第四制程圖。
圖5為本發(fā)明用于列印裝置的噴墨頭制造方法的第五制程圖。
圖6為本發(fā)明用于列印裝置的噴墨頭組合圖。
參閱圖1，為本發(fā)明用于列印裝置的噴墨頭制造方法的第一制程圖，首先提供一SiO2做成的基板10，于基板10上以光蝕刻方式形成多個(gè)噴嘴元件12，用以作動(dòng)位于噴嘴元件10上的墨水，由噴孔(圖未顯示)噴出。噴嘴元件12可為加熱片、壓電薄膜或其它方式，此為習(xí)知技術(shù)，因此不再贅述。
參閱圖2，提供一種第一感光薄膜14于基板10上，第一感光薄膜14可為正形式或負(fù)形式的厚膜光阻。若為正形式的厚膜光阻，則曝光區(qū)可被蝕刻去除，若為負(fù)形式的厚膜光阻，則未曝光區(qū)可被蝕刻去除。
參閱圖3，提供一第一光罩16于第一感光薄膜14上，以定義出多個(gè)墨水槽圖案19，墨水通道圖案21及于墨水通道上定義出多個(gè)支撐柱圖案23。若第一感光薄膜14為負(fù)形式的光阻，則該墨水槽圖案19及墨水通道圖案21為不見光區(qū)，而多數(shù)支撐柱圖案23為見光區(qū)；若第一感光薄膜14為正形式的光阻，則該墨水槽圖案19及墨水通道圖案21為見光區(qū)，而多個(gè)支撐柱圖案23為不見光區(qū)。
參閱圖4，提供一正光阻形式的第二感光薄膜24于第一感光薄膜14上，第二感光薄膜24為厚膜光阻，可以滾壓的方式形成于第一感光薄膜14上。提供一第二光罩26，于第二感光薄膜24上定義出多個(gè)噴孔圖案25，而多個(gè)噴孔圖案25為見光區(qū)，可被蝕刻形成噴孔。
由于第二感光薄膜24為正光阻，因此，其在曝光過程中不會(huì)傷害到第一感光薄膜14上的墨水槽圖案19及墨水通道圖案21，可提高噴墨頭品質(zhì)。
參閱圖5，以干蝕刻或濕蝕刻方式蝕刻第二感光薄膜14上的多個(gè)噴孔圖案25，以于第二感光薄膜14上形成多個(gè)噴孔28。再蝕刻第一感光薄膜14上墨水槽圖案19及墨水通道圖案21，以形成多個(gè)墨水槽18、連通墨水槽18的墨水通道20及多個(gè)支撐柱22則存留于墨水通道20上，從而完成噴墨頭的晶片15。該支撐柱22可用于支撐第二感光薄膜24，使第二感光薄膜24在墨水通道20的區(qū)域不致于下陷，而阻礙噴墨頭的供墨。
參閱圖6，提供一訊號(hào)傳輸裝置27，其上布植有電連接線路29，其一端為訊號(hào)輸出端30連接于晶片15上，用以將訊號(hào)傳遞至多個(gè)噴嘴元件12上，另一端為訊號(hào)輸入端32連接于列印裝置上，用以將列印裝置的訊號(hào)傳送至噴嘴元件12。訊號(hào)傳輸裝置27為一軟性電路板，其上形成有一開口34，用以使晶片15由開口34露出，使噴孔12得以噴出列印，開口34較晶片15為小，使訊號(hào)傳輸裝置27可以黏貼于晶片15周緣，以完成噴墨頭的組裝。
借由上述構(gòu)造及其制造方法，本發(fā)明的噴墨頭可精確地將噴孔直接制作于噴墨頭上，可免去習(xí)知鐳射打洞形成噴孔方式所造成的成本高昂，及必需將噴孔與噴嘴元件精密對位的缺點(diǎn)，可有效提升噴墨頭的制造良率及降低生產(chǎn)成本。而第二感光薄膜借由多個(gè)支撐柱22支撐，使其在墨水通道20區(qū)域不致于下陷，可提高產(chǎn)品的良率。再者，第二感光薄膜24為正光阻，使其在曝光過程中，不會(huì)損害到下層第一感光薄膜14的墨水槽圖案19及墨水通道圖案21，可有效及完整地制作墨水槽18及墨水通道20。
以上所述，僅為本發(fā)明之較佳實(shí)施例，舉凡任何熟悉此項(xiàng)技藝者，于本發(fā)明的領(lǐng)域內(nèi)所作的任何修飾，具有同等功效者，均含蓋于本發(fā)明的申請專利范圍內(nèi)。
圖號(hào)說明基板 10噴嘴元件12第一感光薄膜 14第一光罩16墨水槽18墨水通道20支撐柱22第二光罩26墨水槽圖案19墨水通道圖案21支撐柱圖案 23 噴孔圖案25
第二感光薄膜 24訊號(hào)輸出端30電連接線路29訊號(hào)輸入端32開口 34晶片 15噴孔 28訊號(hào)傳輸裝置 權(quán)利要求
1．一種用于列印裝置的噴墨頭制造方法，其大體上包括下列步驟步驟一，提供一基板，其上形成有多個(gè)噴嘴元件；步驟二，提供一第一感光薄膜于該基板上；步驟三，于該第一感光薄膜上定義出多個(gè)墨水槽圖案；步驟四，提供一正光阻形式的第二感光薄膜于第一感光薄膜上；步驟五，于該第二感光薄膜上定義出多個(gè)噴孔圖案；步驟六，蝕刻該第二感光薄膜上噴孔圖案及第一感光薄膜上墨水槽圖案，以形成多個(gè)噴孔及墨水槽；步驟七，提供一訊號(hào)傳輸裝置連接于該基板上，用以將訊號(hào)傳遞至多個(gè)噴嘴元件上。
2．根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于列印裝置的噴墨頭的制造方法，其中所述第一感光薄膜為正形式或負(fù)形式的厚膜光阻。
3．根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于列印裝置的噴墨頭的制造方法，其中所述第二感光薄膜為厚膜光阻。
4．根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于列印裝置的噴墨頭的制造方法，其中所述步驟六中是以干蝕刻或濕蝕刻方式形成多個(gè)噴孔及墨水槽。
5．根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于列印裝置的噴墨頭的制造方法，其中所述訊號(hào)傳輸裝置形成有用以使該基板露出的開口，該開口較該基板為小。
6．根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于列印裝置的噴墨頭的制造方法，其中所述訊號(hào)傳輸裝置為一軟性電路板，其貼合于該基板上，使該基板上的噴孔由該開口露出。
7．一種用于列印裝置的噴墨頭的制造方法，其包括下列步驟步驟一，提供一基板，其上形成有多個(gè)噴嘴元件；步驟二，提供一第一感光薄膜于該基板上；步驟三，于該第一感光薄膜上定義出多個(gè)墨水槽及墨水通道；步驟四，提供一正光阻形式的第二感光薄膜于第一感光薄膜上；步驟五，于該第二感光薄膜上定義出多個(gè)噴孔圖案；步驟六，蝕刻該第二感光薄膜上的噴孔圖案及第一感光薄膜上的墨水槽及墨水通道圖案，以形成多個(gè)噴孔、墨水槽及墨水通道；步驟七，提供一訊號(hào)傳輸裝置連接于該基板上，用以將訊號(hào)傳遞至多個(gè)噴嘴元件上。
8．根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于列印裝置的噴墨頭制造方法，其中所述第一感光薄膜為正形式或負(fù)形式的厚膜光阻。
9．根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于列印裝置的噴墨頭制造方法，其中所述第二感光薄膜為厚膜光阻。
10．根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于列印裝置的噴墨頭制造方法，其中所述步驟六中是以干蝕刻或濕蝕刻方式形成多個(gè)噴孔、墨水槽及墨水通道。
11．根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于列印裝置的噴墨頭制造方法，其中所述訊號(hào)傳輸裝置形成有用于使該基板露出的開口，該開口較該基板為小。
12．根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于列印裝置的噴墨頭制造方法，其中所述訊號(hào)傳輸裝置為一軟性電路板，貼合于該基板上，使該基板的噴孔由該開口露出。
13．根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于列印裝置的噴墨頭制造方法，其中于第一感光薄膜的墨水通道上定義出多個(gè)支撐柱圖案，蝕刻時(shí)保留該支撐柱于墨水通道上。
14．一種用于列印裝置的噴墨頭，其大致上包括有一基板，其上形成有多個(gè)噴嘴元件；一第一感光薄膜，形成于該基板上，其上相對于每一噴嘴元件位置形成有墨水槽；一正形式的第二感光薄膜形成于第一感光薄膜上，其上相對于每一噴嘴元件位置形成噴孔；一訊號(hào)傳輸裝置，其一端連接于該基板上，用以將訊號(hào)傳遞至多個(gè)噴嘴元件上。
15．根據(jù)權(quán)利要求14所述的用于列印裝置的噴墨頭，其中所述第一感光薄膜為正形式或負(fù)形式的厚膜光阻。
16．根據(jù)權(quán)利要求14所述的用于列印裝置的噴墨頭，其中所述第二感光薄膜為厚膜光阻。
17．根據(jù)權(quán)利要求14所述的用于列印裝置的噴墨頭，其中所述第一感光薄膜上設(shè)有墨水通道連通于該墨水槽。
18．根據(jù)權(quán)利要求17所述的用于列印裝置的噴墨頭，其中所述墨水通道上形成有多個(gè)支撐柱。
19．根據(jù)權(quán)利要求14所述的用于列印裝置的噴墨頭，其中所述訊號(hào)傳輸裝置形成有用于使基板露出的開口，該開口較該基板為小。
20．根據(jù)權(quán)利要求14所述的用于列印裝置的噴墨頭，其中所述訊號(hào)傳輸裝置為一軟性電路板，其貼合于該基板上，使該基板上的噴孔由該開口露出。
全文摘要
本發(fā)明用于列印裝置的噴墨頭及其制造方法,其包括有一形成有多個(gè)噴嘴元件的基板,于該基板上形成一第一感光薄膜,再于該第一感光薄膜上定義出多個(gè)墨水槽圖案;一正光阻形式的第二感光薄膜設(shè)于第一感光薄膜上,于該第二感光薄膜上定義出多個(gè)噴孔,蝕刻該第二感光薄膜上噴孔圖案及第一感光薄膜上墨水槽圖案,以形成多個(gè)噴孔及墨水槽,一訊號(hào)傳輸裝置連接于該基板上,用于將訊號(hào)傳遞至多個(gè)噴嘴元件上。
文檔編號(hào)B41J2/16GK1303775SQ00100209
公開日2001年7月18日 申請日期2000年1月7日 優(yōu)先權(quán)日2000年1月7日
發(fā)明者康宏洲, 林振華, 吳志成 申請人:威碩科技股份有限公司